CN221141932U - 一种硅片的非弹性夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种硅片的非弹性夹具，包括：外框架，其上设有两条平行设置的直线导轨；固定安装板，其一侧边与外框架固定连接，固定安装板上设有若干硅片固定夹爪；活动安装板，其一侧边连接有两个滑块，滑块和直线导轨滑动连接，活动安装板上设有若干硅片活动夹爪，若干硅片活动夹爪和若干硅片固定夹爪一一对应设置，硅片活动夹爪和硅片固定夹爪之间夹持硅片。本实用新型所述的硅片的非弹性夹具，采用组合式设计，其中一侧为固定结构，通过活动的另一侧对产品进行通电和固定，结构设计简单，能够对硅片进行稳定夹持，保证有效装夹的同时降低碎片率；另外，硅片取放方便，耗时短，提高了生产效率。

Description

一种硅片的非弹性夹具

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池及半导体制造技术领域，尤其是指一种硅片的非弹性夹具。

背景技术

电镀过程中，需要将待镀件与直流电源的阴极连接，具有用于涂覆的金属的阳极与直流电源的阳极连接，两者浸没在含有金属离子的电镀液中，当电源接通后，金属离子沉积在零件表面形成金属镀层；电镀时需要将硅片放入电镀液当中，在此过程中，硅片需要以夹具作为载体。目前所使用的夹具采用平板式夹具，存在以下缺陷：

1、从两侧将硅片夹在中间，硅片表面由硬质装夹头夹紧，装夹力度较大，碎片率较高；

2、夹具采用锁紧装置锁紧，拆装耗时长，降低了生产效率；

3、硅片采用平铺式装载，占用面积较大，不仅容易出现夹具变形的情况，还导致设备体积较大，电镀液消耗较大。

实用新型内容

为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中硅片电镀过程中，夹具结构不合理，造成硅片电镀存在较大局限性的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种硅片的非弹性夹具，包括：外框架，其上设有两条平行设置的直线导轨；固定安装板，其一侧边与外框架固定连接，所述固定安装板上设有若干硅片固定夹爪；活动安装板，其一侧边连接有两个滑块，所述两个滑块和两条平行设置的直线导轨一一对应设置，所述滑块和直线导轨滑动连接，所述活动安装板上设有若干硅片活动夹爪，所述若干硅片活动夹爪和若干硅片固定夹爪一一对应设置，所述硅片活动夹爪和硅片固定夹爪之间夹持硅片。

在本实用新型的一个实施例中，所述外框架为矩形框架，并且外框架内中心位置处设有中间连接横梁。

在本实用新型的一个实施例中，所述外框架与中间连接横梁平行的两个边以及中间连接横梁的下端面上均设有矩形连接块，所述固定安装板的上端边缘与矩形连接块固定连接。

在本实用新型的一个实施例中，所述固定安装板呈“日”字形设置，并且所述固定安装板两个矩形通孔内壁上均连接有两两相对的硅片固定夹爪。

在本实用新型的一个实施例中，所述硅片固定夹爪远离矩形通孔内壁的端部设有矩形凸部一，所述矩形凸部一与硅片活动夹爪相对的端面上设有夹持凸部一。

在本实用新型的一个实施例中，所述活动安装板呈“日”字形设置，并且所述活动安装板两个矩形通孔内壁上均连接有两两相对的硅片活动夹爪。

在本实用新型的一个实施例中，所述硅片活动夹爪远离矩形通孔内壁的端部设有矩形凸部二，所述矩形凸部二与硅片固定夹爪相对的端面上设有夹持凸部二，所述夹持凸部二和夹持凸部一处于同一直线上，并且夹持凸部二和夹持凸部一用以贯穿硅片上的通孔。

在本实用新型的一个实施例中，所述固定安装板与活动安装板相对的端面上设有若干限位柱，所述限位柱用以限定固定安装板与活动安装板之间距离大于硅片厚度。

在本实用新型的一个实施例中，所述固定安装板两个矩形通孔内部底面上设有硅片垫块，所述硅片的下端边缘置于硅片垫块上。

在本实用新型的一个实施例中，所述固定安装板两个矩形通孔一侧内壁上设有支撑凸部，所述支撑凸部上设有定位柱，所述硅片长边的一侧边与定位柱相接触。

本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

本实用新型所述的硅片的非弹性夹具，采用组合式设计，其中一侧为固定结构，通过活动的另一侧对产品进行通电和固定，结构设计简单，能够对硅片进行稳定夹持，保证有效装夹的同时降低碎片率；另外，硅片取放方便，耗时短，提高了生产效率；采用花篮式夹具进行层叠式装载，减小占用面积，降低了对设备体积和电镀液用量的需求。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中

图1是本实用新型的硅片的非弹性夹具的结构示意图一；

图2是本实用新型的硅片的非弹性夹具的结构示意图二；

图3是本实用新型的硅片的非弹性夹具的局部放大图；

图4是本实用新型的外框架的结构示意图；

图5是本实用新型的固定安装板的结构示意图；

图6是本实用新型的活动安装板的结构示意图；

图7是本实用新型的硅片固定夹爪的结构示意图；

图8是本实用新型的硅片活动夹爪的结构示意图。

说明书附图标记说明：外框架1、直线导轨11、中间连接横梁12、矩形连接块13、固定安装板2、硅片固定夹爪21、矩形凸部一211、夹持凸部一212、活动安装板3、滑块31、硅片活动夹爪32、矩形凸部二321、夹持凸部二322、限位柱4、硅片垫块5、支撑凸部6、定位柱61。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

参照图1-3所示，本实用新型的硅片的非弹性夹具，包括：外框架1，其上设有两条平行设置的直线导轨11；固定安装板2，其一侧边与外框架1固定连接，所述固定安装板2上设有若干硅片固定夹爪21；活动安装板3，其一侧边连接有两个滑块31，所述两个滑块31和两条平行设置的直线导轨11一一对应设置，所述滑块31和直线导轨11滑动连接，所述活动安装板3上设有若干硅片活动夹爪32，所述若干硅片活动夹爪32和若干硅片固定夹爪21一一对应设置，所述硅片活动夹爪32和硅片固定夹爪21之间夹持硅片。活动安装板3和固定安装板2相对平行设置，这样硅片设置于活动安装板3和固定安装板2之间。

参照图4所示，所述外框架1为矩形框架，并且外框架1内中心位置处设有中间连接横梁12。所述外框架1与中间连接横梁12平行的两个边以及中间连接横梁12的下端面上均设有矩形连接块13，所述固定安装板2的上端边缘与矩形连接块13固定连接。所述中间连接横梁12上的矩形连接块13和外框架1上两个相对边上连接的矩形连接块13按列排列设置，因此外框架1上连接有若干平行设置的固定安装板2。

参照图5所示，所述固定安装板2呈“日”字形设置，并且所述固定安装板2两个矩形通孔内壁上均连接有两两相对的硅片固定夹爪21。参照图7所示，所述硅片固定夹爪21远离矩形通孔内壁的端部设有矩形凸部一211，所述矩形凸部一211与硅片活动夹爪32相对的端面上设有夹持凸部一212。

参照图6所示，所述活动安装板3呈“日”字形设置，并且所述活动安装板3两个矩形通孔内壁上均连接有两两相对的硅片活动夹爪32。参照图8所示，所述硅片活动夹爪32远离矩形通孔内壁的端部设有矩形凸部二321，所述矩形凸部二321与硅片固定夹爪21相对的端面上设有夹持凸部二322，所述夹持凸部二322和夹持凸部一212处于同一直线上，并且夹持凸部二322和夹持凸部一212用以贯穿硅片上的通孔。硅片为矩形薄片状，并且硅片的两个相对长边上均设有通孔一，所述夹持凸部二322和夹持凸部一212用以贯穿通孔一，从而使得硅片挂在夹持凸部二322和夹持凸部一212上。夹持凸部二322和夹持凸部一212均为矩形块状。

此外，固定安装板2与活动安装板3之间设有防止压碎硅片的结构，所述固定安装板2与活动安装板3相对的端面上设有若干限位柱4，所述限位柱4用以限定固定安装板2与活动安装板3之间距离大于硅片厚度。限位柱4为圆柱，并且限位柱4的轴线与固定安装板2所在矩形平面垂直设置。

另外，固定安装板2上设有用于硅片定位的结构，所述固定安装板2两个矩形通孔内部底面上设有硅片垫块5，所述硅片的下端边缘置于硅片垫块5上。所述固定安装板2两个矩形通孔一侧内壁上设有支撑凸部6，所述支撑凸部6上设有定位柱61，所述硅片长边的一侧边与定位柱61相接触。定位柱61为圆柱，在固定安装板2的一侧边上沿一列设置若干定位柱61，这样硅片的一侧边缘与定位柱61相接触后，通过定位柱61的位置，来对硅片进行定位。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种硅片的非弹性夹具，其特征在于，包括：

外框架，其上设有两条平行设置的直线导轨；

固定安装板，其一侧边与外框架固定连接，所述固定安装板上设有若干硅片固定夹爪；

活动安装板，其一侧边连接有两个滑块，所述两个滑块和两条平行设置的直线导轨一一对应设置，所述滑块和直线导轨滑动连接，所述活动安装板上设有若干硅片活动夹爪，所述若干硅片活动夹爪和若干硅片固定夹爪一一对应设置，所述硅片活动夹爪和硅片固定夹爪之间夹持硅片。

2.根据权利要求1所述的硅片的非弹性夹具，其特征在于：所述外框架为矩形框架，并且外框架内中心位置处设有中间连接横梁。

3.根据权利要求2所述的硅片的非弹性夹具，其特征在于：所述外框架与中间连接横梁平行的两个边以及中间连接横梁的下端面上均设有矩形连接块，所述固定安装板的上端边缘与矩形连接块固定连接。

4.根据权利要求1所述的硅片的非弹性夹具，其特征在于：所述固定安装板呈“日”字形设置，并且所述固定安装板两个矩形通孔内壁上均连接有两两相对的硅片固定夹爪。

5.根据权利要求4所述的硅片的非弹性夹具，其特征在于：所述硅片固定夹爪远离矩形通孔内壁的端部设有矩形凸部一，所述矩形凸部一与硅片活动夹爪相对的端面上设有夹持凸部一。

6.根据权利要求5所述的硅片的非弹性夹具，其特征在于：所述活动安装板呈“日”字形设置，并且所述活动安装板两个矩形通孔内壁上均连接有两两相对的硅片活动夹爪。

7.根据权利要求6所述的硅片的非弹性夹具，其特征在于：所述硅片活动夹爪远离矩形通孔内壁的端部设有矩形凸部二，所述矩形凸部二与硅片固定夹爪相对的端面上设有夹持凸部二，所述夹持凸部二和夹持凸部一处于同一直线上，并且夹持凸部二和夹持凸部一用以贯穿硅片上的通孔。

8.根据权利要求1所述的硅片的非弹性夹具，其特征在于：所述固定安装板与活动安装板相对的端面上设有若干限位柱，所述限位柱用以限定固定安装板与活动安装板之间距离大于硅片厚度。

9.根据权利要求4所述的硅片的非弹性夹具，其特征在于：所述固定安装板两个矩形通孔内部底面上设有硅片垫块，所述硅片的下端边缘置于硅片垫块上。

10.根据权利要求4所述的硅片的非弹性夹具，其特征在于：所述固定安装板两个矩形通孔一侧内壁上设有支撑凸部，所述支撑凸部上设有定位柱，所述硅片长边的一侧边与定位柱相接触。