CN2667202Y - 单侧涡旋无油真空泵 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种单侧涡旋无油真空泵,主要包括有底座(1),排气口(2),进气口(4),定子涡旋盘(5),转子涡旋盘(6),防自转机构(7),支架(8)构成,特点是定子涡旋盘(5)为单侧定子涡旋盘,它和转子涡旋盘(6)的涡卷型线可以是圆的渐开线,也可以是由圆的渐开线和圆弧拼接而成;在转子涡旋盘(6)上带有一个由调节块(13)、滑动轴承(14)和偏心轴(9)组成的偏心量自动调节机构,在定子涡旋盘(5)的最内圈开设有一个气镇通道(5a),并装配有一个气镇阀装置,用于抽除可凝性气体;本实用新型由于结构的改进,其效果是:抽速较大,泵的体积小,可加工性强,制造成本低。
Description
所属技术领域
本实用新型涉及一种真空泵,特别是涉及一种单侧涡旋无油真空泵。
背景技术
当今,随着半导体、新材料、生物制药、食品加工、航空航天等行业的飞速发展,对于无油真空泵的需求量也越来越大。这是由于这种泵具有效率高、可靠性强、噪声低、重量轻、尺寸小和清洁无污染等优势,涡旋真空泵在各种形式的无油真空泵中更是受到青睐。
现在的涡旋真空泵都是双侧涡旋真空泵,主要由两个定子涡旋盘和一个转子涡旋盘构成,转子双侧有涡卷壁,其对称性要求很高,加工时定位难度很大。还有由于双侧涡旋真空泵的防自转机构采用曲柄销结构以及现有的涡旋真空泵都是采取标准的圆的渐开线,当要求抽速较大时,需要很多的渐开线圈数,所以造成上述这些结构的加工成本都是很高。另外现有的涡旋真空泵没有气镇装置,不能抽除可凝性气体。
发明内容
本实用新型的目的是为了克服现有技术所存在的缺陷,提供一种单侧涡旋无油真空泵,应用了组合曲线的涡卷型线,使内圈涡卷壁厚增大,有效地降低气体沿轴向间隙的反流,提高泵的极限真空度;设计一种偏心量自动调节机构,可使径向间隙达到最佳状态;采用单侧涡盘结构和新型的防自转机构,提高泵的可加工性,较大地降低加工成本。
本实用新型单侧涡旋无油真空泵,包括底座(1),排气口(2),进气口(4),定子涡旋盘(5),转子涡旋盘(6),防自转机构(7),支架(8),其要点是所设计的定子涡旋盘(5)为单侧定子涡旋盘,它和转子涡旋盘(6)的涡卷型线可以是圆的渐开线,也可以是由圆的渐开线和圆弧拼接而成;在转子涡旋盘(6)上带有一个由调节块(13)、轴承(14)和偏心轴(9)组成的偏心量自动调节机构,在定子涡旋盘(5)的最内圈开设有一个气镇通道(5a),并装配有一个气镇阀装置。
上述定子涡旋盘(5)与转子涡旋盘(6)为圆的渐开线和圆弧拼接而成的涡卷型线,且在拼接点的两种涡卷有共同的切线,以保证能实现啮合。该涡卷型线AB和CD两段为圆弧线涡卷,其余各段为圆渐开线涡卷。
圆渐开线方程是:x=a(cosφ+φsonφ)
y=a(sinφ-φcosφ)
AB段方程为:(x-xE)2+(y-yE)2=R1 2
CD段方程为:(x-xF)2+(y-yF)2=R2 2
为了使拼接点的两种涡卷有共同的切线,必须满足R1-R2=r,其中r为偏心轴偏心距。
定子涡旋盘(5)和转子涡旋盘(6)涡卷型线不完全对称,定子涡卷型线比转子涡卷型线的终止角大180°。这样的结构使最外层内腔和最外层外腔在圆一侧形成,从而只需要开设一个吸气口,简化了泵的结构。同时这种结构在满足抽气量的前提下,缩短了型线长度,从而减小了泵的体积。
本实用新型所带的偏心是自动调节机构,用于减小涡卷厚度加工误差产生的影响,使涡卷之间的径向间隙达到最佳状态。偏心量自动调节机构中,偏心轴(9)沿偏离径向β的方向被切去两块,调节块(13)套在曲柄销上,可以沿径向滑动,其外圆与滑动轴承(14)的内表面形成滑动配合。
本实用新型与已有技术相比具有显著的优点,并产生明显的效果:
a.本实用新型核心部件主要是一个定子涡旋盘和一个转子涡旋盘,定子和转子型线既可以采用圆的渐开线,也可以由不同性质的曲线拼接而成,如图2和图3所示。拼接型线的突出优点有两个:一是与标准圆的渐开线相比,这种型线的长度大大减小,因为该泵的很大一部分成本在于型线的加工,所以这种型线可以大大降低泵的造价;二是这种涡旋盘的涡旋壁并不是等厚的,而是外围较薄中心较厚,可以有效降低排气侧的反流,提高泵的极限真空。
b.本实用新型的转子和定子型线并非完全对称的结构,如图2和图3所求,定子涡旋盘(5)的型线比转子涡旋盘(6)的型线要长半圈,即定子型线的终展角比转子型线的终展角大180°。这种型线与完全对称的型线相比抽气量大,即在要求相同抽气量的时候,该型线需要较短的型线长度。
c.本实用新型设计了偏心量自动调节机构。因为径向间隙是气体泄漏的重要通道,径向间隙的大小在很大程度上决定了泵的极限真空度。以前的泵的曲轴偏心量是不可以调节的,所以为了保证径向间隙,要求涡卷壁厚的加工精度很高。本实用新型设计了偏心量自动调节机构,在涡旋盘加工好以后可以调节偏心量,以使径向间隙达到最佳状态。如图5所求,曲轴(9)沿偏离径向β被切去两块,形成调节块(13)沿径向运动的导向面。调节块套在曲柄销上,可以沿径向滑动,其外圆与滑动轴承(14)的内表面之间构成滑动配合。
d.本实用新型设计了气镇阀,如图7所示。在压力差的作用下,干燥气体可以推开钢球(3-5)进入排气腔,与排气腔内可凝性气体混合,以减小可凝性气体的分压,从而阻止其凝结。旋拧阀帽(3-2)可以调节阀用弹簧(3-6)的压缩量,以便根据实际情况调节气镇量。
e.本实用新型采用十字环结构作为防自转机构。如图8、图9所示,十字环的两侧分别有两个键,并且位于相互垂直的方向上。在泵的运转过程中,这四个键分别与动涡旋盘(6)和支架(8)上的滑槽构成摩擦面,从而使动涡旋盘(6)保持固定姿态绕定子涡旋盘(5)做公转运动。除了十字环结构,还可以采用圆柱销、球形连轴器等防自转机构。
附图说明
图1是本实用新型装配图;
图2是圆的渐开线型线啮合图;
图3是圆的渐开线和圆弧拼接线型线啮合图;
图4是图3组合曲线型线构成原理图;
图5是偏心量自动调节机构原理图;
图6是图5的俯视图;
图7是气镇阀装置结构图;
图8是十字环结构主视图;
图9是图8的俯视图;
图中:1底座,2排气口,3气镇阀组件,4吸气口,5定子涡旋盘,5a气镇通道,6转子涡旋盘,7十字环,7a、7b键,8支架,9偏心轴,10泵连轴器,11电机连轴器,12电机,13调节块,14滑动轴承,15密封圈,3-1O型圈,3-2阀,3-3橡胶垫,3-4阀嘴,3-5钢球,3-6阀用弹簧,3-7气镇阀杆,3-8O型圈。
具体实施方式
例1、结合上述图1-图9,阐述本实用新型的结构。支架(8)通过螺栓或焊接方法装配在底座(1)上,电机(12)通过联轴器(11)与泵联轴器(10)连接,联轴器(10)装配在偏心轴(9)上。偏心轴(9)通过滑动轴承(14)与转子涡旋盘(6)连接,使两者可以自由转动。为了实现偏心量自动调节,如图5、图6所示,将调节块(13)套在偏心轴(9)的曲柄销上,可以沿径向滑动,其外圆与滑动轴承(14)的内表面形成滑动配合,从而减小涡卷厚度加工误差产生的影响,使涡卷之间的径向间隙达到最佳状态;防自转机构采用十字环结构,是一个环形,在环面两侧各有两个对称的键(7a)和(7b)呈互相垂直排列,其中两个键(7a)与转子涡旋盘(6)上的键槽配合,另一面的两个键(7b)与支架(8)上的两个键槽配合。支架(8)与定子涡旋盘(5)通过螺栓连接,两者间通过密封圈(15)密封;所述的定子涡旋盘(5)和转子涡旋盘(6)是采用如图3所示的圆的渐开线和圆弧拼接线型线结构,这种结构圈数较少,内圈厚度增加,增强了内圈涡卷壁的强度,同时增大了轴向气体泄漏间隙的长度,减小了气体沿轴向的泄漏。为了防止泵内可凝性气体凝结,在定子涡旋盘(5)的最内圈处开设了气镇通道(5a),并且安装了气镇阀装置(3)。气镇阀装置的构成是由一个阀杆(3-7),在其上部内通道口中装有一个弹簧(3-6)和钢球(3-5),阀嘴(3-4)装配在钢球(3-5)之上,阀杆(3-7)上端外套有一个阀帽(3-2),阀帽(3-2)与阀嘴(3-4)间装有一个橡胶垫(3-3),阀嘴(3-4)与阀杆(3-7)通道间是通过O型圈(3-1)密封。当最内层压缩压力达到设定压力时,气镇阀自动打开,充入干燥惰性气体,防止可凝性气体凝结。
电机(12)通过联轴器(10)、(11)带动偏心轴(9)转动,偏心轴(9)驱动转子涡旋盘(6)的中心绕定子涡旋盘(5)的中心旋转。同时转子涡旋盘的运动还受到十字环的限制使其不能绕其中心作自转。转子涡旋盘(6)的平动使气体不断从涡旋壁外圈吸入内圈,并且从排气口(2)排出,当泵内压缩气体压力达到设定压力时,气镇阀自动打开,干燥的惰性气体充入泵腔以降低被抽气体的压强,有效的抽除水蒸气等可凝性气体。
本实用新型传动方式可以是电机与泵之间联接,也可以是电机通过皮带轮与泵联接,以满足不同工况要求。
例2、本例中单侧涡旋无油真空泵的结构均与例1相同;只有定子涡旋盘(5)和转子涡旋盘(6)采用如图2所示的圆的渐开线型线。
Claims (7)
1、一种单侧涡旋无油真空泵,包括底座(1),排气口(2),进气口(4),定子涡旋盘(5),转子涡旋盘(6),防自转机构(7),支架(8),其特征在于定子涡旋盘(5)为单侧定子涡旋盘,它和转子涡旋盘(6)的涡卷型线可以是圆的渐开线,也可以是由圆的渐开线和圆弧拼接而成;转子涡旋盘(6)带有一个由调节块(13)、滑动轴承(14)和偏心轴(9)组成的偏心量自动调节机构,在定子涡旋盘(5)的最内圈开设有一个气镇通道(5a),并装配有一个气镇阀装置。
2、按权利要求1所述的单侧涡旋无油真空泵,其特征在于所述的圆的渐开线和圆弧拼接成的涡卷型线,其AB和CD两段为圆弧线涡卷,其余各段为圆渐开线涡卷,方程是:
圆渐开线为:x=a(cosφ+φsonφ)
y=a(sinφ-φcosφ)
AB段方程为:(x-xE)2+(y-yE)2=R1 2
CD段方程为:(x-xF)2+(y-yF)2=R2 2
在拼接点的两种涡卷有共同的切线,必须满足R1-R2=r,其中r为偏心轴的偏心距。
3、按权利要求1或2所述的单侧涡旋无油真空泵,其特征在于所述的定子涡旋盘(5)和转子涡旋盘(6)的涡卷线不完全对称,定子涡卷型线比转子涡卷型线的终止角大180°。
4、按权利要求1所述的单侧涡旋无油真空泵,其特征在于所述的偏心量自动调节机构中偏心轴(9)沿偏离径向β的方向被切去两块,调节块(13)套在曲柄销上,可以沿径向滑动,其外圆与滑动轴承(14)的内表面形成滑动配合,滑动轴承(14)装在转子涡旋盘(6)上并随其一起作平动。
5、按权利要求1所述的单侧涡旋无油真空泵,其特征在于所述的气镇阀装置是由一个阀杆(3-7),其上部内通道口中装有一个弹簧(3-6)和钢球(3-5),阀嘴(3-4)装配在钢球(3-5)之上,阀杆(3-7)上端外套一个阀帽(3-2),阀帽(3-2)与阀嘴(3-4)间加有一个橡胶垫(3-3)构成。
6、按权利要求1所述的单侧涡旋无油真空泵,其特征在于所述的防自转机构是一个十字环结构,在环面两侧各有两个对称的键(7a)和(7b)又互相垂直排列。
7、按权利要求1或6所述的单侧涡旋无油真空泵,其特征在于十字环结构的防自转机构,是通过环面两侧各自的两个键(7a)和(7b)分别与转子涡旋盘(6)和支架(8)上相应的键槽形成滑动配合。
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