CN2779601Y - 一种可转动的束光栏装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种可转动的束光栏装置，至少包括：一光栏座、一转动气缸、一移动气缸、两弹簧、一顶轴、一顶杆、一光栏架、一光栏板、一转动摆块、一气缸固定板，所述的光栏板设置在光栏架上，并可在光栏架上水平移动；所述的光栏架转动轴设置在光栏座上；所述的转动摆块固定在光栏架的转动轴连接，一端与转动摆块连接，另一端与冷却水管连接；所述的转动汽缸安装在气缸固定板上；所述的移动气缸轴与顶轴连接；所述的顶轴一端轴头与顶杆一端头接触；所述的弹簧固定设置在光栏架上，其自由端与光栏板连接。本实用新型对于光栏可设计不同的缝隙，不使用光栏时，转动气缸可使光栏架离开束通道，移动气缸可调节光栏的中心位置，利于对中。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种束光栏装置，特别涉及一种离子注入机用可转动的束光栏装置，属于半导体器件制造领域。
背景技术
在离子注入机中，束光栏可以用来分离各种不同的元素、离子和多电荷离子，并且能够保证束流在管道内的有效传输，因而在离子注入机中通常会根据不同光路的位置来设计不同的束光栏，从而保证注入离子的纯度满足工艺要求。
传统的离子注入机所用的束光栏，一般为固定安装方式或旋转方式，前者存在光栏不可调，受束轰击严重以及光栏材料及和光栏冷却要求都很高等缺点；而后者则采用两个圆柱体安装时与支座不在同心圆上的方式，两圆柱体可自转，支座转动迎束面进行变化调节，但是这不但要求两圆柱体的外圆衬硅，还要求内部同水冷却，不但结构设计复杂，而且成本高；近年来，随着工艺要求的提高，还出现了一种可移动的束光栏，其在机器调试过程中，使用不同的光栏缝隙，而在工作注入时，光栏离开束通道，这为束光栏的研制又提供了一种新的思路，但常常实现较为困难。
发明内容
本实用新型即是针对现有技术中离子注入机使用的束光栏的不足，而提出的一种可转动的束光栏装置，该装置安装方便、适用范围广泛。
本实用新型通过以下技术方案实现：
一种可转动的束光栏装置，至少包括：一光栏座、一转动气缸、一移动气缸、两弹簧、一顶轴、一顶杆、一光栏架、一光栏板、一转动摆块、一气缸固定板，所述的光栏板设置在光栏架上，并可在光栏架上水平移动；所述的光栏架转动轴设置在光栏座上；所述的转动摆块固定在光栏架的转动轴连接，一端与转动摆块连接，另一端与冷却水管连接；所述的转动汽缸安装在气缸固定板上；所述的移动气缸轴与顶轴连接；所述的顶轴一端轴头与顶杆一端头接触；所述的弹簧固定设置在光栏架上，其自由端与光栏板连接。
本实用新型具有如下显著优点：
1.在石墨光栏上可设计不同的光栏缝隙，利用光栏板的移动，对于微束流，使用窄缝隙，对于大束流，使用宽缝隙；
2.利用转动气缸，不使用光栏时，可转动光栏架离开束通道；
3.利用移动气缸，可方便调节光栏的中心位置，利于对中。
附图说明
图1为本实用新型一种可转动的束光栏装置的结构图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的介绍，但不作为对本实用新型的限定。
参见图1，一种可转动的束光栏装置，包括：一光栏座1、一转动气缸5、一移动气缸7、两弹簧3、一顶轴8、一顶杆9、一光栏架10、一光栏板4、一转动摆块2、一气缸固定板6。
光栏架10的转动轴设置在光栏座1上；转动气缸5安装在气缸固定板6上，转动气缸5的轴通过连接轴与转动摆块2连接，转动摆块2与光栏架10的转动轴连接，因而当转动气缸5的轴伸缩动作时，转动摆块2运动，从而带动使光栏架10的转动。而转动气缸5的行程和摆块结构的改变可以改变决定光栏架10转动的角度，转动摆块2的一端连接冷水管11，用于装置的冷却。
移动气缸7与顶轴8连接，顶轴8一端轴头与顶杆9一端头相接触，光栏板4通过顶杆9和两个弹簧3，与光栏架10连接，并可在光栏架10上水平移动，两个弹簧3均固定在光栏架10上，其自由端与光栏板4连接。当移动气缸7轴伸出时带动顶轴8移动，顶轴8移动时直接推动顶杆9移动，从而光栏板4在光栏架10上水平移动，当移动气缸7轴缩回时，两个弹簧的回复力带动光栏板4在光栏架10上往回运动。
若将石墨光栏直接固定在光栏板4上的，则光栏板4的移动直接可以实现使石墨光栏移动的目的，而光栏架10的转动即可实现使石墨光栏转动的目的。
本实用新型的特定实施例已对本实用新型的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本实用新型精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本实用新型专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
Claims (1)
1.一种可转动的束光栏装置，至少包括：一光栏座、一转动气缸、一移动气缸、两弹簧、一顶轴、一顶杆、一光栏架、一光栏板、一转动摆块、一气缸固定板，其特征在于：
所述的光栏板设置在光栏架上，并可在光栏架上水平移动；
所述的光栏架转动轴设置在光栏座上；
所述的转动摆块固定在光栏架的转动轴连接，一端与转动摆块连接，另一端与冷却水管连接；
所述的转动汽缸安装在气缸固定板上；
所述的移动气缸轴与顶轴连接；
所述的顶轴一端轴头与顶杆一端头接触；
所述的弹簧固定设置在光栏架上，其自由端与光栏板连接。
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| CNU200520011261XU CN2779601Y (zh) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | 一种可转动的束光栏装置 |
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| CNU200520011261XU CN2779601Y (zh) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | 一种可转动的束光栏装置 |
Publications (1)
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| CN2779601Y true CN2779601Y (zh) | 2006-05-10 |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102446681A (zh) * | 2010-10-13 | 2012-05-09 | 北京中科信电子装备有限公司 | 一种用于离子注入机的分析光栏 |
| CN102446690A (zh) * | 2010-10-13 | 2012-05-09 | 北京中科信电子装备有限公司 | 一种机械式离子束均匀性校正器 |
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2005
- 2005-03-31 CN CNU200520011261XU patent/CN2779601Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN102446690B (zh) * | 2010-10-13 | 2015-07-15 | 北京中科信电子装备有限公司 | 一种机械式离子束均匀性校正器 |
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |