CN2420656Y - 亚微米光刻物镜的调整固定结构 - Google Patents

亚微米光刻物镜的调整固定结构 Download PDF

Info

Publication number
CN2420656Y
CN2420656Y CN 00222706 CN00222706U CN2420656Y CN 2420656 Y CN2420656 Y CN 2420656Y CN 00222706 CN00222706 CN 00222706 CN 00222706 U CN00222706 U CN 00222706U CN 2420656 Y CN2420656 Y CN 2420656Y
Authority
CN
China
Prior art keywords
lens
lens barrel
adjusting
lens frame
barrel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN 00222706
Other languages
English (en)
Inventor
陈旭南
姚汉民
魏全忠
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Institute of Optics and Electronics of CAS
Original Assignee
Institute of Optics and Electronics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Institute of Optics and Electronics of CAS filed Critical Institute of Optics and Electronics of CAS
Priority to CN 00222706 priority Critical patent/CN2420656Y/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN2420656Y publication Critical patent/CN2420656Y/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Lens Barrels (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种亚微米光刻物镜的调整固定结构,它克服了现有光刻物镜结构不能进行轴向和径向位置调整,因此调整精度低的缺点。该结构由多节镜筒用连接件依次连接而成,镜筒中各个带有光学透镜元件的透镜框组件,分别单独安装在内侧壁各自对应的台阶上,能依次逐个逐节装调固定,后调整透镜框组件不会影响前已调整固定好的透镜框组件位置精度,从而具有调整固定精度高又长期稳定不变的特点。

Description

亚微米光刻物镜的调整固定结构
本实用新型是一种亚微米光刻物镜的调整固定结构,属于亚微米光刻物镜高分辨力成像技术领域。
亚微米光刻物镜是亚微米分步重复投影光刻机的关键核心部件,它决定光刻机的光刻分辨力,随着IC技术的发展,光刻物镜的工作波长逐步缩短,数值孔径大幅度增大,要求在装配时各透镜元件间隔,以及中心偏差调整精度不断提高,因此对它的调整固定结构也提出了愈来愈高的要求。现有低分辨力物镜所采用的结构,一般都是采取把预先对心好带有光学透镜的单个透镜框组件,一个接一个装在一个长镜筒中,然后一同压紧,透镜框组件一般具有相同的外径,这种结构不能进行轴向和径向位置调整,因此装调精度低,已不能适应高分辨力光刻物镜的光学透镜元件调整固定要求。
本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足,而提供一种能方便进行物镜各透镜元件的间隔和中心偏差调整固定,并且精度高,同时又长时间稳定可靠的亚微米光刻物镜调整固定结构。
本实用新型的目的可以通过以下技术措施实现:光刻物镜由镜筒内安装带有光学透镜元件的透镜框组件构成,其整个镜筒由多节镜筒用连接件依次连接而成,镜筒中的各个透镜框组件分别单独安装在镜筒内侧壁各自对应的台阶上,镜筒外装有经过精密恒温的水套。
本实用新型也可以由以下技术措施实现:光刻物镜镜筒由可依次从下到上逐节装配调整至少三节镜筒用连接件依次连接而成,方便各光学透镜元件取装和间隔调整测量。
本实用新型还可以通过以下技术措施实现:镜筒内侧壁上独立安装的透镜框组件,其光学透镜元件位置调整固定,由修研透镜框端面和螺钉顶紧完成,透镜框被顶紧面为锥面,锥面的锥角为10°-150°,正对每组透镜框锥面的顶紧用螺钉至少有4个,呈圆周对称分布,镜筒和镜框的材料为铁镍合金。
本实用新型与现有技术相比具有以下优点:
1、亚微米光刻物镜的镜筒分多节,能依次逐节装配调整,从而方便了各透镜框组件的装取和间隔测量调整操作。
2、每个透镜框组件单独固定在镜筒内侧壁的一个台阶上,实现了单个透镜元件调整又同时得到固定,不会破坏前已调整固定好的透镜框组件位置精度,克服了多个透镜框组件同时固定时精度变坏现象。
3、镜筒和镜框采用温度系数小的铁镍合金材料,并且在调整固定后加胶粘封,使调整固定精度长期稳定不变。
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明:
图1为亚微米光刻物镜调整固定结构的总装图。
图2为物镜透镜框组件的结构放大图。
如图1所示:光刻物镜镜筒由镜筒3、镜筒7、镜筒11和镜筒17用连接件依次连接而成,支撑光刻物镜的法兰包含在镜筒11中,在镜筒的外面密封套装了恒温上水套21和下水套23,套内均通有经过精密恒温的洁净循环水,上下两水套使镜筒、透镜框和光学透镜元件恒温,而且使镜筒内部与外界大气隔绝,可提供进行内部恒气压控制。透镜框组件1、2、4、5、6、8、9、10、12、13、14、15、16、18、19等分别单独安装在镜筒内侧壁各自对应的台阶上,各透镜框组件中光学透镜元件的间隔和中心偏差位置,由修研透镜框组件压紧端面28(见图2)以及通过螺钉29顶紧来调整,因为螺钉顶紧的是透镜框外锥面,所以在调整顶紧的同时也得到压紧固定,使光学透镜元件达到了高精度间隔和高精度中心偏差的调整固定要求。掩模20上的掩模图形,通过光刻物镜成像于硅片面24上,达到了0.5-0.7μm的亚微米光刻分辨力。
如图2所示:各透镜框组件由各自的透镜框25、光学透镜元件27和压圈26组成,各自的光学透镜元件27被各自的透镜框25和压圈26固定,并用胶粘牢,螺钉29与各透镜框接触的顶紧表面为锥面,其锥角θ均为10°-150°。各节镜筒和各个透镜框选用铁镍(含Ni量为35%-65%)低膨胀合金材料。调整结束后又在各透镜框与镜筒间加胶封,并且由于螺钉29所施的顶紧力作用在各透镜框上,光学透镜元件没有受到顶紧力,不会产生变形,所以各光学透镜元件的位置不会改变,光学透镜元件的面形等光学质量也不会改变,使达到整个光学系统光学性能质量好,并且稳定不变。

Claims (3)

1、一种亚微米光刻物镜的调整固定结构,由镜筒内安装带有光学透镜元件的透镜框组件构成,其特征在于:其镜筒由镜筒(3)、镜筒(7)、镜筒(11)、镜筒(17)用连接件依次连接而成,镜筒中的各个透镜框组件(1)、(2)、(4)、(5)、(6)、(8)、(9)、(10)、(12)、(13)、(14)、(15)、(16)、(18)、(19)分别单独安装在镜筒(3)、镜筒(7)、镜筒(11)和镜筒(17)内侧壁各自对应的台阶上,镜筒外装有经过精密恒温的上水套(21)和下水套(23)。
2、根据权利要求1所述的亚微米光刻物镜调整固定结构,其特征在于光刻物镜镜筒由可依次从下到上逐节装配调整的镜筒(3)、镜筒(7)、镜筒(11)和镜筒(17)至少三节用连接件依次连接而成。
3、根据权利要求1或2所述的亚微米光刻物镜调整固定结构,其特征在于在镜筒内侧壁上独立安装的透镜框组件,其光学透镜元件位置调整和固定,由修研透镜框端面(28)和螺钉(29)顶紧完成,透镜框被顶紧面为锥面,锥面的锥角θ为10°-150°,正对每组透镜框锥面的顶紧用螺钉(29)至少有4个,呈圆周对称分布,镜筒和镜框的材料为铁镍合金。
CN 00222706 2000-04-05 2000-04-05 亚微米光刻物镜的调整固定结构 Expired - Fee Related CN2420656Y (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 00222706 CN2420656Y (zh) 2000-04-05 2000-04-05 亚微米光刻物镜的调整固定结构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 00222706 CN2420656Y (zh) 2000-04-05 2000-04-05 亚微米光刻物镜的调整固定结构

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN2420656Y true CN2420656Y (zh) 2001-02-21

Family

ID=33587385

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 00222706 Expired - Fee Related CN2420656Y (zh) 2000-04-05 2000-04-05 亚微米光刻物镜的调整固定结构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN2420656Y (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101548874B (zh) * 2004-07-05 2011-02-09 奥林巴斯医疗株式会社 电子内窥镜
CN103246041A (zh) * 2013-05-15 2013-08-14 河南平原光电有限公司 一种物镜装配工艺

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101548874B (zh) * 2004-07-05 2011-02-09 奥林巴斯医疗株式会社 电子内窥镜
CN103246041A (zh) * 2013-05-15 2013-08-14 河南平原光电有限公司 一种物镜装配工艺

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4548480A (en) Projection lens apparatus
CN100517737C (zh) 影像感测器封装结构
CN201344989Y (zh) 光学镜头及镜头组
CN100430856C (zh) 电压产生器、集成电路、和产生参考电压的方法
CN2420656Y (zh) 亚微米光刻物镜的调整固定结构
DE69506664D1 (de) Hülse zur Befestigung eines durch Hand zu betätigenden Pumpenaggregates auf eine Glasflasche
WO2020038162A1 (zh) 多群组光学镜头的装配方法及摄像模组
CN207133490U (zh) 一种透镜的定中装置
CN108089277A (zh) 光学透镜支撑结构
CN100373201C (zh) 微型光学系统
CN208046751U (zh) 一种摄像头模组及电子终端
CN111025610A (zh) 一种小变焦、大像面、大光圈的光学系统
CN116699927B (zh) 一种碳化硅主镜和基板一体化的遥感相机
CN110346918B (zh) 一种低畸变线扫镜头
JPH11344657A (ja) レンズの組立体及びその組立方法
WO2020200309A1 (zh) 光学镜头及成像设备
CN106370957B (zh) 一种双针式光敏电阻检测机构
CN110426824A (zh) 一种人脸识别光学镜头
CN2432594Y (zh) 亚半微米光刻物镜的恒温水套
CN209690607U (zh) 一种小型化长工作距离的物方远心光学系统
CN109633875B (zh) 一种可连续变倍的远心镜头
CN102707414A (zh) 光刻投影物镜
CN218822563U (zh) 计量仪表
CN212341021U (zh) 一种硅片晶花检测系统
CN106772906A (zh) 一种光学镜头座

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C19 Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee