CN220731463U - 一种盐酸管路结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于硅晶片技术领域，具体的说是一种盐酸管路结构，基座和固定装置，基座的内壁固定连接有氢气管路，氢气管路的底端连通有输送管；输送管的弯折处设有固定装置，固定装置包括主环和副环，主环和副环套在输送管的表面，基座表面靠近氢气管路的位置设有限位装置，限位装置包括两个填充环，填充环插设在基座的内壁；通过重新设计输送管管路，使重新设计的蚀刻管路更有效清理支撑架的包硅，同时减少盐酸用量从而增加基座寿命；同时主环和副环也能够对输送管的弯折部进行固定，减少因为输送管较为细小在实际安装时出现不小心被掰弯的情况，同时也能够根据输送管弯折角度调整主环和副环的相对角度。

Description

一种盐酸管路结构

技术领域

本实用新型涉及硅晶片技术领域，具体是一种盐酸管路结构。

背景技术

元素硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素。地壳成分中27.8％是硅元素构成的，仅次于氧元素含量排行第二，硅是自然界中比较富的元素。在石英、玛瑙、燧石和普通的滩石中就可以发现硅元素。硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造。

针对上述及现有的相关技术，发明人认为往往存在以下缺陷：为了确保外延后晶片支撑架包硅清理，通常会在片与片之间做一个盐酸蚀刻，其作用时清理反应腔体硅残留，清理基座的包硅，清理支撑架包硅；由于现有技术方案是在蚀刻时增加过量盐酸腐蚀，但现有的蚀刻存在缺陷，在蚀刻盐酸量增加后不能完全清理支撑架的包硅，同时过腐蚀后基座也会出现会发黄，从而出现降低基座寿命的问题；因此，针对上述问题提出一种盐酸管路结构。

实用新型内容

为了弥补现有技术的不足，解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：本实用新型所述的一种盐酸管路结构，包括基座和固定装置，所述基座的内壁固定连接有氢气管路，所述氢气管路的底端连通有输送管；所述输送管的弯折处设有固定装置，所述固定装置包括主环和副环，所述主环和副环套在输送管的表面，所述副环内壁和主环表面转动连接，所述主环的内壁滑动连接有两个滑块，所述滑块的上表面固定连接有卡块，所述卡块插设在副环的内壁，在使用输送管时，将主环和副环套在输送管表面，然后转动副环让副环在主环表面转动，副环将输送管弯折到合适角度后，推动滑块让滑块带动卡块滑动，卡块插入到副环内壁，通过设置主环和副环能够在一定程度上对输送管弯折程度进行限制。

优选的，所述副环的表面开设有多个卡槽，所述卡块插设在副环的卡槽内壁，所述输送管为不锈钢管，在卡块滑动时会插入到副环的卡槽内壁，卡槽的开设能够在一定程度上收纳卡块。

优选的，所述滑块表面和主环内表面固定连接有弹簧，所述滑块的侧壁固定连接有挡块，所述挡块位于主环的侧壁，松开滑块弹簧会进行回弹，弹簧的设置能够在一定程度上驱动滑块移动。同时限制滑块位置。

优选的，所述主环和副环的表面均固定连接有限位环，所述限位环位于输送管的表面，所述主环表面靠近滑块的位置开设滑槽，所述滑块表面和主环的滑槽内壁滑动连接，在主环和副环移动时会带动限位环套在输送管的表面，在滑块滑动时会在滑槽内滑动，限位环的设置能够限制输送管在主环和副环内的位置。

优选的，所述基座表面靠近氢气管路的位置设有限位装置，所述限位装置包括两个填充环，所述填充环插设在基座的内壁，所述填充环套在氢气管路的表面，所述填充环的底端固定连接有连接环，所述基座底端靠近填充环的位置固定连接有支撑环，所述填充环为不锈钢环，填充环插入到基座和氢气管路连接处，通过设置填充环能够在一定程度上减少氢气管路在基座内乱动的可能性。

优选的，所述支撑环表面靠近连接环的位置固定连接有三个限位块，所述连接环表面靠近限位块的位置开设有限位槽，所述限位块插设在支撑环的限位槽内壁，在连接环滑动时会将限位块收纳到限位槽内壁，限位块能够在一定程度上限制连接环的位置。

本实用新型的有益之处在于：

1.本实用新型在需要进行蚀刻时，将输送管固定在基座内的氢气管路底端，再将主环和副环套在输送管表面，主环和副环移动时会带动限位环移动，在主环和副环移动到合适位置后，推动滑块让滑块带动卡块滑动和挡块滑动，滑块滑动时会在滑槽内滑动，同时滑块也会带动弹簧收缩，然后转动副环让副环带动输送管弯折，在输送管弯折到合适角度后，松开滑块弹簧会进行回弹，弹簧驱动滑块滑动，滑块带动卡块滑动，卡块插入到副环的卡槽内壁，在使用输送管输送盐酸溶液时，将输送管和基座内的氢气管路连接，通过重新设计输送管管路，使重新设计的蚀刻管路更有效清理支撑架的包硅，同时减少盐酸用量从而增加基座寿命；同时主环和副环也能够对输送管的弯折部进行固定，减少因为输送管较为细小在实际安装时出现不小心被掰弯的情况，同时也能够根据输送管弯折角度调整主环和副环的相对角度。

2.本实用新型在输送管安装在基座内后，将填充环插入基座内壁，填充环会挤压在氢气管路表面，在填充环移动时会带动连接环移动，连接环会将支撑环上的限位块收纳到限位槽内壁，通过设置填充环能够减少氢气管路在基座内乱动被磨损的情况，同时连接环和限位块也能够限制填充环的位置。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为一种盐酸管路结构中基座的立体结构示意图；

图2为一种盐酸管路结构中图1的A处结构示意图；

图3为一种盐酸管路结构中基座的仰视结构示意图；

图4为一种盐酸管路结构中图3的B处结构示意图。

图中：1、基座；2、输送管；3、固定装置；31、主环；32、副环；33、滑块；34、卡块；35、卡槽；36、弹簧；37、挡块；38、限位环；39、滑槽；4、限位装置；41、填充环；42、连接环；43、支撑环；44、限位槽；45、限位块；5、氢气管路。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4所示，一种盐酸管路结构，包括基座1和固定装置3，所述基座1的内壁固定连接有氢气管路5，所述氢气管路5的底端连通有输送管2；所述输送管2的弯折处设有固定装置3，所述固定装置3包括主环31和副环32，所述主环31和副环32套在输送管2的表面，所述副环32内壁和主环31表面转动连接，所述主环31的内壁滑动连接有两个滑块33，所述滑块33的上表面固定连接有卡块34，所述卡块34插设在副环32的内壁；工作时，将主环31和副环32套在输送管2表面，然后转动副环32让副环32在主环31表面转动，副环32将输送管2弯折到合适角度后，推动滑块33让滑块33带动卡块34滑动，卡块34插入到副环32内壁，通过设置主环31和副环32能够在一定程度上对输送管2弯折程度进行限制。

所述副环32的表面开设有多个卡槽35，所述卡块34插设在副环32的卡槽35内壁，所述输送管2为不锈钢管；工作时，在卡块34滑动时会插入到副环32的卡槽35内壁，卡槽35的开设能够在一定程度上收纳卡块34。

所述滑块33表面和主环31内表面固定连接有弹簧36，所述滑块33的侧壁固定连接有挡块37，所述挡块37位于主环31的侧壁；工作时，推动滑块33让滑块33带动弹簧36拉伸，滑块33也会带动挡块37滑动，在副环32角度调节完毕后，松开滑块33弹簧36会进行回弹，弹簧36的设置能够在一定程度上驱动滑块33移动。同时限制滑块33位置。

所述主环31和副环32的表面均固定连接有限位环38，所述限位环38位于输送管2的表面，所述主环31表面靠近滑块33的位置开设滑槽39，所述滑块33表面和主环31的滑槽39内壁滑动连接；工作时，在主环31和副环32移动时会带动限位环38套在输送管2的表面，在滑块33滑动时会在滑槽39内滑动，限位环38的设置能够限制输送管2在主环31和副环32内的位置。

所述基座1表面靠近氢气管路5的位置设有限位装置4，所述限位装置4包括两个填充环41，所述填充环41插设在基座1的内壁，所述填充环41套在氢气管路5的表面，所述填充环41的底端固定连接有连接环42，所述基座1底端靠近填充环41的位置固定连接有支撑环43，所述填充环41为不锈钢环；工作时，将填充环41对准基座1和输送管2连接处，再推动连接环42让连接环42带动填充环41移动，填充环41插入到基座1和氢气管路5连接处，通过设置填充环41能够在一定程度上减少输送管2在基座1内乱动的可能性。

所述支撑环43表面靠近连接环42的位置固定连接有三个限位块45，所述连接环42表面靠近限位块45的位置开设有限位槽44，所述限位块45插设在支撑环43的限位槽44内壁；工作时，在连接环42滑动时会将限位块45收纳到限位槽44内壁，限位块45能够在一定程度上限制连接环42的位置。

工作原理，在需要进行蚀刻时，将输送管2固定在基座1内的氢气管路5底端，再将主环31和副环32套在输送管2表面，主环31和副环32移动时会带动限位环38移动，在主环31和副环32移动到合适位置后，推动滑块33让滑块33带动卡块34滑动和挡块37滑动，滑块33滑动时会在滑槽39内滑动，同时滑块33也会带动弹簧36收缩，然后转动副环32让副环32带动输送管2弯折，在输送管2弯折到合适角度后，松开滑块33弹簧36会进行回弹，弹簧36驱动滑块33滑动，滑块33带动卡块34滑动，卡块34插入到副环32的卡槽35内壁，在使用输送管2输送盐酸溶液时，将输送管2和基座1内的氢气管路5连接，通过重新设计输送管2管路，使重新设计的蚀刻管路更有效清理支撑架的包硅，同时减少盐酸用量从而增加基座1寿命；同时主环31和副环32也能够对输送管2的弯折部进行固定，减少因为输送管2较为细小在实际安装时出现不小心被掰弯的情况，同时也能够根据输送管2弯折角度调整主环31和副环32的相对角度；在输送管2安装在基座1内后，将填充环41插入基座1内壁，填充环41会挤压在氢气管路5表面，在填充环41移动时会带动连接环42移动，连接环42会将支撑环43上的限位块45收纳到限位槽44内壁，通过设置填充环41能够减少氢气管路5在基座1内乱动被磨损的情况，同时连接环42和限位块45也能够限制填充环41的位置。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。

Claims (6)

1.一种盐酸管路结构，包括基座(1)和固定装置(3)，所述基座(1)的内壁固定连接有氢气管路(5)，所述氢气管路(5)的底端连通有输送管(2)；其特征在于：所述输送管(2)的弯折处设有固定装置(3)，所述固定装置(3)包括主环(31)和副环(32)，所述主环(31)和副环(32)套在输送管(2)的表面，所述副环(32)内壁和主环(31)表面转动连接，所述主环(31)的内壁滑动连接有两个滑块(33)，所述滑块(33)的上表面固定连接有卡块(34)，所述卡块(34)插设在副环(32)的内壁。

2.根据权利要求1所述的一种盐酸管路结构，其特征在于：所述副环(32)的表面开设有多个卡槽(35)，所述卡块(34)插设在副环(32)的卡槽(35)内壁，所述输送管(2)为不锈钢管。

3.根据权利要求2所述的一种盐酸管路结构，其特征在于：所述滑块(33)表面和主环(31)内表面固定连接有弹簧(36)，所述滑块(33)的侧壁固定连接有挡块(37)，所述挡块(37)位于主环(31)的侧壁。

4.根据权利要求3所述的一种盐酸管路结构，其特征在于：所述主环(31)和副环(32)的表面均固定连接有限位环(38)，所述限位环(38)位于输送管(2)的表面，所述主环(31)表面靠近滑块(33)的位置开设滑槽(39)，所述滑块(33)表面和主环(31)的滑槽(39)内壁滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种盐酸管路结构，其特征在于：所述基座(1)表面靠近氢气管路(5)的位置设有限位装置(4)，所述限位装置(4)包括两个填充环(41)，所述填充环(41)插设在基座(1)的内壁，所述填充环(41)套在氢气管路(5)的表面，所述填充环(41)的底端固定连接有连接环(42)，所述基座(1)底端靠近填充环(41)的位置固定连接有支撑环(43)，所述填充环(41)为不锈钢环。

6.根据权利要求5所述的一种盐酸管路结构，其特征在于：所述支撑环(43)表面靠近连接环(42)的位置固定连接有三个限位块(45)，所述连接环(42)表面靠近限位块(45)的位置开设有限位槽(44)，所述限位块(45)插设在支撑环(43)的限位槽(44)内壁。