CN220886074U - 一种基板吸盘结构 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 52
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims abstract description 69
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 claims description 39
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 12
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
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Abstract
本实用新型提供一种基板吸盘结构，包括包括设置在固定块上的支撑盘、以及设置在支撑盘上对基板进行吸附固定的吸附机构，其特征在于，支撑盘顶端端面沿圆周阵列开设有四个长度方向过中心位置的限位槽，吸附机构包括四个分别一一对应活动设置在不同限位槽上方的移动吸附盘、设置在支撑盘顶端中心位置上的固定吸附盘、设置在支撑盘内部开设储存槽内并分别连接移动吸附盘和固定吸附盘的吸附装置、以及设置在储存槽内并驱动四个移动吸附盘分别在不同限位槽内同步移动的控制组件；本实用新型可以便捷的对不同大小型号基板进行吸附固定，并实现了对基板进行稳定吸附固定。
Description
技术领域
本实用新型涉及基板吸盘技术领域，具体为一种基板吸盘结构。
背景技术
基板处理工艺包括先对基板进行固定与基板吸盘上，且在基板位置固定的状态下通过旋转的垫状物对基板表面进行擦拭或者细微研磨的工艺。
其中现有的基板吸盘仅可以对固定大小的基板进行吸附固定，且在基板较大或较小时会导致现有的基板吸盘不便于对基板进行稳定吸附固定或无法吸附固定的情况出现。
实用新型内容
针对上述技术问题，本实用新型提供一种基板吸盘结构，可以便捷的对不同大小型号基板进行吸附固定，并实现了对基板进行稳定吸附固定。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种基板吸盘结构，包括设置在固定块上的支撑盘、以及设置在支撑盘上对基板进行吸附固定的吸附机构，支撑盘顶端端面沿圆周阵列开设有四个长度方向过中心位置的限位槽，吸附机构包括四个分别一一对应活动设置在不同限位槽上方的移动吸附盘、设置在支撑盘顶端中心位置上的固定吸附盘、设置在支撑盘内部开设储存槽内并分别连接移动吸附盘和固定吸附盘的吸附装置、以及设置在储存槽内并驱动四个移动吸附盘分别在不同限位槽内同步移动的控制组件。
优选的，吸附机构还包括活动穿设于限位槽内且分别连接不同移动吸附盘的连接管，四个连接管设置在控制组件上且均连接吸附装置。
优选的，控制组件包括轴线方向相互垂直设置在储存槽内的第一双向丝杆和第二双向丝杆、设置在储存槽内且分别固定连接不同连接管的四个第一螺纹块、以及设置在储存槽内并驱动第一双向丝杆和第二双向丝杆进行同步转动的第一驱动件，第一双向丝杆两端分别穿设于不同第一螺纹块上且杆身与第一螺纹块螺纹连接；第二双向丝杆两端分别穿设于不同第一螺纹块上且杆身与第一螺纹块螺纹连接。
优选的，第一驱动件包括两个分别固定套设于第一双向丝杆杆身中部和第二双向丝杆杆身中部且相互啮合的传动齿轮、设置在储存槽内且与其中一个传动齿轮啮合的驱动齿轮、以及设置在储存槽内并驱动驱动齿轮进行转动的第一电机。
优选的，控制组件包括两根轴线方向相互平行设置在储存槽内的滑杆、设置在储存槽内且分别固定连接不同连接管的四个滑块、以及设置在储存槽内并驱动两根滑杆相互靠近或相互远离的第二驱动件，每根滑杆两端分别活动穿设于不同滑块上。
优选的，第二驱动件包括分别固定设置在不同滑杆杆身中部位置上的两个第二螺纹块、以及设置在储存槽内且两端分别通过螺纹连接穿设于不同第二螺纹块上的第三双向丝杆，第三双向丝杆端部连接设置在储存槽内设置的第二电机输出端。
本实用新型的有益效果：直接将基板放置于支撑盘上的固定吸附盘和移动吸附盘上，从而便于对基板进行吸附固定，且在需要对不同大小型号的基板进行吸附固定时，直接通过控制组件带动设置在支撑盘上开设的限位槽上的四个移动吸附盘同步移动，且带动四个移动吸附盘同步向靠近支撑盘中心位置移动或远离位置移动，从而便于调节四个移动吸附盘之间的位置，从而便于对不同大小型号基板进行吸附固定，可以便捷的对不同大小型号基板进行吸附固定，并实现了对基板进行稳定吸附固定。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制，在附图中：
图1为本实用新型提出的基板吸盘结构简易结构示意图。
图2为本实用新型的第一种控制组件结构示意图。
图3为本实用新型的第二种控制组件结构示意图。
图中：1、固定块；2、支撑盘；3、限位槽；4、连接管；5、移动吸附盘；6、固定吸附盘；7、储存槽；8、第一双向丝杆；9、第二双向丝杆；10、第一螺纹块；11、传动齿轮；12、驱动齿轮；13、第一电机；14、滑块；15、滑杆；16、第三双向丝杆；17、第二螺纹块；18、第二电机。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例和附图，进一步阐述本实用新型，但下述实施例仅为本实用新型的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本实用新型的保护范围。
请参阅图1-3，一种基板吸盘结构，包括设置在固定块1上的支撑盘2、以及设置在支撑盘2上对基板进行吸附固定的吸附机构，支撑盘2顶端端面沿圆周阵列开设有四个长度方向过中心位置的限位槽3，吸附机构包括四个分别一一对应活动设置在不同限位槽3上方的移动吸附盘5、设置在支撑盘2顶端中心位置上的固定吸附盘6、设置在支撑盘2内部开设储存槽7内并分别连接移动吸附盘5和固定吸附盘6的吸附装置、以及设置在储存槽7内并驱动四个移动吸附盘5分别在不同限位槽3内同步移动的控制组件。
如图1-3所示，其中直接将基板放置于支撑盘2上方的固定吸附盘6和四个移动吸附盘5上，从而便于通过固定吸附盘6和四个移动吸附盘5对基板进行吸附固定，通过设置的吸附装置从而便于带动四个移动吸附盘5和固定吸附盘6对基板进行吸附固定，且在需要对不同大小型号基板进行吸附固定时，直接通过控制组件带动设置在限位槽3上的四个移动吸附盘5同步向支撑盘2中心位置移动或远离支撑盘2中心位置的方向进行移动，从而便于对不同大小型号基板进行吸附固定，并保证了对基板吸附固定的稳定性，可以便捷的对不同大小型号基板进行吸附固定，并实现了对基板进行稳定吸附固定。
如图1所示，吸附机构还包括活动穿设于限位槽3内且分别连接不同移动吸附盘5的连接管4，四个连接管4设置在控制组件上且均连接吸附装置，通过连接管4连接移动吸附盘5和连接的固定吸附盘6便于对基板端面进行吸附固定，并保证了对基板的防护功能，避免了在对基板进行吸附固定时造成基板出现损坏的情况。
控制组件包括轴线方向相互垂直设置在储存槽7内的第一双向丝杆8和第二双向丝杆9、设置在储存槽7内且分别固定连接不同连接管4的四个第一螺纹块10、以及设置在储存槽7内并驱动第一双向丝杆8和第二双向丝杆9进行同步转动的第一驱动件，第一双向丝杆8两端分别穿设于不同第一螺纹块10上且杆身与第一螺纹块10螺纹连接；第二双向丝杆9两端分别穿设于不同第一螺纹块10上且杆身与第一螺纹块10螺纹连接。
第一驱动件包括两个分别固定套设于第一双向丝杆8杆身中部和第二双向丝杆9杆身中部且相互啮合的传动齿轮11、设置在储存槽7内且与其中一个传动齿轮11啮合的驱动齿轮12、以及设置在储存槽7内并驱动驱动齿轮12进行转动的第一电机13。
如图1-2所示，其中第一电机13采用步进电机，通过第一电机13便于通过驱动齿轮12带动传动齿轮11进行转动，从而便于带动第一双向丝杆8和第二双向丝杆9进行同步转动，从而便于带动套设于第一双向丝杆8和第二双向丝杆9两端杆身上的第一螺纹块10之间相互靠近或相互远离，从而便于带动四个移动吸附盘5在支撑盘2上进行同步相互靠近或相互远离，从而便于调节四个移动吸附盘5对不同大小型号基板进行吸附固定，可以便捷的对不同大小型号基板进行吸附固定，并实现了对基板进行稳定吸附固定。
控制组件包括两根轴线方向相互平行设置在储存槽7内的滑杆15、设置在储存槽7内且分别固定连接不同连接管4的四个滑块14、以及设置在储存槽7内并驱动两根滑杆15相互靠近或相互远离的第二驱动件，每根滑杆15两端分别活动穿设于不同滑块14上。
第二驱动件包括分别固定设置在不同滑杆15杆身中部位置上的两个第二螺纹块17、以及设置在储存槽7内且两端分别通过螺纹连接穿设于不同第二螺纹块17上的第三双向丝杆16，第三双向丝杆16端部连接设置在储存槽7内设置的第二电机18输出端。
如图1和图3所示，其中第二电机18采用步进电机，通过第二电机18带动第三双向丝杆16进行转动，从而便于带动螺纹套设于第三双向丝杆16上相互靠近或相互远离，从而便于带动两根滑杆15相互靠近或相互远离，且滑杆15两端杆身活动穿设于滑块14内，从而便于限定四个移动吸附盘5分别在不同限位槽3内进行移动，从而便于控制四个移动吸附盘5在四个限位槽3内同步相互靠近或相互远离，从而便于保证精准调节四个移动吸附盘5的位置，从而便于对不同大小型号基板进行吸附固定，可以便捷的对不同大小型号基板进行吸附固定，并实现了对基板进行稳定吸附固定。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (6)
1.一种基板吸盘结构，包括设置在固定块(1)上的支撑盘(2)、以及设置在支撑盘(2)上对基板进行吸附固定的吸附机构，其特征在于，支撑盘(2)顶端端面沿圆周阵列开设有四个长度方向过中心位置的限位槽(3)，吸附机构包括四个分别一一对应活动设置在不同限位槽(3)上方的移动吸附盘(5)、设置在支撑盘(2)顶端中心位置上的固定吸附盘(6)、设置在支撑盘(2)内部开设储存槽(7)内并分别连接移动吸附盘(5)和固定吸附盘(6)的吸附装置、以及设置在储存槽(7)内并驱动四个移动吸附盘(5)分别在不同限位槽(3)内同步移动的控制组件。
2.根据权利要求1所述的一种基板吸盘结构，其特征在于：吸附机构还包括活动穿设于限位槽(3)内且分别连接不同移动吸附盘(5)的连接管(4)，四个连接管(4)设置在控制组件上且均连接吸附装置。
3.根据权利要求1所述的一种基板吸盘结构，其特征在于：控制组件包括轴线方向相互垂直设置在储存槽(7)内的第一双向丝杆(8)和第二双向丝杆(9)、设置在储存槽(7)内且分别固定连接不同连接管(4)的四个第一螺纹块(10)、以及设置在储存槽(7)内并驱动第一双向丝杆(8)和第二双向丝杆(9)进行同步转动的第一驱动件，第一双向丝杆(8)两端分别穿设于不同第一螺纹块(10)上且杆身与第一螺纹块(10)螺纹连接；第二双向丝杆(9)两端分别穿设于不同第一螺纹块(10)上且杆身与第一螺纹块(10)螺纹连接。
4.根据权利要求3所述的一种基板吸盘结构，其特征在于：第一驱动件包括两个分别固定套设于第一双向丝杆(8)杆身中部和第二双向丝杆(9)杆身中部且相互啮合的传动齿轮(11)、设置在储存槽(7)内且与其中一个传动齿轮(11)啮合的驱动齿轮(12)、以及设置在储存槽(7)内并驱动驱动齿轮(12)进行转动的第一电机(13)。
5.根据权利要求1所述的一种基板吸盘结构，其特征在于：控制组件包括两根轴线方向相互平行设置在储存槽(7)内的滑杆(15)、设置在储存槽(7)内且分别固定连接不同连接管(4)的四个滑块(14)、以及设置在储存槽(7)内并驱动两根滑杆(15)相互靠近或相互远离的第二驱动件，每根滑杆(15)两端分别活动穿设于不同滑块(14)上。
6.根据权利要求5所述的一种基板吸盘结构，其特征在于：第二驱动件包括分别固定设置在不同滑杆(15)杆身中部位置上的两个第二螺纹块(17)、以及设置在储存槽(7)内且两端分别通过螺纹连接穿设于不同第二螺纹块(17)上的第三双向丝杆(16)，第三双向丝杆(16)端部连接设置在储存槽(7)内设置的第二电机(18)输出端。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322532193.2U CN220886074U (zh) | 2023-09-18 | 2023-09-18 | 一种基板吸盘结构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322532193.2U CN220886074U (zh) | 2023-09-18 | 2023-09-18 | 一种基板吸盘结构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220886074U true CN220886074U (zh) | 2024-05-03 |
Family
ID=90876947
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202322532193.2U Active CN220886074U (zh) | 2023-09-18 | 2023-09-18 | 一种基板吸盘结构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220886074U (zh) |
-
2023
- 2023-09-18 CN CN202322532193.2U patent/CN220886074U/zh active Active
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| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |