CN221057395U - 一种气冷静电卡盘 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种气冷静电卡盘包括：基座；还包括设置在所述基座内且分区设置的多组冷却道；每组冷却道包括：气道，开设在所述基座内，由多个散热鳍片组成；涡轮管，安装在所述基座底部，具有冷端及热端，所述冷端与气道连通。本实用新型通过在基座底部设计涡轮管，通过涡轮管冷端对基座进行冷却；通过涡轮管的布局和基座本身的散热设计达到分区温控的效果；使用中无需另外的制冷机和冷却液，只需通入压缩空气；可以通过压缩空气的流量线性调节制冷的效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及冷却领域，具体是一种气冷静电卡盘。
背景技术
目前，多数类型的静电卡盘使用带有冷却液通道的金属基座，在冷却液通道中通入冷却液，并利用外置的制冷机对冷却液制冷，已达到对吸附于静电卡盘上表面的晶圆控温的效果。
然而制冷机和冷却液增加了半导体整机设备和运行的成本。
另有一些需要进行分区温控的静电卡盘，则会在基座中设计两路冷却液通道，这样需要两套制冷机更加增加了设备和使用成本。
现有方案详见专利：可分区控温的静电卡盘系统CN100437966C。
实用新型内容
实用新型目的：提供一种气冷静电卡盘，以解决现有技术存在的上述问题。
技术方案：一种气冷静电卡盘，包括：
基座；
还包括设置在所述基座内且分区设置的多组冷却道；
每组冷却道包括：
气道，开设在所述基座内，由多个散热鳍片组成；所述气道还可以替换为散热管体；
涡轮管，安装在所述基座底部，具有冷端及热端，所述冷端与气道连通。
本实用新型通过在基座底部设计涡轮管，通过涡轮管冷端对基座进行冷却；
通过涡轮管的布局和基座本身的散热设计达到分区温控的效果；
使用中无需另外的制冷机和冷却液，只需通入压缩空气；
可以通过压缩空气的流量线性调节制冷的效果。
在进一步实施例中，所述涡轮管上还设有进气口。
在进一步实施例中，所述进气口外接控制器及压缩气源，用于注入压缩空气。
在进一步实施例中，所述基座上安装有陶瓷板，所述陶瓷板内设有电极，通过设电极，使得电极通电时，形成电场，该电场穿过陶瓷板并感应在晶圆上，使晶圆和陶瓷板之间产生静电吸引力，晶圆上的自由电荷被吸引到电场的一侧，从而产生对陶瓷板的吸引力。
在进一步实施例中，所述陶瓷板上还设有与所述气道连通的热管，通过在陶瓷板和起到之间设计热管，可以使得陶瓷板的冷却效果更好，增强热传导的效率。
有益效果：本实用新型公开了一种气冷静电卡盘，本实用新型通过在基座底部设计涡轮管，通过涡轮管冷端对基座进行冷却；
通过涡轮管的布局和基座本身的散热设计达到分区温控的效果；
使用中无需另外的制冷机和冷却液，只需通入压缩空气；
可以通过压缩空气的流量线性调节制冷的效果。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型的气道示意图。
图3是本实用新型的剖面结构示意图。
附图标记为：
1、基座；2、涡轮管；3、气道。
具体实施方式
本申请涉及一种气冷静电卡盘，通过申请人仔细研究，目前，多数类型的静电卡盘使用带有冷却液通道的金属基座，在冷却液通道中通入冷却液，并利用外置的制冷机对冷却液制冷，已达到对吸附于静电卡盘上表面的晶圆控温的效果。
然而制冷机和冷却液增加了半导体整机设备和运行的成本。
另有一些需要进行分区温控的静电卡盘，则会在基座中设计两路冷却液通道，这样需要两套制冷机更加增加了设备和使用成本。
现有方案详见专利：可分区控温的静电卡盘系统CN100437966C。
而本实用新型通过在基座底部设计涡轮管，通过涡轮管冷端对基座进行冷却；
通过涡轮管的布局和基座本身的散热设计达到分区温控的效果；
使用中无需另外的制冷机和冷却液，只需通入压缩空气，成本更低；
可以通过压缩空气的流量线性调节制冷的效果。
下面通过具体实施方式进行详细解释。
一种气冷静电卡盘，包括：
基座1；
还包括设置在所述基座1内且分区设置的多组冷却道；
每组冷却道包括：
气道3，开设在所述基座1内，由多个散热鳍片组成；
涡轮管2，安装在所述基座1底部，具有冷端及热端，所述冷端与气道3连通。
本实用新型通过在基座1底部设计涡轮管2，通过涡轮管2冷端对基座1进行冷却；
通过涡轮管2的布局和基座1本身的散热设计达到分区温控的效果；
使用中无需另外的制冷机和冷却液，只需通入压缩空气；
可以通过压缩空气的流量线性调节制冷的效果。
所述涡轮管2上还设有进气口。
所述进气口外接控制器及压缩气源，用于注入压缩空气。
所述基座1上安装有陶瓷板，所述陶瓷板内设有电极，通过设电极，使得电极通电时，形成电场，该电场穿过陶瓷板并感应在放置在陶瓷板上的晶圆上，使晶圆和陶瓷板之间产生静电吸引力，晶圆上的自由电荷被吸引到电场的一侧，从而产生对陶瓷板的吸引力。
所述陶瓷板上还设有与所述气道3连通的热管，通过在陶瓷板和起到之间设计热管，可以使得陶瓷板的冷却效果更好，增强热传导的效率。
工作原理说明：通过控制器控制压缩气体经过进气口进入涡轮管2内，并经过涡轮管2的冷端进入基座1中进行冷却基座1，进而冷却陶瓷板，进而冷却晶圆，同时通过设计热管，使得陶瓷板的冷却效果更佳；
而晶圆放置在陶瓷板上时，通过对电极通电，施加电压，形成电场，该电场穿过陶瓷板并感应在放置在陶瓷板上的晶圆上，使晶圆和陶瓷板之间产生静电吸引力，晶圆上的自由电荷被吸引到电场的一侧，从而产生对陶瓷板的吸引力，进而吸住晶圆。
以上结合附图详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种等同变换，这些等同变换均属于本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种气冷静电卡盘，其特征在于，包括：
基座；
其特征在于，还包括设置在所述基座内且分区设置的多组冷却道；
每组冷却道包括：
气道，开设在所述基座内，由多个散热鳍片组成；
涡轮管，安装在所述基座底部，具有冷端及热端，所述冷端与气道连通。
2.根据权利要求1所述的一种气冷静电卡盘，其特征是：所述涡轮管上还设有进气口。
3.根据权利要求2所述的一种气冷静电卡盘，其特征是：所述进气口外接控制器及压缩气源，用于注入压缩空气。
4.根据权利要求1所述的一种气冷静电卡盘，其特征是：所述基座上安装有陶瓷板，所述陶瓷板内设有电极。
5.根据权利要求4所述的一种气冷静电卡盘，其特征是：所述陶瓷板上还设有与所述气道连通的热管。
Priority Applications (1)
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- 2023-09-22 CN CN202322590156.7U patent/CN221057395U/zh active Active
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