CN221020698U - 一种石英坩埚用固定装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种石英坩埚用固定装置，包括装置本体。本实用新型,通过将石英坩埚放置在U型承载板顶部表面，同时启动电动伸缩杆，通过电动伸缩杆带动弧形夹持板和缓冲板对石英坩埚进行夹持，当缓冲板接触石英坩埚后，通过一侧表面连接的伸缩结构和复位弹簧进行伸缩，同时缓慢启动电动伸缩杆，避免弧形夹持板在造成坩埚上留在划痕，通过弧形夹持板和U型承载板，可对大小不一的石英坩埚进行夹持和承载，增加装置的使用性，同时夹持完成启动伺服电机和液压伸缩柱，伺服电机通过螺杆带动固定板、电动伸缩杆和弧形夹持板向下移动，液压伸缩柱也向下移动，将石英坩埚防止在装置本体内，防止储存时碰撞到石英坩埚，影响石英坩埚的质量。

Description

一种石英坩埚用固定装置

技术领域

本实用新型涉及石英坩埚技术领域，具体来说，涉及一种石英坩埚用固定装置。

背景技术

石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源和质量稳定等优点，应用越来越广泛。石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节，而且石英坩埚的检测朝向现场检测方向发展。石英坩埚可在一千四百五十度以下使用，分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。目前，国内石英坩埚生产企业生产中使用的生产设备及工艺技术全部源于上世纪七十年代初锦州一五五厂从日本引进的生产设备及工艺技术，该顶技术设备自动化程度不高，整个生产过程中更多的依靠人工来实现，现在国内新上的坩埚生产设备都已经往自动化发展。

在石英坩埚生产的过程中，很多地方都需要对石英坩埚进行固定才方便人们进行下一步的加工工作，而现有技术的石英坩埚的夹持装置夹持不够紧，容易导致脱漏等情况，从而对石英坩埚造成损坏，而且夹具容易在使用坩埚上留在划痕，影响石英坩埚的质量。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

为解决上诉提出的石英坩埚的夹持装置夹持不够紧，容易导致脱漏等情况，从而对石英坩埚造成损坏，而且夹具容易在使用坩埚上留在划痕，影响石英坩埚的质量的问题，本实用新型提供了一种石英坩埚用固定装置,进而解决上述背景技术中的问题。

(二)技术方案

为实现上述提出的问题，本实用新型采用的具体技术方案如下：

一种石英坩埚用固定装置，包括装置本体，所述装置本体顶部表面开设有第二凹槽，且第二凹槽内底部表面设置有液压伸缩柱，所述液压伸缩柱顶部表面设置有U型承载板，所述第二凹槽内设置有电动伸缩杆，且电动伸缩杆一端连接有弧形夹持板，所述弧形夹持板侧表面开设有卡槽，且卡槽内设置有伸缩结构，所述伸缩结构外侧套接有复位弹簧，且伸缩结构一端连接有缓冲板，所述缓冲板一侧表面设置有防滑纹。

进一步的，所述电动伸缩杆一端连接有固定板，且固定板一侧表面设置有滑块，所述滑块顶部表面开设有导向孔，且导向孔内插接有导向杆，所述固定板底部表面开设有螺纹孔，且螺纹孔内螺纹连接有螺杆，所述螺杆连接伺服电机输出端。

进一步的，所述螺杆设置在第一凹槽内，且第一凹槽开设在装置本体内。

进一步的，所述伸缩结构和复位弹簧共设置有多组，且每组共有一个伸缩结构和一个复位弹簧，多组所述伸缩结构和复位弹簧设置在卡槽内。

进一步的，所述弧形夹持板共设置有两个，且两个弧形夹持板设置在U型承载板两侧。

进一步的，所述导向杆共设置有多个，且多个导向杆分别分布在装置本体内部两侧。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种石英坩埚用固定装置，具备以下有益效果：

(1)、本实用新型，采用了导向杆、电动伸缩杆、液压伸缩柱、弧形夹持板、U型承载板、固定板和缓冲板，在实际使用过程中，通过将石英坩埚放置在U型承载板顶部表面，同时启动电动伸缩杆，通过电动伸缩杆带动弧形夹持板和缓冲板对石英坩埚进行夹持，当缓冲板接触石英坩埚后，通过一侧表面连接的伸缩结构和复位弹簧进行伸缩，同时缓慢启动电动伸缩杆，避免弧形夹持板在造成坩埚上留在划痕，通过弧形夹持板和U型承载板，可对大小不一的石英坩埚进行夹持和承载，增加装置的使用性，同时夹持完成启动伺服电机和液压伸缩柱，伺服电机通过螺杆带动固定板、电动伸缩杆和弧形夹持板向下移动，液压伸缩柱也向下移动，将石英坩埚防止在装置本体内，防止储存时碰撞到石英坩埚，影响石英坩埚的质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型提出的一种石英坩埚用固定装置的结构示意图；

图2是本实用新型的固定板和弧形夹持板的整体示意图；

图3是本实用新型的一种石英坩埚用固定装置的A处放大图。

图中：

1、装置本体；2、伺服电机；3、第一凹槽；4、滑块；5、导向杆；6、固定板；7、缓冲板；8、卡槽；9、U型承载板；10、液压伸缩柱；11、螺杆；12、导向孔；13、电动伸缩杆；14、螺纹孔；15、弧形夹持板；16、复位弹簧；17、伸缩结构；18、防滑纹；19、第二凹槽。

具体实施方式

为进一步说明各实施例，本实用新型提供有附图，这些附图为本实用新型揭露内容的一部分，其主要用以说明实施例，并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理，配合参考这些内容，本领域普通技术人员应能理解其他可能的实施方式以及本实用新型的优点，图中的组件并未按比例绘制，而类似的组件符号通常用来表示类似的组件。

根据本实用新型的实施例，提供了一种石英坩埚用固定装置。

现结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明，如图1-3所示，根据本实用新型实施例的一种石英坩埚用固定装置，包括装置本体1，装置本体1顶部表面开设有第二凹槽19，且第二凹槽19内底部表面设置有液压伸缩柱10，液压伸缩柱10顶部表面设置有U型承载板9，第二凹槽19内设置有电动伸缩杆13，且电动伸缩杆13一端连接有弧形夹持板15，弧形夹持板15侧表面开设有卡槽8，且卡槽8内设置有伸缩结构17，伸缩结构17外侧套接有复位弹簧16，且伸缩结构17一端连接有缓冲板7，缓冲板7一侧表面设置有防滑纹18，通过设置防滑纹18可在夹持时减少坩埚移动。

在一个实施例中，电动伸缩杆13一端连接有固定板6，且固定板6一侧表面设置有滑块4，滑块4顶部表面开设有导向孔12，且导向孔12内插接有导向杆5，固定板6底部表面开设有螺纹孔14，且螺纹孔14内螺纹连接有螺杆11，螺杆11连接伺服电机2输出端，通过设置伺服电机2和液压伸缩柱10可将夹持的坩埚进行升降。

在一个实施例中，螺杆11设置在第一凹槽3内，且第一凹槽3开设在装置本体1内，通过带动螺杆11从而带动固定板6。

在一个实施例中，伸缩结构17和复位弹簧16共设置有多组，且每组共有一个伸缩结构17和一个复位弹簧16，多组伸缩结构17和复位弹簧16设置在卡槽8内，通过设置的多组伸缩结构17和复位弹簧16可使缓冲板7和弧形夹持板15之间进缓冲，防止弧形夹持板15夹持力量过大，造成坩埚表面出现变形。

在一个实施例中，弧形夹持板15共设置有两个，且两个弧形夹持板15设置在U型承载板9两侧，通过设置的两个弧形夹持板15从而可适应大小不一的坩埚。

在一个实施例中，导向杆5共设置有多个，且多个导向杆5分别分布在装置本体1内部两侧，通过设置对哦个导向杆5可在固定板6升降时进行导向。

工作原理：通过将石英坩埚放置在U型承载板9顶部表面，同时启动电动伸缩杆13，通过电动伸缩杆13带动弧形夹持板15和缓冲板7对石英坩埚进行夹持，当缓冲板7接触石英坩埚后，通过一侧表面连接的伸缩结构17和复位弹簧进16行伸缩，同时缓慢启动电动伸缩杆13，避免弧形夹持板15在造成坩埚上留在划痕，通过弧形夹持板15和U型承载板9，可对大小不一的石英坩埚进行夹持和承载，增加装置的使用性，同时夹持完成启动伺服电机2和液压伸缩柱10，伺服电机2通过螺杆带11动固定板6、电动伸缩杆13和弧形夹持板15向下移动，液压伸缩柱10也向下移动，将石英坩埚防止在装置本体1内，防止储存时碰撞到石英坩埚，影响石英坩埚的质量。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种石英坩埚用固定装置，包括装置本体(1)，其特征在于，所述装置本体(1)顶部表面开设有第二凹槽(19)，且第二凹槽(19)内底部表面设置有液压伸缩柱(10)，所述液压伸缩柱(10)顶部表面设置有U型承载板(9)，所述第二凹槽(19)内设置有电动伸缩杆(13)，且电动伸缩杆(13)一端连接有弧形夹持板(15)，所述弧形夹持板(15)侧表面开设有卡槽(8)，且卡槽(8)内设置有伸缩结构(17)，所述伸缩结构(17)外侧套接有复位弹簧(16)，且伸缩结构(17)一端连接有缓冲板(7)，所述缓冲板(7)一侧表面设置有防滑纹(18)。

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚用固定装置，其特征在于，所述电动伸缩杆(13)一端连接有固定板(6)，且固定板(6)一侧表面设置有滑块(4)，所述滑块(4)顶部表面开设有导向孔(12)，且导向孔(12)内插接有导向杆(5)，所述固定板(6)底部表面开设有螺纹孔(14)，且螺纹孔(14)内螺纹连接有螺杆(11)，所述螺杆(11)连接伺服电机(2)输出端。

3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚用固定装置，其特征在于，所述螺杆(11)设置在第一凹槽(3)内，且第一凹槽(3)开设在装置本体(1)内。

4.根据权利要求1所述的一种石英坩埚用固定装置，其特征在于，所述伸缩结构(17)和复位弹簧(16)共设置有多组，且每组共有一个伸缩结构(17)和一个复位弹簧(16)，多组所述伸缩结构(17)和复位弹簧(16)设置在卡槽(8)内。

5.根据权利要求1所述的一种石英坩埚用固定装置，其特征在于，所述弧形夹持板(15)共设置有两个，且两个弧形夹持板(15)设置在U型承载板(9)两侧。

6.根据权利要求2所述的一种石英坩埚用固定装置，其特征在于，所述导向杆(5)共设置有多个，且多个导向杆(5)分别分布在装置本体(1)内部两侧。