CN221086524U - 喷淋清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种喷淋清洗装置，其属于湿制程设备技术领域，包括：清洗室、喷淋组件和自动升降机构，其中，喷淋组件包括喷淋平台、管路及与喷淋平台连通的至少一个喷嘴，喷淋平台及喷嘴均设置在清洗室内，管路的一端位于清洗室内并连通喷淋平台，另一端延伸至清洗室外，并用于连通供水源；自动升降机构包括驱动件、传动组件及多个升降杆，多个升降杆的一端均位于清洗室内，并均与喷淋平台连接，升降杆的另一端与传动组件传动连接，驱动件通过传动组件驱动多个升降杆同步伸长或缩短，以带动喷淋平台升降。本实用新型提供的喷淋清洗装置能够实现喷淋组件的高度可自动调节，且多个升降杆的同步伸缩提高了喷淋组件升降的稳定性。

Description

喷淋清洗装置

技术领域

本实用新型涉及湿制程设备技术领域，尤其涉及一种喷淋清洗装置。

背景技术

近几年来半导体组件正处于蓬勃地发展阶段，湿制程作为制作电路板过程中的制作工序，是将处理液，如各种化学药液或水喷洒于电路基板表面，以实现除胶渣、化学铜、镀通孔、蚀刻、显影、剥膜、镀有机保护膜、表面改性或清洗等工艺流程。

现有技术中，采用喷淋清洗装置实现将各种化学药液或水喷洒于电路基板表面。喷淋清洗装置通常包括清洗室，设置在清洗室内的支撑板及设置在支撑板上的喷头，为了使喷淋清洗装置能够适用于不同高度的待清洗产品，清洗室内还设置有气缸，气缸的输出端连接于支撑板，并用于驱动支撑板升降，进而调节支撑板在清洗室内的高度。

但是，清洗室仅设置一个气缸时，由于支撑板的面积较大，导致一个气缸在驱动支撑板运动时的稳定性较差，虽然设置多个气缸能够提高对支撑板驱动的稳定性，但是多个气缸驱动时的同步性很难保证。

因此，亟需一种喷淋清洗装置以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种喷淋清洗装置，其能够实现喷淋组件的高度可自动调节，且多个升降杆的同步伸缩提高了喷淋组件升降的稳定性。

如上构思，本实用新型所采用的技术方案是：

喷淋清洗装置，包括：

清洗室，被配置为放置待清洗产品；

喷淋组件，包括喷淋平台、管路及与所述喷淋平台连通的至少一个喷嘴，所述喷淋平台及所述喷嘴均设置在所述清洗室内，所述管路的一端位于所述清洗室内并连通所述喷淋平台，另一端延伸至所述清洗室外，并用于连通供水源；

自动升降机构，包括驱动件、传动组件及多个升降杆，多个所述升降杆的一端均位于所述清洗室内，并均与所述喷淋平台连接，所述升降杆的另一端与所述传动组件传动连接，所述驱动件通过所述传动组件驱动多个所述升降杆同步伸长或缩短，以带动所述喷淋平台升降。

进一步地，所述传动组件包括第一换向器和两个第二换向器，所述第一换向器与所述驱动件的输出端及两个所述第二换向器之间均通过传动杆传动连接，两个所述第二换向器被配置为驱动多个所述升降杆同步伸长或缩短。

进一步地，所述传动组件还包括四个第三换向器，一个所述第二换向器与其中两个所述第三换向器之间均通过传动杆传动连接，另一个所述第二换向器与另外两个所述第三换向器之间均通过传动杆传动连接，每个所述第三换向器均连接一个所述升降杆。

进一步地，所述清洗室包括罩体和连接于所述罩体下方的底板，所述罩体的顶部倾斜设置。

进一步地，所述底板上设置有位于所述清洗室内的阻水凸台，所述升降杆包括螺杆和螺套，所述螺套的顶端连接于所述喷淋平台，所述螺杆穿过所述阻水凸台设置，且所述螺杆的顶端螺接于所述螺套内，所述螺杆的底端连接于所述传动组件。

进一步地，还包括设置于所述螺套的底端与所述阻水凸台之间的阻水风琴罩，所述阻水风琴罩套设于所述螺杆外，并能随所述螺套运动而伸缩。

进一步地，所述阻水风琴罩靠近所述阻水凸台的一侧还设置有密封垫，所述密封垫被配置为密封所述阻水风琴罩和所述阻水凸台之间的间隙。

进一步地，所述喷嘴设有多个，相邻两个所述喷嘴之间的间距可调，每个所述喷嘴的喷射角度可调。

进一步地，所述管路包括连通的弹性弯管和进水管，所述弹性弯管位于所述清洗室内并与所述喷淋平台连接，所述进水管的一端与所述弹性弯管连接，另一端与所述供水源连接。

进一步地，所述管路设有两个，两个所述管路分别连接于喷淋平台的两侧。

本实用新型提出的喷淋清洗装置，通过设置可伸缩的升降杆，喷淋组件设置于升降杆上，升降杆在驱动件的驱动下实现伸长或缩短，进而实现了喷淋组件的高度可自动调节，以能够适用于具有不同高度的待清洗产品，通过设置多个升降杆，且多个升降杆同步伸长或缩短，能够提高喷淋组件升降的稳定性。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的喷淋清洗装置的结构示意图；

图2是本实用新型图1所示的A处放大图；

图3是本实用新型实施例提供的自动升降机构的结构示意图。

图中：

1、清洗室；11、罩体；111、倾斜顶面；12、底板；13、阻水凸台；2、喷淋组件；21、喷淋平台；22、管路；221、进水管；222、弹性弯管；23、喷嘴；3、自动升降机构；31、驱动件；32、传动组件；321、第一换向器；322、第二换向器；323、第三换向器；33、升降杆；331、螺套；332、螺杆；34、传动杆；4、阻水风琴罩；5、密封垫。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

本实施例提供了一种喷淋清洗装置，涉及湿制程设备技术领域，其能够实现喷淋组件的高度可自动调节，且多个升降杆的同步伸缩提高了喷淋组件升降的稳定性。

如图1-图3所示，喷淋清洗装置包括清洗室1、喷淋组件2和自动升降机构3。

其中，清洗室1用于放置待清洗产品，待清洗产品可以放置在清洗室1的底板上，或者，待清洗产品还可以放置在设置于清洗室1内的支架上，本实施例对此不作限定。

喷淋组件2包括喷淋平台21、管路22及与喷淋平台21连通的至少一个喷嘴23，喷淋平台21及喷嘴23均设置在清洗室1内，管路22的一端位于清洗室1内并连通喷淋平台21，管路22的另一端延伸至清洗室1外，并用于连通供水源，进而将供水源处的水运输至喷淋平台21上，以使喷嘴23将水喷在待清洗产品上。

自动升降机构3包括驱动件31、传动组件32及多个升降杆33，多个升降杆33的一端均位于清洗室1内，并均与喷淋平台21连接，升降杆33的另一端与传动组件32传动连接，驱动件31通过传动组件32驱动多个升降杆33同步伸长或缩短，以带动喷淋平台21升降，进而实现了喷淋组件2的高度可自动调节，满足了喷淋清洗化学反应工艺的调试要求。

本实施例提供的喷淋清洗装置，通过设置可伸缩的升降杆33，喷淋组件2设置于升降杆33上，升降杆33在驱动件31的驱动下实现伸长或缩短，进而实现了喷淋组件2的高度可自动调节，以能够适用于具有不同高度的待清洗产品，通过设置多个升降杆33，且多个升降杆33同步伸长或缩短，能够提高喷淋组件2升降的稳定性。

可选地，参考图3，传动组件32包括第一换向器321和两个第二换向器322，第一换向器321与驱动件31的输出端及两个第二换向器322之间均通过传动杆34传动连接，驱动件31的输出端能够通过第一换向器321将动力传递至与其连接的两个传动杆34，进而通过传动杆34将动力传递至两个第二换向器322，两个第二换向器322能驱动多个所述升降杆33同步伸长或缩短。

进一步地，如图1所示，传动组件32还包括四个第三换向器323，一个第二换向器322与其中两个第三换向器323之间均通过传动杆34传动连接，以能够将动力传递至该其中两个第三换向器323，另一个第二换向器322与另外两个第三换向器323之间均通过传动杆34传动连接，以能够将动力传递至该另外两个第三换向器323。每个第三换向器323均连接一个升降杆33，并能驱动升降杆33伸缩，进而实现了喷淋平台21的升降。需要说明的是，第一换向器321、第二换向器322和第三换向器323的具体结构及工作原理可以参见现有技术，本实施例对此不作限定。

本实施例提供的传动组件，通过设置7个换向器和多个传动杆，实现了一个驱动件31同时对四个升降杆33的驱动，具有较高的可靠性，无需设置多个驱动件31，降低了喷淋清洗装置的成本，同时还保证了四个升降杆33运动的同步性。

可选地，清洗室1包括罩体11和底板12，罩体11设置于底板12的上方，罩体11和底板12围设形成容纳腔，容纳腔用于放置待清洗产品，罩体11顶部倾斜设置形成倾斜顶面111，可以使集聚在顶部凝固水珠沿着倾斜顶面111滑落，避免直接滴落在喷淋区域，进而保证喷淋的均匀性，以满足高敏感度工艺的要求。

进一步地，罩体11顶部的倾斜顶面111的内表面上设置有涂层，底板12的顶面倾斜设置，底板12设置有排液口，通过在倾斜顶面111的内表面上设置涂层，能够提高罩体11顶部的排水效果，便于集聚在顶部凝固水珠沿罩体11顶部的斜面滑落，并且当罩体11采用金属材质制成时，还能够避免罩体11顶部生锈，进而避免锈渣等杂质落在待清洗产品上而影响清洗效果，同时还能够提高罩体11的使用寿命。

参考图2，底板12上设置有阻水凸台13，升降杆33的一端穿过阻水凸台13设置，在喷淋过程中，阻水凸台13可以有效的阻挡底板12上漫起的水渗漏到清洗室1外。

具体的，升降杆33包括螺杆332和螺套331，螺套331的顶端连接于喷淋平台21，螺杆332穿过阻水凸台13，且螺杆332的顶端螺接于螺套331内，螺杆332的底端连接于传动组件32的第三换向器323。

当动力传递至第三换向器323时，第三换向器323能驱动与其连接的螺杆332转动，当螺杆332沿预设旋转方向旋转时，螺杆332位于螺套331内的长度逐渐减小，螺套331带动喷淋平台21沿远离底板12的方向运动，实现了喷淋平台21的上升；当螺杆332沿预设旋转方向的反方向旋转时，螺杆332位于螺套331内的长度逐渐增大，螺套331带动喷淋平台21沿靠近底板12的方向运动，实现了喷淋平台21的下降，实现了喷淋平台21高度的自动调节。

在其他实施例中，升降杆33还可以为伸缩杆，伸缩杆的活动端对喷淋平台21进行支撑，当传动杆34驱动与其连接的伸缩杆动作时，伸缩杆的活动端开始向上或向下运动，以带动喷淋平台21进行上下运动，以实现喷淋平台21高度的自动调节。

进一步地，继续参考图2，螺套331与阻水凸台13之间还设置有阻水风琴罩4，阻水风琴罩4套设于螺杆332外，阻水风琴罩4能随螺套331运动而伸缩，示例地，阻水风琴罩4压缩在螺套331与阻水凸台13之间，当螺套331远离底板运动时，阻水风琴罩4跟随螺套331之间展开。阻水风琴罩4的设置，使得螺杆332不暴露于清洗室1内，使螺杆332密封嵌入到清洗室1，实现在运动过程中的干湿隔离，以避免清洗室1内的水对螺杆332的运动造成影响，还能够防止清洗室1内的水附着在螺杆332上并顺螺杆332流出清洗室1。在一些可选地实施例中，阻水风琴罩4靠近螺套331的一端与螺套331固定连接。

优选地，阻水风琴罩4为弹性材料制成，在螺套331运动过程中，阻水风琴罩4一直处于压缩状态。

为了进一步提高升降杆33在运动过程中的干湿隔离效果，阻水风琴罩4靠近阻水凸台13的一侧还设置有密封垫5，密封垫5被配置为密封阻水风琴罩4和阻水凸台13之间的间隙，避免了清洗室1内的水通过阻水凸台13和阻水风琴罩4之间的间隙接触螺杆332，或流出清洗室1。

在一些可选地实施例中，如图1所示，喷嘴23设有多个，相邻两个喷嘴23之间的间距可调，每个喷嘴23的喷射角度可调，进而满足待清洗产品不同的喷淋需求，以满足喷淋清洗化学反应工艺的调试要求。需要说明的是，喷嘴23的喷射角度可以理解为喷嘴23喷出的流体与竖直面或水平面之间的夹角。

可选地，管路22包括弹性弯管222和进水管221，弹性弯管222位于清洗室1内部并与喷淋平台21连接，进水管221的一端与弹性弯管222连接，进水管221的另一端与供水源连接且连通。通过设置弹性弯管222与喷淋平台21连接，可以有效的抵消喷淋平台21升降距离对喷淋管路22带来的拉扯影响，保证管路22的正常供水，提高了喷淋清洗装置的可靠性。

进一步地，管路22设有两个，两个管路22分别连接于喷淋平台21的两侧，进而实现了喷淋平台21左右两侧主进水同时供液，提高了供液效率，还提高了喷淋的均匀性。

以上实施方式只是阐述了本实用新型的基本原理和特性，本实用新型不受上述实施方式限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.喷淋清洗装置，其特征在于，包括：

清洗室(1)，被配置为放置待清洗产品；

喷淋组件(2)，包括喷淋平台(21)、管路(22)及与所述喷淋平台(21)连通的至少一个喷嘴(23)，所述喷淋平台(21)及所述喷嘴(23)均设置在所述清洗室(1)内，所述管路(22)的一端位于所述清洗室(1)内并连通所述喷淋平台(21)，另一端延伸至所述清洗室(1)外，并用于连通供水源；

自动升降机构(3)，包括驱动件(31)、传动组件(32)及多个升降杆(33)，多个所述升降杆(33)的一端均位于所述清洗室(1)内，并均与所述喷淋平台(21)连接，所述升降杆(33)的另一端与所述传动组件(32)传动连接，所述驱动件(31)通过所述传动组件(32)驱动多个所述升降杆(33)同步伸长或缩短，以带动所述喷淋平台(21)升降。

2.根据权利要求1所述的喷淋清洗装置，其特征在于，所述传动组件(32)包括第一换向器(321)和两个第二换向器(322)，所述第一换向器(321)与所述驱动件(31)的输出端及两个所述第二换向器(322)之间均通过传动杆(34)传动连接，两个所述第二换向器(322)被配置为驱动多个所述升降杆(33)同步伸长或缩短。

3.根据权利要求2所述的喷淋清洗装置，其特征在于，所述传动组件(32)还包括四个第三换向器(323)，一个所述第二换向器(322)与其中两个所述第三换向器(323)之间均通过传动杆(34)传动连接，另一个所述第二换向器(322)与另外两个所述第三换向器(323)之间均通过传动杆(34)传动连接，每个所述第三换向器(323)均连接一个所述升降杆(33)。

4.根据权利要求1所述的喷淋清洗装置，其特征在于，所述清洗室(1)包括罩体(11)和连接于所述罩体(11)下方的底板(12)，所述罩体(11)的顶部倾斜设置。

5.根据权利要求4所述的喷淋清洗装置，其特征在于，所述底板(12)上设置有位于所述清洗室(1)内的阻水凸台(13)，所述升降杆(33)包括螺杆(332)和螺套(331)，所述螺套(331)的顶端连接于所述喷淋平台(21)，所述螺杆(332)穿过所述阻水凸台(13)设置，且所述螺杆(332)的顶端螺接于所述螺套(331)内，所述螺杆(332)的底端连接于所述传动组件(32)。

6.根据权利要求5所述的喷淋清洗装置，其特征在于，还包括设置于所述螺套(331)的底端与所述阻水凸台(13)之间的阻水风琴罩(4)，所述阻水风琴罩(4)套设于所述螺杆(332)外，并能随所述螺套(331)运动而伸缩。

7.根据权利要求6所述的喷淋清洗装置，其特征在于，所述阻水风琴罩(4)靠近所述阻水凸台(13)的一侧还设置有密封垫(5)，所述密封垫(5)被配置为密封所述阻水风琴罩(4)和所述阻水凸台(13)之间的间隙。

8.根据权利要求1-7任一项所述的喷淋清洗装置，其特征在于，所述喷嘴(23)设有多个，相邻两个所述喷嘴(23)之间的间距可调，每个所述喷嘴(23)的喷射角度可调。

9.根据权利要求1-7任一项所述的喷淋清洗装置，其特征在于，所述管路(22)包括连通的弹性弯管(222)和进水管(221)，所述弹性弯管(222)位于所述清洗室(1)内并与所述喷淋平台(21)连接，所述进水管(221)的一端与所述弹性弯管(222)连接，另一端与所述供水源连接。

10.根据权利要求1-7任一项所述的喷淋清洗装置，其特征在于，所述管路(22)设有两个，两个所述管路(22)分别连接于喷淋平台(21)的两侧。