CN221051991U - 一种前驱体温度控制装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种前驱体温度控制装置，该控制装置主体包括装载罐与模温机，其中所述装载罐具有与所述源瓶相吻合适配的腔体，所述源瓶可拆卸的承载在所述装载罐内，所述装载罐的内壁与所述源瓶之间留有媒介空间，所述媒介空间通过管道与所述模温机连接，所述模温机用于将具有一定温度的媒介经管路供送至所述媒介空间内以对承载在所述装载罐内的源瓶进行加热或冷却。本实用新型的优点是：温度控制精准、加热（升温）及冷却（降温）速度较快，有效提高真空镀膜工艺的工作效率；结构简单合理，便于安拆，适于推广。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种前驱体温度控制装置。
背景技术
目前，在真空镀膜工艺的前驱体供给时，传统的源瓶加热都是电加热，通过热辐射传导加热源瓶，以保证前驱体的温度。采用电加热的缺点在于：加热温度分布不均匀导致前驱体的温度不稳定且温度往往无法精准控制，而且电加热的降温速度较慢。
然而，在真空镀膜工艺过程中，源瓶的温度需要根据工艺要求随时调节，工艺不同阶段所需要的温度也不同，其中不仅包含升温过程还需包含降温过程；因此，升温或降温过程的速度在真空镀膜工艺中也非常重要，影响了工作效率。
发明内容
本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种前驱体温度控制装置，通过液体媒介的热传导来控制源瓶的温度，实现源瓶的温度控制并有效缩减源瓶温度变化所需的时间。
本实用新型目的实现由以下技术方案完成：
一种前驱体温度控制装置，用于对盛放有前驱体的源瓶进行加热，其特征在于：该控制装置主体包括装载罐与模温机，其中所述装载罐具有与所述源瓶相吻合适配的腔体，所述源瓶可拆卸的承载在所述装载罐内，所述装载罐的内壁与所述源瓶之间留有媒介空间，所述媒介空间通过管道与所述模温机连接，所述模温机用于将具有一定温度的媒介经管路供送至所述媒介空间内以对承载在所述装载罐内的源瓶进行加热或冷却。
所述管路包括进液管道和回液管道，其中所述进液管道设置在所述装载罐的底部位置，所述回液管道设置于所述进液管道的上方。
所述源瓶的瓶体顶部具有翼缘，所述源瓶通过其翼缘与所述装载罐构成可拆卸式的连接固定。
所述翼缘与所述装载罐之间螺栓连接。
所述装载罐的顶部与所述源瓶之间设置有密封圈。
所述装载罐上设置有用于测量所述媒介的温度的热电偶。
沿所述媒介的深度方向间隔布置有两个或两个以上的所述热电偶。
所述源瓶的内部设置有用于测量瓶内前驱体温度的热电偶。
所述热电偶的测量信号由控制器采集并由此控制模温机的工作状态。
本实用新型的优点是：温度控制精准、加热（升温）及冷却（降温）速度较快，有效提高真空镀膜工艺的工作效率；结构简单合理，便于安拆，适于推广。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图通过实施例对本实用新型特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：
如图1所示，图中标记1-11分别表示为：热电偶1、热电偶2、媒介3、螺栓4、热电偶5、源瓶6、密封圈7、装载罐8、回液管道9、进液管道10、模温机11。
实施例：如图1所示，本实施例中前驱体温度控制装置用于对装载有真空镀膜工艺中所用的前驱体的源瓶6进行温度控制，包含加热（升温）和冷却（降温），以确保前驱体的温度与工艺要求相适配。
具体而言，如图1所示，本实施例中的前驱体温度控制装置主体包括装载罐8和模温机11，其中装载罐8用于承载源瓶6，而模温机11则用于将用于对源瓶6进行温度控制的液体媒介调节到一定温度并供送到装载罐8之中，从而通过液体媒介的热传导来控制源瓶的温度。
如图1所示，源瓶6的顶部具有翼缘，在该翼缘位置处设置有螺栓4，使源瓶6通过螺栓4固定承载在装载罐8上并且源瓶6的主体部分置于装载罐8之中。在装载罐8的罐体内壁与源瓶6之间留有一定空隙，作为媒介3的充填空间。
在装载罐8与模温机11之间设置有回液管道9和进液管道10，将媒介3装入模温机11后再通过进液管道10到达装载罐8的内部，然后再通过回液管道9被模温机11回收。在媒介3的供送过程中，其温度是受到模温机11控制的，例如当需要对源瓶6进行加热使其瓶内的前驱体升温时，模温机11可通过进液管道11向装载罐8内供送高温的媒介3，反之当需要对源瓶6进行冷却使其瓶内的前驱体降温时，则通过模温机11向装载罐8内供送低温的媒介3。
在本实施例中，如图1所示，进液管道10位于装载罐8的底部位置，而回液管道9则位于进液管道10的上方，这样可以保证在温度控制过程中，装载罐8能够被媒介3充满，可以保证温度控制的均匀性。
如图1所示，在本实施例中的前驱体温度控制装置中设置有温度测量装置，以对温度进行精确控制。具体包括用于测量媒介3温度的热电偶1和热电偶2，以及用于测量前驱体温度的热电偶5。其中，热电偶1和热电偶2均与装载罐8连接并位于装载罐8不同的高度方向上，以对其内部不同深度位置的媒介3进行温度测量，从而避免因媒介3温差而导致的温度控制不均匀；而热电偶5则插入源瓶6内以对前驱体进行温度测量。
在本实施例中，热电偶1、热电偶2以及热电偶5的测量数据均由模温机11采集，模温机11可结合真空镀膜工艺所要求的前驱体温度以及当前各热电偶的测量数据输出符合要求的媒介3，从而保证前驱体温度控制的精度。
本实施例在使用时，包括如下步骤：
1）完成装载罐8的组装；
2）完成源瓶6的组装；
3）将源瓶6通过螺栓4与装载罐8进行连接；
4）将模温机11通过管道与装载罐8连接；
6）向模温机11内加入媒介3；
7）开始温度控制（加热或冷却），将温度调节到所需要的数值。
本实施例在具体实施时：在源瓶6的翼缘与装载罐8之间设置有用于密封的密封圈7，防止媒介3漏出。
媒介3的种类可根据需要从水、油或其他常规媒介中进行选择。
虽然以上实施例已经参照附图对本实用新型目的的构思和实施例做了详细说明，但本领域普通技术人员可以认识到，在没有脱离权利要求限定范围的前提条件下，仍然可以对本实用新型作出各种改进和变换，故在此不一一赘述。
Claims (9)
1.一种前驱体温度控制装置，用于对盛放有前驱体的源瓶进行加热，其特征在于：该控制装置主体包括装载罐与模温机，其中所述装载罐具有与所述源瓶相吻合适配的腔体，所述源瓶可拆卸的承载在所述装载罐内，所述装载罐的内壁与所述源瓶之间留有媒介空间，所述媒介空间通过管道与所述模温机连接，所述模温机用于将具有一定温度的媒介经管路供送至所述媒介空间内以对承载在所述装载罐内的源瓶进行加热或冷却。
2.根据权利要求1所述的一种前驱体温度控制装置，其特征在于：所述管路包括进液管道和回液管道，其中所述进液管道设置在所述装载罐的底部位置，所述回液管道设置于所述进液管道的上方。
3.根据权利要求1所述的一种前驱体温度控制装置，其特征在于：所述源瓶的瓶体顶部具有翼缘，所述源瓶通过其翼缘与所述装载罐构成可拆卸式的连接固定。
4.根据权利要求3所述的一种前驱体温度控制装置，其特征在于：所述翼缘与所述装载罐之间螺栓连接。
5.根据权利要求1所述的一种前驱体温度控制装置，其特征在于：所述装载罐的顶部与所述源瓶之间设置有密封圈。
6.根据权利要求1所述的一种前驱体温度控制装置，其特征在于：所述装载罐上设置有用于测量所述媒介的温度的热电偶。
7.根据权利要求6所述的一种前驱体温度控制装置，其特征在于：沿所述媒介的深度方向间隔布置有两个或两个以上的所述热电偶。
8.根据权利要求1所述的一种前驱体温度控制装置，其特征在于：所述源瓶的内部设置有用于测量瓶内前驱体温度的热电偶。
9.根据权利要求6或7或8所述的一种前驱体温度控制装置，其特征在于：所述热电偶的测量信号由控制器采集并由此控制模温机的工作状态。
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