CN2777335Y - 一种三自由度精密定位平台 - Google Patents

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朱岳彬
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Abstract

本实用新型涉及用于精密加工、集成半导体制造、生物医药加工、光学及图像对准领域的运动平台，特别是一种三自由度精密定位平台。下平台和运动平台之间通过平面滑动轴承相接触，通过安装于下平台上的柔性件支架，用弹性柔性件在三个方向把下平台和运动平台连接成一个整体；该运动平台和X向驱动凸轮Y向驱动凸轮完全紧密地接触藉由上述结构主要解决现有的产品需要通过三层运动的叠加才能实现，整个平台将占用较大的空间尺寸，同时运动的叠加很容易产生运动位置的累计误差的技术问题，实现纳米级高精度精确位置定位。

Description

一种三自由度精密定位平台
技术领域：
本实用新型涉及用于精密加工、集成半导体制造、生物医药加工、光学及图像对准领域的运动平台，特别是一种三自由度精密定位平台。
背景技术：
传统X、Y、φZ三个自由度方向运动平台一般需要通过三层运动的叠加才能实现，整个平台将占用较大的空间尺寸，同时运动的叠加很容易产生运动位置的累计误差。常用的运动传动件，如：丝杆、同步带、齿轮、液动或气动执行件等等都很难能达到纳米级的运动执行精度。
实用新型内容：
本实用新型的目的是提供一种三自由度精密定位平台，解决现有的产品需要通过三层运动的叠加才能实现，整个平台将占用较大的空间尺寸，同时运动的叠加很容易产生运动位置的累计误差的技术问题，实现纳米级高精度精确位置定位。
为解决上述技术问题，本实用新型是这样实现的：
一种三自由度精密定位平台，其特征在于：下平台和运动平台之间通过平面滑动轴承相接触，通过安装于下平台上的柔性件支架，用弹性柔性件在三个方向把下平台和运动平台连接成一个整体；该运动平台和X向驱动凸轮、Y向驱动凸轮完全紧密地接触。
执行件支架分别安装于下平台上，Y向电机支架、X向电机支架分别安装于执行件支架上，Y向驱动凸轮和Y向驱动电机机械连接后安装于Y向电机支上；X向驱动凸轮和X向驱动电机机械连接后安装于X向电机支架上。
该X向驱动凸轮具有一组，该Y向驱动凸轮具有二组。
藉由上述结构，使本实用新型具有如下优点：
1、本实用新型的凸轮机构的明显优点是结构紧凑、结构简单，通过设计不同的升程曲线可以实现连续运动。随着现在加工技术及在线测量手段的不断提高，凸轮加工的精度得到了显著的提高，使得凸轮能实现高精度的运动驱动；本实用新型通过三点独立凸轮机构的布置，从而实现X、Y、φZ三个自由度方向运动。
2、本实用新型采用上、下两层运动平台结构，中间通过平面滑动轴承接触，比现有技术中通过三层运动的叠加的结构更为简单，平面滑动轴承的应用使结构紧凑，便于维护。
3、本实用新型采用柔性机构使运动趋于连续、平滑、无冲击、无阻滞。
附图说明：
图1是本实用新型一较佳实施例的立体结构示意图。
图2是图1中A-A方向剖视图。
图3是图1的俯视图。
图4是本实用新型的受力分析示意图。
具体实施方式：
请参阅图1-3，它们是本实用新型三自由度精密定位平台一较佳实施方式的结构示意图。如图所示：它由下平台1、运动平台2、弹性柔性件3、柔性件支架4、Y向执行件支架5、Y向电机支架6、Y向驱动凸轮7、Y向驱动电机8、X向驱动凸轮9、X向电机支架10、弹性柔性件11、X向驱动电机12、X向驱动凸轮13、X向电机支架14、X向执行件支架15、X向驱动电机16、弹性柔性件17、平面滑动轴承18等主要零件组成。
下平台1和运动平台2之间通过平面滑动轴承18相接触，通过安装于下平台1上的柔性件支架4，用弹性柔性件3、11、17在三个方向把下平台1和运动平台2连接成一个整体。在初始位置必须使弹性柔性件3、11、17有一定的预载荷，确保运动平台和Y向驱动凸轮7、X向驱动凸轮9、X向驱动凸轮13都能完全紧密地接触。
执行件支架5、15分别安装于下平台1上，Y向电机支架6、X向电机支架14分别安装于执行件支架5、15上，Y向驱动凸轮7和Y向驱动电机8机械连接后安装于Y向电机支架6上；X向驱动凸轮9和X向驱动电机12及X向驱动凸轮13和X向驱动电机16机械连接后安装于分别安装于X向电机支架10和X向电机支架14上。
请参阅图4，本实用新型有三条相对独立的运动执行链。
X向运动执行链，由下平台1、运动平台2、平面滑动轴承18、弹性柔性件3、11、17、柔性件支架4、X向驱动凸轮9、X向电机支架10、X向驱动电机12、X向驱动凸轮13、X向电机支架14、X向执行件支架15、X向驱动电机16组成。
X向运动可以得出力平衡方程：
F1x+F2x＝F3x+fx+Fcam2x+Fcam3x
Y向运动执行链，由下平台1、运动平台2、平面滑动轴承18、弹性柔性件3、11、17、柔性件支架4、Y向执行件支架5、Y向电机支架6、Y向驱动凸轮7、Y向驱动电机8组成。
Y向运动可以得出力平衡方程：
F1Y+F3Y＝F2Y+fy+Fcam1Y
φZ向运动执行链是X向运动执行链和Y向运动执行链的复合运动。
综上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用来限定本实用新型的实施范围。即凡依本实用新型申请专利范围的内容所作的等效变化与修饰，都应为本实用新型的技术范畴。

Claims (3)

1、一种三自由度精密定位平台，其特征在于：下平台和运动平台之间通过平面滑动轴承相接触，通过安装于下平台上的柔性件支架，用弹性柔性件在三个方向把下平台和运动平台连接成一个整体；该运动平台和X向驱动凸轮、Y向驱动凸轮完全紧密地接触。
2、根据权利要求1所述的三自由度精密定位平台，其特征在于：执行件支架分别安装于下平台上，Y向电机支架、X向电机支架分别安装于执行件支架上，Y向驱动凸轮和Y向驱动电机机械连接后安装于Y向电机支上；X向驱动凸轮和X向驱动电机机械连接后安装于X向电机支架上。
3、根据权利要求1或2所述的三自由度精密定位平台，其特征在于：该X向驱动凸轮具有一组，该Y向驱动凸轮具有二组。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101871549A (zh) * 2010-06-04 2010-10-27 上海理工大学 三自由度精密定位工作台
CN104742115A (zh) * 2015-01-19 2015-07-01 北京航空航天大学 一种具有远程转动中心的二自由度柔性平行对准装置
CN105171639A (zh) * 2015-08-14 2015-12-23 中国船舶重工集团公司第七一〇研究所 一种基于同步带的三自由度精密定位装置
CN107498878A (zh) * 2017-08-25 2017-12-22 苏州博众精工科技有限公司 一种自动补偿柔性机构

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101871549A (zh) * 2010-06-04 2010-10-27 上海理工大学 三自由度精密定位工作台
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CN104742115A (zh) * 2015-01-19 2015-07-01 北京航空航天大学 一种具有远程转动中心的二自由度柔性平行对准装置
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CN105171639A (zh) * 2015-08-14 2015-12-23 中国船舶重工集团公司第七一〇研究所 一种基于同步带的三自由度精密定位装置
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C17 Cessation of patent right
CX01 Expiry of patent term

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