CN2507011Y - 阵列式红外气体传感器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种阵列式红外气体传感器,由一压板、气体特征波长窄带滤光片滤光片阵列、光锥阵列、光锥套、电路板、盖板和套管构成,由于采用双元型宽范围响应的热释电红外探测器,可以作为任意类型的红外气体分析器的探测部分,可同时测定多种气体组分,并大幅度地消除水汽的干扰,通过方便地更换传感器红外窗口波片,可实现对三十多种工业气体的定量与定性分析。本传感器采用单一+12V供电,输出多路伏级信号,在研制红外气体分析仪中通过适当地选择该系列中不同类型,可以大大提高红外气体分析仪器的分析能力、分析精度和性价比。
Description
一、技术领域
本实用新型涉及一种传感器,进一步涉及一种阵列式红外气体传感器。
二、背景技术
气体分析在地震预报、矿井安全、石油勘探、大气物理、医疗卫生、污染源监测、高压设备故障诊断、化工过程控制、冶金等传统工业乃至现在所有的新技术革命带头学科如生物科学、微电子学、新型材料等领域均有着越来越广泛的应用。
常用的气体分析传感器的方法有:
(1)电化学法,选择性好,精度高,但是寿命太短,一般三月到一年。
(2)色谱法(层析法),就是基于各种物理化学过程把待测气体组分分离检测,从而实现对待测气体的定性识别和定量分析,精度高,但是只能用于实验室,目前还没有走向现场应用。
(3)光学方法,包括:1)红外吸收和紫外吸收型,前者易受水分和二氧化碳干扰;后者受紫外发射光源的限制,不能探测某些易燃气体,如C2H2、C2H4;2)化学发光型,国外已有化学发光法NOx气体分析仪。3)紫外脉冲荧光型,国外已有紫外脉冲荧光SO2分析仪商品。
其中红外光学式应用最为引人注目,一直是的研究热点之一。红外光学式的特点:
1)能测量多种气体
除了单原子的惰性气体(Ar、Ne、He等)和具有对称结构元极性的双原子分子气体(如N2、H2、O2)外,大多数有机和无机多原子分子气体,如SO2、、O3、CO、CO2、HC、NOx、NH3、C2H2、CH4等烷烃、烯烃和其它烃类等都可用红外线分析器进行分析。
2)测量范围宽
红外线气体分析器能够分析气体的上限为100%,下限可PPM。
3)灵敏度高
红外线气体分析器有很高的检测灵敏度,气体浓度有微小的变化,仪器都能分辨出来。
4)精度高
红外线气体分析器的精度一般都是3-5级,目前国外比较好的仪器有2级的,也有优于1级的。与其它的分析手段相比较。它的精度比较高稳定性好。
5)响应快
反应90%值的时间一般可在10s以内,与其它分析手段相比较要快好几倍。
6)红外线分析器有良好的选择性(有很高的选择性系数)
特别适于对多组分气体混合气中某一待分析组分的测定,而且当混合气中一种或几种组分的浓度发生变化时,并不影响待分析组分的测量。
7)可靠性高,寿命长。
8)可实现连续分析和自动控制。
正是由于以上特点,红外气体分器在石油化工生产工艺流程、机械工业热处理工序、易燃易爆的危险场所(厂房、仓库、船舱、击区、油井等地方的甲烷、乙烷、乙炔、乙烯、丙烯、甲醉、乙醇、丙酮、苯、汽油、市用煤气等)气体浓度监视或报警、工业窑炉的燃烧效率的控制、大气中的SO2、、O3、CO、NH3、烃类及某些有毒气体的含量进行监测、原子能发电站中测量反应堆循环气体中的水蒸汽、CO、CO2、研究作物生长情况、对汽车排气中的CO、CO2、HC、SO2、NOx的浓度进行测定等方面具有十分广泛的应用。
特别是作为污染源连续监测系统(CEMS)中核心部分:红外分析单元,更是发挥了独特的作用。烟囱烟道的废气成份具有时变性、组分浓度和流速大小随机、烟油污染、温度变化范围大等恶劣条件,使得其他测量方法无法实现在线测量。法国ESA公司的固定源CEMS采用MIR 9000型GFC红外多气体分析仪可同时分析1~10种气体;法国OLDHAM公司的E6200型CEMS采用E6200采用红外线直接测量法可测SO2、CO2、NOx、NO、NO2、HCl、CO、CH4、NH3、HC、H2O;英国XENTRA4900型CEMS采用非分散红外线法测NO、SO2、CO2、CO;日本HORIBA公司的ENDA-600型系列CEMS采用非分散红外线法NOx、SO2、CO2、CO。
红外气体分析仪从物理特征分为分光型和不分光型(非分散)两种。分光型是借助分光系统分出单色光,使通过介质层的红外线波长与被测组分的特征吸收光谱相吻合。探测器头均采用宽范围响应的热辐射探测器、光电导检测器,分析能力强,但是分光系统复杂,多用于实验室目前还不能走向现场。不分光型指光源的连续光辐射全部投射到样品上,样品对红外辐射具有选择性吸收和积分性质,同时采用与样品具有相同吸收光谱的检测器(微音电容探测器)来测定样品对红外光吸收量。不分光型功能单一,但比较可靠,多用于工业现场。一般采用气体相关技术或滤波气室等方法消除背景气体干扰。微音探测器缺点在于功能单一,结构复杂,维护困难。
三、发明内容
针对上述传统红外分析器存在的问题或不足,本实用新型的目的是提供一种阵列式红外气体传感器及其系列。
本实用新型结合分光型仪器高精度、高选择性和不分光型仪器的可靠结构特点,采用滤波片阵列、光锥阵列、热释电探测器阵列集成结构,使得探测器具有分光选择性和维护方便性。主要用于工业现场作为红外分析器的核心部件,可以解决气体交叉敏感、水气、系统、背景等噪声干扰等传统红外分析仪器难以克服的问题。通过适当选择滤光片波长,可以实现红外区域的DOAS(DifferentialOptical Absorption Spectroscopy),当代最新监测技术的代表技术:开放式差分红外吸收光谱法(DOAS)技术为基础研制局域环境多组分有害气体(SO2,NO,NO2,CO,CO2,CH,O3等)的在线连续监测系统。
为了实现上述目的,本实用新型采取的技术方案是(以六组分气体测定为例):该传感器由一带有固定孔的压板1,一气体特征波长窄带滤光片滤光片2,用以分别接收不同特征波长红外线的光锥3和用于放置若干个光锥的光锥套4,一电路板5,盖板6和套管7;压板1通过周边四个螺栓与光锥套4连接,光锥3通过过渡配合安装在光锥套4的台阶孔中,电路板5上焊接有若干组双元型热释电红外探测器、电阻和电容,和两片LM324集成放大器,装配在光锥套4的台阶小孔中,与前端光锥3对应,所有电子元器件均采用表贴元件,元件及其焊点均在电路板后端面;由套管7与盖板6隔开,通过螺栓把盖板6、电路板5、光锥3紧固连接;电路板5上的电源线与信号输出线采用屏蔽电缆线由盖板6的中心孔引出。
本实用新型的其他一些特点是,气体特征波长窄带滤光片阵列2采用大于2个的组合,不同波长的滤光片组合可以实现多种不同气体的同时测定。
所述光锥阵列3采用大于2个组合,通过过渡配合安装在光锥套4的台阶孔中,所述光锥套4放置有光锥,所述电路板5上对应焊接了双元型热释电红外探测器、电阻和电容以及放大器。
该传感器是工业红外气体分析仪器的核心部件,由于采用双元型热释电红外探测器,可以作为任意类型的红外气体分析器的探测部分。可同时测定若干种(根据不同红外气体分析器在该系列中选择)气体组分,并大幅度地消除水汽的干扰。通过方便地更换传感器红外窗口波片,可实现对三十多种工业气体的定量与定性分析。本传感器采用正负12V供电,输出7路伏级信号,在研制红外气体分析仪中通过适当地选择该系列中不同类型,可以大大提高红外气体分析仪器的分析能力、分析精度和性价比。
四、附图说明
图1是本实用新型的结构剖面图;
图2是本实用新型结构剖面图的俯视图;
图3是本实用新型的压板结构图;
图4是本实用新型的滤光片结构图;
图5是本实用新型的光锥结构图;
图6是本实用新型的光锥套结构图;图6a为主视图,图6b为俯视图;
图7是本实用新型的盖板结构图;
图8是本实用新型电路板的电路原理图;
图9是本实用新型在红外气体分析器中典型应用图。
五、具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
实施例:参见图1~8,传感器结构(以六组分气体传感器为例)
阵列式红外气体传感器装配图图1a结构剖面图中
组件1为压板,材料为塑料ABS,厚度0.2mm。通过周边四个M2螺栓与光锥套组件4连接,目的为压紧滤光片。
组件2为待测气体特征波长窄带滤光片(半带宽0.05um,透过率大于80%),平放在光锥组件3端部的沉孔中,与光锥3是间隙配合。当需要测量不同气体时,拧下螺栓,去掉压板1,更换特征波长滤光片。
组件光锥套4材料为合金铝。
组件电路板5上焊接了7个双元型热释电红外探测器,装配在光锥套台阶小孔中,与前端光锥对应,用以分别接收不同特征波长红外线。其它所有电子元器件均采用表贴元件,元件及其焊点均在电路板后端面。由套管7与后盖板隔开,通过螺栓把盖板、电路板、光锥紧固连接。
组件盖板6材料为合金铝,中间开空便于引出线,并且有屏蔽电磁干扰作用。
电路原理图中的R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、为10k精密电阻(0.1%,25ppm),类型为表贴元件。Q1、Q2、Q3、Q4、Q5、Q6、Q7为GL202热释电探测器,C1、C2、C3、C4、C5、C6 C7为0.01uF的电容;IC1A、IC1B、IC1C、IC1D、IC2A、IC2B、IC2C为LM324的放大器;电源线(正负12V和地线)与7根信号输出线采用一根10芯屏蔽电缆线由盖板6中心孔引出。
如说明书附图中的图9所示,在使用过程中,可同时测定六种(根据不同红外气体分析器在该系列中选择)气体组分,也可根据实际进行组合,采用不同波长的滤光片组合可以实现多种不同气体的同时测定,光锥阵列也可采用组合,与滤光片组合对应。通过过渡配合安装在光锥套4的台阶孔中,光锥套4放置有光锥,电路板5上对应焊接了双元型热释电红外探测器、电阻和电容以及放大器。
通过选用水分特征吸收滤光片,将其它路信号与该路信号差分输出,可以大幅度地消除水汽的干扰。通过方便地更换传感器红外窗口波片,可实现对三十多种工业气体的定量与定性分析。本传感器采用正负12V供电,输入2~15um的10赫兹左右调幅调制红外线,输出7路伏级信号,在研制红外气体分析仪中通过适当地选择该系列中不同类型,本结构可以简化放大电路,降低信号处理的难度。可以大大提高红外气体分析仪器的分析能力、分析精度和性价比。
本实用新型是今后30-50年的主流技术和替代技术现场应用核心部分硬件实现,即当代最新监测技术的代表技术:开放式差分红外吸收光谱法(DOAS)技术为基础研制局域环境多组分有害气体(SO2,NO,NO2,CO,CO2,CH,O3等)的在线连续监测系统。可用于污染源、环境污染气体、固定污染源治理过程有害气体的在线监测。消除因开放光路非待测大气成份强背景干扰的;消除气体温度变化、压强变化、CO2、水汽温度变化干扰影响,而消除CO2、水汽干扰的常规方法是采用加热、过滤措施对被测气体导样管预处理。
Claims (3)
1.一种阵列式红外气体传感器,其特征在于,包括一带有固定孔的压板[1],若干气体特征波长窄带滤光片阵列[2],用以分别接收不同特征波长红外线的光锥阵列[3]和用于放置若干个光锥的光锥套[4],一电路板[5],一个盖板[6]和四个套管[7];压板[1]通过周边四个螺栓与光锥套[4]连接,光锥[3]通过过渡配合安装在光锥套[4]的台阶孔中,电路板[5]上焊接有若干组双元型热释电红外探测器、电阻、电容、集成放大器,热释电红外探测器装配在光锥套[4]的台阶小孔中,与前端光锥[3]对应,所有电子元器件均采用表贴元件,元件及其焊点均在电路板后端面;由套管[7]与盖板[6]隔开,通过螺栓把盖板[6]、电路板[5]、光锥[3]紧固连接;电路板[5]上的电源线与信号输出线采用屏蔽电缆线由盖板[6]的中心孔引出。
2.根据权利要求1所述的阵列式红外气体传感器,其特征在于,所述气体特征波长窄带滤光片阵列[2]采用大于2个的组合,不同波长的滤光片组合可以实现多种不同气体的同时测定。
3.根据权利要求1所述的阵列式红外气体传感器,其特征在于,所述光锥阵列[3]采用大于2个组合,通过过渡配合安装在光锥套[4]的台阶孔中,所述光锥套[4]放置有光锥,所述电路板[5]上对应焊接了双元型热释电红外探测器、电阻和电容以及放大器。
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