CN220816899U - 一种用于半导体设备的水管接头 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体涉及一种用于半导体设备的水管接头，包括圆柱体母头和圆柱体公头，所述圆柱体母头包括环形阻挡块和圆筒状流水器，圆柱体母头内设有第一圆柱体通槽，第一圆柱体通槽顶面固定有多孔固定架，环形阻挡块设置在圆柱体母头底部，圆筒状流水器位于第一圆柱体通槽，圆筒状流水器的一端固定连接在多孔固定架上，圆筒状流水器的另一端固定连接在环形阻挡块上。本实用新型的水管接头结构简单、使用方便，能够解决半导体设备用的冷却水接头在拆卸过程中容易漏水的问题，避免漏水现象的发生；进而有效避免了水流流出至电子器件造成电子器件损坏的现象发生。

Description

一种用于半导体设备的水管接头

技术领域

本实用新型属于半导体制造设备技术领域，具体涉及一种用于半导体设备的水管接头。

背景技术

半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。且制作半导体的设备复杂，其电子元器件更是价格昂贵，但当前半导体设备用的冷却水接头在拆卸过程中容易漏水，其电子元器件在带电情况下容易遇水短路，造成对电子元器件的短路损坏。

实用新型内容

针对现有技术中存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种结构简单、使用方便的用于半导体设备的水管接头，能够解决半导体设备用的冷却水接头在拆卸过程中容易漏水的问题，避免漏水现象的发生。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案为：一种用于半导体设备的水管接头，包括圆柱体母头和圆柱体公头，所述圆柱体母头包括环形阻挡块和圆筒状流水器，圆柱体母头内设有第一圆柱体通槽，第一圆柱体通槽顶面固定有多孔固定架，环形阻挡块设置在圆柱体母头底部，圆筒状流水器位于第一圆柱体通槽，圆筒状流水器的一端固定连接在多孔固定架上，圆筒状流水器的另一端固定连接在环形阻挡块上。

进一步的，所述圆筒状流水器内设有圆柱体阻水块和第一弹簧，圆柱体阻水块位于圆筒状流水器的底部环形阻挡块的上方，圆柱体阻水块与环形阻挡块之间设有密封圈，第一弹簧的一端与多孔固定架连接，第一弹簧的另一端与环形阻挡块连接，圆柱体阻水块底面设有圆柱体凹槽。

进一步的，所述圆柱体公头包括圆台块、四棱台阻水块、支撑杆和弧形弹片，圆台块设置在圆柱体公头顶部，四棱台阻水块安装在圆台块的侧面，圆台块内设有第三圆台凹槽，弧形弹片位于第三圆台凹槽中，圆台块上设有供支撑杆通过的通孔，支撑杆，支撑杆穿过通孔插入到第三圆台凹槽中与弧形弹片连接，支撑杆上位于圆台块上方的一端与圆柱体凹槽连接。

进一步的，所述圆柱体公头内设有第三圆柱体通槽A，圆台块侧面均匀设有四个长方形孔，四棱台阻水块通过套接于长方形孔滑动连接在圆台块上，四棱台阻水块的底面设有第二弧形凹槽，支撑杆的侧面均匀固定有四个弧形弹片，弧形弹片与第二弧形凹槽压接。

进一步的，所述圆柱体公头还包括十字架，十字架位于圆柱体公头的顶部，圆台块位于十字架的上方，十字架包括十字架本体，十字架本体的四个支架上均设有长方体凹槽。

进一步的，所述圆柱体公头还包括半圆形弹片、圆形固定块和第二弹簧，半圆形弹片、圆形固定块和第二弹簧均位于第三圆台凹槽中，圆形固定块连接在支撑杆的底端，第二弹簧的一端连接在圆形固定块的底面，第二弹簧的另一端连接在十字架的中心，支撑杆靠近第二弹簧侧面固定有两个半圆形弹片，半圆形弹片与弧形弹片压接。

进一步的，所述圆柱体阻水块包括圆柱体阻水块本体和球体，圆柱体阻水块本体侧面均匀安装有四个棱台导向块，棱台导向块顶面设有横截面为梯形的第一凹槽，第一凹槽底面设有半圆柱凹槽，半圆柱凹槽与球体压接。

进一步的，所述圆筒状流水器包括圆筒本体，圆筒本体侧面均匀设有四个横截面为梯形的第二凹槽，第二凹槽底面固定有四棱台凸起，四棱台凸起顶面设有第一弧形凹槽，第一弧形凹槽与球体压接，圆筒本体侧面设有若干圆孔。

进一步的，所述圆柱体母头侧面设有卡扣，圆柱体公头侧面设有横截面为半圆的环形凹槽，圆柱体母头和圆柱体公头通过卡扣与环形凹槽卡合进行连接。

进一步的，所述圆柱体母头顶面固定有第一圆台连接块，第一圆台连接块内设有第一圆台凹槽，第一圆台凹槽顶面固定有第一圆柱体连接头，第一圆柱体连接头内设有第二圆柱体通槽；所述圆柱体公头底面固定有第二圆台连接块，第二圆台连接块内设有第二圆台凹槽，第二圆台连接块底面固定有第二圆柱体连接头，第二圆柱体连接头内设有第三圆柱体通槽B。

采用本实用新型技术方案的优点为：

本实用新型的水管接头结构简单、使用方便，能够解决半导体设备用的冷却水接头在拆卸过程中容易漏水的问题，避免漏水现象的发生；进而有效避免了水流流出至电子器件造成电子器件损坏的现象发生。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型圆柱体母头结构示意图；

图2为本实用新型圆柱体公头结构示意图；

图3为本实用新型圆柱体阻水块结构示意图；

图4为本实用新型圆筒状流水器结构示意图；

图5为本实用新型圆筒状流水器正视示意图；

图6为本实用新型十字架结构示意图。

上述图中的标记分别为：1、圆柱体母头；2、第一圆柱体通槽；3、多孔固定架；4、第一圆台连接块；5、第一圆台凹槽；6、第一圆柱体连接头；7、第二圆柱体通槽；8、环形阻挡块；9、圆筒状流水器；10、环形凹槽；11、密封圈；12、圆柱体阻水块；13、圆柱体凹槽；14、圆柱体公头；15、第三圆柱体通槽A；16、圆台块；17、第三圆台凹槽；18、长方形孔；19、四棱台阻水块；20、第二弧形凹槽；21、弧形弹片；22、第三圆柱体通槽B；23、支撑杆；24、通孔；25、第二圆台凹槽；26、半圆形弹片；27、圆形固定块；28、第二弹簧；29、环形凹槽；30、第二圆台连接块；31、第二圆柱体连接头；32、卡扣；33、十字架；331、十字架本体；332、长方体凹槽；34、第一弹簧；121、圆柱体阻水块本体；122、棱台导向块；123、第一凹槽；124、半圆柱凹槽；125、球体；91、圆筒本体；92、第二凹槽；93、四棱台凸起；94、第一弧形凹槽；95、圆孔。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，对本实用新型进一步详细说明。

需要说明的是，除非另外定义，本实用新型使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

如图1至图6所示，一种用于半导体设备的水管接头，包括圆柱体母头1和圆柱体公头14，所述圆柱体母头1包括环形阻挡块8和圆筒状流水器9，圆柱体母头1内设有第一圆柱体通槽2，第一圆柱体通槽2顶面固定有多孔固定架3，环形阻挡块8设置在圆柱体母头1底部，圆筒状流水器9位于第一圆柱体通槽2，圆筒状流水器9的一端固定连接在多孔固定架3上，圆筒状流水器9的另一端固定连接在环形阻挡块8上。本实用新型的水管接头结构简单、使用方便，能够解决半导体设备用的冷却水接头在拆卸过程中容易漏水的问题，避免漏水现象的发生；进而有效避免了水流流出至电子器件造成电子器件损坏的现象发生。

圆筒状流水器9内设有圆柱体阻水块12和第一弹簧34，圆柱体阻水块12位于圆筒状流水器9的底部环形阻挡块8的上方，圆柱体阻水块12与环形阻挡块8之间设有密封圈11，第一弹簧34的一端与多孔固定架3连接，第一弹簧34的另一端与环形阻挡块8连接，在第一弹簧34作用下环形阻挡块8在圆筒状流水器9上下运动，圆柱体阻水块12底面设有圆柱体凹槽13。环形阻挡块8顶面设有环形凹槽10，环形凹槽10安装有密封圈11，圆柱体阻水块12底面与密封圈11压接。

圆柱体母头1顶面固定有第一圆台连接块4，第一圆台连接块4内设有第一圆台凹槽5，第一圆台凹槽5顶面固定有第一圆柱体连接头6，第一圆柱体连接头6内设有第二圆柱体通槽7。

圆柱体阻水块12包括圆柱体阻水块本体121和球体125，圆柱体阻水块本体121侧面均匀安装有四个棱台导向块122，棱台导向块122顶面设有横截面为梯形的第一凹槽123，第一凹槽123底面设有半圆柱凹槽124，半圆柱凹槽124与球体125压接。圆筒状流水器9包括圆筒本体91，圆筒本体91侧面均匀设有四个横截面为梯形的第二凹槽92，第二凹槽92底面固定有四棱台凸起93，四棱台凸起93顶面设有第一弧形凹槽94，第一弧形凹槽94与球体125压接，圆筒本体91侧面设有若干圆孔95。圆柱体阻水块12与圆筒状流水器9连接时，四个棱台导向块122分别插入到四个横截面为梯形的第二凹槽92中，四棱台凸起93插接到第一凹槽123中，球体125位于半圆柱凹槽124中。

圆柱体公头14顶面固定有十字架33，圆柱体公头14底面固定有第二圆台连接块30，第二圆台连接块30内设有第二圆台凹槽25，第二圆台连接块30底面固定有第二圆柱体连接头31，第二圆柱体连接头31内设有第三圆柱体通槽B22。

圆柱体公头14包括圆台块16、四棱台阻水块19、支撑杆23和弧形弹片21，圆台块16设置在圆柱体公头14顶部，四棱台阻水块19安装在圆台块16的侧面，圆台块16内设有第三圆台凹槽17，弧形弹片21位于第三圆台凹槽17中，圆台块16上设有供支撑杆23通过的通孔24，支撑杆23穿过通孔24插入到第三圆台凹槽17中与弧形弹片21连接，支撑杆23上位于圆台块16上方的一端与圆柱体凹槽13连接。

圆柱体公头14内设有第三圆柱体通槽A15，圆台块16侧面均匀设有四个长方形孔18，四棱台阻水块19通过套接于长方形孔18滑动连接在圆台块16上，四棱台阻水块19的底面设有第二弧形凹槽20，支撑杆23的侧面均匀固定有四个弧形弹片21，弧形弹片21与第二弧形凹槽20压接。

圆柱体公头14还包括十字架33，十字架33位于圆柱体公头14的顶部，圆台块16位于十字架33的上方，十字架33包括十字架本体331，十字架本体331的四个支架上均设有长方体凹槽332。

圆柱体公头14还包括半圆形弹片26、圆形固定块27和第二弹簧28，半圆形弹片26、圆形固定块27和第二弹簧28均位于第三圆台凹槽17中，圆形固定块27连接在支撑杆23的底端，第二弹簧28的一端连接在圆形固定块27的底面，第二弹簧28的另一端连接在十字架33的中心，支撑杆23靠近第二弹簧28侧面固定有两个半圆形弹片26，半圆形弹片26与弧形弹片21压接。

当四棱台阻水块19逐步从圆筒状流水器9分离，在分离过程中，第二弹簧28释放弹性势能，推动圆形固定块27挤压半圆形弹片26变形，同时，半圆形弹片26本身释放弹性势能弧形弹片21释放弹性势能，半圆形弹片26形变促使弧形弹片21发生形变，同时，半圆形弹片26与长方体凹槽332压接，保障了半圆形弹片26变形方向的的稳定性；弧形弹片21释放弹性势能的同时，半圆形弹片26变形进一步促使弧形弹片21打开，当支撑杆23从圆柱体凹槽13脱离瞬间，弧形弹片21打开瞬时打开，四个弧形弹片21推动四个四棱台阻水块19向四周迅速滑动，四个四棱台阻水块19将四个长方形孔18完全封闭，阻断了水流通道从而防止了公头水流的流出。

圆柱体母头1侧面设有卡扣32，圆柱体公头14侧面设有横截面为半圆的环形凹槽29，圆柱体母头1和圆柱体公头14通过卡扣32与环形凹槽29卡合进行连接，圆柱体母头1和圆柱体公头14均安装在水管上，水管通过圆柱体母头1与圆柱体公头14配合进行连通。

本实用新型水管接头的工作原理为：当接头由连接状态进行打开时，首先打开与横截面为半圆的环形凹槽的压接卡扣，逐渐使公头和母头分离。为防止母头漏水，其原理为第一弹簧在弹性势能的推动下，推动圆柱体阻水块向密封圈方向滑动，在圆柱体阻水块互动过程中，第一弧形凹槽和第一弧形凹槽分别与球体压接，保障了圆柱体阻水块平顺的沿圆筒状流水器互动，并最终挤压密封圈从而防止水流流出。同时，水管内水流压力进一步挤压圆柱体阻水块贴近密封圈，圆柱体阻水块与密封圈的密封作用进一步加强，从而实现防止水流流出的作用。

为防止公头漏水，其原理为，在四棱台阻水块逐步从圆筒状流水器分离，在分离过程中，弧形弹片释放弹性势能，由于弧形弹片与第二弧形凹槽压接，四个弧形弹片推动四个四棱台阻水块向四周滑动，在滑动过程中，弧形弹片作用在四棱台阻水块水平方向的作用力为相反方向，相互抵消，四棱台阻水块只能沿垂直方向平顺滑动，随着四棱台阻水块从圆筒状流水器完全分离，支撑杆从圆柱体凹槽脱离，弧形弹片弹性势能迅速释放至最大，四个四棱台阻水块将四个长方形孔完全封闭，阻断了水流通道。进一步的，在水流压力的作用下，增强了四棱台阻水块与长方形孔的密封作用，从而防止了公头水流的流出，进而有效避免了水流流出至电子器件造成电子器件的损坏。

所属领域的普通技术人员应当理解：以上任何实施例的讨论仅为示例性的，并非旨在暗示本实用新型的范围（包括权利要求）被限于这些例子；在本实用新型的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，步骤可以以任意顺序实现，并存在如上所述的本实用新型的不同方面的许多其它变化，为了简明它们没有在细节中提供。

本实用新型旨在涵盖落入所附权利要求的宽泛范围之内的所有这样的替换、修改和变型。因此，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何省略、修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于半导体设备的水管接头，其特征在于：包括圆柱体母头（1）和圆柱体公头（14），所述圆柱体母头（1）包括环形阻挡块（8）和圆筒状流水器（9），圆柱体母头（1）内设有第一圆柱体通槽（2），第一圆柱体通槽（2）顶面固定有多孔固定架（3），环形阻挡块（8）设置在圆柱体母头（1）底部，圆筒状流水器（9）位于第一圆柱体通槽（2），圆筒状流水器（9）的一端固定连接在多孔固定架（3）上，圆筒状流水器（9）的另一端固定连接在环形阻挡块（8）上。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的水管接头，其特征在于：所述圆筒状流水器（9）内设有圆柱体阻水块（12）和第一弹簧（34），圆柱体阻水块（12）位于圆筒状流水器（9）的底部环形阻挡块（8）的上方，圆柱体阻水块（12）与环形阻挡块（8）之间设有密封圈（11），第一弹簧（34）的一端与多孔固定架（3）连接，第一弹簧（34）的另一端与环形阻挡块（8）连接，圆柱体阻水块（12）底面设有圆柱体凹槽（13）。

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体设备的水管接头，其特征在于：所述圆柱体公头（14）包括圆台块（16）、四棱台阻水块（19）、支撑杆（23）和弧形弹片（21），圆台块（16）设置在圆柱体公头（14）顶部，四棱台阻水块（19）安装在圆台块（16）的侧面，圆台块（16）内设有第三圆台凹槽（17），弧形弹片（21）位于第三圆台凹槽（17）中，圆台块（16）上设有供支撑杆（23）通过的通孔（24），支撑杆（23），支撑杆（23）穿过通孔（24）插入到第三圆台凹槽（17）中与弧形弹片（21）连接，支撑杆（23）上位于圆台块（16）上方的一端与圆柱体凹槽（13）连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于半导体设备的水管接头，其特征在于：所述圆柱体公头（14）内设有第三圆柱体通槽A（15），圆台块（16）侧面均匀设有四个长方形孔（18），四棱台阻水块（19）通过套接于长方形孔（18）滑动连接在圆台块（16）上，四棱台阻水块（19）的底面设有第二弧形凹槽（20），支撑杆（23）的侧面均匀固定有四个弧形弹片（21），弧形弹片（21）与第二弧形凹槽（20）压接。

5.根据权利要求3所述的一种用于半导体设备的水管接头，其特征在于：所述圆柱体公头（14）还包括十字架（33），十字架（33）位于圆柱体公头（14）的顶部，圆台块（16）位于十字架（33）的上方，十字架（33）包括十字架本体（331），十字架本体（331）的四个支架上均设有长方体凹槽（332）。

6.根据权利要求5所述的一种用于半导体设备的水管接头，其特征在于：所述圆柱体公头（14）还包括半圆形弹片（26）、圆形固定块（27）和第二弹簧（28），半圆形弹片（26）、圆形固定块（27）和第二弹簧（28）均位于第三圆台凹槽（17）中，圆形固定块（27）连接在支撑杆（23）的底端，第二弹簧（28）的一端连接在圆形固定块（27）的底面，第二弹簧（28）的另一端连接在十字架（33）的中心，支撑杆（23）靠近第二弹簧（28）侧面固定有两个半圆形弹片（26），半圆形弹片（26）与弧形弹片（21）压接。

7.根据权利要求2至6任意一项所述的一种用于半导体设备的水管接头，其特征在于：所述圆柱体阻水块（12）包括圆柱体阻水块本体（121）和球体（125），圆柱体阻水块本体（121）侧面均匀安装有四个棱台导向块（122），棱台导向块（122）顶面设有横截面为梯形的第一凹槽（123），第一凹槽（123）底面设有半圆柱凹槽（124），半圆柱凹槽（124）与球体（125）压接。

8.根据权利要求7所述的一种用于半导体设备的水管接头，其特征在于：所述圆筒状流水器（9）包括圆筒本体（91），圆筒本体（91）侧面均匀设有四个横截面为梯形的第二凹槽（92），第二凹槽（92）底面固定有四棱台凸起（93），四棱台凸起（93）顶面设有第一弧形凹槽（94），第一弧形凹槽（94）与球体（125）压接，圆筒本体（91）侧面设有若干圆孔（95）。

9.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的水管接头，其特征在于：所述圆柱体母头（1）侧面设有卡扣（32），圆柱体公头14侧面设有横截面为半圆的环形凹槽（29），圆柱体母头（1）和圆柱体公头（14）通过卡扣（32）与环形凹槽（29）卡合进行连接。

10.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的水管接头，其特征在于：所述圆柱体母头（1）顶面固定有第一圆台连接块（4），第一圆台连接块（4）内设有第一圆台凹槽（5），第一圆台凹槽（5）顶面固定有第一圆柱体连接头（6），第一圆柱体连接头（6）内设有第二圆柱体通槽（7）；所述圆柱体公头（14）底面固定有第二圆台连接块（30），第二圆台连接块（30）内设有第二圆台凹槽（25），第二圆台连接块（30）底面固定有第二圆柱体连接头（31），第二圆柱体连接头（31）内设有第三圆柱体通槽B（22）。