CN2784903Y - 显微摄影即时定位测试结构 - Google Patents

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Abstract

一种显微摄影即时定位测试结构，它包含一光特性分析模组，其下方设一分析模组固定座，及相邻处设CCD(影像感知原件)摄影机，其系含有一显微镜头、镜头固定座、CCD焦距微调座、CCD角度固定件，而其下方则设有CCDx－y微调座，及一CCD固定基座，而另一相对应处，设一CCD摄影机光源，并含有一光远固定座第一件、第二件及第三件，藉此，组装成整组系统结构，并设于检测机本体上，可供测试LED、LCD及其他晶圆之使用。组装紧凑，操作使用方便，测试的精确度高。

Description

显微摄影即时定位测试结构
<一>技术领域：
本实用新型系与显微摄影即时定位测试结构有关，主要系将一般习用者之使用弊端，作一改良使之更为完善，更详而言之，尤指一种可便捷量测晶粒位置之显微摄影结构。
<二>背景技术：
现有同类的定位测试系统在实施时常出现下列几点弊端：
1、目前测试机定位的配置，即使是观察之显微摄影器，也无法即时观察到晶粒或玻璃模组的测试接点位置，对于切割后的晶粒常常点测错位，造成不良效果。
2、作动时常会因不能够很准确且顺畅的作动。
3、以前测试光学原件，无法提供测试中晶粒玻璃模组测试接点的影像，即在测试同时无法观察晶粒影像。
4、生产率无法提高，并产生不良品，不符合经济效益。
<三>发明内容：
本实用新型的主要目的，旨在于利用本实用新型之晶粒量测结构的设计，达到组装紧凑、操作便捷、测试的精度高及提高工作效能的目的；使习用者之弊端改善，并可提供产业界利用的价值，使其具有经济效益。
本实用新型一种显微摄影即时定位测试结构，它包含一光特性分析模组，其下方设一分析模组固定座，及相邻处设CCD(影像感知原件)摄影机，其含有一显微镜头、镜头固定座、CCD摄影机焦距微调座、CCD摄影机角度固定件，而其下方则设有CCDx-y微调座，及一CCD摄影机固定基座，而另一相对应处，设一CCD摄影机光源，并含有一光源固定座第一件、第二件及第三件，藉此，组装成整组系统结构并设于检测机本体上。
本实用新型一种显微摄影即时定位测试结构，其优点是：组装紧凑，操作使用方便。检测机进行点测的同时，可由CCD摄影机的视觉系统同时观察受测晶粒的状况，并及时回馈其XY的位置，做为对位修正的参考，提高了点测的精确度。
<四>附图说明：
图1系本实用新型之立体分解示意图。
图2系本实用新型之组合立体示意图。
图3系本实用新型之组合示意图。
图中标号如下：
10光特性分析模组      11分析模组固定座      12CCD摄影机
13显微镜头            14镜头固定座          15CCD摄影机焦距微调座
16CCD摄影机角度固定件 17CCDx-y微调座        18CCD摄影机固定基座
19CCD摄影机光源       20光源固定座第一件    21第二件
22第三件              30检测机本体
<五>具体实施方式：
请参阅图1至图3所示，本实用新型一种显微摄影即时定位测试结构，系包含一光特性分析模组10，其下方设一分析模组固定座11，及相邻处设CCD(影像感知原件)摄影机12，其含有一显微镜头13、镜头固定座14、CCD摄影机焦距微调座15、CCD摄影机角度固定件16，其下方则设有CCDx-y微调座17，及一CCD摄影机固定基座18，而另一相对应处，设一CCD摄影机光源19，并含有一光源固定座第一件20、第二件21及第三件22，藉此，组装成整组系统结构，并设于检测机本体30上。
当组装实施时，请继续参阅图1至图3所示，本实用新型一种显微摄影即时定位测试结构，主要系设于检测机本体30上，其中，检测机进行点测的同时，可由CCD摄影机12的视觉系统同时观察受测晶粒的状况，并及时回馈其XY的位置，做为对位修正的参考，提高点测的精确度，并且比传统式更具优点。

Claims (1)

1、一种显微摄影即时定位测试结构，其特征在于：它包含一光特性分析模组，其下方设一分析模组固定座及相邻处设CCD摄影机，其含有一显微镜头、镜头固定座、CCD摄影机焦距微调座、CCD摄影机角度固定件，而其下方则设有CCDx-y微调座及一CCD摄影机固定基座，而另一相对应处，设一CCD摄影机光源，并含有一光源固定座第一件、第二件及第三件，组装成整组系统结构后设于检测机本体上。
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