CN221175054U - 一种光纤微调结构和半导体检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光纤微调结构和半导体检测设备，所述光纤微调结构包括安装单元、第一微调单元和第二微调单元。其中，安装单元上开设有第一光纤安装孔；第一微调单元可移动设置于安装单元上，第一微调单元上开设有第二光纤安装孔，且第二光纤安装孔与第一光纤安装孔同轴设置，第一微调单元用于沿第一方向调节第二光纤安装孔内插入的光纤；第二微调单元可移动设置于第一微调单元上，第二微调单元上开设有第三光纤安装孔，第三光纤安装孔与第二光纤安装孔同轴设置。本实用新型能够实现高精度角度调整，解决了现有的半导体检测设备由于加工误差光纤出光轴线与中心轴同轴性难以达到差值范围的问题。

Description

一种光纤微调结构和半导体检测设备

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种光纤微调结构和半导体检测设备。

背景技术

在半导体检测设备中，光纤的主要作用是传输光信号，将光信号从激光器传输到检测位置，以实现准确、快速的数据采集和传输。

现有技术中，半导体检测设备上的光纤在安装到安装板上之后，由于加工的误差，光纤出光会偏离中心轴的X方向和Y方向，从而使光纤出光轴线与中心轴同轴性难以达到差值范围内，这无疑降低了成像效果和检测质量。

基于此，需要一种新技术方案。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供一种光纤微调结构和半导体检测设备，以至少解决现有的半导体检测设备光纤安装到安装板上之后光纤出光轴线与中心轴同轴性难以达到差值范围的问题。

本实用新型实施例提供以下技术方案：

本实用新型实施例提供一种光纤微调结构，包括：

安装单元，所述安装单元上开设有第一光纤安装孔；

第一微调单元，所述第一微调单元可移动设置于所述安装单元上，所述第一微调单元上开设有第二光纤安装孔，且所述第二光纤安装孔与所述第一光纤安装孔同轴设置，所述第一微调单元用于沿第一方向调节所述第二光纤安装孔内插入的光纤；

第二微调单元，所述第二微调单元可移动设置于所述第一微调单元上，所述第二微调单元上开设有第三光纤安装孔，所述第三光纤安装孔与所述第二光纤安装孔同轴设置，所述第二微调单元用于沿第二方向调节所述第三光纤安装孔内插入的光纤，所述第二方向与所述第一方向垂直。

进一步地，所述安装单元包括：

第一安装通孔，所述第一安装通孔设置于所述安装单元上；

进一步地，所述第一微调单元包括：

第一安装元件，所述第一安装元件可移动地安装于所述安装单元上，且所述第一安装元件上开设有所述第二光纤安装孔；

第一螺纹孔，所述第一螺纹孔开设于所述第一安装元件的一端，并与所述第一安装通孔对应设置；

第一调整螺杆，所述第一调整螺杆穿过所述第一安装通孔、所述第一螺纹孔设置，所述第一调整螺杆用于在转动时带动所述第一安装元件沿第一方向移动或偏移。

进一步地，所述第一微调单元包括：

多个第一螺钉，所述多个第一螺钉安装于所述第一安装元件上，并与所述安装单元连接，在所述多个第一螺钉未锁紧所述第一安装元件和所述安装单元的情况下，转动所述第一调整螺杆能够带动所述第一安装元件沿第一方向移动。

进一步地，所述第一安装通孔为两个，并分别位于所述第一螺纹孔的两侧，且所述第一调整螺杆分别穿过两所述第一安装通孔、所述第一螺纹孔设置。

进一步地，所述第一微调单元包括：

第二安装通孔，所述第二安装通孔设置于所述第一微调单元上；

进一步地，所述第二微调单元包括：

第二安装元件，所述第二安装元件可移动地安装于所述第一微调单元上，且所述第二安装元件上开设有所述第三光纤安装孔；

第二螺纹孔，所述第二螺纹孔开设于所述第二安装元件的一端，并与所述第二安装通孔对应设置；

第二调整螺杆，所述第二调整螺杆穿过所述第二安装通孔、所述第二螺纹孔设置，所述第二调整螺杆用于在转动时调节所述第二安装元件在第二方向上移动。

进一步地，所述第二微调单元还包括：

多个第二螺钉，所述多个第二螺钉安装于所述第二安装元件上，并与所述第一微调单元连接，在所述多个第二螺钉未锁紧所述第二安装元件和所述第一微调单元的情况下，转动所述第二调整螺杆能够带动所述第二安装元件沿第二方向移动或偏移。

进一步地，所述第二安装通孔为两个，且分别位于所述第二螺纹孔的两侧，所述第二调整螺杆分别穿过两所述第二安装通孔、所述第二螺纹孔设置。

进一步地，所述光纤微调结构还包括：

两第一定位销孔，两所述第一定位销孔分别开设于所述安装单元、所述第一微调单元上，且两所述第一定位销孔上下对应设置；

第一定位销，所述第一定位销依次插入两所述第一定位销孔内。

进一步地，所述光纤微调结构还包括：

两第二定位销孔，两所述第二定位销孔分别开设于所述第一微调单元、所述第二微调单元上，且两所述第二定位销孔上下对应设置；

第二定位销，所述第二定位销依次插入两所述第二定位销孔内。

本实用新型还提供了一种半导体检测设备，包括如上任一所述的光纤微调结构。

与现有技术相比，本实用新型实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：

本实用新型的一种光纤微调结构，通过在安装单元上设置第一微调单元和第二微调单元，从而可以在X轴方向和Y轴方向上对光纤进行调节，从而便于实现高精度角度调整，解决了现有的半导体检测设备光纤安装到安装板上之后光纤出光轴线与中心轴同轴性难以达到差值范围的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本实用新型的一种光纤微调结构的结构示意图；

图2为本实用新型的额一种光纤微调结构中不带第一定位销和第二定位销的结构示意图。

本实用新型的附图标记如下：

10、安装单元；11、第一安装通孔；

20、第一微调单元；21、第一安装元件；22、第一螺纹孔；23、第一调整螺杆；24、第一螺钉；25、第二安装通孔；

30、第二微调单元；31、第二安装元件；32、第二螺纹孔；33、第二调整螺杆；34、第二螺钉；

40、第一定位销孔；

50、第一定位销；

60、第二定位销孔；

70、第二定位销。

具体实施方式

下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。

以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。

还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践。

以下结合附图，说明本申请各实施例提供的技术方案。

实施例1

如图1所示，本实用新型实施例提供了一种光纤微调结构，包括安装单元10、第一微调单元20和第二微调单元30。其中，安装单元10上开设有第一光纤安装孔；第一微调单元20可移动设置于安装单元10上，第一微调单元20上开设有第二光纤安装孔，且第二光纤安装孔与第一光纤安装孔同轴设置，第一微调单元20用于沿第一方向调节第二光纤安装孔内插入的光纤；第二微调单元30可移动设置于第一微调单元20上，第二微调单元30上开设有第三光纤安装孔，第三光纤安装孔与第二光纤安装孔同轴设置，第二微调单元30用于沿第二方向调节第三光纤安装孔内插入的光纤，第二方向与第一方向垂直。

其中，安装单元10为板状结构，用于提供安装支撑作用，安装单元10用于安装到半导体检测设备中。

其中，第一方向可以为一水平面上的X轴方向，第二方向可以为一水平面上的Y轴方向。

其中，第一微调单元20能够在安装单元10上沿第一方向进行移动或偏移，以调节光纤在第一出光方向上的出光方向。第二微调单元30能够在第一微调单元20上沿第二方向进行移动或偏移，以调节光纤在第二方向上的出光方向。

其中，第一光纤安装孔、第二光纤安装孔以及第三光纤安装孔均同轴设置，用于安装光纤。

通过第一微调单元20在第一方向上对光纤的出光方向进行调节，通过第二微调单元30在第二方向上对光纤的出光方向进行调节，从而能够更好地使光纤的出光方向与中心轴的同轴性，能够实现高精度的角度调整。

在其中的一些实施例中，如图2所示，安装单元10包括第一安装通孔11，第一安装通孔11设置于安装单元10上，用于与第一微调单元20配合连接，以使第一微调单元20能够沿第一方向进行移动。

具体地，安装通孔为开设有通孔的安装块，其固定设置于安装单元10上。

第一微调单元20包括第一安装元件21、第一螺纹孔22以及第一调整螺杆23。其中，第一安装元件21可移动地安装于安装单元10上，且第一安装元件21上开设有第二光纤安装孔，第一安装元件21用于提供安装支撑作用；第一螺纹孔22开设于第一安装元件21的一端，并与第一安装通孔11对应设置；第一调整螺杆23穿过第一安装通孔11、第一螺纹孔22设置，第一调整螺杆23用于在转动时带动第一安装元件21沿第一方向移动或偏移。

其中，第一螺纹孔22与第一调整螺杆23螺纹连接。

具体地，第一调整螺杆23可以包括螺杆和螺母。螺杆依次穿过第一安装通孔11、第一螺纹孔22设置；螺母与螺杆穿出第一螺纹孔22的一端连接，以将螺杆固定于第一安装通孔11和第一螺纹孔22内。

其中，在第一调整螺杆23转动的情况下，由于第一安装元件21无法随第一调整螺杆23转动，所以第一安装元件21会沿第一调整螺杆23进行移动或偏移，也即第一安装元件21沿第一方向进行移动或偏移。

第一微调单元20包括多个第一螺钉24，多个第一螺钉24安装于第一安装元件21上，并与安装单元10连接，在多个第一螺钉24未锁紧第一安装元件21和安装单元10的情况下，转动第一调整螺杆23能够带动第一安装元件21沿第一方向移动。

具体地，在第一安装元件21通过多个第一螺钉24与安装单元10连接的情况下，安装单元10上开设有长条形安装孔，以使第一安装元件21沿第一方向偏移或移动时，第一螺钉24能够在长条形安装孔中移动。

其中，在多个第一螺钉24锁紧第一安装元件21和安装单元10的情况下，能够将第一安装元件21固定于安装单元10上，避免第一安装元件21在使用过程中发生移动或偏移。

其中，在多个第一螺钉24未锁紧第一安装元件21和安装单元10的情况下，工作人员转动第一调整螺杆23，从而第一调整螺杆23能够带动第一安装元件21沿第一方向进行移动，以对光纤的出光方向进行调整。

在其中的一些实施例中，第一安装通孔11为两个，并分别位于第一螺纹孔22的两侧，且第一调整螺杆23分别穿过两第一安装通孔11、第一螺纹孔22设置，以提高第一调整螺杆23转动的稳定性。

在其中的一些实施例中，第一微调单元20还包括第二安装通孔25，第二安装通孔25设置于第一微调单元20上，用于与第二微调单元30配合连接，以便于第二微调单元30沿第二方向进行移动。

其中，第二安装通孔25安装于第一安装元件21上。

其中，第二安装通孔25为开设有通孔的安装块。

第二微调单元30包括第二安装元件31、第二螺纹孔32以及第二调整螺杆33。其中，第二安装元件31可移动地安装于第一微调单元20上，且第二安装元件31上开设有第三光纤安装孔，用于提供安装支撑作用；第二螺纹孔32开设于第二安装元件31的一端，并与第二安装通孔25对应设置；第二调整螺杆33穿过第二安装通孔25、第二螺纹孔32设置，第二调整螺杆33用于在转动时调节第二安装元件31在第二方向上移动。

具体的，第二安装元件31安装于第一安装元件21上。

其中，第二螺纹孔32与第二调整螺杆33螺纹连接，从而在第二调整螺杆33转动时能够带动第二安装元件31沿第二方向移动。

其中，第二调整螺杆33带动第二安装元件31进行移动或偏移的工作原理与第一调整螺杆23带动第一安装元件21进行移动或偏移的原理相同，在此不再赘述。

第二微调单元30还包括多个第二螺钉34，多个第二螺钉34安装于第二安装元件31上，并与第一微调单元20连接，在多个第二螺钉34未锁紧第二安装元件31和第一微调单元20的情况下，转动第二调整螺杆33能够带动第二安装元件31沿第二方向移动或偏移。

具体地，多个第二螺钉34安装于第二安装元件31，并与第一安装元件21连接，以紧固第一安装元件21和第二安装元件31。

其中，第一安装元件21上也开设有长条形安装孔，以便于第二螺钉34沿长条形安装孔进行移动。

具体地，在多个第二螺钉34未锁紧第一安装元件21和第二安装元件31的情况下，若第二调整螺杆33带动第二安装元件31进行偏移，第二安装元件31能够带动第二螺钉34在长条形安装孔内移动，以调整光纤在第二方向上的出光方向。

在其中的一些实施例中，第二安装通孔25为两个，且分别位于第二螺纹孔32的两侧，第二调整螺杆33分别穿过两第二安装通孔25、第二螺纹孔32设置，以提高第二调整螺杆33转动的稳定性。

在其中的一些实施例中，如图1～2所示，光纤微调结构还包括两第一定位销孔40和第一定位销50。其中，两第一定位销孔40分别开设于安装单元10、第一微调单元20上，且两第一定位销孔40上下对应设置；第一定位销50依次插入两第一定位销孔40内。

具体地，第一定位销孔40分别开设于安装单元10和第一安装元件21上。

其中，第一定位销50用于对安装单元10和第一微调单元20进行定位，避免第一微调单元20发生偏移。

在其中的一些实施例中，光纤微调结构还包括第二定位销孔60和第二定位销70。其中，两第二定位销孔60分别开设于第一微调单元20、第二微调单元30上，且两第二定位销孔60上下对应设置；第二定位销70依次插入两第二定位销孔60内。

其中，两第二定位销孔60分别开设于第一安装元件21和第二安装元件31上。

其中，第二定位销70用于对第一安装元件21和第二安装元件31进行定位，避免第一安装元件21和第二安装元件31发生错位。

本实用新型能够很好的解决半导体检测设备的光线的安装板由于加工安装导致光纤轴线于中心轴的同轴性较差的问题，实现了对光纤的微量高精度调整，能够更为方便、高效、简单地进行作业。

实施例2

本实施例提供了一种半导体检测设备，包括如实施例1所述的光纤微调结构。

本说明书中，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例侧重说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于后面说明的产品实施例而言，由于其与方法是对应的，描述比较简单，相关之处参见系统实施例的部分说明即可。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种光纤微调结构，其特征在于，包括：

安装单元，所述安装单元上开设有第一光纤安装孔；

第一微调单元，所述第一微调单元可移动设置于所述安装单元上，所述第一微调单元上开设有第二光纤安装孔，且所述第二光纤安装孔与所述第一光纤安装孔同轴设置，所述第一微调单元用于沿第一方向调节所述第二光纤安装孔内插入的光纤；

第二微调单元，所述第二微调单元可移动设置于所述第一微调单元上，所述第二微调单元上开设有第三光纤安装孔，所述第三光纤安装孔与所述第二光纤安装孔同轴设置，所述第二微调单元用于沿第二方向调节所述第三光纤安装孔内插入的光纤，所述第二方向与所述第一方向垂直。

2.根据权利要求1所述的光纤微调结构，其特征在于，所述安装单元包括：

第一安装通孔，所述第一安装通孔设置于所述安装单元上；

所述第一微调单元包括：

第一安装元件，所述第一安装元件可移动地安装于所述安装单元上，且所述第一安装元件上开设有所述第二光纤安装孔；

第一螺纹孔，所述第一螺纹孔开设于所述第一安装元件的一端，并与所述第一安装通孔对应设置；

第一调整螺杆，所述第一调整螺杆穿过所述第一安装通孔、所述第一螺纹孔设置，所述第一调整螺杆用于在转动时带动所述第一安装元件沿第一方向移动或偏移。

3.根据权利要求2所述的光纤微调结构，其特征在于，所述第一微调单元包括：

多个第一螺钉，所述多个第一螺钉安装于所述第一安装元件上，并与所述安装单元连接，在所述多个第一螺钉未锁紧所述第一安装元件和所述安装单元的情况下，转动所述第一调整螺杆能够带动所述第一安装元件沿第一方向移动。

4.根据权利要求2所述的光纤微调结构，其特征在于，所述第一安装通孔为两个，并分别位于所述第一螺纹孔的两侧，且所述第一调整螺杆分别穿过两所述第一安装通孔、所述第一螺纹孔设置。

5.根据权利要求1所述的光纤微调结构，其特征在于，所述第一微调单元包括：

第二安装通孔，所述第二安装通孔设置于所述第一微调单元上；

所述第二微调单元包括：

第二安装元件，所述第二安装元件可移动地安装于所述第一微调单元上，且所述第二安装元件上开设有所述第三光纤安装孔；

第二螺纹孔，所述第二螺纹孔开设于所述第二安装元件的一端，并与所述第二安装通孔对应设置；

第二调整螺杆，所述第二调整螺杆穿过所述第二安装通孔、所述第二螺纹孔设置，所述第二调整螺杆用于在转动时调节所述第二安装元件在第二方向上移动。

6.根据权利要求5所述的光纤微调结构，其特征在于，所述第二微调单元还包括：

多个第二螺钉，所述多个第二螺钉安装于所述第二安装元件上，并与所述第一微调单元连接，在所述多个第二螺钉未锁紧所述第二安装元件和所述第一微调单元的情况下，转动所述第二调整螺杆能够带动所述第二安装元件沿第二方向移动或偏移。

7.根据权利要求5所述的光纤微调结构，其特征在于，所述第二安装通孔为两个，且分别位于所述第二螺纹孔的两侧，所述第二调整螺杆分别穿过两所述第二安装通孔、所述第二螺纹孔设置。

8.根据权利要求1所述的光纤微调结构，其特征在于，还包括：

两第一定位销孔，两所述第一定位销孔分别开设于所述安装单元、所述第一微调单元上，且两所述第一定位销孔上下对应设置；

第一定位销，所述第一定位销依次插入两所述第一定位销孔内。

9.根据权利要求1所述的光纤微调结构，其特征在于，还包括：

两第二定位销孔，两所述第二定位销孔分别开设于所述第一微调单元、所述第二微调单元上，且两所述第二定位销孔上下对应设置；

第二定位销，所述第二定位销依次插入两所述第二定位销孔内。

10.一种半导体检测设备，其特征在于，包括如权利要求1～9任一所述的光纤微调结构。