CN2774616Y

CN2774616Y - 电子化学品颗粒控制过滤器

Info

Publication number: CN2774616Y
Application number: CN 200420059892
Authority: CN
Inventors: 杨晓红; 杨长青; 邹德强; 陶鹏; 刘永富
Original assignee: BEIJING INSTITUTE OF CHEMICAL REAGENTS
Current assignee: BEIJING INSTITUTE OF CHEMICAL REAGENTS
Priority date: 2004-05-28
Filing date: 2004-05-28
Publication date: 2006-04-26
Anticipated expiration: 2014-05-28

Abstract

本实用新型专利公开了一个电子化学品颗粒控制过滤设备。电子化学品颗粒控制过滤设备，由以下八个部分组成。一：电子化学品颗粒控制过滤器入口图中(1)、二：电子化学品颗粒控制过滤器外壳图中(2)、三：微孔过滤芯图中(3)、四：固定螺栓图中(4)、五：法兰盘图中(5)、六：四氟密封垫片图中(6)、七：放气孔图中(7)、八：电子化学品颗粒控制过滤器出口图中(8)等八部分组成。为了更好地控制电子化学品中的颗粒，这一实用新型电子化学品颗粒控制过滤器设计制造成为一个整体结构。电子化学品颗粒控制过滤器很容易与电子化学品生产系统连接，价格远低于进口产品，其效果优于进口产品。该装置可用于电子化学品(如：双氧水、盐酸、硫酸、氢氟酸、硝酸、氢氧化铵、甲醇、乙醇、丙酮、异丙醇、乙酸乙酯、乙酸丁酯)生产过程中的颗粒去除。

Description

电子化学品颗粒控制过滤器

技术领域

本实用新型涉及电子化学品的提纯，是电子化学品提纯设备，主要应用于微电子化学品制备过程中颗粒的去除。

背景技术

电子化学品作为清洗剂、缓冲剂、剥离剂、腐蚀液主要用于电子工业中抛光片、芯片、液晶生产过程中的清洗、蚀刻。

经过提纯的电子化学品中含有大量的颗粒杂质。但是，当含有颗粒杂质的电子化学品应用于微电子工业生产中时，会对其质量造成严重的影响，甚至于使产品报废，所以除去这些杂质十分重要。近年来，微电子工业飞速发展，集成度越来越高，对电子化学品中的颗粒去除的要求也越来越高。人们对去除颗粒开发了许多工艺和设备，但是都存在价格昂贵，不能重复使用等缺点。而且其过滤设备主要集中在几家国外公司的产品上，而国内尚无一种可用于电子化学品过滤的设备。

发明内容

在电子化学品中，颗粒是影响产品质量的重要因素。为了更好地解决颗粒问题，发明了本实用新型，从根本上解决了上述颗粒问题。可使电子化学品中颗粒达到SEMI-7标准中的规定。满足半导体工业生产的要求。该产品设计灵巧，全密封一体结构；所用材料全部经超净清洗、消毒，不会对电子化学品的生产造成任何污染。本实用新型入、出口均为螺纹式接口，易于和生产系统联接，拆卸更换十分方便。相对进口同类产品质优价廉，可完全替代进口产品，填补国内空白，是一种比较理想的电子化学品生产中颗粒去除装置。其主要技术方案是

本实用新型是一种电子化学品颗粒控制过滤器设备，其特征在于其由电子化学品颗粒控制过滤器入口(图4中1)、电子化学品颗粒控制过滤器外壳(图4中2)、微孔过滤芯(图4中3)、固定螺栓(图4中4)、法兰盘(图4中5)、四氟密封垫片(图4中6)、放气孔(图4中7)、电子化学品颗粒控制过滤器出口(图4中8)八部分组成；颗粒控制过滤器外壳上、下两端为螺丝联接；上端法兰密封联接；四氟密封垫片处于两法兰之间；入口和出口位于颗粒控制过滤器外壳两端或侧面；微孔过滤芯位于外壳中间；入、出口、中间的微孔过滤芯与外壳组成一个整体；颗粒控制过滤器上部有一个放气孔。

本实用新型电子化学品颗粒控制过滤器设备，其应用于电子化学品过滤、分装过程中的颗粒去除。

所述的电子化学品颗粒控制过滤器设备，其特征在于入口(图4中1)、出口(图4中8)为公制螺丝接口。

附图说明：

图1：电子化学品颗粒控制过滤器侧视图

图2：电子化学品颗粒控制过滤器顶面剖视图

图3：电子化学品颗粒控制过滤器底面剖视图

图4：电子化学品颗粒控制过滤器结构图

在图4中

1.电子化学品颗粒控制过滤器入口、

2.电子化学品颗粒控制过滤器外壳、

3.微孔过滤芯、

4.固定螺栓

5.法兰盘、

6.四氟密封垫片、

7.放气孔、

8.电子化学品颗粒控制过滤器出口等八部分组成

图5：电子化学品颗粒控制过滤器在线使用工艺流程图

在图5中：

1.半成品储槽

2.料液输送泵

3.安全阀

4.管线

5.电子化学品颗粒控制过滤器

6.成品储槽

具体实施方式

根据本实用新型工艺流程图(图5)，电子化学品颗粒控制过滤器结构图(图4)对电子化学品颗粒控制过滤器做详细具体实施方式描述如下：在图5(工艺流程)中5为一体化设计的整体结构。用户得到该产品后需用超净纯水清洗，再用相应的电子化学品进行浸润洗涤，接入生产系统即可使用。电子化学品颗粒控制过滤器应接在生产系统中图5的2之后，如有必要可在料液输送泵与电子化学品颗粒控制过滤器之间加装图5的3安全阀，在生产过程中如果电子化学品颗粒控制过滤器或其它的部分出现堵塞，安全阀会自动起动将电子化学品通过管线回送到图5中1半成品储槽，以防止管线或各部分的联接因系统压力过大而破裂造成人身伤害和安全事故。半成品电子化学品经泵压通过图4的1电子化学品颗粒控制过滤器入口(入口是螺纹口联接，螺纹公制英制均可，用户可根据自己的需要在购买电子化学品颗粒控制过滤器时定做接口的尺寸)进入图4的2电子化学品颗粒控制过滤器外壳体内，电子化学品经过图4的3微孔滤芯进入滤芯内部，颗粒被截留从而达到过滤的目的。过滤后的电子化学品经图4的8电子化学品颗粒控制过滤器出口通过管线流入工艺图5的6成品储槽。图4的7是放气孔，在电子化学品颗粒控制过滤器工作时由于各种原因会造成气体在电子化学品颗粒控制过滤器内的积累，应及时排放掉这部分气体，系统工作压力较小时可直接打开图4的7排放，但如果系统工作压力在0.3MPa以上时，应降低压力或停止泵工作再排放气体，避免造成电子化学品飞溅或人身伤害。

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作详细描述：

本实用新型公开了一个电子化学品颗粒控制过滤设备。它由电子化学品颗粒控制过滤器入口图4中1、电子化学品颗粒控制过滤器外壳图4中2、微孔过滤芯图4中3、固定螺栓图4中4、法兰盘图4中5、四氟密封垫片图4中6、放气孔图4中7、电子化学品颗粒控制过滤器出口图4中8组成。

图5的5是本发明电子化学品颗粒控制过滤器。它为一体化设计生产的过滤器。用户只要购买到电子化学品颗粒控制过滤器，根据自己的生产工艺状况，即电子化学品输送管线的口径制作接头接入系统，就可以正常使用了，还可以在电子化学品颗粒控制过滤器前加一个安全阀门。安全阀门的作用是电子化学品颗粒控制过滤器一旦出现堵塞，安全阀门会自动起动回流到半成品储槽，以防止电子化学品颗粒控制过滤器因压力过大损坏而出现危险。

Claims

1、一种电子化学品颗粒控制过滤器设备，其特征在于其由电子化学品颗粒控制过滤器入口(1)、电子化学品颗粒控制过滤器外壳(2)、微孔过滤芯(3)、固定螺栓(4)、法兰盘(5)、四氟密封垫片(6)、放气孔(7)、电子化学品颗粒控制过滤器出口(8)八部分组成；颗粒控制过滤器外壳上、下两端为螺丝联接；上端法兰密封联接；四氟密封垫片处于两法兰之间；入口和出口位于颗粒控制过滤器外壳两端或侧面；微孔过滤芯位于外壳中间；入、出口、中间的微孔过滤芯与外壳组成一个整体；颗粒控制过滤器上部有一个放气孔。

2、根据权利要求1所述的电子化学品颗粒控制过滤器设备，其特征在于入口(1)、出口(8)为公制螺丝接口。