CN220871783U - 一种半导体传感器距离微调机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种半导体传感器距离微调机构，包括：安装模块，用于安装传感器；移动模块；所述安装模块与所述移动模块连接；驱动模块，驱动所述移动模块直线移动，且所述驱动模块能够获得所述移动模块的直线移动距离，将传感器通过安装模块安装在移动模块上，移动模块能够沿着直线移动，当驱动模块实施对移动模块进行驱动时，移动模块移动的距离可以被有效测得，通过该驱动模块，可很方便把控传感器的调整距离，能够达到精准调整的目的。

Description

一种半导体传感器距离微调机构

技术领域

本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，具体是一种半导体传感器距离微调机构。

背景技术

在半导体生产设备中，对物料的转运精度要求很高，因而需要大量的传感器来监测生产制造过程中的各种参数。比对硅片寻边传感器，对于硅片的位置监控，多采用两组对射的传感器对硅片进行寻边，通过传感器中的发射器发出的光线直接进入传感器的接收器，当被检测物体经过发射器和接收器之间阻断光线时，光电开关就产生开关信号，方能准确测得硅片的位置，上述传感器大多数是固定不变，传感器固定安装方式有螺钉安装、粘胶安装、探针安装等，对于一些需要在安装时随着设备机构进行调整的传感器而言，固定的安装方式在实现对传感器安装位置调整时，很难实现对传感器安装位置精准调节，也不好把控传感器位置调整的距离。

实用新型内容

鉴于以上现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种半导体传感器距离微调机构，可方便对传感器进行位置调整的同时，能够有效把控传感器位置调整的尺寸。

为实现上述目的及其它相关目的，本实用新型提出一种半导体传感器距离微调机构，包括：

安装模块，用于安装传感器；

移动模块；所述安装模块与所述移动模块连接；

驱动模块，驱动所述移动模块直线移动，且所述驱动模块能够获得所述移动模块的直线移动距离。

在本实用新型的一可选实施例中，所述移动模块包括齿条，所述驱动模块包括驱动齿轮，所述驱动齿轮与所述齿条啮合，所述驱动齿轮转动且连动所述齿条移动。

在本实用新型的一可选实施例中，所述驱动模块还包括自锁单元，所述自锁单元使得所述驱动齿轮实现自锁。

在本实用新型的一可选实施例中，所述自锁单元包括蜗轮及调节蜗杆，所述蜗轮与驱动齿轮同轴布置，所述蜗轮与所述调节蜗杆配合。

在本实用新型的一可选实施例中，所述调节蜗杆转动式安装在支架上，所述调节蜗杆的一端设置有调节单元，调节单元用于配置外部驱动端。

在本实用新型的一可选实施例中，所述调节单元包括设置在调节蜗杆一端的槽或凸起。

在本实用新型的一可选实施例中，所述支架上设置有通孔，所述调节单元显露或伸出通孔。

在本实用新型的一可选实施例中，所述通孔的周边设置有角度标记，所述角度标记用于指示所述调节蜗杆的转动角度。

在本实用新型的一可选实施例中，所述通孔的周边设置有长度标记，所述长度标记用于指示所述齿条的移动距离。

在本实用新型的一可选实施例中，所述齿条滑动式设置在轨道上，所述安装模块包括安装支架，所述传感器通过所述安装支架与所述齿条一侧连接。

通过采用上述技术方案，本实用的技术效果在于：将传感器通过安装模块安装在移动模块上，移动模块能够沿着直线移动，当驱动模块实施对移动模块进行驱动时，移动模块移动的距离可以被有效测得，通过该驱动模块，可很方便把控传感器的调整距离，能够达到精准调整的目的。

附图说明

图1和图2为本实用新型于一实施例中半导体传感器距离微调机构的两种视角结构示意图。

图3为本实用新型于一实施例中半导体传感器距离微调机构的主视图；

图4为本实用新型于一实施例中半导体传感器距离微调机构的俯视图；

图5为本实用新型于第二种实施例中半导体传感器距离微调机构的俯视图；

图6为本实用新型于第三种实施例中半导体传感器距离微调机构的俯视图；

图7为本实用新型于一实施例中半导体传感器距离微调机构处在设备中使用状态的主视图；

标号说明：

传感器10；齿条20；驱动齿轮21；连动蜗轮22；调节蜗杆23；调节端口24；轨道25；支架30。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。

需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图示中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

在本文的描述中，提供了许多特定细节，诸如部件和/或方法的实例，以提供对本实用新型实施例的完全理解。然而，本领域技术人员将认识到可以在没有一项或多项具体细节的情况下或通过其他设备、系统、组件、方法、部件、材料、零件等等来实践本实用新型的实施例。在其他情况下，未具体示出或详细描述公知的结构、材料或操作，以避免使本实用新型实施例的方面变模糊。

在整篇说明书中提到“一个实施例”、“实施例”或“具体实施例”意指与结合实施例描述的特定特征、结构或特性包括在本实用新型的至少一个实施例中，并且不一定在所有实施例中。因而，在整篇说明书中不同地方的短语“在一个实施例中”、“在实施例中”或“在具体实施例中”的各个表象不一定是指相同的实施例。此外，本实用新型的任何具体实施例的特定特征、结构或特性可以按任何合适的方式与一个或多个其他实施例结合。应当理解本文所述和所示的实用新型实施例的其他变型和修改可能是根据本文教导的，并将被视作本实用新型精神和范围的一部分。

还应当理解还可以以更分离或更整合的方式实施附图所示元件中的一个或多个，或者甚至因为在某些情况下不能操作而被移除或因为可以根据特定应用是有用的而被提供。

另外，除非另外明确指明，附图中的任何标志箭头应当仅被视为示例性的，而并非限制。此外，除非另外指明，本文所用的术语“或”一般意在表示“和/或”。在术语因提供分离或组合能力是不清楚的而被预见的情况下，部件或步骤的组合也将视为已被指明。

如在本文的描述和在下面整篇权利要求书中所用，除非另外指明，“一个”、和“该”包括复数参考物。同样，如在本文的描述和在下面整篇权利要求书中所用，除非另外指明，“在…中”的意思包括“在…中”和“在…上”。

半导体设备上常用的传感器安装方式有螺钉安装、粘胶安装、探针安装等。这些安装方式基本上在设计时，位置本身就已经确定。采用以上安装方式，当需要微调距离时，打孔或者重新粘胶都很不方便，对安装者的操作要求也比较高，尤其是对于在一定范围内需要配合设备机构来回调整的传感器来说，常用的安装方式很难实现，即使能够对传感器进行位置调整，也很难把控传感器调整距离，需要反复的测量原始位和调整所在为的距离，方能使得传感器的调整误差位落入设定的误差阈值内，参阅图1、图2和图7所示，对此，本实用新型采用的一种半导体传感器距离微调机构，包括：安装模块，用于安装传感器10；移动模块；所述安装模块与所述移动模块连接；驱动模块，驱动所述移动模块直线移动，且所述驱动模块能够获得所述移动模块的直线移动距离，通过驱动模块实施对移动模块的直线驱动，可实施对传感器10的直线位置调整，通过驱动模块可量化传感器10的直线调整距离，可有效把控传感器10的调整位置，无需反复的测量传感器10的调整长度，在实际调整时，不仅调整精度高，而且调整操作更为便捷。

在本实用新型一实施例中，所述传感器10的感应方向与移动模块的移动方向垂直。

在一实施例中，传感器10的感应方向多为水平或者竖直两个方向，进而实施对物料或者设备进行检测，在实施对传感器10的位置调整时，传感器10安装的移动模块可以是竖直移动或者水平移动；当传感器10的感应方向竖直时，移动模块的移动方向应当水平，以驱动所述传感器10水平移动；当传感器10的感应方向水平时，移动模块的移动方向应当竖直，当实施对传感器10位置调整时，驱动模块通过驱动移动模块沿着竖直方向移动，即可实现对传感器10的微调。

在一实施例中，所述传感器10的感应方向与移动模块的移动方形平行或者存在夹角，根据传感器10的功能及使用状态进行选择调整的方向。

在一具体实施例中，参阅图2和图3，为方便量化传感器10的移动距离，所述移动模块包括齿条20，驱动模块驱动所述齿条20沿着长度方向移动。所述驱动模块包括驱动齿轮21，所述驱动齿轮21与所述齿条20啮合，所述驱动齿轮21转动且连动所述齿条20移动。

参阅图1和图2，在一实施例中，当调整传感器10时，通过转动驱动齿轮21，进而可连动齿条20的水平移动，以实现传感器10位置的调整，由于驱动齿轮21的模数及齿数恒定，并且齿条20的齿数恒定，进而可通过计算出驱动齿轮21转动的角度或者圈数来计算得出齿条20沿其长度反向移动的距离，该距离即为传感器10的微调距离，达到对传感器10调节距离的精准控制。

在另一具体实施例中，所述移动模块包含移动滑块，所述驱动模块包含一驱动体，移动滑块水平设置在轨道上，所述驱动体可以是一摩擦块或者摩擦轮，在驱动体上设置有距离尺，当实施对传感器10距离微调时，通过启动驱动体，使得移动滑块移动，进而实施对传感器10的微调，通过距离尺量化驱动体的微调距离，即可得到传感器10的微调距离，达到精准调节的目的，为实施对驱动体移动距离的计算，可以是距离触感器进行计算。

在一实施例中，为实施对驱动齿轮21的精准驱动，并且能够使得驱动齿轮21调整好后可以可靠的自锁，所述驱动模块还包括自锁单元，所述自锁单元使得所述驱动齿轮实现自锁。

具体地，所述自锁单元包括蜗轮22，所述蜗轮22与驱动齿轮21同轴布置，且所述蜗轮22与调节蜗杆23配合。

在一实施例中，该驱动模块实施对传感器10的微调距离计量时，通过转动调节蜗杆23，连动蜗轮22的转动，通过蜗轮22的转动，连动驱动齿轮21的同步转动，进而连动齿条20的移动，达到对传感器器10精准调节的目的，通过调节蜗杆23与蜗轮22的配合，可实现任意距离的调节，通过计算调节蜗杆23及蜗轮22的转动圈数或者角度，即可获得驱动齿轮21的转动圈数或者转动角度，进而可以量化齿条20移动的距离，以达到对传感器10移动距离的精准测量。

在一实施例中，为实现传感器10更为精准的微调，则可以选择更大的涡轮调节蜗杆传动比，亦可降低驱动齿轮21的模数，也可对涡轮调节蜗杆传动比及驱动齿轮21的模数同时调整，以达到设定的微调距离的调整。

更为具体地，为实施对调节蜗杆23的转动支撑，所述调节蜗杆23转动式安装在支架30上，所述调节蜗杆23的一端设置有调节单元，调节单元用于配置外部驱动端。

在一实施例中，参阅图4，也是优选实施例，为实施对调节蜗杆23的驱动，该驱动端为手持工具，可通过人工操作工具的方式对调节蜗杆23进行旋转，在对调节蜗杆23旋转时，操作人员通过手持工具与调节单元配合，在先设定的传感器10微调的距离，通过上述涡轮调节蜗杆传动比及驱动齿轮21的模数可得出调节蜗杆23所需转动的角度，进而达到微调的目的。

在另一实施例中，该驱动端为高精度的调整电机，调整电机安装在支架30上，调整电机的输出轴与调节端口24结合，通过启动调整电机，亦可实现对调节蜗杆23的转动，以实现传感器10距离微调的自动化。

具体地，所述调节单元包括设置在调节蜗杆23一端的槽或凸起。

在一实施例中，所述调节单元为方便工具插接的矩形插口、条形插口、三角形插口、异型插口均可，以方便工具的端头插入该槽内，并且实现单向止转为佳，以实现对调节蜗杆23的转动。

在另一实施例中，所述调节单元为设置在调节蜗杆23一端的凸起，凸起的截面为矩形、三角形、异型均可，外部配置的驱动端为插接槽，以方便工具的端头插入该凸起内，并且实现单向止转为佳，以实现对调节蜗杆23的转动调节。

在一实施例中，为方便作业人员或者自动化设备与调节蜗杆23杆端的结合，所述支架30上设置有通孔，所述调节端口24显露或伸出通孔。

为方便作业人员了解到调节蜗杆23转动的角度或者圈数，在本实用新型一实施例中，所述通孔的周边设置有转动标记，所述标记用于指示所述调节蜗杆23的转动角度。

参阅图5，在一实施例中，转动标记为围设在通孔周向方向的角度标记线，在调节蜗杆23的调节端口24上设置有指示针，指示针用于指示转动标记的角度，调节时，只需要在先计算需要的角度，当指示针落入所需角度时，即可判定传感器10的调节位置为设定的位置。

为方便作业人员了解到调节蜗杆23转动的角度或者圈数，在本实用新型一实施例中，所述通孔的周边设置有转动标记，所述标记用于指示所述齿条20的移动距离。

参阅图6，在一实施例中，转动标记为围设在通孔周向方向的距离标记线，同样的，在调节蜗杆23的调节端口24上设置有指示针，指示针用于指示齿条20移动的距离标记，可以精确到毫米为单位，调节时，只需要根据传感器10需要调整的距离，当指示针落入所需距离位置时，即可判定传感器10的调节位置为设定的位置。

具体地,参阅图3，为实施对齿条20水平移动的精准导向，所述齿条20滑动式设置在轨道25上，所述传感器10通过安装支架11与齿条20一侧连接。

参阅图7所示，该微调装置实际应用在半导体设备中，基片的边缘轮廓进行定位时，采用该结构设置，上下布置的传感器10形成对射，通过上方传感器10发出的光线直接进入下方传感器10，当被检测物体经过上方传感器10及下方传感器10之间阻断光线时，光电开关就产生开关，以实现对透明衬底和非透明衬底的有效寻边，满足技术需求。

总之，本实用新型在对传感器10做位置调整时，能够方便量化传感器10的移动距离，并且能够达到精准微调的目的，实际调整操作时，更为便捷，而且调节的精准度更高。

本实用新型所示实施例的上述描述(包括在说明书摘要中所述的内容)并非意在详尽列举或将本实用新型限制到本文所公开的精确形式。尽管在本文仅为说明的目的而描述了本实用新型的具体实施例和本实用新型的实例，但是正如本领域技术人员将认识和理解的，各种等效修改是可以在本实用新型的精神和范围内的。如所指出的，可以按照本实用新型所述实施例的上述描述来对本实用新型进行这些修改，并且这些修改将在本实用新型的精神和范围内。

本文已经在总体上将系统和方法描述为有助于理解本实用新型的细节。此外，已经给出了各种具体细节以提供本实用新型实施例的总体理解。然而，相关领域的技术人员将会认识到，本实用新型的实施例可以在没有一个或多个具体细节的情况下进行实践，或者利用其它装置、系统、配件、方法、组件、材料、部分等进行实践。在其它情况下，并未特别示出或详细描述公知结构、材料和/或操作以避免对本实用新型实施例的各方面造成混淆。

因而，尽管本实用新型在本文已参照其具体实施例进行描述，但是修改自由、各种改变和替换亦在上述公开内，并且应当理解，在某些情况下，在未背离所提出实用新型的范围和精神的前提下，在没有对应使用其他特征的情况下将采用本实用新型的一些特征。因此，可以进行许多修改，以使特定环境或材料适应本实用新型的实质范围和精神。本实用新型并非意在限制到在下面权利要求书中使用的特定术语和/或作为设想用以执行本实用新型的最佳方式公开的具体实施例，但是本实用新型将包括落入所附权利要求书范围内的任何和所有实施例及等同物。因而，本实用新型的范围将只由所附的权利要求书进行确定。

Claims (10)

1.一种半导体传感器距离微调机构，其特征在于，包括：

安装模块，用于安装传感器；

移动模块；所述安装模块与所述移动模块连接；

驱动模块，驱动所述移动模块直线移动，且所述驱动模块能够获得所述移动模块的直线移动距离。

2.根据权利要求1所述的半导体传感器距离微调机构，其特征在于，所述移动模块包括齿条，所述驱动模块包括驱动齿轮，所述驱动齿轮与所述齿条啮合，所述驱动齿轮转动且连动所述齿条移动。

3.根据权利要求2所述的半导体传感器距离微调机构，其特征在于，所述驱动模块还包括自锁单元，所述自锁单元使得所述驱动齿轮实现自锁。

4.根据权利要求3所述的半导体传感器距离微调机构，其特征在于，所述自锁单元包括蜗轮及调节蜗杆，所述蜗轮与驱动齿轮同轴布置，所述蜗轮与所述调节蜗杆配合。

5.根据权利要求4所述的半导体传感器距离微调机构，其特征在于，所述调节蜗杆转动式安装在支架上，所述调节蜗杆的一端设置有调节单元，调节单元用于配置外部驱动端。

6.根据权利要求5所述的半导体传感器距离微调机构，其特征在于，所述调节单元包括设置在调节蜗杆一端的槽或凸起。

7.根据权利要求6所述的半导体传感器距离微调机构，其特征在于，所述支架上设置有通孔，所述调节单元显露或伸出通孔。

8.根据权利要求7所述的半导体传感器距离微调机构，其特征在于，所述通孔的周边设置有角度标记，所述角度标记用于指示所述调节蜗杆的转动角度。

9.根据权利要求7所述的半导体传感器距离微调机构，其特征在于，所述通孔的周边设置有长度标记，所述长度标记用于指示所述齿条的移动距离。

10.根据权利要求3所述的半导体传感器距离微调机构，其特征在于，所述齿条滑动式设置在轨道上，所述安装模块包括安装支架，所述传感器通过所述安装支架与所述齿条一侧连接。