CN220913440U - 一种光束调节装置 - Google Patents

Abstract

一种光束调节装置，包括：第一偏振组件、偏振切换组件以及第一分光组件；第一偏振组件被配置为将照明光束改变为具有第二偏振态的线偏振光，第二偏振态与第一偏振态的偏振方向和/或偏振状态不相同；偏振切换组件设于第一偏振组件的出射光路上，其具有第一状态与第二状态，被配置为在第一状态下将照明光束从第二偏振态的线偏振光切换为第三偏振态的线偏振光，在第二状态下将照明光束保持在第二偏振态；第一分光组件设于偏振切换组件的出射光路上，被配置将第二偏振态的照明光束传输至第一光路，将第三偏振态的照明光束传输至第二光路，第一光路与第二光路中的至少一个作为快门模块的出光光路。本申请可以实现光学快门的效果。

Description

一种光束调节装置

技术领域

本实用新型涉及光学检测设备技术领域，具体涉及一种光束调节装置。

背景技术

在现有的光学检测设备中，在进行相关操作时需要将光源的输出关断，或者需要控制光束的输出频率，一般是在光源的出射光路上设置机械快门结构，通过机械驱动与阻挡的形式实现光路的开通与关断。

目前，机械快门实现手段单一，一般为光圈合叶开合或移动阻挡的形式。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是解决机械快门的局限性。

根据第一方面，一种实施例中提供一种光束调节装置，光束调节装置设于光源的出射光路上，并用于接收光源提供的照明光束，照明光束具有第一偏振态；光束调节装置包括：快门模块；

快门模块包括：第一偏振组件、偏振切换组件以及第一分光组件；

第一偏振组件被配置为将照明光束改变为具有第二偏振态的线偏振光，第二偏振态与第一偏振态的偏振方向和/或偏振状态不相同；

偏振切换组件设于第一偏振组件的出射光路上，其具有第一状态与第二状态，被配置为在第一状态下将照明光束从第二偏振态的线偏振光切换为第三偏振态的线偏振光，在第二状态下将照明光束保持在第二偏振态；

第一分光组件设于偏振切换组件的出射光路上，被配置将第二偏振态的照明光束传输至第一光路，将第三偏振态的照明光束传输至第二光路，第一光路与第二光路中的至少一个作为快门模块的出光光路。

一种实施例中，第二偏振态与第三偏振态的偏振方向相互垂直；

第一偏振组件包括第一波片与第一驱动组件，第一波片为半波片；

第一驱动组件被配置为驱动第一波片转动，以使得第一波片改变照明光束的偏振状态和/或偏振方向。

一种实施例中，第一偏振组件还包括第二波片和/或第一偏振片；

当第一偏振态为自然光、部分偏振光时，第一偏振片切入光源与第一波片之间的光路，第一偏振片被配置为对自然光的照明光束进行起偏，得到线偏振光的照明光束；

当第一偏振态为椭圆偏振光或圆偏振光时，第二波片切入光源与第一波片之间的光路，所以第二波片被配置为将椭圆偏振光或圆偏振光改变为线偏振光。

一种实施例中，第二偏振态与第三偏振态中的一个为S偏振光，另一个为P偏振光；

偏振切换组件包括普克尔斯盒，普克尔斯盒被配置为在第一状态下将照明光束从第二偏振态的线偏振光切换为第三偏振态的线偏振光，在第二状态下将照明光束保持在第二偏振态；

或者，偏振切换组件包括可移动的第三波片，第三波片被配置为在第一状态下切入第一偏振组件的出射光路，将照明光束从第二偏振态的线偏振光切换为第三偏振态的线偏振光；在第二状态下切出第一偏振组件的出射光路，将照明光束保持在第二偏振态。

一种实施例中，光束调节装置还包括第一调节组件，第一调节组件被配置为调节第一分光组件的俯仰和/或偏摆角度，以调整照明光束相对于第一分光组件的入射角。

一种实施例中，第一分光组件包括偏振反射镜或偏振分光棱镜。

一种实施例中，当第一分光组件包括偏振反射镜时，照明光束传输至偏振反射镜的反射面时，入射角为布鲁斯特角；

当第一分光组件包括偏振分光棱镜时，照明光束传输至偏振分光棱镜的偏振分光膜时，入射角为布鲁斯特角。

一种实施例中，光束调节装置还包括衰减模块；

衰减模块设于快门模块的出光光路上，被配置为调整照明光束的衰减量。

一种实施例中，衰减模块包括第二偏振组件以及第二分光组件；第二偏振态与第三偏振态中的一个为S偏振光，另一个为P偏振光；

第二偏振组件被配置为改变照明光束的偏振方向，以使得照明光束中的S偏振光与P偏振光的分量发生改变；

第二分光组件设于第二偏振组件的出射光路上，被配置将第二偏振态的照明光束传输至第三光路，将第三偏振态的照明光束传输至第四光路，第三光路与第四光路中的至少一个作为衰减模块的出光光路。

一种实施例中，第二偏振组件包括第四波片与第二驱动组件；

第四波片设于快门模块的出射光路上，被配置为改变照明光束的偏振方向，以使得照明光束中的S偏振光与P偏振光的分量发生改变；

第二驱动组件被配置为驱动第四波片沿自身的法线转动。

一种实施例中，第四波片为半波片或1/4波片。

一种实施例中，光束调节装置还包括第二调节组件，第二调节组件被配置为调节第二分光组件的俯仰和/或偏摆角度，以调整照明光束相对于第二分光组件的入射角。

一种实施例中，第二分光组件包括偏振反射镜或偏振分光棱镜。

一种实施例中，当第二分光组件包括偏振反射镜时，照明光束传输至偏振反射镜的反射面时，入射角为布鲁斯特角；

当第二分光组件包括偏振分光棱镜时，照明光束传输至偏振分光棱镜的偏振分光膜时，入射角为布鲁斯特角。

依据上述实施例的光束调节装置，通过第一偏振组件对照明光束的偏正态进行限定，保证输入到偏振切换组件的照明光束为第二偏振态，偏振切换组件可以根据照明光路需要关断还是开通，将照明光束切换为第二偏振态还是第三偏振态，通过第一分光组件将不同偏振态的照明光束分光至对应的光路，以实现第一光路与第二光路中照明光束的开通或关断。本申请可以通过光学元器件调节的方式实现光路的开通或关断，以实现光学快门的效果。

附图说明

图1为本申请一种实施例提供的快门模块的结构示意图(一)；

图2为本申请一种实施例提供的光束调节装置的结构示意图(一)；

图3为本申请一种实施例提供的第一偏振组件的结构示意图(一)；

图4为本申请一种实施例提供的第一偏振组件的结构示意图(二)；

图5为本申请一种实施例提供的快门模块的结构示意图(二)；

图6为本申请一种实施例提供的光束调节装置的结构示意图(二)。

附图标记：100-快门模块；110-第一偏振组件；111-第一波片；112-第一驱动组件；113-第二波片；114-第一偏振片；120-偏振切换组件；121-第三波片；130-第一分光组件；140-第一调节组件；200-衰减模块；210-第二偏振组件；211-第四波片；212-第二驱动组件；220-第二分光组件；230-第二调节组件。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本实用新型作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。

另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式。同时，方法描述中的各步骤或者动作也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图中的各种顺序只是为了清楚描述某一个实施例，并不意味着是必须的顺序，除非另有说明其中某个顺序是必须遵循的。

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。

如图1与图2所示，本申请实施例提供一种光束调节装置，光束调节装置设于光源的出射光路上，并用于接收光源提供的照明光束，照明光束具有第一偏振态；光束调节装置可以包括：快门模块100。

快门模块100可以包括：第一偏振组件110、偏振切换组件120以及第一分光组件130。

第一偏振组件110被配置为将照明光束改变为具有第二偏振态的线偏振光，第二偏振态与第一偏振态的偏振方向和/或偏振状态不相同。

偏振切换组件120设于第一偏振组件110的出射光路上，其具有第一状态与第二状态，被配置为在第一状态下将照明光束从第二偏振态的线偏振光切换为第三偏振态的线偏振光，在第二状态下将照明光束保持在第二偏振态。第二偏振态与第三偏振态的偏振方向和/或偏振状态不相同。

第一分光组件130设于偏振切换组件120的出射光路上，被配置将第二偏振态的照明光束传输至第一光路，将第三偏振态的照明光束传输至第二光路，第一光路与第二光路中的至少一个作为快门模块100的出光光路。

例如，经过第一偏振组件110的作用后，照明光束改变为具有第二偏振态的线偏振光，具有确定的偏振状态与偏振方向。当采用第一光路作为快门模块100的出光光路，且第一光路连通至后续光路，在需要照明光路开通时，偏振切换组件120切换至第二状态，保持照明光束为第二偏振态的线偏振光，第二偏振态的线偏振光经第一分光组件130传输至第一光路并输出，完成快门打开的功能。在需要关断照明光路时，偏振切换组件120切换至第一状态，将第二偏振态的线偏振光切换为第三偏振态的线偏振光，第三偏振态的线偏振光经第一分光组件130传输至第二光路，由于第二光路不可以作为快门模块100的出光光路，第三偏振态的线偏振光并不会传输至后续光路，实现快门关闭的效果。

可见，本申请实施例通过光学元器件，基于对不同偏振态和/或偏振角度的线偏振光进行分光，实现光学快门的效果。

在宏观偏振态中，光包括自然光以及偏振光，偏振光具有四种偏振态，包括部分偏振光、线偏振光、圆偏振光以及椭圆偏振光。对于线偏振光，根据光的偏振方向与入射光的传播方向的角度关系，还可以分为垂直偏振(即S偏振光)、平行偏振(即P偏振光)以及倾斜偏振的线偏振光，其中，倾斜偏振的线偏振光包含有垂直偏振分量与平行偏振分量。

一些实施例中，第二偏振态与第三偏振态的偏振方向相互垂直。采用激光光源提供照明光束时，一般提供P偏振光，例如，在本申请中，第二偏振态与第三偏振态中的一个为S偏振光，另一个为P偏振光。

第一偏振组件110可以包括第一波片111与第一驱动组件112，第一波片111可以为半波片。

当照明光束的振动方向与半波片的光轴夹角为θ时，可以将照明光束的振动方向转动2θ。线偏振光经过半波片后依旧为线偏振光，仅仅是振动方向发生变化，因此，不管照明光束的原始振动方向相对于偏振切换组件120是怎样的，通过转动半波片都可以调整后续的振动方向，可以保证输入到偏振切换组件120的照明光束具有第二偏振态。

第一驱动组件112被配置为驱动第一波片111转动，以使得第一波片111改变照明光束的偏振状态和/或偏振方向。通过转动第一波片111，使得第一波片111的光轴转动，最终以偏振切换组件120以及第一分光组件130的光学系统为基准，将S偏振光或P偏振光输入到第一分光组件130中，通过分光可以实现第一光路与第二光路中光路开通或关断。

需要说明的是，本申请实施例中，对偏振态描述为S偏或P偏时，是依据光束调节装置的光学系统作为参照，例如是依据偏振切换组件120或第一分光组件130为基准。一般来说，光学检测设备的光学系统的方向，参照水平方向与竖直方向，此时，光束调节装置的方向也可以参照水平方向与竖直方向设置，此时S偏则为竖直方向，P偏为水平方向。但实际上本申请并不限制光束调节装置实际的设置方向。

一些实施例中，如图3与图4所示，第一偏振组件110还可以包括第二波片113和/或第一偏振片114。

如图3所示，当第一偏振态为自然光、部分偏振光时，第一偏振片114切入光源与第一波片111之间的光路，第一偏振片114被配置为对自然光的照明光束进行起偏，得到线偏振光的照明光束。照明光束经过第一偏振片114后，通过调整第一偏振片114的透振方向，可以包括指定振动方向的线偏振光，如只保留平行分量(P偏振光)。

如图4所示，当第一偏振态为椭圆偏振光或圆偏振光时，第二波片113切入光源与第一波片111之间的光路，所以第二波片113被配置为将椭圆偏振光或圆偏振光改变为线偏振光。其中，第二波片113可以为1/4波片。

也就是说，在第一波片111之前，可以通过设置第二波片113和/或第一偏振片114，对应不同偏振态的照明光束，都可以切换或改变为线偏振光，再通过第一波片111调整照明光束的振动方向。其中，第二波片113与第一偏振片114可以通过位移驱动器等实现方式，对应照明光束的实际偏振态，切入或切出光源与第一波片111之间的光路。

因此，在一些实施例中，第一偏振组件110还可以包括第三驱动组件和/或第四驱动组件，第三驱动组件用于驱动第二波片113切入或切出光源与第一波片111之间的光路；第四驱动组件用于驱动第一偏振片114切入或切出光源与第一波片111之间的光路。

一些实施例中，第二偏振态与第三偏振态中的一个为S偏振光，另一个为P偏振光。

偏振切换组件120可以包括普克尔斯盒，普克尔斯盒被配置为在第一状态下将照明光束从第二偏振态的线偏振光切换为第三偏振态的线偏振光，在第二状态下将照明光束保持在第二偏振态。

普克尔盒由一块透明晶体、电极以及电源组成。当施加电压到晶体上时，晶体中的电光效应将会改变光的偏振态。通过电压的变化，可以调节光传输的相位差，从而改变光的偏振方向或光强。

在上述实施例中，偏振切换组件120还可以第三调节组件，第三调节组件用于调节普克尔盒的空间位置与角度，以改变普克尔斯盒相对于光轴的姿态，保证通过普克尔斯盒的照明光束为第三偏振态的线偏振光或第二偏振态的线偏振光，不会产生两个角度的额外分量。

或者，如图5所示，偏振切换组件120可以包括可移动的第三波片121，第三波片121可以为半波片，第三波片121被配置为在第一状态下切入第一偏振组件110的出射光路，将照明光束从第二偏振态的线偏振光切换为第三偏振态的线偏振光；在第二状态下切出第一偏振组件110的出射光路，将照明光束保持在第二偏振态。当第二偏振态与第三偏振态中的一个为S偏振光，另一个为P偏振光时，采用半波片也能实现两个偏振态的切换。

在上述实施例中，偏振切换组件120可以包括第五驱动组件，用于驱动第三波片121切入或切出第一偏振组件110与第一分光组件130之间的光路。

一些实施例中，光束调节装置还可以包括第一调节组件140，第一调节组件140被配置为调节第一分光组件130的俯仰和/或偏摆角度，以调整照明光束相对于第一分光组件的入射角。

在本申请实施例中，第一分光组件130可以包括偏振反射镜或偏振分光棱镜。

当第一分光组件130可以包括偏振反射镜时，照明光束传输至偏振反射镜的反射面时，入射角为布鲁斯特角.

当第一分光组件130可以包括偏振分光棱镜时，照明光束传输至偏振分光棱镜的偏振分光膜时，入射角为布鲁斯特角。

当入射角为布鲁斯特角时，偏振反射镜或偏振分光棱镜对S偏振光的反射率最大，当采用第一光路作为快门模块100的出光光路时，可以降低光功率的衰减量。

为了使得只有第一光路与第二光路中的一个光路开通，另一个光路关断，就需要保证输入到第一分光组件130的照明光束为S偏线偏振光或P偏线偏振光，因此，输入到偏振切换组件120的照明光束也只能为S偏线偏振光或P偏线偏振光，不能为倾斜线偏振光。因此，本申请实施例通过第一偏振组件110的作用，输出指定振动方向的照明光束。因此，照明光束通过第一分光组件130后，通过反射或透射中的一种方式，输出到第一光路或第二光路，通过偏振切换组件120的切换作用，可以保证只有一个光路开通，另一个光路关断，从而实现光路的快门作用。

一些实施例中，如图2与6所示，光束调节装置还可以包括衰减模块200。

衰减模块200设于快门模块100的出光光路(如第一光路)上，被配置为调整照明光束的衰减量。

其中，衰减模块200可以包括第二偏振组件210以及第二分光组件220；第二偏振态与第三偏振态中的一个为S偏振光，另一个为P偏振光。

第二偏振组件210被配置为改变照明光束的偏振方向，以使得照明光束中的S偏振光与P偏振光的分量发生改变。

第二分光组件220设于第二偏振组件210的出射光路上，被配置将第二偏振态的照明光束传输至第三光路，将第三偏振态的照明光束传输至第四光路，第三光路与第四光路中的至少一个作为衰减模块200的出光光路。

一些实施例中，第二偏振组件210可以包括第四波片211与第二驱动组件212。

第四波片211设于快门模块100的出射光路上，被配置为改变照明光束的偏振方向，以使得照明光束中的S偏振光与P偏振光的分量发生改变。第四波片211可以为半波片或1/4波片。

第二驱动组件212被配置为驱动第四波片211沿自身的法线转动。

由于衰减模块200的入射光为快门模块100的第一光路或第二光路，那么入射光的偏振态为S偏振光或P偏振光，当第四波片211为半波片时，半波片根据其光轴的角度，可以实现对S偏振光进行偏振方向的调整，可以实现S偏振光-倾斜偏振光-P偏振光-S偏振光的连续变化，也就是说，可以使得入射到第二分光组件220的照明光束中的第二偏振态与第三偏振态的分量发生改变。因此，通过第三光路出射的照明光束可以为第一光路出射的照明光束的全部或部分；通过第四光路出射的照明光束可以为第一光路出射的照明光束的全部或部分。

当第四波片211为1/4波片时，1/4波片根据其光轴的角度，可以实现对S偏振光进行转换，可以实现S偏振光-椭圆偏振光-圆偏振光-椭圆偏振光-S偏振光的连续变化。最多可以将S偏振光50％进行P偏振光的转换，因此，通过第三光路出射的照明光束的光功率OP3与第一光路出射的照明光束的光功率OP1的比例为50％-100％中的任意值；通过第四光路出射的照明光束的光功率OP4与第一光路出射的照明光束的光功率OP1的比例为0-50％中的任意值。

一些实施例中，光束调节装置还可以包括第二调节组件230，第二调节组件230被配置为调节第二分光组件220的俯仰和/或偏摆角度，以调整照明光束相对于第二分光组件的入射角。

在本申请实施例中，分光原理是基于偏振元件对S偏与P偏的分光。例如，第二分光组件220可以包括偏振反射镜或偏振分光棱镜。

当第二分光组件220可以包括偏振反射镜时，照明光束传输至偏振反射镜的反射面时，入射角为布鲁斯特角。

当第二分光组件220可以包括偏振分光棱镜时，照明光束传输至偏振分光棱镜的偏振分光膜时，入射角为布鲁斯特角。

当入射角为布鲁斯特角时，偏振反射镜或偏振分光棱镜对S偏振光的反射率最大，当采用第三光路作为快门模块100的出光光路时，可以降低光功率的衰减量。

因此，当照明光束通过第二偏振组件210的作用后，输入到第二分光组件220的照明光束中S偏分量与P偏分量可以实现连续调整，因此被第二分光组件220反射或透射的光功率比例实现连续调整。也就是说，通过衰减模块200的第三光路或第四光路输出的照明光束，可以满足不同检测项目的功率要求。且采用波片与偏振元件的方案，整体体积小，降低体积影响。

综上所述，本申请实施例提供的光束调节装置，通过快门模块100可以实现光学快门的效果，可以解决机械快门存在的响应慢、存在污染的问题，通过衰减模块200可以实现照明光束的光功率调整，以满足不同检测项目的功率要求。

本文参照了各种示范实施例进行说明。然而，本领域的技术人员将认识到，在不脱离本文范围的情况下，可以对示范性实施例做出改变和修正。例如，各种操作步骤以及用于执行操作步骤的组件，可以根据特定的应用或考虑与系统的操作相关联的任何数量的成本函数以不同的方式实现(例如一个或多个步骤可以被删除、修改或结合到其他步骤中)。

虽然在各种实施例中已经示出了本文的原理，但是许多特别适用于特定环境和操作要求的结构、布置、比例、元件、材料和部件的修改可以在不脱离本披露的原则和范围内使用。以上修改和其他改变或修正将被包含在本文的范围之内。

前述具体说明已参照各种实施例进行了描述。然而，本领域技术人员将认识到，可以在不脱离本披露的范围的情况下进行各种修正和改变。因此，对于本披露的考虑将是说明性的而非限制性的意义上的，并且所有这些修改都将被包含在其范围内。同样，有关于各种实施例的优点、其他优点和问题的解决方案已如上所述。然而，益处、优点、问题的解决方案以及任何能产生这些的要素，或使其变得更明确的解决方案都不应被解释为关键的、必需的或必要的。本文中所用的术语“包括”和其任何其他变体，皆属于非排他性包含，这样包括要素列表的过程、方法、文章或设备不仅包括这些要素，还包括未明确列出的或不属于该过程、方法、系统、文章或设备的其他要素。此外，本文中所使用的术语“耦合”和其任何其他变体都是指物理连接、电连接、磁连接、光连接、通信连接、功能连接和/或任何其他连接。

具有本领域技术的人将认识到，在不脱离本实用新型的基本原理的情况下，可以对上述实施例的细节进行许多改变。因此，本实用新型的范围应仅由权利要求确定。

Claims (14)

1.一种光束调节装置，其特征在于，所述光束调节装置设于光源的出射光路上，并用于接收所述光源提供的照明光束，所述照明光束具有第一偏振态；所述光束调节装置包括：快门模块；

所述快门模块包括：第一偏振组件、偏振切换组件以及第一分光组件；

所述第一偏振组件被配置为将所述照明光束改变为具有第二偏振态的线偏振光，所述第二偏振态与所述第一偏振态的偏振方向和/或偏振状态不相同；

所述偏振切换组件设于所述第一偏振组件的出射光路上，其具有第一状态与第二状态，被配置为在第一状态下将所述照明光束从第二偏振态的线偏振光切换为第三偏振态的线偏振光，在第二状态下将所述照明光束保持在第二偏振态；

所述第一分光组件设于所述偏振切换组件的出射光路上，被配置将第二偏振态的照明光束传输至第一光路，将第三偏振态的照明光束传输至第二光路，第一光路与第二光路中的至少一个作为所述快门模块的出光光路。

2.如权利要求1所述的光束调节装置，其特征在于，所述第二偏振态与所述第三偏振态的偏振方向相互垂直；

所述第一偏振组件包括第一波片与第一驱动组件，所述第一波片为半波片；

所述第一驱动组件被配置为驱动所述第一波片转动，以使得所述第一波片改变所述照明光束的偏振状态和/或偏振方向。

3.如权利要求2所述的光束调节装置，其特征在于，所述第一偏振组件还包括第二波片和/或第一偏振片；

当所述第一偏振态为自然光、部分偏振光时，所述第一偏振片切入所述光源与所述第一波片之间的光路，所述第一偏振片被配置为对自然光的照明光束进行起偏，得到线偏振光的照明光束；

当所述第一偏振态为椭圆偏振光或圆偏振光时，所述第二波片切入所述光源与所述第一波片之间的光路，所以第二波片被配置为将所述椭圆偏振光或圆偏振光改变为线偏振光。

4.如权利要求2所述的光束调节装置，其特征在于，所述第二偏振态与所述第三偏振态中的一个为S偏振光，另一个为P偏振光；

所述偏振切换组件包括普克尔斯盒，所述普克尔斯盒被配置为在第一状态下将所述照明光束从第二偏振态的线偏振光切换为第三偏振态的线偏振光，在第二状态下将所述照明光束保持在第二偏振态；

或者，所述偏振切换组件包括可移动的第三波片，所述第三波片被配置为在第一状态下切入所述第一偏振组件的出射光路，将所述照明光束从第二偏振态的线偏振光切换为第三偏振态的线偏振光；在第二状态下切出所述第一偏振组件的出射光路，将所述照明光束保持在第二偏振态。

5.如权利要求1所述的光束调节装置，其特征在于，所述光束调节装置还包括第一调节组件，所述第一调节组件被配置为调节所述第一分光组件的俯仰和/或偏摆角度，以调整所述照明光束相对于所述第一分光组件的入射角。

6.如权利要求1所述的光束调节装置，其特征在于，所述第一分光组件包括偏振反射镜或偏振分光棱镜。

7.如权利要求6所述的光束调节装置，其特征在于，当所述第一分光组件包括偏振反射镜时，照明光束传输至所述偏振反射镜的反射面时，入射角为布鲁斯特角；

当所述第一分光组件包括偏振分光棱镜时，照明光束传输至所述偏振分光棱镜的偏振分光膜时，入射角为布鲁斯特角。

8.如权利要求1-7中任一项所述的光束调节装置，其特征在于，所述光束调节装置还包括衰减模块；

所述衰减模块设于所述快门模块的出光光路上，被配置为调整所述照明光束的衰减量。

9.如权利要求8所述的光束调节装置，其特征在于，所述衰减模块包括第二偏振组件以及第二分光组件；所述第二偏振态与所述第三偏振态中的一个为S偏振光，另一个为P偏振光；

所述第二偏振组件被配置为改变所述照明光束的偏振方向，以使得所述照明光束中的S偏振光与P偏振光的分量发生改变；

所述第二分光组件设于所述第二偏振组件的出射光路上，被配置将第二偏振态的照明光束传输至第三光路，将第三偏振态的照明光束传输至第四光路，第三光路与第四光路中的至少一个作为所述衰减模块的出光光路。

10.如权利要求9所述的光束调节装置，其特征在于，所述第二偏振组件包括第四波片与第二驱动组件；

所述第四波片设于所述快门模块的出射光路上，被配置为改变所述照明光束的偏振方向，以使得所述照明光束中的S偏振光与P偏振光的分量发生改变；

所述第二驱动组件被配置为驱动所述第四波片沿自身的法线转动。

11.如权利要求10所述的光束调节装置，其特征在于，所述第四波片为半波片或1/4波片。

12.如权利要求9所述的光束调节装置，其特征在于，所述光束调节装置还包括第二调节组件，所述第二调节组件被配置为调节所述第二分光组件的俯仰和/或偏摆角度，以调整所述照明光束相对于所述第二分光组件的入射角。

13.如权利要求9所述的光束调节装置，其特征在于，所述第二分光组件包括偏振反射镜或偏振分光棱镜。

14.如权利要求13所述的光束调节装置，其特征在于，当所述第二分光组件包括偏振反射镜时，照明光束传输至所述偏振反射镜的反射面时，入射角为布鲁斯特角；

当所述第二分光组件包括偏振分光棱镜时，照明光束传输至所述偏振分光棱镜的偏振分光膜时，入射角为布鲁斯特角。