CN220977137U - 一种密封性强的化学气相沉积进气装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种密封性强的化学气相沉积进气装置，包括管体；单向密封机构，所述单向密封机构包括设置在管体下方的密封板，所述密封板的上端设置有连接块，所述管体的内壁上固定连接有横板，所述横板与连接块通过第一弹簧弹性连接；所述密封板的上端固定连接有密封环，所述密封环的上端与管体的下端接触。该装置在实际的使用过程中，利用单向密封结构，可有效的避免气体回流的情况出现，保证了管道的洁净性。
Description
技术领域
本实用新型涉及进气装置技术领域，尤其涉及一种密封性强的化学气相沉积进气装置。
背景技术
常压化学气相沉积炉在对物料进行提纯加工的过程中，会产生大量挥发物，大量挥发物经过常压化学气相沉积炉内部的反映后，需要通过净化处理后，达到排放标准才能正常的进行尾气的排放，常压化学气相沉积炉上的进气管道直接与常压化学气相沉积炉的内部连通，用于气体的输入；
采用该结构的情况下，当进气管道不输送气体状态下，挥发物气体易会出现回流状况，回流的气体会进入到进气管内部，然后让进气管道内部发生堵塞，后续需要人工定期去进行清堵工作，不仅容易造成时间的浪费，且如果在正在送气时发生堵塞，还需要停止送气装置，影响实际的装置运行。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种密封性强的化学气相沉积进气装置，该装置在实际的使用过程中，利用单向密封结构，可有效的避免气体回流的情况出现，保证了管道的洁净性。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种密封性强的化学气相沉积进气装置，包括管体；单向密封机构，所述单向密封机构包括设置在管体下方的密封板，所述密封板的上端设置有连接块，所述管体的内壁上固定连接有横板，所述横板与连接块通过第一弹簧弹性连接；所述密封板的上端固定连接有密封环，所述密封环的上端与管体的下端接触。
优选地，所述横板上开设有多个通风口。
优选地，所述密封环的内径小于管体的内径，所述密封环的外径大于管体的外径。
优选地，所以连接块的上端对称固定连接有多个导向杆，多个所述导向杆均贯穿横板，并与横板滑动连接。
优选地，所述密封板、连接块、横板和多个导向杆均采用不锈钢材质。
优选地，所述密封板的上端开设有矩形槽，所述连接块的下端延伸至矩形槽内。
优选地，所述矩形槽的左侧两侧内壁上均开设有滑槽，两个所述滑槽内均设置有可左右滑动的限位块，所述连接块的左右两侧内壁上均开设有限位槽，每个所述限位块均与对应的限位槽配合。
优选地，两个所述限位块的相背侧均通过第二弹簧与对应滑槽的内壁弹性连接，每个所述限位块均为活塞块，其余对应滑槽的内壁贴合。
优选地，两个所述滑槽的内底部均开设有条状口，每个所述限位块的下端均固定连接有连接杆。
优选地，每个所述连接杆的下端均贯穿条状口，并固定连接有橡胶套。
本实用新型与现有技术相比，其有益效果为：
设置有单向气体输送机构，采用该方式，有效的避免后续挥发性气体回流的情况出现，保证了管道的洁净性，在长时间的使用过程中，密封环如果需要更换后，只需用手撑着两个橡胶套，使得两个连接杆相背运动，即可将密封板处整体拆下，整个更换的过程较为简单。
附图说明
图1为本实用新型的实施例1示意图；
图2为本实用新型的实施例2示意图；
图3为本实用新型的实施例3示意图；
图4为图3的A处放大图。
图中：1管体、2横板、3连接块、4密封板、5第一弹簧、6密封环、7导向杆、8矩形槽、9限位槽、10限位块、11滑槽、12条状口、13连接杆、14第二弹簧、15橡胶套。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
实施例1
参照图1，一种密封性强的化学气相沉积进气装置，包括管体1；
其中，还包括单向密封机构，单向密封机构包括设置在管体1下方的密封板4，密封板4的上端设置有连接块3，管体1的内壁上固定连接有横板2，横板2上开设有多个通风口，横板2与连接块3通过第一弹簧5弹性连接；
其中，密封板4的上端固定连接有密封环6，密封环6的上端与管体1的下端接触，密封环6的内径小于管体1的内径，密封环6的外径大于管体1的外径。
本实用新型中，在实际的使用时，管体1的上端部分与外界的气体注入机构连接，而管体1下端部分位于气相沉积内，在进行注气的过程中，气体由上而下运动，受到气压作用，会压动密封板4下移，不影响气体的输送，而当不输送气体时，受到第一弹簧5的弹性作用，密封板4再次回移，将管体1密封，采用该方式，有效的避免气体回流的情况出现，保证了管道的洁净性。
实施例2
参照图2，本实施例与实施例1的不同之处在于，所以连接块3的上端对称固定连接有多个导向杆7，多个导向杆7均贯穿横板2，并与横板2滑动连接，密封板4、连接块3、横板2和多个导向杆7均采用不锈钢材质。
利用导向杆7的设置，可让密封板4的上下运动更为稳定，避免运动偏移的情况出现。
实施例3
参照图3-4，本实施例与实施例2的不同之处在于，密封板4的上端开设有矩形槽8，连接块3的下端延伸至矩形槽8内，矩形槽8的左侧两侧内壁上均开设有滑槽11，两个滑槽11内均设置有可左右滑动的限位块10，连接块3的左右两侧内壁上均开设有限位槽9，每个限位块10均与对应的限位槽9配合，两个限位块10的相背侧均通过第二弹簧14与对应滑槽11的内壁弹性连接，每个限位块10均为活塞块，其余对应滑槽11的内壁贴合，两个滑槽11的内底部均开设有条状口12，每个限位块10的下端均固定连接有连接杆13，每个连接杆13的下端均贯穿条状口12，并固定连接有橡胶套15。
在长时间的使用过程中，密封环6如果需要更换后，只需用手撑着两个橡胶套15，使得两个连接杆13相背运动，两个连接杆13的相背运动，会让两个限位块10相背运动，最终让两个限位块10离开对应限位槽9，此时可将密封板4处整体拆下，并换一个新的密封板4即可实现更换，整个更换的过程较为简单。
以上，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种密封性强的化学气相沉积进气装置，其特征在于，包括：
管体(1)；
单向密封机构，所述单向密封机构包括设置在管体(1)下方的密封板(4)，所述密封板(4)的上端设置有连接块(3)，所述管体(1)的内壁上固定连接有横板(2)，所述横板(2)与连接块(3)通过第一弹簧(5)弹性连接；
所述密封板(4)的上端固定连接有密封环(6)，所述密封环(6)的上端与管体(1)的下端接触。
2.根据权利要求1所述的一种密封性强的化学气相沉积进气装置，其特征在于，所述横板(2)上开设有多个通风口。
3.根据权利要求1所述的一种密封性强的化学气相沉积进气装置，其特征在于，所述密封环(6)的内径小于管体(1)的内径，所述密封环(6)的外径大于管体(1)的外径。
4.根据权利要求1所述的一种密封性强的化学气相沉积进气装置，其特征在于，所以连接块(3)的上端对称固定连接有多个导向杆(7)，多个所述导向杆(7)均贯穿横板(2)，并与横板(2)滑动连接。
5.根据权利要求4所述的一种密封性强的化学气相沉积进气装置，其特征在于，所述密封板(4)、连接块(3)、横板(2)和多个导向杆(7)均采用不锈钢材质。
6.根据权利要求1所述的一种密封性强的化学气相沉积进气装置，其特征在于，所述密封板(4)的上端开设有矩形槽(8)，所述连接块(3)的下端延伸至矩形槽(8)内。
7.根据权利要求6所述的一种密封性强的化学气相沉积进气装置，其特征在于，所述矩形槽(8)的左侧两侧内壁上均开设有滑槽(11)，两个所述滑槽(11)内均设置有可左右滑动的限位块(10)，所述连接块(3)的左右两侧内壁上均开设有限位槽(9)，每个所述限位块(10)均与对应的限位槽(9)配合。
8.根据权利要求7所述的一种密封性强的化学气相沉积进气装置，其特征在于，两个所述限位块(10)的相背侧均通过第二弹簧(14)与对应滑槽(11)的内壁弹性连接，每个所述限位块(10)均为活塞块，其余对应滑槽(11)的内壁贴合。
9.根据权利要求8所述的一种密封性强的化学气相沉积进气装置，其特征在于，两个所述滑槽(11)的内底部均开设有条状口(12)，每个所述限位块(10)的下端均固定连接有连接杆(13)。
10.根据权利要求9所述的一种密封性强的化学气相沉积进气装置，其特征在于，每个所述连接杆(13)的下端均贯穿条状口(12)，并固定连接有橡胶套(15)。
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