CN2757327Y - X射线晶体定向仪 - Google Patents

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Abstract

本实用新型X射线晶体定向仪，包括有机台、X射线出射装置、射线接收装置、测角装置，测角装置(4)上的工作台装置(5)是由一对转辊托架构成，其一端下侧与测角装置的中心旋转轴固定连接，另一端下侧连接设有导轮(56)，在测角装置的箱壳(40)上设有与托板导轮(56)配合的弧形导轨。其承载能力强，晶体棒放置在转辊托架稳定安全，转动操作灵活方便准确，可充分满足对尺寸大、重量高的晶棒测定工作。

Description

X射线晶体定向仪
技术领域
本实用新型涉及的是半导体加工技术设备，特别是用于对晶体晶向测定的装置
背景技术
X射线晶体定向仪是一种利用X射线衍射原理来测定晶体的晶面取向。现有X射线晶体定向仪包括有机台、在机台内装有高压变压器装置和控制器装置、在机台上端设置安装有X射线出射装置、测角装置、射线接受装置构成。现有X射线晶体定向仪一般在机台上采用双向X射线出射装置，对称设置测角装置和射线接受装置，形成双工位的X射线晶体定向仪。现有技术X射线晶体定向仪其测角装置上的工作台是一普通平台，将晶体棒放在上面进行测量，测量调整并不方便，而且现如今单晶技术的发展，晶体棒尺寸已达到8″×700mm，重100kg，测角装置上的普通工作台已不能适应使用需求。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对现有技术的不足进行改进，提供一种改进的X射线晶体定向仪，以提高承载能力和操作灵活准确性，充分满足对尺寸大、重量高的晶棒测定和检测工作
本实用新型包括有机台1、在机台内装有高压变压器装置和控制器装置、在机台上端设置安装有X射线出射装置2、射线接收装置3、测角装置4构成，其特征是测角装置4上的工作台装置5是由托板50、通过支架相互平行转动安装在托板50上的一对转辊51、52，在其中一个转辊51的辊轴安装支架上设有辊轴锁紧装置54，托板50的一端下侧与测角装置4的中心旋转轴41固定连接，带动托板50旋转，托板50的另一端下侧连接设有托板导轮56，在测角装置4的箱壳40上表面上设有与托板导轮56配合的弧形导轨46；在机台1上采用双向X射线出射装置2，对称设置射线接收装置3和测角装置4，即形成双工位的X射线晶体定向仪。
本实用新型其工作台装置5承载能力强，工作时晶体棒7放置在两转辊51、52上稳定安全，晶体棒7转动操作灵活方便准确，通过转辊辊轴锁紧装置54便于对晶体棒7旋转后位置固定，可充分满足对尺寸大、重量高的晶棒测定工作。
附图说明
图1是本实用新型实施例结构示意图。
图2是图1的俯视图。
图3是图2的K向视图。
图4是图3的俯视图。
具体实施方式
本实用新型由机台1、在机台内装有高压变压器装置和控制器装置、在机台上端设置安装有X射线出射装置2、射线接收装置3、测角装置4构成，测角装置4上的工作台装置5是由托板50，通过支架53a、53b、53c、53d相互平行转动安装在托板50上的一对转辊51、52，在其中一个转辊51的辊轴安装支架53a上设有转辊辊轴锁紧装置54，托板50的一端下侧与测角装置4的中心旋转轴41固定连接，带动托板50旋转，托板50的另一端下侧连接设有托板导轮56，在测角装置4的箱壳40上表面上设有与托板导轮56配合的弧形导轨46；在机台1上采用双向X射线出射装置2，对称设置射线接收装置3和测角装置4，即形成双工位的X射线晶体定向仪；当另一侧工位上的测角装置4上的工作台托板50上的一对转辊51、52由U形夹台6替代时，即在一侧工位上的测角装置4上的工作台托板50上连接安装U形夹台6时，侧该工位形成检测工位，用于对经定向测定后，完成与料板粘接的晶棒进行检验。

Claims (3)

1、X射线晶体定向仪，由机台(1)、在机台内装有高压变压器装置和控制器装置、在机台上端设置安装有X射线出射装置(2)、射线接收装置(3)、测角装置(4)构成，其特征是：测角装置(4)上的工作台装置(5)是由托板(50)，通过支架相互平行转动安装在托板(50)上的一对转辊(51、52)，在其中一个转辊(51)的辊轴安装支架上设有转辊辊轴锁紧装置(54)，托板(50)的一端下侧与测角装置(4)的中心旋转轴(41)固定连接，托板(50)的另一端下侧连接设有托板导轮(56)，在测角装置(4)的箱壳(40)上表面上设有与托板导轮(56)配合的弧形导轨(46)。
2、根据权利要求1所述的X射线晶体定向仪，其特征是：在机台(1)上设置双向X射线出射装置(2)，对称设置射线接收装置(3)和测角装置(4)，形成双工位的X射线晶体定向仪。
3、根据权利要求1所述的X射线晶体定向仪，其特征是：在机台(1)上设置双向X射线出射装置(2)，对称设置射线接收装置(3)和测角装置(4)，其中一侧工位上的测角装置(4)上的工作台托板(50)上连接安装U形夹台(6)。
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