CN220844509U - 一种硅片清洗机上料装置 - Google Patents

一种硅片清洗机上料装置 Download PDF

Info

Publication number
CN220844509U
CN220844509U CN202322472347.3U CN202322472347U CN220844509U CN 220844509 U CN220844509 U CN 220844509U CN 202322472347 U CN202322472347 U CN 202322472347U CN 220844509 U CN220844509 U CN 220844509U
Authority
CN
China
Prior art keywords
basket
flower basket
cleaning machine
silicon wafer
mounting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202322472347.3U
Other languages
English (en)
Inventor
邹俊卓
姜电华
昝将林
王志勇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Henan Huaxinglong New Energy Technology Co ltd
Original Assignee
Henan Huaxinglong New Energy Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Henan Huaxinglong New Energy Technology Co ltd filed Critical Henan Huaxinglong New Energy Technology Co ltd
Priority to CN202322472347.3U priority Critical patent/CN220844509U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN220844509U publication Critical patent/CN220844509U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种硅片清洗机上料装置,涉及硅片清洗技术领域,包括安装架、限位单元:所述安装架内设置有输送组件,安装架的上表面设置有支撑架,支撑架上设置有移动单元,移动单元上设置有机械抓手组件,限位单元设置在所述安装架内。有益效果在于:本实用新型通过弹簧、缓冲垫使得限位板缓冲接触花篮,避免硬接触对花篮内的硅片造成损伤,花篮在输送组件的输送推力作用下调整状态,使得花篮和两个限位板都接触,限位板通过滑杆和顶板按压接触开关,一个花接触开关接通,花篮未到位,不能进行抓篮,两个接触开关接通,花篮到位,有效避免机械抓手组件对花篮造成压篮,对花篮和硅片进行有效保护。

Description

一种硅片清洗机上料装置
技术领域
本实用新型涉及硅片清洗技术领域,特别是涉及一种硅片清洗机上料装置。
背景技术
硅片是制作太阳能发电板的主要材料,现有的硅片生产流程为:线切割机把硅片切割完成后,先经过脱胶机对硅片进行脱胶,脱胶完成的硅片再通过插片机把硅片分离并逐片插进花篮内,插片完成的花篮需要在上料装置内进行移动,从而使得带有硅片的花篮移动到上料位置,再通过机械抓手把带有硅片的花篮输送进清洗机内,通过清洗机对硅片进行清洗,从而得到整洁的硅片。
经检索,中国专利公开号为CN209049872U的专利公开了一种用于全自动硅片清洗机的上料装置,主要通过固定桩和无缝钢管之间的配合,提高工作台工作过程中的稳定性,从而避免对硅片造成损伤。
对比相关领域的现有技术可知,现有的上料装置在对花篮进行移动时,依靠输送带动花篮进行移动,主要依靠传感器对花篮位置进行判断,输送过程中花篮会出现偏斜,花篮倾斜时,可造成传感器误判,在花篮还未完全到位时,机械抓手在进行抓篮时会出现压篮的情况,从而对花篮和硅片造成破坏。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种硅片清洗机上料装置。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的:
一种硅片清洗机上料装置,包括安装架、限位单元:
所述安装架内设置有输送组件,所述安装架的上表面设置有支撑架,所述支撑架上设置有移动单元,所述移动单元上设置有机械抓手组件,所述限位单元设置在所述安装架内,且所述限位单元位于所述输送组件的上方,支撑架延伸到清洗机进料口的上方,通过输送组件把装有硅片的花篮输送到上料位置处,通过限位单元对花篮进行限位,避免花篮出现偏斜,保证机械抓手组件能够对花篮进行顺利抓取,通过机械抓手组件对花篮进行抓取,通过移动单元带动机械抓手组件移动,从而把装有硅片的花篮移动到清洗机的进料口处,完成硅片的上料;
所述限位单元包括安装腔、滑杆、电动推杆,所述安装腔共两个且均设置在所述安装架内,两个所述安装腔内均设置有接触开关,所述滑杆共两个且均滑动连接所述安装架,两个所述滑杆位于所述安装腔内的端部均设置有顶板,两个所述滑杆的另一端均设置有限位板,两个所述滑杆上均套接有弹簧,所述限位板滑动连接所述输送组件,所述电动推杆共两个且分别设置在所述安装架的两侧的侧面,所述电动推杆的伸缩端滑动连接所述安装架,所述电动推杆的伸缩端安装有推板,所述推板滑动连接所述输送组件,接触开关、电动推杆电连接外部控制器,接触开关、电动推杆工作采用现有技术,输送组件对装有硅片的花篮进行输送移动,花篮移动到上料位置时,花篮触碰到限位板,花篮通过限位板推动滑杆,并对弹簧进行压缩,使得花篮和限位板弹性接触,避免硬性接触对花篮内的硅片造成损伤,滑杆带动顶板移动,通过顶板对接触开关进行施加压力,接触开关接通工作,当花篮发生倾斜时,花篮只和一个限位板接触,只有一个接触开关接通工作,代表花篮还未到位,在输送组件的输送推力作用下,使得花篮进行移动,通过限位板对花篮进行限位,从而对花篮的姿态进行调整,使得花篮和两个限位板都进行接触,从而使得两个接触开关接通工作,此时,代表花篮到位,通过电动推杆带动推板移动,从而使得推板对花篮进行推动,使得花篮位于输送组件的中间位置,从而便于机械抓手组件对花篮进行抓取,有效避免压篮,从而对花篮和硅片进行保护。
进一步的,所述移动单元包括驱动电机、螺杆、升降组件,所述驱动电机设置在所述支撑架的侧面,所述螺杆转动连接在所述支撑架上,所述螺杆连接所述驱动电机,所述升降组件螺纹连接所述螺杆,所述升降组件滑动连接所述支撑架,所述升降组件上安装所述机械抓手组件,驱动电机的输入端电连接外部控制器的输出端,外部控制器控制驱动电机工作采用现有技术,驱动电机通过螺杆带动升降组件移动,通过升降组件带动机械抓手组件移动,从而对机械抓手组件的位置进行调整,再通过升降组件带动机械抓手组件进行升降,从而对机械抓手组件的高度进行调整,从而通过机械抓手组件对装有硅片的花篮进行抓取并移动到清洗机内。
进一步的,还包括刮板,所述刮板设置在所述安装架内,且位于所述输送组件的正下方,所述刮板滑动连接所述输送组件,通过刮板对输送组件上粘附的碎硅片进行刮落,避免碎硅片堆积在输送组件上。
进一步的,还包括安装孔和接料盒,所述安装孔设置在所述安装架的侧面,所述接料盒滑动安装在所述安装孔内,所述接料盒位于所述刮板的正下方,把接料盒安装进安装孔内,通过接料盒对刮板刮落的硅片碎片进行收集,便于对碎硅片进行处理。
进一步的,还包括缓冲垫,所述缓冲垫分别设置在所述限位板和所述推板的侧面,通过缓冲垫使得限位板和推板缓冲接触硅片花篮,从而避免硬接触对花篮内的硅片造成损伤。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:
两个接触开关都接通后代表花篮到位,一个接触开关接通代表花篮未到位,通过输送组件对花篮进行输送,通过弹簧、缓冲垫使得限位板缓冲接触花篮,避免硬接触对花篮内的硅片造成损伤,花篮触碰到限位板后,花篮在输送组件的输送推力作用下开始调整状态,使得花篮和两个限位板都接触,限位板通过滑杆和顶板按压接触开关,两个接触开关接通,花篮到位,电动推杆通过推板对花篮进行推动,使得花篮位于输送组件的中间位置,通过机械抓手组件通过花篮对硅片进行上料,从而有效避免机械抓手组件对花篮造成压篮,从而对花篮和硅片进行有效保护。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型所述一种硅片清洗机上料装置的整体结构示意图;
图2是本实用新型所述一种硅片清洗机上料装置的图1中A处放大结构示意图;
图3是本实用新型所述一种硅片清洗机上料装置的侧视结构示意图;
图4是本实用新型所述一种硅片清洗机上料装置的侧面俯视结构示意图;
图5是本实用新型所述一种硅片清洗机上料装置的剖面结构示意图;
图6是本实用新型所述一种硅片清洗机上料装置的图5中B处放大结构示意图;
图7是本实用新型所述一种硅片清洗机上料装置的图5中C处放大结构示意图。
附图标记说明如下:
1、安装架;2、限位单元;21、安装腔;22、接触开关;23、顶板;24、弹簧;25、滑杆;26、限位板;27、电动推杆;28、推板;3、移动单元;31、驱动电机;32、螺杆;33、升降组件;4、机械抓手组件;5、输送组件;6、支撑架;7、刮板;8、安装孔;9、接料盒;10、缓冲垫。
具体实施方式
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
实施例
如图1-图7所示,一种硅片清洗机上料装置,安装架1、限位单元2:
安装架1内设置有输送组件5,安装架1的上表面设置有支撑架6,支撑架6上设置有移动单元3,移动单元3上设置有机械抓手组件4,限位单元2设置在安装架1内,且限位单元2位于输送组件5的上方,如图1、图3、图4所示,支撑架6延伸到清洗机进料口的上方,通过输送组件5把装有硅片的花篮输送到上料位置处,通过限位单元2对花篮进行限位,避免花篮出现偏斜,保证机械抓手组件4能够对花篮进行顺利抓取,通过机械抓手组件4对花篮进行抓取,通过移动单元3带动机械抓手组件4移动,从而把装有硅片的花篮移动到清洗机的进料口处,完成硅片的上料;
限位单元2包括安装腔21、滑杆25、电动推杆27,安装腔21共两个且均设置在安装架1内,两个安装腔21内均设置有接触开关22,滑杆25共两个且均滑动连接安装架1,两个滑杆25位于安装腔21内的端部均设置有顶板23,两个滑杆25的另一端均设置有限位板26,两个滑杆25上均套接有弹簧24,限位板26滑动连接输送组件5,电动推杆27共两个且分别设置在安装架1的两侧的侧面,电动推杆27的伸缩端滑动连接安装架1,电动推杆27的伸缩端安装有推板28,推板28滑动连接输送组件5,接触开关22、电动推杆27电连接外部控制器,接触开关22、电动推杆27工作采用现有技术,如图1-图7所示,输送组件5对装有硅片的花篮进行输送移动,花篮移动到上料位置时,花篮触碰到限位板26,花篮通过限位板26推动滑杆25,并对弹簧24进行压缩,使得花篮和限位板26弹性接触,避免硬性接触对花篮内的硅片造成损伤,滑杆25带动顶板23移动,通过顶板23对接触开关22进行施加压力,接触开关22接通工作,当花篮发生倾斜时,花篮只和一个限位板26接触,只有一个接触开关22接通工作,代表花篮还未到位,此时无法进行抓篮,在输送组件5的输送推力作用下,使得花篮进行移动,通过限位板26对花篮进行限位,从而对花篮的姿态进行调整,使得花篮和两个限位板26都进行接触,从而使得两个接触开关22接通工作,此时,代表花篮到位,通过电动推杆27带动推板28移动,从而使得推板28对花篮进行推动,使得花篮位于输送组件5的中间位置,再通过机械抓手组件4对花篮进行抓取,有效避免压篮,从而对花篮和硅片进行保护。
移动单元3包括驱动电机31、螺杆32、升降组件33,驱动电机31设置在支撑架6的侧面,螺杆32转动连接在支撑架6上,螺杆32连接驱动电机31,升降组件33螺纹连接螺杆32,升降组件33滑动连接支撑架6,升降组件33上安装机械抓手组件4,驱动电机31的输入端电连接外部控制器的输出端,外部控制器控制驱动电机31工作采用现有技术,如图1、图3、图4所示,通过外部控制器控制驱动电机31工作,驱动电机31带动螺杆32转动,通过螺杆32带动升降组件33移动,通过升降组件33带动机械抓手组件4移动,把机械抓手组件4移动到花篮的上方,通过升降组件33带动机械抓手组件4下降,使得机械抓手组件4接触到花篮,通过机械抓手组件4对装有硅片的花篮进行抓取,升降组件33通过机械抓手组件4带动花篮进行上升,通过外部控制器控制驱动电机31反向转动,驱动电机31通过螺杆32带动升降组件33反向移动,从而把装有硅片的花篮移动到清洗机内。
还包括刮板7,刮板7设置在安装架1内,且位于输送组件5的正下方,刮板7滑动连接输送组件5,如图5、图6所示,输送组件5对装有硅片的花篮进行输送时,会有部分碎硅片粘附在输送组件5上,通过刮板7对输送组件5上粘附的碎硅片进行刮落,避免碎硅片堆积在输送组件5上。
还包括安装孔8和接料盒9,安装孔8设置在安装架1的侧面,接料盒9滑动安装在安装孔8内,接料盒9位于刮板7的正下方,如图3、图5、图6所示,把接料盒9安装进安装孔8内,通过接料盒9对刮板7刮落的硅片碎片进行收集,便于对碎硅片进行处理。
还包括缓冲垫10,缓冲垫10分别设置在限位板26和推板28的侧面,如图1、图2所示,通过缓冲垫10使得限位板26和推板28缓冲接触硅片花篮,从而避免硬接触对花篮内的硅片造成损伤。
工作原理:如图3所示,把接料盒9安装进安装孔8内,硅片在插片机内插片完成后,装有硅片的花篮移动到输送组件5上,如图1、图3、图4所示,通过输送组件5把装有硅片的花篮输送到上料位置处,如图1-图7所示,花篮通过缓冲垫10推动限位板26,限位板26推动滑杆25,并对弹簧24进行压缩,通过弹簧24和缓冲垫10避免花篮和限位板26硬接触,从而对花篮内的硅片进行保护,滑杆25带动顶板23移动,通过顶板23对接触开关22进行施加压力,接触开关22接通工作,当花篮发生倾斜时,花篮只和一个限位板26接触,只有一个接触开关22接通工作,代表花篮还未到位,此时无法进行抓篮,在输送组件5的输送推力作用下,使得花篮进行移动,通过限位板26对花篮进行限位,从而对花篮的姿态进行调整,使得花篮和两个限位板26都进行接触,从而使得两个接触开关22接通工作,此时,代表花篮到位,通过电动推杆27带动推板28移动,从而使得推板28对花篮进行推动,使得花篮位于输送组件5的中间位置;
如图1、图3、图4所示,通过外部控制器控制驱动电机31工作,驱动电机31带动螺杆32转动,通过螺杆32带动升降组件33移动,通过升降组件33带动机械抓手组件4移动,把机械抓手组件4移动到花篮的上方,通过升降组件33带动机械抓手组件4下降,使得机械抓手组件4接触到花篮,通过机械抓手组件4对装有硅片的花篮进行抓取,升降组件33通过机械抓手组件4带动花篮进行上升,通过外部控制器控制驱动电机31反向转动,驱动电机31通过螺杆32带动升降组件33反向移动,从而把装有硅片的花篮移动到清洗机内;
如图5、图6所示,输送组件5对装有硅片的花篮进行输送时,会有部分碎硅片粘附在输送组件5上,通过刮板7对输送组件5上粘附的碎硅片进行刮落,通过接料盒9对刮板7刮落的硅片碎片进行收集。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。

Claims (5)

1.一种硅片清洗机上料装置,其特征在于,包括安装架(1)、限位单元(2):
所述安装架(1)内设置有输送组件(5),所述安装架(1)的上表面设置有支撑架(6),所述支撑架(6)上设置有移动单元(3),所述移动单元(3)上设置有机械抓手组件(4),所述限位单元(2)设置在所述安装架(1)内,且所述限位单元(2)位于所述输送组件(5)的上方;
所述限位单元(2)包括安装腔(21)、滑杆(25)、电动推杆(27),所述安装腔(21)共两个且均设置在所述安装架(1)内,两个所述安装腔(21)内均设置有接触开关(22),所述滑杆(25)共两个且均滑动连接所述安装架(1),两个所述滑杆(25)位于所述安装腔(21)内的端部均设置有顶板(23),两个所述滑杆(25)的另一端均设置有限位板(26),两个所述滑杆(25)上均套接有弹簧(24),所述限位板(26)滑动连接所述输送组件(5),所述电动推杆(27)共两个且分别设置在所述安装架(1)的两侧的侧面,所述电动推杆(27)的伸缩端滑动连接所述安装架(1),所述电动推杆(27)的伸缩端安装有推板(28),所述推板(28)滑动连接所述输送组件(5)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机上料装置,其特征在于:所述移动单元(3)包括驱动电机(31)、螺杆(32)、升降组件(33),所述驱动电机(31)设置在所述支撑架(6)的侧面,所述螺杆(32)转动连接在所述支撑架(6)上,所述螺杆(32)连接所述驱动电机(31),所述升降组件(33)螺纹连接所述螺杆(32),所述升降组件(33)滑动连接所述支撑架(6),所述升降组件(33)上安装所述机械抓手组件(4)。
3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机上料装置,其特征在于:还包括刮板(7),所述刮板(7)设置在所述安装架(1)内,且位于所述输送组件(5)的正下方,所述刮板(7)滑动连接所述输送组件(5)。
4.根据权利要求3所述的一种硅片清洗机上料装置,其特征在于:还包括安装孔(8)和接料盒(9),所述安装孔(8)设置在所述安装架(1)的侧面,所述接料盒(9)滑动安装在所述安装孔(8)内,所述接料盒(9)位于所述刮板(7)的正下方。
5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机上料装置,其特征在于:还包括缓冲垫(10),所述缓冲垫(10)分别设置在所述限位板(26)和所述推板(28)的侧面。
CN202322472347.3U 2023-09-12 2023-09-12 一种硅片清洗机上料装置 Active CN220844509U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202322472347.3U CN220844509U (zh) 2023-09-12 2023-09-12 一种硅片清洗机上料装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202322472347.3U CN220844509U (zh) 2023-09-12 2023-09-12 一种硅片清洗机上料装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN220844509U true CN220844509U (zh) 2024-04-26

Family

ID=90745914

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202322472347.3U Active CN220844509U (zh) 2023-09-12 2023-09-12 一种硅片清洗机上料装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN220844509U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN220844509U (zh) 一种硅片清洗机上料装置
CN118039541B (zh) 一种晶圆清洗用上下料机械手
CN216849864U (zh) 一种半导体电子器件封装外观除胶设备
CN217100731U (zh) 一种夹头机构
CN216098099U (zh) 一种六角压铆螺母的打磨装置
CN216004402U (zh) 一种针对于料框的传输机构
CN210558019U (zh) 一种能够避免损伤砖块的负离子瓷砖用自动捡砖上砖机
CN113401657A (zh) 一种针对于料框的传输机构
CN220474591U (zh) 一种气动吸盘送料机构
CN217775382U (zh) 一种电器触头元件冲压自动收集装置
CN210529340U (zh) 一种一键升降式拾料台
CN214348056U (zh) 一种pvc片材清洁装置
CN220638174U (zh) 一种手袋切口对齐装置
CN218024190U (zh) 一种耐辐射low-E玻璃加工设备
CN220113280U (zh) 一种精密刀具磨削刀架
CN219968864U (zh) 一种3d打印设备
CN213028719U (zh) 一种用于自动化卷同式柔性线路板的补强机构
CN221116110U (zh) 一种便于下料的花卉栽培基质多功能转运装置
CN220837287U (zh) 一种钢板整平用校平机
CN220992625U (zh) 一种电机冲片供片装置
CN219944689U (zh) 一种分动箱加工用钻孔装置
CN218335937U (zh) 一种太阳能光伏电站
CN213499930U (zh) 一种坐式马桶自动喷釉设备
CN217284943U (zh) 一种制鞋用鞋面清洁润色装置
CN218707141U (zh) 一种液晶显示模组生产加工用ito玻璃清洗机

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant