CN221235510U - 一种用于超薄玻璃镀膜生产线的破空布气装置 - Google Patents

Abstract

一种用于超薄玻璃镀膜生产线的破空布气装置，包括主进气管道(1)、边分气管道(2)和布气管道(3)，所述主进气管道(1)两端设置有边分气管道(2)，两边分气管道(2)之间还设置有若干分层交错布置的布气管道(3)，布气管道(3)表面均布多个气孔(31)。本实用新型解决了超薄玻璃镀膜生产线破空充气工序对基片产生大量气流扰动而易导致基片损坏的问题，能够在较短的时间内完成破空工序，同时不会产生基片表面的大量气流冲击扰动而损坏基片。

Description

一种用于超薄玻璃镀膜生产线的破空布气装置

技术领域

本实用新型涉及超薄玻璃镀膜生产技术领域，具体是一种用于超薄玻璃镀膜生产线的破空布气装置。

背景技术

超薄玻璃镀膜生产线生产的一般过程：首先要把载入基片的工件载板传输进入真空设备的进口端锁室，关闭门阀后抽真空，然后逐步转移到中间多个工艺腔室，分别做相关工艺制程。完成工艺制程后的工件被传输至出口端锁室，在出口锁室的工件由真空状态转移至大气状态需要破空才能输出工件，如此循环达到连续生产。在装入工件和取出工件时一般真空生产设备都要有破空这一生产工序，一般破空工序在设备两端的前后锁室。前后锁室腔体会有一个和腔体内部联通的法兰管，在真空腔室大气侧的管道法兰口连接一个破空阀，破空阀进气口连接一个过滤器，需要破空时打开阀门，外部气体经过过滤后充入腔体达到真空室内外压力平衡，完成破空工序。为了加快破空速度及抽气速度，通常把破空阀的进气口接入一个内部气体压力大于标准大气压的储气罐。大量的破空气体充入时会对载板上的基片扰动很大，为了避免基片损伤，也会设置另外一路直径较细的破空管道，破空时先开启此小阀破空，当真空室内压力到达某一设定值后再开大的破空阀破空，俗称“软放气”或“二次放气”。一次放气对轻薄的基片冲击较大，容易造成损伤，二次放气时间较长，拖延了生产节拍时间。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于超薄玻璃镀膜生产线的破空布气装置，以解决上述技术问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：包括主进气管道1、边分气管道2和布气管道3，所述主进气管道1两端设置有边分气管道2，两边分气管道2之间还设置有若干分层交错布置的布气管道3，布气管道3表面均布多个气孔31。

优选地，所述布气管道3远离主进气管道1一侧还设置有网孔板4。

优选地，所述网孔板4与所述布气管道3的最小距离为20mm。

优选地，所述布气管道3端部插入边分气管道2内部，插入深度为10mm。

优选地，所述边分气管道2内部设置有轴向布置的限位板21，限位板21上开设有管孔22，布气管道3端部固定安装在管孔22内。

优选地，所述主进气管道1包括进气总管12，进气总管12两端设置有进气分管13与进气总管12连通，进气总管12上还设置有进气接头11与进气总管12连通。

优选地，所述网孔板4上呈梅花状交错分布若干过气孔，过气孔孔径为1mm。

本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型采用多级管道布气，多次改变了气流方向，减少了冲入气体对基片的扰动，防止基片制程的损坏，提高了生产线的产品良率及产量。通过管道表面气孔布气，增大了布气面积，提高了破空速度。

2.气孔与基片之间还设置有网孔板，避免了气体直接冲刷基片，溢出孔分散均布，在不影响破空速度的同时，可以减少对基片的不良影响。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的应用安装示意图。

图3是布气管道的截面示意图。

图4是边分气管道的内部结构示意图。

其中：1-主进气管道；11-进气接头；12-进气总管；13-进气分管；2-边分气管道；21-限位板；22-管孔；3-布气管道；31-气孔；4-网孔板；5-真空锁室进气口；6-辊轮；7-基片。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步详细说明。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“内”、“两端”、“两侧”、“一侧”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

参阅图1，本实用新型包括主进气管道1，主进气管道1包括进气总管12，进气总管12两端各设置一根进气分管13与进气总管12连通，进气总管12上还设置有进气接头11与进气总管12连通。本实用新型还包括设置在进气总管12两侧的两根边分气管道2，进气分管13的两端分别与进气总管12两侧的边分气管道2连通。两边分气管道2之间还设置有若干分层交错布置的布气管道3，所有布气管道3均位于主进气管道1一侧。参阅图3，布气管道3表面均布若干气孔31，所述气孔31孔径可设置为0.5mm。所述布气管道3远离主进气管道1一侧还设置有网孔板4，所述网孔板4上呈梅花状交错分布若干过气孔，过气孔孔径可设置为1mm。

参阅图2，本实用新型安装在超薄玻璃镀膜生产线两端的真空锁室内部，具体是安装在用于基片载板传输的辊轮6下方，基片7安装在辊轮6的上方，网孔板4位于基片7正下方，网孔板4下方为布气管道3，布气管道3下方为主进气管道1，边分气管道2位于主进气管道1、布气管道3两侧。进气接头11与真空锁室腔体破管空法兰连接，破空气体从进气接头11进入进气总管12，向进气总管12两端流动到两进气分管13内。气体从进气分管13两端流入两侧的边分气管道2内，边分气管道2内的气体流入到布气管道3内，从气孔31溢出，冲刷网孔板4后，流向真空锁室内部，实现真空设备破空。破空气体从进气接头11垂直进入进气总管12转向两端流向边分气管道2内，再转向流入布气管道3，并从布气管道3表面溢出，气流方向多次变化，减小了气流对基片7的扰动能力。并且在布气管道3与基片7之间还设置有网孔板4，进一步防止了气流直接冲刷基片7，在不影响破空速度的同时，可以减少对基片的不良影响。

具体地，为了使网孔板4起到很好的阻挡和过气功能，所述网孔板4与所述布气管道3的距离为20mm。

进一步地，参阅图4，所述布气管道3端部插入边分气管道2内部，插入深度可设置为10mm。所述边分气管道2内部设置有轴向布置的限位板21，限位板21上开设有管孔22，布气管道3端部固定安装在管孔22内。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种用于超薄玻璃镀膜生产线的破空布气装置，其特征是：包括主进气管道（1）、边分气管道（2）和布气管道（3），所述主进气管道（1）两端设置有边分气管道（2），两边分气管道（2）之间还设置有若干分层交错布置的布气管道（3），布气管道（3）表面均布多个气孔（31）。

2.根据权利要求1所述的用于超薄玻璃镀膜生产线的破空布气装置，其特征是：所述布气管道（3）远离主进气管道（1）一侧还设置有网孔板（4）。

3.根据权利要求2所述的用于超薄玻璃镀膜生产线的破空布气装置，其特征是：所述网孔板（4）与所述布气管道（3）的最小距离为20mm。

4.根据权利要求1所述的用于超薄玻璃镀膜生产线的破空布气装置，其特征是：所述布气管道（3）端部插入边分气管道（2）内部。

5.根据权利要求4所述的用于超薄玻璃镀膜生产线的破空布气装置，其特征是：所述边分气管道（2）内部设置有轴向布置的限位板（21），限位板（21）上开设有管孔（22），布气管道（3）端部固定安装在管孔（22）内。

6.根据权利要求1所述的用于超薄玻璃镀膜生产线的破空布气装置，其特征是：所述主进气管道（1）包括进气总管（12），进气总管（12）两端设置有进气分管（13）与进气总管（12）连通，进气总管（12）上还设置有进气接头（11）与进气总管（12）连通。

7.根据权利要求2或3所述的用于超薄玻璃镀膜生产线的破空布气装置，其特征是：所述网孔板（4）上呈梅花状交错分布若干过气孔。