CN221041090U - 一种匀流型石英舟托 - Google Patents
一种匀流型石英舟托 Download PDFInfo
- Publication number
- CN221041090U CN221041090U CN202322465857.8U CN202322465857U CN221041090U CN 221041090 U CN221041090 U CN 221041090U CN 202322465857 U CN202322465857 U CN 202322465857U CN 221041090 U CN221041090 U CN 221041090U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- uniform flow
- quartz boat
- shell
- installation
- laminating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 41
- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims abstract description 35
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims abstract description 29
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 37
- 230000008569 process Effects 0.000 description 29
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 22
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 7
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 7
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012369 In process control Methods 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000004063 acid-resistant material Substances 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- QZPSXPBJTPJTSZ-UHFFFAOYSA-N aqua regia Chemical compound Cl.O[N+]([O-])=O QZPSXPBJTPJTSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000010965 in-process control Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型涉及石英舟托技术领域，且公开了一种匀流型石英舟托，包括安装框架和石英舟托本体。该匀流型石英舟托，在贴合的过程中将安装框架顶部的卡合杆放置在连接半套壳的内弧面内，进而在两个连接半套壳贴合后，能够对卡合杆形成包裹，再利用两个连接半套壳侧面的固定板开设的螺槽来将定位螺杆螺纹转动进入实现固定，进而将安装框架及安装框架内部的第一匀流板安装在石英舟托本体的底部，通过第一匀流板保证气流的均匀流出，整个操作的过程中通过该种安装方式能够快速的实现安装，且安装的时间短，安装的步骤简易，同时在搬运的过程中也不会出现掉落的风险，能够根据实际的需求选择是否进行安装使用，整体操作的灵活性高。
Description
技术领域
本实用新型涉及石英舟托技术领域，具体为一种匀流型石英舟托。
背景技术
石英舟托又名石英玻璃，石英玻璃是以含二氧化硅物质，如水晶、硅石，具有优异的光学性能，不仅可见光透光度特别好，而且透紫外线，红外线，它还是良好的耐酸材料，除氢氟酸和300度以上的热磷酸外，在高温下，它能耐硫酸，硝酸，盐酸，王水，中性盐类，碳和硫等侵蚀，其化学稳定性相当于耐酸陶瓷的30倍，相当于镍铬合金和陶瓷的150倍，它耐高温，耐热震，热膨胀系数特别小。
石英舟托通过对承载硅片的舟体将硅片送入工艺炉内，在工艺过程中工艺气体和硅片表面的接触来对硅片进行工艺加工，然而现有技术下的石英舟托自身对气流存在一定的阻挡，进而会影响到硅片与气流接触，现有技术是通过匀流板实现气流的均匀流动与接触，但是在安装的过程中匀流板跟石英舟托之间的安装方式仅仅是通过放置的方式，进而在搬运的过程中会出现匀流板掉落甚至损坏的问题，为此本实用新型提供了一种匀流型石英舟托。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种匀流型石英舟托，具备快速安装匀流板和可调节匀流大小的优点，解决了背景技术中提出的问题。
本实用新型提供如下技术方案：一种匀流型石英舟托，包括安装框架和石英舟托本体，所述石英舟托本体的两侧分别固定连接有安装套壳，所述安装套壳的内部固定卡接有固定轴，所述固定轴的表面转动连接有两个转动套筒，两个所述转动套筒的表面均固定连接有连接横板，所述连接横板的另一侧固定安装有连接半套壳，所述连接半套壳的内弧面贴合有卡合杆，所述卡合杆的底部固定安装有安装框架，所述安装框架的内壁固定安装有第一匀流板。
优选的，所述安装框架的侧面固定连接有延伸板，所述延伸板的顶部固定安装有连接套筒，所述连接套筒的内部活动连接有转动柱，所述转动柱的表面固定安装有驱动齿轮，所述驱动齿轮的表面啮合有齿条，所述齿条的侧面固定安装有第二匀流板，所述第二匀流板的底部贴合有第一匀流板。
优选的，所述安装套壳的侧面固定安装有限位挡片，所述限位挡片的侧面贴合有连接横板。
优选的，所述连接半套壳的外弧面固定安装有固定板，所述固定板的侧面开设有螺槽，且螺槽的内部螺纹连接有定位螺杆。
优选的，所述卡合杆的表面固定安装有限位套环，所述限位套环的底部贴合有连接半套壳。
优选的，所述第二匀流板的侧面固定安装有辅助滑板，所述辅助滑板的表面贴合有辅助套壳，所述辅助套壳的侧面固定连接有另一组安装框架。
与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：
1、该匀流型石英舟托，通过两个石英舟托本体两侧的安装套壳内部固定卡接的固定轴的表面转动两个转动套筒，两个转动套筒在转动的过程中控制连接横板侧面的连接半套壳贴合，贴合的过程中转动套筒侧面的连接横板接触到安装套壳侧面的限位挡片后停止移动，且两个连接半套壳形成贴合状态，在贴合的过程中将安装框架顶部的卡合杆放置在连接半套壳的内弧面内，进而在两个连接半套壳贴合后，能够对卡合杆形成包裹，再利用两个连接半套壳侧面的固定板开设的螺槽来将定位螺杆螺纹转动进入实现固定，进而将安装框架及安装框架内部的第一匀流板安装在石英舟托本体的底部，通过第一匀流板保证气流的均匀流出，整个操作的过程中通过该种安装方式能够快速的实现安装，且安装的时间短，安装的步骤简易，同时在搬运的过程中也不会出现掉落的风险，能够根据实际的需求选择是否进行安装使用，整体操作的灵活性高。
2、该匀流型石英舟托，通过第二匀流板从两个安装框架的内壁插入，插入的过程中第二匀流板侧面的辅助滑板於其中一组安装框架内壁固定安装的辅助套壳形成插合滑动，且第二匀流板贴合在第一匀流板的顶部形成重合，通过转动柱控制驱动齿轮在安装框架侧面延伸板顶部连接套筒的内部转动，在转动的过程中驱动齿轮通过跟第二匀流板侧面齿条的啮合关系控制第二匀流板在第一匀流板的表面滑动，且在滑动的过程中第二匀流板自身的孔槽与第一匀流板自身的孔槽形成交错，进而达到调节气流流通大小的目的，整个操作的过程中能够根据需求进行快速的调节气流流通大小的效果，通过调节的方式来避免工艺气体与硅片之间产生接触过量的问题。
附图说明
图1为本实用新型装置整体结构示意图；
图2为本实用新型图1的局部结构示意图；
图3为本实用新型图1的部分结构示意图。
图中：1、安装框架；2、石英舟托本体；3、安装套壳；4、延伸板；5、固定轴；6、限位挡片；7、卡合杆；8、限位套环；9、固定板；10、定位螺杆；11、连接半套壳；12、连接横板；13、转动套筒；14、连接套筒；15、转动柱；16、驱动齿轮；17、齿条；18、第一匀流板；19、第二匀流板；20、辅助滑板；21、辅助套壳。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，一种匀流型石英舟托，包括安装框架1和石英舟托本体2，石英舟托本体2的两侧分别固定连接有安装套壳3，安装套壳3的内部固定卡接有固定轴5，固定轴5的表面转动连接有两个转动套筒13，两个转动套筒13的表面均固定连接有连接横板12，连接横板12的另一侧固定安装有连接半套壳11，连接半套壳11的内弧面贴合有卡合杆7，通过第二匀流板19从两个安装框架1的内壁插入，插入的过程中第二匀流板19侧面的辅助滑板20於其中一组安装框架1内壁固定安装的辅助套壳21形成插合滑动，且第二匀流板19贴合在第一匀流板18的顶部形成重合，通过转动柱15控制驱动齿轮16在安装框架1侧面延伸板4顶部连接套筒14的内部转动，在转动的过程中驱动齿轮16通过跟第二匀流板19侧面齿条17的啮合关系控制第二匀流板19在第一匀流板18的表面滑动，且在滑动的过程中第二匀流板19自身的孔槽与第一匀流板18自身的孔槽形成交错，进而达到调节气流流通大小的目的，整个操作的过程中能够根据需求进行快速的调节气流流通大小的效果，通过调节的方式来避免工艺气体与硅片之间产生接触过量的问题，卡合杆7的底部固定安装有安装框架1，安装框架1的内壁固定安装有第一匀流板18，安装框架1的侧面固定连接有延伸板4，延伸板4的顶部固定安装有连接套筒14，连接套筒14的内部活动连接有转动柱15，转动柱15的表面固定安装有驱动齿轮16，驱动齿轮16的表面啮合有齿条17，齿条17的侧面固定安装有第二匀流板19，通过第二匀流板19从两个安装框架1的内壁插入，插入的过程中第二匀流板19侧面的辅助滑板20於其中一组安装框架1内壁固定安装的辅助套壳21形成插合滑动，且第二匀流板19贴合在第一匀流板18的顶部形成重合，通过转动柱15控制驱动齿轮16在安装框架1侧面延伸板4顶部连接套筒14的内部转动，在转动的过程中驱动齿轮16通过跟第二匀流板19侧面齿条17的啮合关系控制第二匀流板19在第一匀流板18的表面滑动，且在滑动的过程中第二匀流板19自身的孔槽与第一匀流板18自身的孔槽形成交错，进而达到调节气流流通大小的目的，整个操作的过程中能够根据需求进行快速的调节气流流通大小的效果，通过调节的方式来避免工艺气体与硅片之间产生接触过量的问题，第二匀流板19的底部贴合有第一匀流板18，安装套壳3的侧面固定安装有限位挡片6，限位挡片6的侧面贴合有连接横板12，利用安装套壳3侧面的限位挡片6来对连接横板12转动的位置进行限位，进而能够在转动的过程中避免转动位置不对导致无法安装的局限性，连接半套壳11的外弧面固定安装有固定板9，固定板9的侧面开设有螺槽，且螺槽的内部螺纹连接有定位螺杆10，卡合杆7的表面固定安装有限位套环8，限位套环8的底部贴合有连接半套壳11，利用限位套环8对安装框架1顶部的卡合杆7在安装过程中形成托起的状态，进而能够在安装时避免因重力产生的下坠滑落现象，第二匀流板19的侧面固定安装有辅助滑板20，辅助滑板20的表面贴合有辅助套壳21，辅助套壳21的侧面固定连接有另一组安装框架1。
工作原理，操作过程中，通过两个石英舟托本体2两侧的安装套壳3内部固定卡接的固定轴5的表面转动两个转动套筒13，两个转动套筒13在转动的过程中控制连接横板12侧面的连接半套壳11贴合，贴合的过程中转动套筒13侧面的连接横板12接触到安装套壳3侧面的限位挡片6后停止移动，且两个连接半套壳11形成贴合状态，在贴合的过程中将安装框架1顶部的卡合杆7放置在连接半套壳11的内弧面内，进而在两个连接半套壳11贴合后，能够对卡合杆7形成包裹，再利用两个连接半套壳11侧面的固定板9开设的螺槽来将定位螺杆10螺纹转动进入实现固定，进而将安装框架1及安装框架1内部的第一匀流板18安装在石英舟托本体2的底部，通过第一匀流板18保证气流的均匀流出，同时，通过第二匀流板19从两个安装框架1的内壁插入，插入的过程中第二匀流板19侧面的辅助滑板20於其中一组安装框架1内壁固定安装的辅助套壳21形成插合滑动，且第二匀流板19贴合在第一匀流板18的顶部形成重合，通过转动柱15控制驱动齿轮16在安装框架1侧面延伸板4顶部连接套筒14的内部转动，在转动的过程中驱动齿轮16通过跟第二匀流板19侧面齿条17的啮合关系控制第二匀流板19在第一匀流板18的表面滑动，且在滑动的过程中第二匀流板19自身的孔槽与第一匀流板18自身的孔槽形成交错，进而达到调节气流流通大小的目的。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种匀流型石英舟托，其特征在于，包括安装框架(1)和石英舟托本体(2)，所述石英舟托本体(2)的两侧分别固定连接有安装套壳(3)，所述安装套壳(3)的内部固定卡接有固定轴(5)，所述固定轴(5)的表面转动连接有两个转动套筒(13)，两个所述转动套筒(13)的表面均固定连接有连接横板(12)，所述连接横板(12)的另一侧固定安装有连接半套壳(11)，所述连接半套壳(11)的内弧面贴合有卡合杆(7)，所述卡合杆(7)的底部固定安装有安装框架(1)，所述安装框架(1)的内壁固定安装有第一匀流板(18)。
2.根据权利要求1所述的一种匀流型石英舟托，其特征在于：所述安装框架(1)的侧面固定连接有延伸板(4)，所述延伸板(4)的顶部固定安装有连接套筒(14)，所述连接套筒(14)的内部活动连接有转动柱(15)，所述转动柱(15)的表面固定安装有驱动齿轮(16)，所述驱动齿轮(16)的表面啮合有齿条(17)，所述齿条(17)的侧面固定安装有第二匀流板(19)，所述第二匀流板(19)的底部贴合有第一匀流板(18)。
3.根据权利要求1所述的一种匀流型石英舟托，其特征在于：所述安装套壳(3)的侧面固定安装有限位挡片(6)，所述限位挡片(6)的侧面贴合有连接横板(12)。
4.根据权利要求1所述的一种匀流型石英舟托，其特征在于：所述连接半套壳(11)的外弧面固定安装有固定板(9)，所述固定板(9)的侧面开设有螺槽，且螺槽的内部螺纹连接有定位螺杆(10)。
5.根据权利要求1所述的一种匀流型石英舟托，其特征在于：所述卡合杆(7)的表面固定安装有限位套环(8)，所述限位套环(8)的底部贴合有连接半套壳(11)。
6.根据权利要求2所述的一种匀流型石英舟托，其特征在于：所述第二匀流板(19)的侧面固定安装有辅助滑板(20)，所述辅助滑板(20)的表面贴合有辅助套壳(21)，所述辅助套壳(21)的侧面固定连接有另一组安装框架(1)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322465857.8U CN221041090U (zh) | 2023-09-12 | 2023-09-12 | 一种匀流型石英舟托 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322465857.8U CN221041090U (zh) | 2023-09-12 | 2023-09-12 | 一种匀流型石英舟托 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN221041090U true CN221041090U (zh) | 2024-05-28 |
Family
ID=91137767
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202322465857.8U Active CN221041090U (zh) | 2023-09-12 | 2023-09-12 | 一种匀流型石英舟托 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN221041090U (zh) |
-
2023
- 2023-09-12 CN CN202322465857.8U patent/CN221041090U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN221041090U (zh) | 一种匀流型石英舟托 | |
| CN115085764A (zh) | 基于宽带电力线载波通信的高速载波集中器本地模块组 | |
| CN209082037U (zh) | 一种用于蓝宝石晶体导模法生长的坩埚托装置 | |
| CN207440336U (zh) | 一种包层光滤除的光纤和光纤制造装置 | |
| CN113787300B (zh) | 一种自动清油多尺寸轴承加热装置 | |
| CN204917995U (zh) | 一种剔除高纯石英砂中气液包裹体的装置 | |
| CN113336424A (zh) | 一种石英玻璃的燃烧器自动补水装置 | |
| CN214099605U (zh) | 一种半导体晶圆石英舟 | |
| CN210801919U (zh) | 一种硅片烘干装置 | |
| CN208675342U (zh) | 一种用于冰箱内部具有防水防雾除雾功能的摄像机 | |
| CN219625781U (zh) | 一种抗辐射高清洁度的光学镜片 | |
| CN218478674U (zh) | 一种tft玻璃铂金通道降温段辅助散热装置 | |
| CN215339603U (zh) | 一种真空玻璃隔热性测试用的测温仪 | |
| CN208949135U (zh) | 一种可有效保护玻璃基板的钢化炉内玻璃支撑用毡 | |
| CN205148227U (zh) | 一种锁紧装置 | |
| Angel et al. | Steps toward 8m honeycomb mirror blanks: III. 1.8 m honeycomb sandwich blanks cast from borosilicate glass | |
| CN220665179U (zh) | 一种光学玻璃镀膜加工用夹具 | |
| CN217677910U (zh) | 环保型钽酸锂单晶生长设备 | |
| CN218954472U (zh) | 数据采集用全站仪 | |
| CN219057188U (zh) | 一种支撑结构及电池片运输架 | |
| CN215445582U (zh) | 一种制壳线恒温恒湿管道结构 | |
| CN208908086U (zh) | 一种英语教学卡具 | |
| CN218427954U (zh) | 一种光学玻璃定位夹具 | |
| CN217737389U (zh) | 一种便于安装的应急空调 | |
| CN208023113U (zh) | 一种晶体生长炉真空管冷却机构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |