CN220942131U - 一种喷淋臂驱动装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于喷淋臂技术领域，具体涉及一种喷淋臂驱动装置，包括：底座本体，转动设置在所述底座本体的喷淋臂，所述喷淋臂的端部贯穿并伸出所述底座本体；所述底座本体顶部设置有旋转电机，所述旋转电机的输出轴贯穿所述底座本体，以及所述旋转电机的输出轴与所述喷淋臂的伸出端通过驱动结构连接，有益效果：1、旋转电机设置在底座本体的顶部，这样设置的方式能够保证旋转电机提供动力的同时，如果有多个腔室集成到一起叠放，不用考虑垂直空间的问题，提高了工作效率；2、旋转电机输出轴转动时，通过驱动结构能使所述喷淋臂的端部转动从而带动喷淋臂转动，喷淋臂转动到理想的位置后开始工作。

Description

一种喷淋臂驱动装置

技术领域

本实用新型属于喷淋臂技术领域，具体涉及一种喷淋臂驱动装置。

背景技术

随着国内高端芯片制造技术的不断发展，芯片的材料不断迭代，对于芯片原材料——晶圆片的要求也越来越高，相关原材料制造设备的升级、改造也面临挑战，其中包括湿法工艺设备的优化创新。

目前的单晶圆清洗机为了获取更大的产能开始朝着多腔室的方向发展，那么如何在有限的设备体积内放入更多的腔室和相配合的清洗手臂是需要考虑的，中国实用新型专利CN215656627U公开了一种晶圆清洗机，从其图2可见其马达驱动清洗臂的转动，气缸通过加强筋与底板连接，再通过安装板连接马达来带动清洗臂上下升降，这样设置的方式导致了其占用的垂直空间过大，一个单腔式的清洗机没有影响，当多个腔室集成到一起叠放时，需要考虑其垂直空间的问题。

因此，提供一种能节省空间的一种喷淋臂驱动装置是有必要的。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种喷淋臂驱动装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种喷淋臂驱动装置，其特征在于，包括：底座本体，转动设置在所述底座本体的喷淋臂，所述喷淋臂的端部贯穿并伸出所述底座本体；所述底座本体顶部设置有旋转电机，所述旋转电机的输出轴贯穿所述底座本体，以及所述旋转电机的输出轴与所述喷淋臂的伸出端通过驱动结构连接。

进一步地，所述驱动结构包括第一齿轮和第二齿轮；所述第一齿轮设置在旋转电机的输出轴上，所述第二齿轮设置在所述喷淋臂的侧壁，以及所述第一齿轮和所述第二齿轮互相啮合。

进一步地，所述底座本体顶部转动设置有旋转座，所述旋转座的底部贯穿并伸出所述底座本体，所述喷淋臂通过键槽和键块的形式卡设在所述旋转座内，以及所述第二齿轮套设在所述旋转座的侧壁。

进一步地，所述底座本体侧壁固定有连接板，所述连接板侧壁设有升降电机，所述升降电机的输出轴贯穿所述连接板，以及所述升降电机的输出轴与所述喷淋臂的伸出端连接。

进一步地，所述喷淋臂的底部设置有连接转轮，所述连接转轮的侧壁设有环状的连接槽，所述升降电机的输出轴上设置有偏心块，所述偏心块始终卡设在所述连接槽内，以及所述升降电机的输出轴垂直于所述喷淋臂。

进一步地，所述升降电机的输出轴上设有偏心轮，所述偏心轮的侧壁一体设有偏心块。

进一步地，所述底座本体上开设有安装槽，所述旋转电机的底部设有第一减速机，所述第一减速机与所述旋转电机同轴设置并且所述第一减速机固定在所述安装槽内，以及所述第一齿轮套设在所述第一减速机的输出轴上。

进一步地，所述升降电机的侧壁同轴设置有第二减速机，所述第二减速的固定安装在所述连接板的侧壁，以及所述偏心轮套设在所述第二减速机的输出轴上。

进一步地，所述喷淋臂中空设置，所述喷淋臂的顶部设有横管，所述横管中空并且与所述喷淋臂连通，以及所述横管的端部适于安装不同类型的喷嘴。

本实用新型的有益效果：

1、底座本体能完成喷淋臂与旋转电机的架设，结构简单可靠，为本实用新型一种喷淋臂驱动装置提供了良好的工作环境，喷淋臂适于通入清洗介质，完成晶圆的清洗。

2、旋转电机设置在底座本体的顶部，这样设置的方式能够保证旋转电机提供动力的同时，竖直叠加多个清洗组件时，能够节约了垂直空间；

3、旋转电机输出轴转动时，通过驱动结构能使所述喷淋臂的端部转动从而带动喷淋臂转动，喷淋臂转动到理想的位置后开始工作；

本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型喷淋臂驱动装置第一结构示意图；

图2是本实用新型喷淋臂驱动装置第二结构示意图。

图中：

100、底座本体，110、喷淋臂，111、横管，112、喷嘴，120、旋转电机，121、第一减速机，130、驱动结构，131、第一齿轮，132、第二齿轮，140、旋转座，150、连接板，160、升降电机，161、偏心轮，162、偏心块，163、第二减速机，170、连接转轮，171、连接槽，180、安装槽。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1，如图1所示，本实用新型提供了一种喷淋臂驱动装置，其特征在于，包括：底座本体100，转动设置在所述底座本体100的喷淋臂110，所述喷淋臂110的端部贯穿并伸出所述底座本体100，所述底座本体100能完成喷淋臂110与旋转电机120的架设，结构简单可靠，为本实用新型一种喷淋臂驱动装置提供了良好的工作环境，所述喷淋臂110适于通入清洗介质，以完成晶圆的清洗；所述底座本体100顶部设置有旋转电机120，所述旋转电机120的输出轴贯穿所述底座本体100，所述旋转电机120设置在所述底座本体100的顶部，这样设置的方式能够保证所述旋转电机120提供动力的同时，竖直叠加多个喷淋臂驱动装置时，能够节约了垂直空间；以及所述旋转电机120的输出轴与所述喷淋臂110的伸出端通过驱动结构130连接。所述旋转电机120输出轴转动时，通过所述驱动结构130能使所述喷淋臂110的端部转动从而带动所述喷淋臂110转动，所述喷淋臂110转动到理想的工作位置后开始工作，并且，在需要使用多种清洗介质时，仅需要在底座本体100上设置多组喷淋臂110即可。

所述驱动结构130包括第一齿轮131和第二齿轮132；所述第一齿轮131设置在旋转电机120的输出轴上，所述第二齿轮132设置在所述喷淋臂110的侧壁，以及所述第一齿轮131和所述第二齿轮132互相啮合，所述旋转电机120的输出轴转动带动所述第一齿轮131转动，所述第一齿轮131转动能够带动所述第二齿轮132转动，所述第二齿轮132转动带动所述喷淋臂110转动到适于工作的位置。

所述底座本体100顶部转动设置有旋转座140，所述旋转座140的底部贯穿并伸出所述底座本体100，所述喷淋臂110通过键槽和键块的形式卡设在所述旋转座140内，以及所述第二齿轮132套设在所述旋转座140的侧壁，所述喷淋臂110转动时带动所述旋转座140转动，所述旋转座140能使所述喷淋臂110更加平稳地转动；并且当旋转座140转动至指定位置时，能够滑动喷淋臂110来靠近晶圆。

所述底座本体100侧壁固定有连接板150，所述连接板150侧壁设有升降电机160，所述升降电机160的输出轴贯穿所述连接板150，以及所述升降电机160的输出轴与所述喷淋臂110的伸出端连接。所述升降电机160的输出轴转动时能使所述喷淋臂110上下滑动以抵达不同的清洗位置。

所述喷淋臂110的底部设置有连接转轮170，所述连接转轮170的侧壁设有环状的连接槽171，所述升降电机160的输出轴上设置有偏心块162，所述偏心块162始终卡设在所述连接槽171内，以及所述升降电机160的输出轴垂直于所述喷淋臂110，所述升降电机160的输出轴转动时带动所述偏心块162偏心转动从而带动所述连接转轮170上下滑动，所述连接转轮170上下滑动带动所述喷淋臂110上下滑动，所述升降电机160的输出轴垂直于所述喷淋臂110（即所述升降电机水平设置）能减少喷淋臂驱动装置的竖直高度。

所述升降电机160的输出轴上设有偏心轮161，所述偏心轮161的侧壁一体设有偏心块162，所述偏心块162设置在所述偏心轮161的边缘处，保证偏心轮161转动时，偏心块162的竖直高度能够发生改变，来驱动连接转轮170上下移动。

所述底座本体100上开设有安装槽180，所述旋转电机120的底部设有第一减速机121，所述第一减速机121与所述旋转电机120同轴设置并且所述第一减速机121固定在所述安装槽180内，以及所述第一齿轮131套设在所述第一减速机121的输出轴上，所述安装槽180能稳固架设所述第一减速机121，为所述第一减速机121提供了良好的工作环境，所述第一减速机121能对所述旋转电机120的输出轴减速增扭，从而使所述第一齿轮131更加地高效转动。

所述升降电机160的侧壁同轴设置有第二减速机163，所述第二减速机163固定安装在所述连接板150的侧壁，以及所述偏心轮161套设在所述第二减速机163的输出轴上，所述第二减速机163能对所述升降电机160的输出轴减速增扭，从而使所述偏心轮161更加高效地转动。

所述喷淋臂110中空设置，所述喷淋臂110的顶部设有横管111，所述横管111中空并且与所述喷淋臂110连通，以及所述横管111的端部适于安装不同类型的喷嘴112，所述喷淋臂110与所述横管111中空的设置可以通入清洗介质，所述横管111安装不同类型的所述喷嘴112能达到不同的清洗效果，提高了清洗效率。

本申请中选用的各个器件（未说明具体结构的部件）均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。并且，本申请所涉及的软件程序均为现有技术，本申请不涉及对软件程序作出任何改进。

在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的系统、装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。

所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。

另外，在本实用新型各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (9)

1.一种喷淋臂驱动装置，其特征在于，包括：

底座本体（100），转动设置在所述底座本体（100）的喷淋臂（110），所述喷淋臂（110）的端部贯穿并伸出所述底座本体（100）；

所述底座本体（100）顶部设置有旋转电机（120），所述旋转电机（120）的输出轴贯穿所述底座本体（100），以及

所述旋转电机（120）的输出轴与所述喷淋臂（110）的伸出端通过驱动结构（130）连接。

2.如权利要求1所述的喷淋臂驱动装置，其特征在于，

所述驱动结构（130）包括第一齿轮（131）和第二齿轮（132）；

所述第一齿轮（131）设置在旋转电机（120）的输出轴上，所述第二齿轮（132）设置在所述喷淋臂（110）的侧壁，以及

所述第一齿轮（131）和所述第二齿轮（132）互相啮合。

3.如权利要求2所述的喷淋臂驱动装置，其特征在于，

所述底座本体（100）顶部转动设置有旋转座（140），所述旋转座（140）的底部贯穿并伸出所述底座本体（100），所述喷淋臂（110）通过键槽和键块的形式卡设在所述旋转座（140）内，以及

所述第二齿轮（132）套设在所述旋转座（140）的侧壁。

4.如权利要求3所述的喷淋臂驱动装置，其特征在于，

所述底座本体（100）侧壁固定有连接板（150），所述连接板（150）侧壁设有升降电机（160），所述升降电机（160）的输出轴贯穿所述连接板（150），以及

所述升降电机（160）的输出轴与所述喷淋臂（110）的伸出端连接。

5.如权利要求4所述的喷淋臂驱动装置，其特征在于，

所述喷淋臂（110）的底部设置有连接转轮（170），所述连接转轮（170）的侧壁设有环状的连接槽（171），所述升降电机（160）的输出轴上设置有偏心块（162），所述偏心块（162）始终卡设在所述连接槽（171）内，以及

所述升降电机（160）的输出轴垂直于所述喷淋臂（110）。

6.如权利要求5所述的喷淋臂驱动装置，其特征在于，

所述升降电机（160）的输出轴上设有偏心轮（161），所述偏心轮（161）的侧壁一体设有偏心块（162）。

7.如权利要求6所述的喷淋臂驱动装置，其特征在于，

所述底座本体（100）上开设有安装槽（180），所述旋转电机（120）的底部设有第一减速机（121），所述第一减速机（121）与所述旋转电机（120）同轴设置并且所述第一减速机（121）固定在所述安装槽（180）内，以及

所述第一齿轮（131）套设在所述第一减速机（121）的输出轴上。

8.如权利要求7所述的喷淋臂驱动装置，其特征在于，

所述升降电机（160）的侧壁同轴设置有第二减速机（163），所述第二减速的固定安装在所述连接板（150）的侧壁，以及

所述偏心轮（161）套设在所述第二减速机（163）的输出轴上。

9.如权利要求8所述的喷淋臂驱动装置，其特征在于，

所述喷淋臂（110）中空设置，所述喷淋臂（110）的顶部设有横管（111），所述横管（111）中空并且与所述喷淋臂（110）连通，以及

所述横管（111）的端部适于安装不同类型的喷嘴（112）。