CN2779793Y - 离子源灯丝电源 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种离子源灯丝电源，包括输入滤波电路、DC/AC逆变及IGBT开关电路、高频变压器降压电路、输出整流滤波电路、采样电路、线性光耦电路、比较放大及PWM电路、IGBT驱动电路、辅助电源电路、基准电路、保护电路，所述的输入滤波电路、DC/AC逆变及IGBT开关电路、高频变压器降压电路、输出整流滤波电路依次相连；所述的采样电路与输出整流滤波电路的输出相连，并通过线性光耦电路、比较放大及PWM电路后与IGBT驱动电路相连；所述的IGBT驱动电路与DC/AC逆变及IGBT开关电路相连。本实用新型实现了主电路与控制电路的隔离，控制精度及稳定度好；可以兼容任何灯丝源。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种离子源灯丝电源，特别地涉及一种贝纳斯离子源和长寿命离子源兼容的灯丝电源，属于半导体器件制造领域。
背景技术
离子源是离子注入机设备中的关键部件之一，其性能指标几乎能够决定整机的实用性能，特别地对束流指标、多电荷产生、束能量、束传输以及整机稳定性和可靠性起决定性作用。然而，离子源的性能，除了离子源本身的结构设计外，在很大程度上还与为之提供必要的电流电压的电源有关，不同类型的离子源，对电源的要求是不同的，例如：长寿命离子源要求其灯丝电源与阳极电源之间隔离1000V以上，而贝纳斯离子源却无此要求，因而在通常的设计过程中，对于不同类型的离子源往往采用不同的电源。
发明内容
本实用新型即是针对多种离子源灯丝电源的需要而提出的一种结构简单、控制稳定度好的离子源灯丝电源。
本实用新型通过以下技术方案来实现：
一种离子源灯丝电源，由输入滤波电路、DC/AC逆变及IGBT开关电路、高频变压器降压电路、输出整流滤波电路、采样电路、线性光耦电路、比较放大及PWM电路、IGBT驱动电路、辅助电源电路、基准电路、保护电路组成，所述的输入滤波电路、DC/AC逆变及IGBT开关电路、高频变压器降压电路、输出整流滤波电路依次相连；所述的采样电路与输出整流滤波电路的输出相连，并通过线性光耦电路、比较放大及PWM电路后与IGBT驱动电路相连；所述的IGBT驱动电路与DC/AC逆变及IGBT开关电路相连；所述的基准电路与比较放大及PWM电路中放大电路相连；所述的辅助电源电路为各部分电路提供工作电压；所述的保护电路与IGBT驱动电路、比较放大及PWM电路相连。
本实用新型具有如下显著优点：
1.本电源采用高线性光耦作为输出主电路与控制电路的信号传递，既实现了电路的隔离，又保证了控制精度及电源控制稳定度要求；
2.该电源可以兼容任何灯丝源。
附图说明
图1为本实用新型离子源灯丝电源的电路原理框图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的介绍，但不作为对本实用新型的限定。
参见图1，离子源灯丝电源由输入滤波电路1、DC/AC逆变及IGBT开关电路2、高频变压器降压电路3、输出整流滤波电路4、采样电路5、线性光耦电路6、比较放大及PWM电路7、IGBT驱动电路8、辅助电源电路9、基准电路10、保护电路11组成，外界电源依次经过所述的输入滤波电路1、DC/AC逆变及IGBT开关电路2、高频变压器降压电路3、输出整流滤波电路4后输出即为离子源灯丝电源；所述的采样电路5与输出整流滤波电路4的输出相连，并通过线性光耦电路6与比较放大及PWM电路7后与IGBT驱动电路8相连，所述的IGBT驱动电路8将PWM信号放大后与DC/AC逆变及IGBT开关电路2相连；所述的基准电路10为比较放大及PWM电路7中放大电路的基准；所述的辅助电源电路10为本离子源灯丝电源中各部分电路提供工作电压；所述的保护电路11与IGBT驱动电路8、比较放大及PWM电路7相连，对电压过流起监视作用。
在实际应用过程中，输入交流220VAC经输入滤波电路1变为直流DC，直流电压再经过DC/AC逆变及IGBT开关电路2、高频变压器降压电路3降压成高频低压AC，高频低压AC经输出整流滤波电路4输出设定的稳定电压。
在整个过程中，输出电压调节及稳压过程如下：输出电压经采样电路5采样后，经过一线性光耦电路6与基准电路10的输出电压设定值经比较放大及PWM电路7中误差放大器进行放大后，控制PWM电路使IGBT开关的占空比发生变化，如果输出电压比设定值高，那么比较的结果使并关管导通的脉冲变窄；如果输出电压比设定值低，那么比较的结果使并关管导通的脉冲变宽；整个过程中，因为线性光耦电路6使得灯丝电源输出端完全与控制部分隔离，能够有效地提高灯丝电源的抗干扰能力。
本实用新型的特定实施例已对本实用新型的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本实用新型精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本实用新型专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
Claims (1)
1.一种离子源灯丝电源，由输入滤波电路、DC/AC逆变及IGBT开关电路、高频变压器降压电路、输出整流滤波电路、采样电路、线性光耦电路、比较放大及PWM电路、IGBT驱动电路、辅助电源电路、基准电路、保护电路组成，其特征在于：
所述的输入滤波电路、DC/AC逆变及IGBT开关电路、高频变压器降压电路、输出整流滤波电路依次相连；
所述的采样电路与输出整流滤波电路的输出相连，并通过线性光耦电路、比较放大及PWM电路后与IGBT驱动电路相连；
所述的IGBT驱动电路与DC/AC逆变及IGBT开关电路相连；
所述的基准电路与比较放大及PWM电路中放大电路相连；
所述的辅助电源电路为各部分电路提供工作电压；
所述的保护电路与IGBT驱动电路、比较放大及PWM电路相连。
Priority Applications (1)
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| CNU2005200112747U CN2779793Y (zh) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | 离子源灯丝电源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CNU2005200112747U CN2779793Y (zh) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | 离子源灯丝电源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN2779793Y true CN2779793Y (zh) | 2006-05-10 |
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN2779793Y (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101128079B (zh) * | 2006-08-16 | 2010-12-15 | 联昌电子企业股份有限公司 | 使用电性隔离控制的灯管驱动系统 |
| CN105592615A (zh) * | 2014-10-21 | 2016-05-18 | 核工业西南物理研究院 | 高功率微波真空管灯丝电源系统及其工作方法 |
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2005
- 2005-03-31 CN CNU2005200112747U patent/CN2779793Y/zh not_active Expired - Fee Related
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