CN2876766Y - 一种滤波片检测用的真空微吸附台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及光通信领域波分复用滤波片检测设备,即真空微吸附台,它包括真空微吸附台座,真空微吸附台板,真空泵气嘴,微限位块;将真空微吸附台板压入真空微吸附台座,形成腔体,并用胶密封,真空微吸附台两侧有同轴的孔,实现了既能通光又能吸附的目地。气嘴带胶用螺纹连接到台座,微限位块用胶固定在真空微吸附台板上。本发明是将载物台做成一种特殊的真空微吸附台,使待测件受微力吸附于载物台通光孔上,克服了其它力的影响,能快速定位,并且实现了透射光和反射光均能测量功能。利用简单的装置,获得高精度的测量结果,而且制作成本低廉,可以推广使用。
Description
技术领域:
本实用新型涉及光通信领域波分复用滤波片检测设备,特别涉及滤波片检测用的真空微吸附台。
背景技术:
光通信领域中的波分复用滤波片,其成品是从大面积的镀膜基片上切割下成1×1×0.5mm,0.8×0.8×0.4mm,0.4×0.4×0.25mm等的小片,然后逐片检测筛选。常规检测装置如图一,由双尾自聚焦光纤射出的约直径0.2mm的光束通过待测件,由单尾自聚焦光纤接收测透射光,由待测件表面反射的光再经双尾自聚焦光纤接收,由其中的另一根光纤射出测反射光。测试前须将待测件快速准确放到位,加微限位块理论上可有定位作用,但由于物体之间的微力作用,使待测件不易靠紧微限位块,影响测量的准确性,要放置准确需较长时间,影响测量速度。
发明内容:
本实用新型要解决的问题是将载物台做成一种特殊的真空微吸附台,使待测件受微力吸附于载物台通光孔上,克服了其它力的影响,能快速定位,并且用透射光和反射光均能测量。
该真空微吸附台包括真空微吸附台座,真空微吸附台板,真空泵气嘴,微限位块;将真空微吸附台板压入真空微吸附台座,形成腔体,并用胶密封,真空微吸附台两侧有同轴的孔,实现了即能通光又能吸附的目地。气嘴带胶用螺纹连接到台座,微限位块用胶固定在真空微吸附台板上。
该实用新型的优点是利用实验室的真空设备制作真空吸附台。即能快速定位,又能准确测量,同时用透射光和反射光均能测量,利用简单的装置,获得高精度的测量结果,而且制作成本低廉,可以推广使用。
附图说明:
图1是传统测量示意图
1双尾自聚焦光纤、2待测件、3限位块、4载物台、5单尾自聚焦光纤;
图2是本发明结构示意图,也为摘要附图。
6真空泵气嘴、7真空微吸附台座、8真空微吸附台板、9微限位块、10同轴通光孔;
具体实施方式:
本实施例结构示意图见图2。真空微吸附台座选用不锈钢材料,真空微吸附台板选用黄铜材料。这样形成一个腔体,两侧有同轴的通光孔。气嘴和真空泵相连,真空泵工作时便从两小孔同时吸入空气,将滤波片放在小孔上就会被吸住。微限位块的作用是给滤波片一个导向,用胶固定在真空微吸附台板上。
真空微吸附台两侧有同轴的孔,实现了即能通光又能吸附的目地。实现了透射光和反射光均能测量功能。从大面积的镀膜基片上切割下成1×1×0.5mm,0.8×0.8×0.4mm,0.4×0.4×0.25mm等的小片,然后逐片放到真空微吸附台进行检测,使用效果良好。
Claims (2)
1一种滤波片检测用的真空微吸附台,它包括真空泵和真空微吸附台,其特征在于该真空微吸附台包括真空泵气嘴(6)、真空微吸附台座(7),真空微吸附台板(8)、微限位块(9)和同轴通光孔(10);
各部件之间连接关系:将真空微吸附台板(8)压入真空微吸附台座(7)形成腔体,并用胶密封;真空泵气嘴(6)带胶用螺纹连接到真空微吸附台座(7)上;微限位块(9)用胶固定在真空微吸附台板(8)上。
2按照权利要求1所述滤波片检测用的真空微吸附台,其特征在于真空微吸附台两侧有同轴通光孔(10)。
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Cited By (2)
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CN103983350A (zh) * | 2014-05-13 | 2014-08-13 | 保定维特瑞交通设施工程有限责任公司 | 测试交通显示单元平行光轴发光强度变化的装置 |
CN105203240A (zh) * | 2015-10-30 | 2015-12-30 | 苏州精创光学仪器有限公司 | 玻璃应力测量装置用吸气治具 |
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2006
- 2006-03-31 CN CN 200620028523 patent/CN2876766Y/zh not_active Expired - Fee Related
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CN103983350B (zh) * | 2014-05-13 | 2016-06-01 | 保定维特瑞交通设施工程有限责任公司 | 测试交通显示单元平行光轴发光强度变化的装置 |
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C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20070307 |