CN220710255U - 一种硅片检测机构及硅片传输线 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种硅片检测机构及硅片传输线，目的是解决现有硅片检测装置无法对偏移量很大的硅片进行识别，也没有在传输线前端将大角度硅片剔除的技术问题。该装置包括：机架；第一传输带，安装于所述机架上；检测组件，包括四个第一检测板和设置于所述第一检测板一端的第一传感器，四个第一检测板两两为一组分别设置于所述第一传输带两侧，且四个第一传感器分别与第一传输带上的硅片的四个角位置相对应。本实用新型检测机构通过安装在四个角的第一传感器能有效检测出硅片是否碎片，还能对偏移量很大的硅片进行识别，通过将大角度产品识别出来，能降低大角度产品在后续传输过程中被损坏的风险。

Description

一种硅片检测机构及硅片传输线

技术领域

本实用新型涉及硅片传输技术领域，尤其是涉及一种硅片检测机构及硅片传输线。

背景技术

在硅片生产线上，需要将硅片从一个工位转移至另一个工位，传输过程中，由于各种不可控制的因素会导致硅片出现碎裂或出现较大偏移，而现有的检测装置大多只对碎片进行识别，而且通常是将硅片传输到最后端，通过设置在最后端的检测装置单独进行检测识别，并配合后端设置的剔除设备将不合格硅片剔除，这样偏移量很大（大角度）的硅片到最后端再进行处理会存在将产品弄碎的风险，降低了产品的合格率。

发明内容

针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型的目的是提供一种硅片检测机构及硅片传输线，解决了现有硅片检测装置无法对偏移量很大的硅片进行识别，也没有在传输线前端将大角度硅片剔除的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种硅片检测机构，包括：机架；第一传输带，安装于所述机架上；检测组件，包括四个第一检测板和设置于所述第一检测板一端的第一传感器，四个第一检测板两两为一组分别设置于所述第一传输带两侧，且四个第一传感器分别与第一传输带上的硅片的四个角位置相对应。由于硅片产品的特性，其碎片基本是沿四个角碎，本实用新型检测机构通过安装在四个角的第一传感器能有效检测出硅片是否碎片。而且，还能对偏移量很大的硅片进行识别，即：当第一传输带上的硅片出现碎片或大角度时，那么就会有一个角的第一传感器没有识别，系统就会判断这个产品不合格，当该不合格产品到达下一工序（剔除机构），将其剔除。通过将大角度产品识别出来，能降低大角度产品在后续传输过程中被损坏的风险。

可选的，机架包括彼此平行、且间隔设置的两组支架，所述支架中部位置处固定有连接块，所述连接块一端延伸至第一传输带外侧，每一个连接块上分别连接有两个第一检测板，两个第一检测板一端与连接块连接，另一端分别向皮带的两端延伸，第一传感器远离连接块设置。

可选的，两个支架之间的中部位置处固定有横板，所述横板上设置有两组第二检测板，两个第二检测板一端与横板连接，另一端分别向第一传输带的两端延伸，两个第二检测板上远离横板的一端均设置有第二传感器，两第二传感器相远离设置。

可选的，所述第一检测板和第二检测板可调节设置，所述第一检测板和第二检测板上均开设有调节槽，所述连接块和横板上分别开设有与调节槽相适配的定位孔，检测板通过定位件穿过调节槽和定位孔进行固定。

可选的，所述第一传输带包括彼此平行、且间隔设置的两组皮带，所述皮带绕设在多个传送辊上，所述传送辊设置在所述机架外侧，所述皮带由设置在机架下方的电机驱动。

可选的，所述机架的数量为多个，多个机架沿水平方向依次并列排布在基座上，每一个机架上均安装有第一传输带、检测组件和电机。

一种硅片传输线，包括硅片检测机构和剔除机构，所述剔除机构与所述硅片检测机构数量相适配、且运行方向一致，所述剔除机构的进料端和所述硅片检测机构的出料端对接，所述剔除机构的出料端设置有后段传输带和料盒，所述料盒位于所述后段传输带下方，所述硅片检测机构为上述所述的硅片检测机构。该传输线通过将硅片检测机构、剔除机构飞设置，在产品传输过程中就能将不合格（碎片或大角度硅片）的产品直接剔除，无需到下道工序进行单独检测剔除处理，可以简化工序，提高生产效率，还能节省设备费用。同时，在传输前端就能将大角度产品剔除到料盒里，能降低大角度产品在传输过程中被损坏的风险，减少碎片率。

可选的，所述剔除机构包括支撑架、传输架、第二传输带和气缸，所述传输架一端通过转轴与所述支撑架连接，所述第二传输带安装于所述传输架上，所述气缸设置于所述传输架下方，所述气缸可带动所述传输架和第二传输带绕所述转轴转动，所述硅片检测机构的传感器和所述气缸均与控制器电性连接，所述控制器接收传感器的检测信号并调控所述气缸与所述后段传输带或料盒对接。

可选的，所述支撑架靠近所述硅片检测机构设置，所述转轴安装于所述支撑架顶端，传输架一端与所述转轴连接，所述传输架可绕所述转轴转动，所述第二传输带安装于所述传输架外侧，所述第二传输带靠近所述支撑架的一端与硅片检测机构的出料端对接，第二传输带的另一端与后段传输带或料盒对接。

可选的，所述料盒包括支撑座和安装于所述支撑座上的盒体，所述盒体的底板从靠近剔除机构的一端向下倾斜设置。

可选的，所述盒体内侧壁和/或底壁上设置有柔性的垫片。通过料盒内侧设置的柔性垫片能保护产品不被划伤，减少碎片率。

与现有技术相比，本实用新型有益效果为：

由于硅片产品的特性，其碎片基本是沿四个角碎，本实用新型硅片检测机构通过安装在四个角的第一传感器能有效检测出硅片是否碎片。而且，还能对偏移量很大的硅片进行识别，即：当第一传输带上的硅片出现碎片或大角度时，那么就会有一个角的第一传感器没有识别，系统就会判断这个产品不合格。通过将大角度产品识别出来，能降低大角度产品在后续传输过程中被损坏的风险。本实用新型硅片传输线通过将硅片检测机构、剔除机构设置，在产品传输过程中就能将不合格（碎片或大角度硅片）的产品直接剔除，无需到下道工序进行单独检测剔除处理，可以简化工序，提高生产效率，还能节省设备费用。同时，在传输前端就能将大角度产品剔除到料盒里，能降低大角度产品在传输过程中被损坏的风险，减少碎片率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为实施例1的立体结构示意图。

图2为实施例1的主视图。

图3为实施例1的俯视图。

图4 为实施例1中第一检测板的结构示意图。

图5为实施例2的立体结构示意图。

图6为实施例2的主视图。

图7为实施例2的俯视图。

图8为实施例3的侧视图。

图9为实施例3的俯视图。

附图标记：100、硅片检测机构；11、机架；111、支架；112、连接块；1121、定位孔；113、横板；114、基座；12、第一传输带；121、皮带；122、传送辊；123、电机；13、检测组件；131、第一检测板；1311、调节槽；132、第一传感器；133、第二检测板；134、第二传感器；200、剔除机构；21、支撑架；211、转轴；22、传输架；23、第二传输带；24、气缸；300、料盒；31、支撑座；32、盒体。

具体实施方式

在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本实用新型申请实施例的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。

在本实用新型申请实施例的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”、“端”、“侧”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型申请实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型申请实施例的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型申请实施例的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型申请实施例中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型申请实施例中的具体含义。

在本实用新型申请实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型申请实施例的不同结构。为了简化本实用新型申请实施例的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型申请实施例。此外，本实用新型申请实施例可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。

下面结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明。

实施例1

如图1～图4所示，本实用新型申请实施例提供了一种硅片检测机构，包括机架11以及安装于机架11上的第一传输带12和检测组件13。使用时，第一传输带12的一端与硅片流水线对接，当硅片从硅片流水线输送至第一传输带12上时，检测组件13检测输送带上的硅片是否合格。具体的，

机架11包括彼此平行、且间隔设置的两组支架111，两支架111相对称设置。

第一传输带12包括彼此平行、且间隔设置的两组皮带121，皮带121绕设在多个传送辊122上，皮带121由电机123驱动绕多个传送辊122回转以运送皮带121上的硅片。具体的，两组皮带121分别位于两个支架111的外侧，即传送辊122设置于分布于支架111的外侧，电机123通过电机安装座安装于两个支架111之间，电机123的双轴输出端分别与安装在支架111下部的主传送辊连接。由多个传送辊带动皮带移动为现有技术，其实现过程和工作原理此处不再赘述。

进一步地，检测组件13包括多个第一检测板131和设置于第一检测板131一端的第一传感器132，第一传感器132为四个，分别与硅片的四个角相对应，即第一检测板131两两为一组分别设置于第一传输带12的外侧，即第一传输带12的两个皮带的两端外侧分别设有检测第一传感器132。

具体的，支架111中部位置处固定有连接块112，连接块112的一端延伸至皮带121外侧，每一个连接块112上分别连接有两第一检测板131，两第一检测板131一端与连接块112连接，另一端分别向皮带121的两端延伸，第一传感器132设置于远离连接块112的第一检测板131的端部，即第一传感器132位于第一传输带12的端部外侧。

在一实施方式中，两个支架111之间的中部位置处固定有横板113，横板113位于电机123上方，横板113上设置有两组第二检测板133，两第二检测板133一端与横板113连接，另一端分别向皮带121的两端延伸，两第二检测板133上远离横板113的一端均设置有第二传感器134，两第二传感器134相远离设置，即：两第二传感器134位于机架11内侧两端。

在一实施方式中，第一检测板131和第二检测板133可调节设置，第二检测板133结构与第一检测板131结构相同。具体的，第一检测板131上开设有调节槽1311，连接块112和横板113上分别开设有与调节槽1311相适配的定位孔1121，第一检测板131通过定位件（图中未显示）穿过调节槽1311和定位孔1121进行固定。定位件可采用螺栓，使用时，根据所述传输的硅片的规格大小来确第一检测板131的位置，然后通过定位螺栓穿过调节槽1311和定位孔1121将第一检测板131固定在连接块112或横板113上。

由于硅片产品的特性，碎片就会是沿着四个角碎，本实用新型通过安装在四个角的第一传感器来检测硅片的四个角是否碎裂或者偏移量很大（大角度），如果出现碎片或者大角度时，那么就会有一个角的第一传感器没有识别，这时控制器就会判断这个产品不合格，当该产品到下一个位置上时将其剔除。

实施例2

在实施例1的基础上，如图5～图7所示，机架11的数量为多个，多个机架11沿水平方向依次并列排布在基座114上，每一个机架11上均安装有第一传输带12和检测组件13。机架11数量可根据需要进行灵活配置，其数量与流水线的条数相适配。

现有设备中，多组检测传送带通常是采用一台电机，因前端设备特性，从而会导致出来的产品整体的一致性会比较差，表现在两端产品移动的慢，中间产品移动的快，硅片布局呈现“人”字形，而本实施例中多组（五组）第一传输带12分别通过独立的电机控制速度，使得中间先到的产品在脱离前端设备后，就在传输线上快速移动，等后面产品过来后，所有产品都在一条线上再往后移动，可以将产品拉齐，保证后端的功能正常使用。

实施例3

如图8和图9所示，本实用新型申请实施例提供了一种硅片传输线，包括硅片检测机构100和剔除机构200，剔除机构200与硅片检测机构100数量相适配、且运行方向一致，剔除机构200的进料端和硅片检测机构100的出料端对接，剔除机构200出料端设置有后段传输带和料盒300，料盒300位于后段传输带下方，即硅片检测机构100在物料传输方向上设置于剔除机构200的上游，相应地，料盒300设置于剔除机构200的下游方向，所述硅片检测机构100为实施例1和2中所述的一种硅片检测机构。

当需要对多条流水线上的硅片进行检测时，硅片检测机构100和剔除机构200的数量为多个，硅片检测机构100的出料端对接一剔除机构200，剔除机构200的数量与硅片检测机构100相适配，两两为一组相对接，其数量与流水线的条数相适配。使用时，硅片检测机构100用于检测硅片传输带上的硅片是否合格，剔除机构200将硅片检测机构100所检测到的不合格硅片从传输带上剔除至料盒300内。

具体的，剔除机构200包括支撑架21、传输架22、第二传输带23和气缸24，支撑架21的一端固定安装有转轴211，传输架22一端通过转轴211与支撑架21连接，传输架22可绕转轴211转动，第二传输带23安装于传输架22上，第二传输带23靠近支撑架21的一端与硅片检测机构100的出料端对接，第二传输带23的另一端与后段传输带或料盒300对接。气缸24设置于传输架22下方，气缸24的工作端可带动传输架22和第二传输带23以一个整体的形式绕转轴211转动，以使第二传输带23远离支撑架21的一端与后段传输带或料盒300对接，即气缸24未动作时，第二传输带23处于水平位置与后段传输带对接，当气缸24动作时，气缸24带动第二传输带23绕着转轴211向下转动呈倾斜状态并与料盒300对接。后段传输带图中未显示，通过机架架设于料盒300上方，且后段传输带的上游端与第二传输带23的下游端对接。

在实际使用中，检测组件13的输出端与控制器的输入端电性连接，控制器的输出端与气缸24的输入端电性连接，检测组件13将检测信号传达至控制器，控制器根据预设信息判断硅片是否合格并调控气缸24。当硅片检测机构100上的硅片合格时，剔除机构200不动作，即剔除机构200的出料端与后段传输带对接，剔除机构200将该合格硅片运送至后段传输带上；当所硅片检测机构100上的硅片不合格时，剔除机构200的出料端与接料盒300对接，剔除机构200将该不合格硅片运送至接料盒300内。

第二传输带23的运行原理基本与第一传输带12运行原理一致，即第二传输带23也由绕设在多个传送辊上的皮带和驱动皮带运行的电机组成，由传送辊带动两组皮带同步移动。需要注意的是，第二传输带23的皮带与第一传输带12的皮带是相对接的。

在一实施方式中，料盒300包括支撑座31和安装于支撑座31上的盒体32。盒体32的底板从靠近剔除机构200的一端向下倾斜设置，以便于剔除机构200运送来的不合格硅片顺利滑入盒体32内。盒体32内侧壁和/或底壁上设置有柔性的垫片。优选的，垫片采用海绵。海绵垫片可以保护产品不被划伤。

当第一传感器132检测到硅片有碎片或大角度偏移时，第一传感器132将检测数据传送至控制器，控制器接收通讯数据后，当不合格硅片到第二传输带23时，气缸24下降，将硅片传送到料盒内，然后气缸24上升，第二传输带23回归水平传输。当硅片合格时，气缸24保持不动，剔除机构200将合格硅片水平传输至后段传输带上。

本实施例中未作详细说明之处，为本领域公知的技术。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到其各种变化或替换，这些都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种硅片检测机构，其特征在于，包括：

机架（11）；

第一传输带（12），安装于所述机架（11）上；

检测组件（13），包括四个第一检测板（131）和设置于所述第一检测板（131）一端的第一传感器（132），四个第一检测板（131）两两为一组分别设置于所述第一传输带（12）两侧，且四个第一传感器（132）分别与第一传输带（12）上的硅片的四个角位置相对应。

2.根据权利要求1所述的一种硅片检测机构，其特征在于，机架（11）包括彼此平行、且间隔设置的两组支架（111），所述支架（111）中部位置处固定有连接块（112），所述连接块（112）一端延伸至所述第一传输带（12）外侧，每一个连接块（112）上分别连接有两个第一检测板（131），两个第一检测板（131）一端与所述连接块（112）连接，另一端分别向所述第一传输带（12）的两端延伸，所述第一传感器（132）远离所述连接块（112）设置。

3.根据权利要求2所述的一种硅片检测机构，其特征在于，所述机架的中部位置处固定有横板（113），所述横板（113）上设置有两组第二检测板（133），两第二检测板（133）的一端与横板（113）连接，另一端分别向第一传输带（12）的两端延伸，两个第二检测板（133）上远离横板（113）的一端均设置有第二传感器（134），两个第二传感器（134）相远离设置。

4.根据权利要求3所述的一种硅片检测机构，其特征在于，所述第一检测板（131）和第二检测板（133）可调节设置，所述第一检测板（131）和第二检测板（133）上均开设有调节槽（1311），所述连接块（112）和横板（113）上分别开设有与调节槽（1311）相适配的定位孔（1121），检测板通过定位件穿过调节槽（1311）和定位孔（1121）进行固定。

5.根据权利要求1所述的一种硅片检测机构，其特征在于，所述第一传输带（12）包括彼此平行、且间隔设置的两组皮带（121），所述皮带（121）绕设在多个传送辊（122）上，所述传送辊（122）设置在所述机架（11）外侧，所述皮带（121）由设置在机架（11）下方的电机（123）驱动。

6.根据权利要求1～5中任意一项所述的一种硅片检测机构，其特征在于，所述机架（11）的数量为多个，多个机架（11）沿水平方向依次并列排布在基座（114）上，每一个机架（11）上均安装有第一传输带（12）和检测组件（13）。

7.一种硅片传输线，其特征在于，包括硅片检测机构（100）和剔除机构（200），所述剔除机构（200）与所述硅片检测机构（100）数量相适配、且运行方向一致，所述剔除机构（200）的进料端和所述硅片检测机构（100）的出料端对接，所述剔除机构（200）的出料端设置有后段传输带和料盒（300），所述料盒（300）位于所述后段传输带下方，所述硅片检测机构（100）为权利要求1～6中任一所述的一种硅片检测机构。

8.根据权利要求7所述的硅片传输线，其特征在于，所述剔除机构（200）包括支撑架（21）、传输架（22）、第二传输带（23）和气缸（24），所述传输架（22）一端通过转轴（211）与所述支撑架（21）连接，所述第二传输带（23）安装于所述传输架（22）上，所述气缸（24）设置于所述传输架（22）下方，所述气缸（24）可带动所述传输架（22）和第二传输带（23）绕所述转轴（211）转动，所述硅片检测机构（100）的传感器和所述气缸（24）均与控制器电性连接，所述控制器接收传感器的检测信号并调控所述气缸（24）与所述后段传输带或料盒（300）对接。

9.根据权利要求7所述的硅片传输线，其特征在于，所述料盒（300）包括支撑座（31）和安装于所述支撑座（31）上的盒体（32），所述盒体（32）的底板从靠近剔除机构的一端向下倾斜设置。

10.根据权利要求9所述的硅片传输线，其特征在于，所述盒体（32）内侧壁和/或底壁上设置有柔性的垫片。