CN2450651Y - 一种双杯电容压力传感器 - Google Patents
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Abstract
一种双杯电容压力传感器属于传感器技术领域,采用双杯双岛上举复合结构,主要解决传感器零压时上下电容间距很难保证一致、引线困难、被测介质与电容极板接触的问题。
Description
本实用新型涉及一种微机械双杯平面复合差动电容压力传感器。
目前国内外已有的微机械差动压力传感器基本类型是：1、三明治式岛膜结构，其工作原理是当压力从上部加入，使岛下移，改变上下电容C1、C2间距，改变电容量C1-ΔC、C2+ΔC，形成差动电容输出；2、中央上举开放式差动电容压力传感器结构，其工作原理是压力从下部加入，将岛上举，在岛上固定的中央电极被推上举从而改变上下电容C1、C2间距，从而改C1+ΔC、C2-ΔC电容量，构成差动结构，形成差动电容输出；现有的微机械差动压力传感器的差动方法采用的是纵向差动，它们的缺点是，零压时上下电容间距很难保证一致，且电容C1和C2也很难做到相等。
本实用新型的目的就是提供一种开放式结构、电容C1和C2相等的一种双杯电容压力传感器。
本实用新型的技术构思是一种双杯电容压力传感器包括带引压管1的基座17、带通道孔2、左杯3、膜4、岛5、膜12、岛13和右杯14的基体18、电容C115的下电极6、电容C115的上电极7、电容C216的上电极10、电容C216的下电极11、电容C115的上电极固定板8和电容C216的上电极固定板9；电容C115的上电极7与电容C115的上电极固定板8连结，电容C115的下电极6与岛5连结，电容C115的上电极固定板8与基体18连结；电容C216的上电极10与电容C216的上电极固定板9连结，电容C216的下电极11与基体18连结，电容C216的上电极固定板9与岛13连结；基体18与基座17连结。压力从引压管1加入，经通道孔2分流进入左杯3和右杯14，使膜4和膜12同时上移，推动岛5和岛13同时上移，改变C115、C216电极板的间距，使C1+ΔC、C2-ΔC，形成电容量的差动变化。
本发明的效果是，开放式结构，引线方便，利于产品化；平面差动，电容C1、C2的极板间距用微机械加工，同时完成，容易做到间距的一致性。其电容面积靠设计电容尺寸来保证。有利于产品化，可大大提高生产效率。
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明，
图1是一种双杯电容压力传感器的示意图，
弹性体以n型晶向单晶硅为基体18，其厚度为300μm，长为10μm，宽为8μm，用微机械加工成左杯3和右杯14，杯深200μm；再在上面腐蚀出通道孔2、膜4、膜12、岛5、岛13，膜厚40μm，电容15和电容16的电极板间距为10μm，基座17玻璃制成，其引压孔2直径为3mm，电容C115上电极固定板基体材料由玻璃制成，其尺寸长为8mm，宽为4mm，厚为300μm，电容C216上电极固定板基体材料由玻璃制成，其尺寸长为8mm，宽为4mm，厚为200μm，电容15和电容16在没受压力时为10pf，受压力变化为电容15和电容16的10％-30％FS。
本实用新型可测流体压力，也可测液位高度。经局部改造还可测固体压力。
Claims (1)
1、一种双杯电容压力传感器包括带引压管(1)的基座(17)、带膜(12)、岛(13)和右杯(14)的基体(18)、电容(16)的上电极(10)、电容(16)的下电极(11)、电容(16)的上电极固定板(9)，电容(16)的上电极(10)与电容(16)的上电极固定板(9)连结，电容(16)的下电极(11)与基体(18)连结，电容(16)的上电极固定板(9)与岛(13)连结；基体(18)与基座(17)连结，其特征在于，本实用新型还包括通道孔(2)、左杯(3)、膜(4)、岛(5)、电容(15)的下电极(6)、电容(15)的上电极(7)、电容(15)的上电极固定板(8)，电容(15)的上电极(7)与电容(15)的上电极固定板(8)连结，电容(15)的下电极(6)与岛(5)连结，电容(15)的上电极固定板(8)与基体(18)连结。
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|---|---|---|---|
| CN 00253179 CN2450651Y (zh) | 2000-11-23 | 2000-11-23 | 一种双杯电容压力传感器 |
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| CN 00253179 CN2450651Y (zh) | 2000-11-23 | 2000-11-23 | 一种双杯电容压力传感器 |
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| Publication Number | Publication Date |
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| CN2450651Y true CN2450651Y (zh) | 2001-09-26 |
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ID=33610681
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| CN (1) | CN2450651Y (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103162894A (zh) * | 2013-01-14 | 2013-06-19 | 楚雄师范学院 | 一种电容压力传感器 |
| CN104062044A (zh) * | 2013-03-20 | 2014-09-24 | 北京大学 | 一种微机械差分电容式压力计 |
| CN105241584A (zh) * | 2015-10-14 | 2016-01-13 | 华东光电集成器件研究所 | 一种电容式压力传感器 |
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2000
- 2000-11-23 CN CN 00253179 patent/CN2450651Y/zh not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| CN103162894A (zh) * | 2013-01-14 | 2013-06-19 | 楚雄师范学院 | 一种电容压力传感器 |
| CN104062044A (zh) * | 2013-03-20 | 2014-09-24 | 北京大学 | 一种微机械差分电容式压力计 |
| CN105241584A (zh) * | 2015-10-14 | 2016-01-13 | 华东光电集成器件研究所 | 一种电容式压力传感器 |
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