CN221017089U - 一种sog匀胶机加液装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提出了一种SOG匀胶机加液装置，属于匀胶机技术领域。解决了现有的匀胶机需要对废胶进行多次收集，影响生产效率的问题。它包括压力罐、胶瓶、出胶管、空气阀、胶盘和废胶罐，所述胶瓶放置在压力罐内，所述压力罐上端开设有进气口、排气口和出胶口，所述进气口与氮气管道相连，所述排气口与第一排气管相连，所述出胶管通过出胶口插入胶瓶内部，所述出胶管上设置有空气阀和排胶球阀，所述排胶球阀与排胶管相连，所述出胶管下方设置有胶盘，所述胶盘底端开设有废胶管和第二排气管，所述排胶管和废胶管均与废胶罐相连，所述废胶罐下方设置有托盘。
Description
技术领域
本实用新型属于匀胶机技术领域，特别是涉及一种SOG匀胶机加液装置。
背景技术
匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度；半导体功率器件工艺流程钝化时需要使用聚酰亚胺胶，该胶可以在硅片金属层表面形成一层钝化膜防止漏电击穿，防潮作用；还可以形成一层表面张力，在减薄时减少碎片；还可以在封装时提高可靠性。该胶分为光敏型和非光敏型。其中光敏型粘度在1500CP-3000CP左右，非光敏型粘度在800CP-1000CP左右。而现有的匀胶机大多是适用于粘度100CP以下的聚酰亚胺胶，现有的匀胶机难以适用目前的高粘度聚酰亚胺胶做片工艺流程，并且现有的匀胶机需要对废胶进行多次收集，影响生产效率。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型旨在提出一种SOG匀胶机加液装置，以解决现有匀胶机难以适用目前的高粘度聚酰亚胺胶做片工艺流程，并且现有的匀胶机需要对废胶进行多次收集，影响生产效率的问题。
为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种SOG匀胶机加液装置，它包括压力罐、胶瓶、出胶管、空气阀、胶盘和废胶罐，所述胶瓶放置在压力罐内，所述压力罐上端开设有进气口、排气口和出胶口，所述进气口与氮气管道相连，所述排气口与第一排气管相连，所述出胶管通过出胶口插入胶瓶内部，所述出胶管上设置有空气阀和排胶球阀，所述排胶球阀与排胶管相连，所述出胶管下方设置有胶盘，所述胶盘底端开设有废胶管和第二排气管，所述排胶管和废胶管均与废胶罐相连，所述废胶罐下方设置有托盘。
更进一步的，所述氮气管道上沿氮气流动方向依次设置有减压阀和压力表。
更进一步的，所述胶瓶内设置光敏聚酰亚胺胶。
更进一步的，所述出胶管上设置有抗蚀剂传感器。
更进一步的，所述废胶罐上设置有液位显示器和第三排气管。
更进一步的，所述托盘上设置有漏液传感器。
更进一步的，所述压力罐为不锈钢材质，容量为5L，所述胶瓶容量为500mL。
更进一步的，所述氮气管道和出胶管为1/4英寸聚四氟乙烯管，所述出胶管与压力罐之间通过不锈钢卡套连接。
更进一步的，所述废胶管为3/8聚四氟乙烯管道，废胶管与废胶罐之间通过不锈钢卡套连接。
更进一步的，所述废胶罐的容量为200L。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型光敏聚酰亚胺胶瓶外侧设置了压力罐，压力罐中充入气体，使光敏聚酰亚胺胶瓶处于压力环境中，提高光敏聚酰亚胺胶的流动性，同时加大出胶管的管径，满足高粘度聚酰亚胺胶使用要求。通过设置空气阀和排胶球阀改善排胶速度，防止堵胶、漏胶的情况发生。通过设置废胶罐对废胶进行收集，废胶罐可同时收集加工前含有气泡的胶及加工后胶盘内的废胶，定期对废胶罐进行处理即可，不需要人工多次收集，可以实现连续做片的效果，大大提高生产效率，并解决劳动成本。
附图说明
构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
图1为本实用新型所述的一种SOG匀胶机加液装置结构示意图。
1-氮气管道，2-减压阀，3-压力表，4-压力罐，5-抗蚀剂传感器，6-第一排气管，7-出胶管，8-空气阀，9-排胶管，10-胶盘，11-废胶管，12-第二排气管，13-废胶罐，14-液位显示器，15-托盘，16-漏液传感器，17-第三排气管。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地阐述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参见图1说明本实施方式，一种SOG匀胶机加液装置，它包括压力罐4、胶瓶、出胶管7、空气阀8、胶盘10和废胶罐13，所述胶瓶放置在压力罐4内，所述压力罐4上端开设有进气口、排气口和出胶口，所述进气口与氮气管道1相连，所述排气口与第一排气管6相连，所述出胶管7通过出胶口插入胶瓶内部，所述出胶管7上设置有空气阀8和排胶球阀，所述排胶球阀与排胶管9相连，所述出胶管7下方设置有胶盘10，所述胶盘10底端开设有废胶管11和第二排气管12，所述排胶管9和废胶管11均与废胶罐13相连，所述废胶罐13下方设置有托盘15。
本实施例所述氮气管道1上沿氮气流动方向依次设置有减压阀2和压力表3，所述胶瓶内设置光敏聚酰亚胺胶，所述出胶管7上设置有抗蚀剂传感器5，所述废胶罐13上设置有液位显示器14和第三排气管17，所述托盘15上设置有漏液传感器16，所述压力罐4为不锈钢材质，容量为5L，所述胶瓶容量为500mL，所述氮气管道1和出胶管7为1/4英寸聚四氟乙烯管，所述出胶管7与压力罐4之间通过不锈钢卡套连接，所述废胶管11为3/8聚四氟乙烯管道，废胶管11与废胶罐13之间通过不锈钢卡套连接，所述废胶罐13的容量为200L。
本实施例在使用时：
高纯氮气经过减压阀2和压力表3调整压力到0.35MP，进入5L不锈钢压力罐4。压力罐4上有进气口、排气口和出胶口，都是用不锈钢卡套连接。内部放有500mL装有光敏聚酰亚胺胶的胶瓶。当想更换胶瓶时，关闭进气阀，打开出气阀，待压力罐4内部压力排掉后，拆下压力罐4上盖，更换胶瓶。
正常使用时，压力罐4的出胶口通过不锈钢卡套连接1/4英寸聚四氟乙烯出胶管7，出胶管7设置的传感器会检测有没有胶，胶空时会输出报警，停止做片。通过管道上的1/4英寸排胶球阀把有气泡的胶排掉。排掉的胶会直接排到楼下废胶罐13内。当空气阀8受控制打开后，光敏聚酰亚胺胶会喷到胶盘10内的硅片上，进行工艺加工。
胶盘10内的废胶经过3/8聚四氟乙烯废胶管11，流到1楼的废胶罐13内，废胶罐13上装有液位显示器14，当到达规定液位或规定时限，会定期处理废胶。废胶罐13下面装有托盘15，托盘15内部安装外置的漏液传感器16，当漏液后，会触发声光报警，提醒工作人员进行检查。
以上公开的本实用新型实施例只是用于帮助阐述本实用新型。实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。
Claims (10)
1.一种SOG匀胶机加液装置，其特征在于：它包括压力罐(4)、胶瓶、出胶管(7)、空气阀(8)、胶盘(10)和废胶罐(13)，所述胶瓶放置在压力罐(4)内，所述压力罐(4)上端开设有进气口、排气口和出胶口，所述进气口与氮气管道(1)相连，所述排气口与第一排气管(6)相连，所述出胶管(7)通过出胶口插入胶瓶内部，所述出胶管(7)上设置有空气阀(8)和排胶球阀，所述排胶球阀与排胶管(9)相连，所述出胶管(7)下方设置有胶盘(10)，所述胶盘(10)底端开设有废胶管(11)和第二排气管(12)，所述排胶管(9)和废胶管(11)均与废胶罐(13)相连，所述废胶罐(13)下方设置有托盘(15)。
2.根据权利要求1所述的一种SOG匀胶机加液装置，其特征在于：所述氮气管道(1)上沿氮气流动方向依次设置有减压阀(2)和压力表(3)。
3.根据权利要求1所述的一种SOG匀胶机加液装置，其特征在于：所述胶瓶内设置光敏聚酰亚胺胶。
4.根据权利要求1所述的一种SOG匀胶机加液装置，其特征在于：所述出胶管(7)上设置有抗蚀剂传感器(5)。
5.根据权利要求1所述的一种SOG匀胶机加液装置，其特征在于：所述废胶罐(13)上设置有液位显示器(14)和第三排气管(17)。
6.根据权利要求1所述的一种SOG匀胶机加液装置，其特征在于：所述托盘(15)上设置有漏液传感器(16)。
7.根据权利要求1所述的一种SOG匀胶机加液装置，其特征在于：所述压力罐(4)为不锈钢材质，容量为5L，所述胶瓶容量为500mL。
8.根据权利要求1所述的一种SOG匀胶机加液装置，其特征在于：所述氮气管道(1)和出胶管(7)为1/4英寸聚四氟乙烯管，所述出胶管(7)与压力罐(4)之间通过不锈钢卡套连接。
9.根据权利要求1所述的一种SOG匀胶机加液装置，其特征在于：所述废胶管(11)为3/8聚四氟乙烯管道，废胶管(11)与废胶罐(13)之间通过不锈钢卡套连接。
10.根据权利要求1所述的一种SOG匀胶机加液装置，其特征在于：所述废胶罐(13)的容量为200L。
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