CN220767220U - 镀槽 - Google Patents

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张二航
陈爱民
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Dongguan Shengyue Semiconductor Equipment Co ltd
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Abstract

本实用新型涉及电镀技术领域,具体而言,涉及一种镀槽。镀槽包括阳极槽、阴极槽、隔膜及阳极;阴极槽位于阳极槽的上方,隔膜设置于阴极槽和阳极槽之间,且将阴极槽内的阴极液与阳极槽内的阳极液电导通;阳极容置于阳极槽内,且与外部电源的正极连接;阴极槽用于容置镀件,且镀件与外部电源的负极连接;其中,阳极槽相对的两侧分别设置有阳极液入口及阳极液出口;阴极槽相对的两侧分别设置有阴极液入口及阴极液出口,或,阴极槽的外周设置有阴极液环形入口及阴极液环形出口。该镀槽结构简单,并能够降低电镀的成本。

Description

镀槽
技术领域
本实用新型涉及电镀技术领域,具体而言,涉及一种镀槽。
背景技术
目前,在采用镀槽对工件进行电镀时,存在镀槽结构复杂,且电镀成本较高的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种镀槽,其结构简单,并能够降低电镀的成本。
本实用新型的实施例是这样实现的:
本实用新型提供一种镀槽,镀槽包括阳极槽、阴极槽、隔膜及阳极;
阴极槽位于阳极槽的上方,隔膜设置于阴极槽和阳极槽之间,且将阴极槽内的阴极液与阳极槽内的阳极液电导通;阳极容置于阳极槽内,且与外部电源的正极连接;阴极槽用于容置镀件,且镀件与外部电源的负极连接;
其中,阳极槽相对的两侧分别设置有阳极液入口及阳极液出口;阴极槽相对的两侧分别设置有阴极液入口及阴极液出口,或,阴极槽的外周设置有阴极液环形入口及阴极液环形出口。
在可选的实施方式中,镀槽还包括均流板,均流板容置于阴极槽内,且正对于位于阴极槽内的镀件。
在可选的实施方式中,阴极槽内设置有第一隔板,第一隔板将阴极槽分隔为内槽及外槽,内槽与外槽连通;
外槽位于内槽的外侧,且镀件及均流板均容置于内槽。
在可选的实施方式中,阴极槽内设置有第二隔板,第二隔板将阴极槽分隔为第一分区及第二分区;第一隔板位于第一分区,且将第一分区分隔为内槽及外槽;内槽与第二分区连通,且第二分区正对于阳极槽。
在可选的实施方式中,阴极液入口及阴极液出口均与第二分区连通。
在可选的实施方式中,均流板设置于第一分区与第二分区的连接处。
在可选的实施方式中,第一隔板的上端低于阴极槽的上端,以使得内槽的上端与外槽的上端连通。
在可选的实施方式中,镀槽开设有与外槽连通的溢流口。
在可选的实施方式中,镀槽还包括阳极挡板,阳极挡板容置于阳极槽内。
本实用新型实施例的有益效果包括:
该镀槽包括阳极槽、阴极槽、隔膜及阳极;阴极槽位于阳极槽的上方,隔膜设置于阴极槽和阳极槽之间,且将阴极槽内的阴极液与阳极槽内的阳极液电导通;阳极容置于阳极槽内,且与外部电源的正极连接;阴极槽用于容置镀件,且镀件与外部电源的负极连接;
其中,阳极槽相对的两侧分别设置有阳极液入口及阳极液出口;阴极槽相对的两侧分别设置有阴极液入口及阴极液出口,或,阴极槽的外周设置有阴极液环形入口及阴极液环形出口。该镀槽在使用的过程中,通过将镀件放置于阳极槽内,并将镀件及阳极分别与外部电源的负极及正极电连接,进而能够在镀槽内通过镀液构成回路,实现金属离职沉积在镀件之上,进而完成电镀,由此,该镀槽结构简单,并能够降低电镀的成本。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本实用新型实施例中镀槽的结构示意图;
图2为本实用新型实施例中镀件及镀槽的结构示意图;
图3为本实用新型其他实施例中第一种镀槽的结构示意图;
图4为本实用新型其他实施例中第二种镀槽的结构示意图。
图标:100-镀槽;110-阳极槽;120-阴极槽;130-隔膜;140-阳极;150-镀件;111-阳极液入口;112-阳极液出口;121-阴极液入口;122-阴极液出口;160-均流板;170-第一隔板;123-内槽;124-外槽;180-第二隔板;125-第一分区;126-第二分区;127-溢流口;128-阴极液环形入口;129-阴极液环形出口;190-阳极挡板。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此,以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
此外,术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂,而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平,并不是表示该结构一定要完全水平,而是可以稍微倾斜。
在本实用新型的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
请参照图1及图2,本实施例提供一种镀槽100,镀槽100包括阳极槽110、阴极槽120、隔膜130及阳极140;
阴极槽120位于阳极槽110的上方,隔膜130设置于阴极槽120和阳极槽110之间,且将阴极槽120内的阴极液与阳极槽110内的阳极140液电导通;阳极140容置于阳极槽110内,且与外部电源的正极连接;阴极槽120用于容置镀件150,且镀件150与外部电源的负极连接;
其中,阳极槽110相对的两侧分别设置有阳极液入口111及阳极液出口112;阴极槽120相对的两侧分别设置有阴极液入口121及阴极液出口122,或,阴极槽120的外周设置有阴极液环形入口128及阴极液环形出口129。
请参照图1及图2,该镀槽100的工作原理是:
该镀槽100包括阳极槽110、阴极槽120、隔膜130及阳极140;其中,在设置阳极槽110及阴极槽120时,采用的是将阴极槽120设置于阳极槽110的上方,且将隔膜130设置于阴极槽120和阳极槽110之间,进而通过隔膜130将阴极槽120内的阴极液与阳极槽110内的阳极140液电导通;而且这样的设置方式,能够便于将镀件150放入至阴极槽120内;
在进行电镀时,由于阳极140容置于阳极槽110内,且与外部电源的正极连接;而阴极槽120用于容置镀件150,且镀件150与外部电源的负极连接;即,该镀槽100在使用的过程中,通过将镀件150放置于阳极槽110内,并将镀件150及阳极140分别与外部电源的负极及正极电连接,进而能够在镀槽100内通过镀液构成回路,实现金属离职沉积在镀件150之上,进而完成电镀;
而在前述的电镀的过程中,通过阳极槽110相对的两侧的阳极液入口111及阳极液出口112与外部的阳极140液循环管路连通,便可形成阳极140液循环回路;同理,通过阴极槽120相对的两侧的阴极液入口121及阴极液出口122与外部的阴极液循环管路连通,便可形成阴极液循环回路;进而能够使得阳极140液和阴极液循环使用;
综上,该镀槽100结构简单,并能够降低电镀的成本。
需要说明的是,在本实施例中,请参照图1及图2,采用的是阴极槽120相对的两侧分别设置有阴极液入口121及阴极液出口122的方式,而在本实用新型的其他实施例中,请参照图3及图4,还可以采用阴极槽120的外周设置有阴极液环形入口128及阴极液环形出口129的方式。
进一步地,请参照图1及图2,在本实施例中,为提高电镀的质量,提高镀件150上的镀层的均匀性,故,镀槽100还包括均流板160,均流板160容置于阴极槽120内,且正对于位于阴极槽120内的镀件150。通过均流板160的设置,可以使得阴极液能够均匀朝向镀件150流动,以提高镀层的均匀性。
进一步地,请参照图1及图2,在本实施例中,在配置阴极槽120时,为便于对阴极液的体积进行控制,故,阴极槽120内设置有第一隔板170,第一隔板170将阴极槽120分隔为内槽123及外槽124,内槽123与外槽124连通;外槽124位于内槽123的外侧,且镀件150及均流板160均容置于内槽123。由于镀件150及均流板160均容置于内槽123,故在电镀的过程中,是通过内槽123中的阴极液进行电镀,而在内槽123中的阴极液的量增多时,由于内槽123与外槽124连通,便可将内槽123中的阴极液导入外槽124,以对其阴极液的量进行控制。
请参照图1及图2,基于上述的结构设置,在形成内槽123和外槽124的前提下,为使得内槽123中的阴极液能够导入外槽124,故,可以使得第一隔板170的上端低于阴极槽120的上端,以使得内槽123的上端与外槽124的上端连通,由此,当阴极槽120中的阴极液的量增多后,便可通过第一隔板170的上端溢流至外槽124内,而为将外槽124中的阴极液导出,故,镀槽100开设有与外槽124连通的溢流口127。需要说明的是,为使得外槽124中溢流出的阴极液能够被利用,故溢流口127可以与外部的阴极液循环管路连通。
进一步地,请参照图1及图2,在本实施例中,在设置有第一隔板170的基础上,还可以在阴极槽120内设置有第二隔板180,第二隔板180将阴极槽120分隔为第一分区125及第二分区126;第一隔板170位于第一分区125,且将第一分区125分隔为内槽123及外槽124;内槽123与第二分区126连通,且第二分区126正对于阳极槽110。在前述结构的基础上,可以使得阴极液入口121及阴极液出口122均与第二分区126连通,而且均流板160设置于第一分区125与第二分区126的连接处。
基于上述内容,请参照图1及图2,在本实施例中,镀槽100还包括阳极挡板190,阳极挡板190容置于阳极槽110内。其中,阳极挡板190可以根据使用的需求设置为固定挡板或活动挡板,且其遮挡面积可以根据使用的需求,设置为可调的或固定的。
以上仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种镀槽,其特征在于:
所述镀槽包括阳极槽、阴极槽、隔膜及阳极;
所述阴极槽位于所述阳极槽的上方,所述隔膜设置于所述阴极槽和所述阳极槽之间,且将所述阴极槽内的阴极液与所述阳极槽内的阳极液电导通;所述阳极容置于所述阳极槽内,且与外部电源的正极连接;所述阴极槽用于容置镀件,且所述镀件与外部电源的负极连接;
其中,所述阳极槽相对的两侧分别设置有阳极液入口及阳极液出口;所述阴极槽相对的两侧分别设置有阴极液入口及阴极液出口,或,所述阴极槽的外周设置有阴极液环形入口及阴极液环形出口。
2.根据权利要求1所述的镀槽,其特征在于:
所述镀槽还包括均流板,所述均流板容置于所述阴极槽内,且正对于位于所述阴极槽内的镀件。
3.根据权利要求2所述的镀槽,其特征在于:
所述阴极槽内设置有第一隔板,所述第一隔板将所述阴极槽分隔为内槽及外槽,所述内槽与所述外槽连通;
所述外槽位于所述内槽的外侧,且所述镀件及所述均流板均容置于所述内槽。
4.根据权利要求3所述的镀槽,其特征在于:
所述阴极槽内设置有第二隔板,所述第二隔板将所述阴极槽分隔为第一分区及第二分区;所述第一隔板位于所述第一分区,且将所述第一分区分隔为所述内槽及所述外槽;所述内槽与所述第二分区连通,且所述第二分区正对于所述阳极槽。
5.根据权利要求4所述的镀槽,其特征在于:
所述阴极液入口及所述阴极液出口均与所述第二分区连通。
6.根据权利要求4所述的镀槽,其特征在于:
所述均流板设置于所述第一分区与所述第二分区的连接处。
7.根据权利要求3所述的镀槽,其特征在于:
所述第一隔板的上端低于所述阴极槽的上端,以使得所述内槽的上端与所述外槽的上端连通。
8.根据权利要求3所述的镀槽,其特征在于:
所述镀槽开设有与所述外槽连通的溢流口。
9.根据权利要求1-8中任意一项所述的镀槽,其特征在于:
所述镀槽还包括阳极挡板,所述阳极挡板容置于所述阳极槽内。
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