CN2783265Y - 宽光谱光学镀膜在线监控系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种宽光谱光学镀膜在线监控系统，包括光谱仪、计算机、控制箱、光路，该光谱仪分别与计算机、控制箱相连接，该光路出口通过光纤连接该光谱仪。由于光谱仪连接有计算机和控制板，因此操作者可直观地看到镀制过程中实际光谱曲线变化与理论设计光谱曲线的接近过程，降低了对操作者熟练度的要求，提高了产品质量的同一性，消除了工业现场经常出现的电磁干扰问题，而且对规整膜系和非规整膜系都能控制，并可实现数据远传，通过控制板上的接口连接镀膜机还能对镀膜机进行控制。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种光学检测仪器。
背景技术
目前常用的对光学镀膜的在线监控系统有晶体测厚法和单波长监控法，其中，晶体测厚法通过测量晶体上由于沉积了薄膜而改变固有的震荡频率，间接地探测出光学薄膜的物理厚度；这种测量方法无法得到光学厚度信息及光学薄膜在所要求的光谱范围内的透过率或反射率，而且控制精度较差，不适于镀制高水平薄膜，另外在测量过程中需更换昂贵的晶片，导致成本较高；单波长监控法，通过测量光学薄膜在某一个固定波长位置的透过率或反射率得到光学薄膜在镀制过程中光学厚度变化的信息，以达到控制的目的，然而这种方法不适合非规整膜系的监控，不能直接得到光学薄膜在所要求的光谱范围内全波段的透过率或反射率，无法对光学薄膜的镀制过程进行控制，而且其操作过程复杂，要求操作者具有丰富的操作经验。目前，现有的监控系统已无法满足越来越多的非规整膜系镀制的需要。
实用新型内容
针对上述问题，本实用新型的目的在于提供一种可满足非规整膜系镀制过程要求及工业光学镀膜对产品质量同一性要求并可对镀膜过程进行显示的宽光谱光学镀膜在线监控系统。
为达到上述目的，本实用新型的技术解决方案为：
一种宽光谱光学镀膜在线监控系统，包括光谱仪、计算机、控制箱、光路，该光谱仪分别与计算机、控制箱相连接，该光路出口通过光纤连接该光谱仪。
进一步，所述光谱仪分别通过USB通讯接口、RS232通讯接口与所述计算机相连接，所述计算机连接有打印机。
进一步，所述光路包括光发射装置和光接收装置，该光接收装置通过光纤连接所述光谱仪。
进一步，所述光发射装置包括透射测量发射装置、上反射测量发射装置及下反射测量发射装置，所述光接收装置包括透射光接收装置、上反射光接收装置及下反射光接收装置。
进一步，所述光接收装置上靠近光纤一侧设有修正滤光片，另一侧设有消光筒。
进一步，所述修正滤光片为一个表面镀增透膜另一表面镀光谱修正膜并满足特定光谱透过率曲线的玻璃片。
进一步，所述控制箱包括网络交换机、通讯板和控制板，该网络交换机通过网线连接通讯板，通讯板通过电缆线连接控制板，该控制板通过电缆线分别连接透射光源、反射光源。
进一步，所述控制板通过电缆线连接有透射光闸、反射光闸。
进一步，所述光谱仪为以线阵CCD探测器为核心部件的光栅分光摄谱仪。
由于光谱仪连接有计算机和控制板，因此操作者可直观地看到镀制过程中实际光谱曲线变化与理论设计光谱曲线的接近过程，降低了对操作者熟练度的要求，提高了产品质量的同一性，消除了工业现场经常出现的电磁干扰问题，而且对规整膜系和非规整膜系都能控制，并可实现数据远传，通过控制板上的接口连接镀膜机还能对镀膜机进行控制。而且，在光谱仪和光接收装置之间通过光纤连接，提高了系统的柔和性减小了现场安装调试的工作难度；并且，由于该光谱仪为以线阵CCD探测器为核心部件的光栅分光摄谱仪，这种光谱仪灵敏度高、测量速度快，并且能接收全光谱段的入射光，从而能够测得光学薄膜镀制过程中可见光光谱范围内的反射率或透过率；另外，在光路中安装消光筒避免了环境光的干扰，而且由于修正滤光片的应用，大大简化了光学设计还可使用常用的白光灯泡作为电源。而控制板可直接控制透射、反射光闸，实现了实时地标定零点。
附图说明
图1为本实用新型的安装位置图；
图2为本实用新型的电路连接图；
图3为本实用新型的修正滤光片光谱透过率曲线；
图4为本实用新型消光筒的结构图；
图5为本实用新型的系统安装位置关系图。
具体实施方式：
下面结合附图具体说明本实用新型。
如图1、2所示，本实用新型宽光谱光学镀膜在线监控系统包括光谱仪1、计算机2、控制箱3、光路4，该光谱仪1为以线阵CCD探测器为核心部件的光栅分光摄谱仪，其上分别设有USB通讯接口、RS232通讯接口，通过USB通讯接口、RS232通讯接口分别与所述计算机2、控制箱3相连接；该光路4包括光发射装置41和光接收装置42，该光接收装置42通过光纤连接光谱仪1；所述计算机1还连接有打印机7；该光发射装置41包括透射测量发射装置411、上反射测量发射装置412及下反射测量发射装置413，光接收装置42包括透射光接收装置421、上反射光接收装置422及下反射光接收装置423，从光源发出的光到达光发射装置41并经光发射装置处理后经镀膜机上的比较片5后到达光接收装置42，然后通过光纤到达光谱仪1；该光源6包括透射光源61及反射光源62，反射光源还分为上反射光源621和下反射光源622，该光源可采用汽车远光灯或其它光源；另外，该光路中在光接收装置42上靠近光纤一侧还设有修正滤光片43，另一侧设置有消光筒44，该修正滤光片和消光筒分别通过螺钉固定于光接收装置42上。该修正滤光片43为直径25mm厚度2mm左右的玻璃片，该玻璃片的一个表面镀增透膜另一表面镀光谱修正膜，其光谱透过率曲线满足图3所示；消光筒44由直径40mm左右、不同长度的金属管连接而成，金属管内部还可设置滤光片、灰尘遮挡片等，其结构如图4所示，该消光筒消除杂散光的效果非常优异，而且，更方便用户清洗。该控制箱3包括网络交换机31、通讯板32和控制板33，网络交换机31通过网线连接通讯板32，通讯板32通过电缆线连接控制板33，控制板33通过电缆线分别连接透射光源、反射光源，为了能够实时地标定零点，控制板还连接有透射光闸、反射光闸，而且控制板上还设有其它预留接口。本实用新型的系统安装位置关系图如图5所示。
在实际操作中，计算机发出命令通过网络交换机及通讯板到达控制板，通过控制板控制透射光源、反射光源并打开透射、反射光闸，光源发出的光经光发射装置到比较片再从比较片到光接收装置，并通过光纤传输到光谱仪，通过光谱仪再传输到计算机，并显示实际光谱曲线的变化及其与理论设计曲线的接近过程，并可通过打印机将其打印。
Claims (10)
1、一种宽光谱光学镀膜在线监控系统，其特征在于：包括光谱仪、计算机、控制箱、光路，该光谱仪分别与计算机、控制箱相连接，该光路出口通过光纤连接该光谱仪。
2、如权利要求1所述的宽光谱光学镀膜在线监控系统，其特征在于：所述光谱仪分别通过USB通讯接口、RS232通讯接口与所述计算机相连接，所述计算机连接有打印机。
3、如权利要求1所述的宽光谱光学镀膜在线监控系统，其特征在于：所述光路包括光发射装置和光接收装置，该光接收装置通过光纤连接所述光谱仪。
4、如权利要求3所述的宽光谱光学镀膜在线监控系统，其特征在于：所述光发射装置包括透射测量发射装置、上反射测量发射装置及下反射测量发射装置，所述光接收装置包括透射光接收装置、上反射光接收装置及下反射光接收装置。
5、如权利要求3所述的宽光谱光学镀膜在线监控系统，其特征在于：所述光接收装置上靠近光纤一侧设有修正滤光片，另一侧设有消光筒。
6、如权利要求5所述的宽光谱光学镀膜在线监控系统，其特征在于：所述修正滤光片为一个表面镀增透膜另一表面镀光谱修正膜并满足特定光谱透过率曲线的玻璃片。
7、如权利要求5所述的宽光谱光学镀膜在线监控系统，其特征在于：所述消光筒由不同长度的金属管连接而成，金属管内部设置有滤光片或灰尘遮挡片。
8、如权利要求1所述的宽光谱光学镀膜在线监控系统，其特征在于：所述控制箱包括网络交换机、通讯板和控制板，该网络交换机通过网线连接通讯板，通讯板通过电缆线连接控制板，该控制板通过电缆线分别连接透射光源、反射光源。
9、如权利要求8所述的宽光谱光学镀膜在线监控系统，其特征在于：所述控制板通过电缆线连接有透射光闸、反射光闸。
10、如权利要求1所述的宽光谱光学镀膜在线监控系统，其特征在于：所述光谱仪为以线阵CCD探测器为核心部件的光栅分光摄谱仪。
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Cited By (7)
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|---|---|---|---|---|
| CN101825437A (zh) * | 2010-04-02 | 2010-09-08 | 成都南光机器有限公司 | 光学镀膜测量系统反射式光路装置 |
| CN101561559B (zh) * | 2009-05-25 | 2011-01-05 | 北京奥博泰科技有限公司 | 一种高分辨率窄波段光谱在线膜厚监控系统及分光装置 |
| CN110967303A (zh) * | 2020-01-02 | 2020-04-07 | 彭忠祥 | 一种浮法玻璃在线镀膜膜层质量的在线连续检测系统 |
| CN113267454A (zh) * | 2021-05-26 | 2021-08-17 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 薄膜品质检测方法、装置、电子设备及存储介质 |
| CN113774353A (zh) * | 2021-09-15 | 2021-12-10 | 佛山市博顿光电科技有限公司 | 镀膜过程的工艺参数优化方法、装置及镀膜实时监控系统 |
| CN113776442A (zh) * | 2021-09-15 | 2021-12-10 | 佛山市博顿光电科技有限公司 | 光谱检测装置、膜厚实时监控方法及系统、真空镀膜机 |
| CN116005123A (zh) * | 2022-12-30 | 2023-04-25 | 佛山市博顿光电科技有限公司 | 真空镀膜设备及其镀膜控制方法 |
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Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101561559B (zh) * | 2009-05-25 | 2011-01-05 | 北京奥博泰科技有限公司 | 一种高分辨率窄波段光谱在线膜厚监控系统及分光装置 |
| CN101825437A (zh) * | 2010-04-02 | 2010-09-08 | 成都南光机器有限公司 | 光学镀膜测量系统反射式光路装置 |
| CN110967303A (zh) * | 2020-01-02 | 2020-04-07 | 彭忠祥 | 一种浮法玻璃在线镀膜膜层质量的在线连续检测系统 |
| CN110967303B (zh) * | 2020-01-02 | 2022-11-01 | 彭忠祥 | 一种浮法玻璃在线镀膜膜层质量的在线连续检测系统 |
| CN113267454A (zh) * | 2021-05-26 | 2021-08-17 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 薄膜品质检测方法、装置、电子设备及存储介质 |
| CN113774353A (zh) * | 2021-09-15 | 2021-12-10 | 佛山市博顿光电科技有限公司 | 镀膜过程的工艺参数优化方法、装置及镀膜实时监控系统 |
| CN113776442A (zh) * | 2021-09-15 | 2021-12-10 | 佛山市博顿光电科技有限公司 | 光谱检测装置、膜厚实时监控方法及系统、真空镀膜机 |
| CN113776442B (zh) * | 2021-09-15 | 2023-05-30 | 佛山市博顿光电科技有限公司 | 光谱检测装置、膜厚实时监控方法及系统、真空镀膜机 |
| CN116005123A (zh) * | 2022-12-30 | 2023-04-25 | 佛山市博顿光电科技有限公司 | 真空镀膜设备及其镀膜控制方法 |
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