CN2323466Y - 简易激光光束扫描器 - Google Patents
简易激光光束扫描器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN2323466Y CN2323466Y CN 98213880 CN98213880U CN2323466Y CN 2323466 Y CN2323466 Y CN 2323466Y CN 98213880 CN98213880 CN 98213880 CN 98213880 U CN98213880 U CN 98213880U CN 2323466 Y CN2323466 Y CN 2323466Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- eccentric wheel
- fork
- motors
- fulcrum
- speculum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 210000001320 hippocampus Anatomy 0.000 claims description 4
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 238000004549 pulsed laser deposition Methods 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000737 Duralumin Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 230000011514 reflex Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910021521 yttrium barium copper oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
本实用新型涉及在激光淀积镀膜设备中用的简易激光光束扫描器。本实用新型由在底座的一边台面上顺序固定两个马达,一个“
”形支架,一个支轴通过转轴连接的支架,并在支架上固定一可调节角度的反射镜,其特征在于:还包括一根摆杆,摆杆一端安装在马达上的竖直偏心轮和水平偏心轮上,另一端固定在反射镜与支轴中间:“”形支架与摆杆之间立置一弹簧,两个马达通过导线联接在调压电源组成。
Description
本实用新型涉及激光扫描技术领域，特别是涉及一种用在激光淀积镀膜设备中的简易激光光束扫描器。
目前，在激光淀积镀膜系统中使用光束扫描器解决膜厚的均匀性和靶材的充分利用这两个问题。
激光偏转扫描方法基本上可分为机械偏转扫描、电光偏转扫描、声光偏转扫描和全息扫描四类。以往在激光镀膜技术中所采用的方法有旋转多面镜(简称转镜扫描)、检流计扫描器和谐振镜扫描器等等，其中转镜扫描器在文献〔1〕《激光扫描和光盘技术》，王本，沈树群编著，北京邮电学院出版社1990.12，和文献〔2〕《激光器件与技术教程》，徐荣甫，刘敬海编著，北京工业学院出版社1986.6中介绍：它主要由多面转镜、马达和驱动器组成，马达由控制系统来驱动。具有N个面的转镜扫描角度用下式表示
ψ=720°/N=4π/N弧度(N＞2)。显然，其扫描角度是固定的，不能连续调节，需要改变时只能更换多面棱镜，而棱镜加工起来不方便，成本也高；另外，对脉冲激光光束扫描，需要把棱镜转速调节到使脉冲激光不落在转镜的棱上，这样，每次在改变脉冲激光的频率时，也要调节驱动器来使马达得到合适的转速，这显然是不方便的，尤其是调节两个转镜的二维扫描器。又如文献〔1〕介绍的谐振镜扫描器主要由反射镜、平衡的扭力杆和电感转矩驱动部分以及扫描器电路组成。它存在参数多，调节麻烦，驱动电路复杂等缺点。
综上所述，这几种装置虽然有许多优点，但对于激光淀积镀膜的使用要求来说，存在结构较复杂、加工难度较大、成本也较高、调节不方便，其中检流计扫描器和谐振镜扫描器用到与之配套的结构较复杂的外电路，这更增加了装置的复杂性。
本实用新型的目的在于克服上述已有设备结构复杂、加工难度大、成本高及扫描角度不能连续可调的缺点，为了降低成本和使用方便，从而提供一种适用于激光法制备大面积薄膜系统中的简易激光光束扫描器。
本实用新型的目的是这样实现的：
本实用新型提供的简易激光光束扫描器，包括在底座的一边台面上顺序因两个马达，一个
形支架，一个支轴通过转轴连接的支架，并在支架上固定一可调节角度的反射镜，其特征在于：还包括一根摆杆，摆杆一端安装在马达上的竖直偏心轮和水平偏心轮上，另一端固定在反射镜与支轴中间；
形支架与摆杆之间立置一弹簧，两个马达通过导线联接在调压电源组成。其中竖直偏心轮做成下托沿的一周有三个幅度为1mm的周期性起伏，托沿上为椭园形轮。
反射镜的高低可由调节螺丝调节，仰角由底座的支脚调节。水平摆动由水平偏心轮和相应马达提供，上下摆动由竖直偏心轮和相应马达提供。反射镜底座固定在转轴承座板上，而转轴座板套在轴承上，轴承又通过其内环套在下边的支轴上，这使之可水平自由摆动；支轴与支架以转轴相连，这使反射镜可上下自由摇摆。
两马达接到电压可独立调节的电源上，调节电压可得到不同转速，这样就实现了水平一竖直两方向的摇摆频率的不同组合，从而使反射光在二维平面内扫描。
扫描范围的大小由移动马达的位置使摆杆的有效臂长改变而得以调节。当反射镜到靶的距离过长，扫描范围过大时，可由更换偏心度较小的偏心轮而得以调节。
本装置的用法很简单：先确定扫描器在光路中的位置，量出扫描器的反射镜到靶的距离D，再由已知的两偏心轮推动摆距Δx、Δy和所需用的扫描范围ΔX、ΔY，计算出所需的有效臂长Lx、Ly，最后调节马达位置，使满足有效臂长，并细调扫描器，使光路满足要求。有效臂长可由简单的几何关系得到：
ΔX=2×Δx/Lx×D
ΔY=2×Δy/Ly×D
本装置只要去掉竖直方向的偏心轮和相应马达，就可以改成一维扫描器。
下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细的说明：
图1是本实用新型的结构示意图。
图2(a)是本实用新型中的水平扫描偏心轮剖面图。
图2(b)是本实用新型中的竖直扫描偏心轮剖面图。
图3(a)是本实用新型的实现二维扫描的一个二维推动轮的府视图。
图3(b)是本实用新型的实现二维扫描的一个二维推动轮的前视图。图面说明如下：
〔1〕-反射镜，〔2〕-竖直偏心轮 〔3〕-水平偏心轮，
〔4〕-摆杆 〔5〕-调节螺丝 〔6〕〔7〕-分别
〔8〕-轴承座板，
〔9〕-支轴 〔10〕-支架 〔11〕-转轴
〔12〕-弹簧 〔13〕-滑动槽 〔14〕-固定螺钉
〔15〕-马达 〔16〕-底座支脚 〔17〕-电源接线 〔18〕-底座
实施例1
按附图1和2制作一台简易二维激光光束扫描器，用于脉冲激光淀积(PLD)镀膜系统中做大面积YBCO超导薄膜。其中固定反射镜支架10、马达固定座7用硬铝制成，摆杆用不锈钢片制成，长210×宽12mm，二端固定在反射镜支架10与反射镜1之间，另一端安置在马达15的竖直偏心轮2和水平偏心轮3上。反射镜1装在一般可调角度的光具座，用市售马达15的底座上的滑动槽中固定螺钉将其固定在仪器底座18上，
形架固定在底座18上。介于摆杆4中间的位置上，其上固定一根弹簧12，另一端支撑在摆杆4上，竖直偏心轮φ20×厚5mm，其轮心孔φ4mm，偏心0.4mm，水平偏心轮φ20mm、轮心孔φ4mm、偏心0.5mm、下沿厚2mm，椭园柱高7×φ18mm。如图2(a)、(b)分别所示的水平方向的偏心轮和竖直方向的偏心轮，其轴心偏离轮心的距离分别是0.5mm、0.4mm，则它们推动摆杆在水平和竖直方向上的摆动距离分别是1mm、0.8mm，若它们在摆杆上所对的有效臂长分别调为15cm和10cm，测得反射镜到靶面的距离为75cm，则焦点扫描的范围为：
水平方向：ΔX=2×1/150×750=10(mm)
竖直方向：ΔY=2×0.8/100×750=9(mm)这样就获得了10×9mm2的均匀扫描区。调节马达的位置可改变有效臂长，从而改变扫描范围
实施例2
本装置与实施例1相同，只是把水平偏心轮换成下托沿起伏的二维推动轮，如图3所示，并省去竖直偏心轮和相应马达，则仍能实现二维扫描。该推动轮的下托沿部分的直径为24mm，一周有3个周期的幅度为1mm的起伏，用于实现对摆杆的竖直往复推动；其椭圆柱部分的长轴为16mm，短轴为14mm，用于实现对摆杆的水平往复推动。轮的轴孔直径为4mm，用铁、铜或不锈钢等金属材料制成。
Claims (2)
1．一种简易激光光束扫描器，包括在底座的一边台面上顺序因两个马达，一个
形支架，一个支轴通过转轴连接的支架，并在支架上固定一可调节角度的反射镜，其特征在于：还包括一根摆杆，摆杆一端安装在马达上的竖直偏心轮和水平偏心轮上，另一端固定在反射镜与支轴中间；
形支架与摆杆之间立置一弹簧，两个马达通过导线联接在调压电源组成。
2．按权利要求1所述的简易激光光束描扫器，其特征在于：竖直偏心轮做成下托沿的一周有三个幅度为1mm的周期性起伏，托沿上为椭园形轮。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 98213880 CN2323466Y (zh) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | 简易激光光束扫描器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 98213880 CN2323466Y (zh) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | 简易激光光束扫描器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2323466Y true CN2323466Y (zh) | 1999-06-09 |
Family
ID=33967680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 98213880 Expired - Fee Related CN2323466Y (zh) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | 简易激光光束扫描器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN2323466Y (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1306559C (zh) * | 2002-04-15 | 2007-03-21 | 株式会社液晶先端技术开发中心 | 包括具有不同结晶度的半导体薄膜的半导体器件及其基片和制作方法、以及液晶显示器及其制造方法 |
| CN104991244A (zh) * | 2015-06-19 | 2015-10-21 | 上海卓易科技股份有限公司 | 一种测量目标物距离的方法、装置及移动终端 |
-
1998
- 1998-05-15 CN CN 98213880 patent/CN2323466Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1306559C (zh) * | 2002-04-15 | 2007-03-21 | 株式会社液晶先端技术开发中心 | 包括具有不同结晶度的半导体薄膜的半导体器件及其基片和制作方法、以及液晶显示器及其制造方法 |
| CN104991244A (zh) * | 2015-06-19 | 2015-10-21 | 上海卓易科技股份有限公司 | 一种测量目标物距离的方法、装置及移动终端 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8072663B2 (en) | Scanning system for lidar | |
| JP2001523350A (ja) | ２軸スキャニングシステム用の小型光学式スキャナー | |
| US5784186A (en) | Scanning optical delay device having a helicoid reflecting mirror | |
| CN208953764U (zh) | 一种一维摆动快速反射镜 | |
| ATE536038T1 (de) | Scanning-vorrichtung | |
| CN2323466Y (zh) | 简易激光光束扫描器 | |
| EP1640781A3 (en) | Scanning device and fabrication method thereof | |
| EP3712677A2 (en) | Beam scanning device for rotating mirror array | |
| CN111273435A (zh) | 一种微振镜扫描结构、电能驱动系统及角度检测系统 | |
| DE3050156C2 (zh) | ||
| CN109036759B (zh) | 一种基于永磁体的旋转磁场产生装置 | |
| CN1198701C (zh) | 引线接合器 | |
| CN110151122A (zh) | 一种oct成像装置螺旋扫描方法 | |
| CN210803864U (zh) | 双轴谐振扫描反射镜 | |
| CN106526834A (zh) | 一种扫描反射镜及其扫描方法 | |
| CN2407369Y (zh) | 大口径反射镜二维角度微调机构 | |
| US3888562A (en) | Oscillating scanner | |
| CN106768769A (zh) | 一种基于步进电机的反馈控制振动台 | |
| EP1050772B1 (en) | Optical scanner | |
| CN113009686A (zh) | 一种多自由度的旋转式控制直推型快速反射镜 | |
| CN219676270U (zh) | 扫描激光雷达系统 | |
| CN218213622U (zh) | 一种旋转电机式激光扫射光学设备 | |
| CN219891481U (zh) | 一种桌面远像显示装置 | |
| CN219936107U (zh) | 一种三维扫描式测风激光雷达 | |
| CN211402928U (zh) | 一种快速接插式高速转镜装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |