CN220692519U - 辅助装调结构及光学反射腔体 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种辅助装调结构及光学反射腔体，属于光学仪器调整技术领域。所述辅助装调结构用于辅助准直光学反射腔体的腔镜，所述辅助装调结构包括辅助反射镜组，所述辅助反射镜组在所述光学反射腔体内具有准直工位和通光工位，其中：所述辅助反射镜组在所述准直工位时，用于接收并反射分别来自所述光学反射腔体外的准直光束和所述腔镜的工作光束；所述辅助反射镜组在所述通光工位时，远离所述腔镜的入射光路和出射光路。通过辅助反射镜组在光学反射腔体内具有的准直工位，不仅能形成在真空环境下对腔镜准直的基准，提高腔镜的准直效率和准直精度，还能通过辅助反射镜组从准直工位切换至通光工位，从而保证腔镜准直完后光学反射腔体能正常使用。

Description

辅助装调结构及光学反射腔体

技术领域

本申请属于光学仪器调整技术领域，尤其涉及一种辅助装调结构及光学反射腔体。

背景技术

自由电子激光装置这一新型光源以其波长连续可调、功率高、光束品质好等突出优点受到广泛应用。光学谐振腔是自由电子激光装置的核心部件，主要由在真空环境下的两块相互对心的反射镜构成，通过由该两块反射镜确定的中心轴线与电子束运动轨迹及波荡器的磁场中心重合，从而确保自由电子激光装置的输出功率最大。因此，往往需要对两个反射镜的姿态进行高精度的安装准直。

目前的光学谐振腔反射镜是在非真空环境下进行调节的，将反射镜的轴线调整至与电子束的运动轨迹相重合，然后对光学谐振腔进行抽真空，在真空环境下对反射镜的姿态进行进一步地准直直至探测到从光学谐振腔输出的光束信号强度最大设为调整完毕。然而，在真空情况下对反射镜进行安装准直过程已经没有了辅助基准，会使得整个安装过程无法准确预估，安装过程也没有目的性，从而导致安装准直的时间可能非常长，精度也会降低。

实用新型内容

本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本申请提出一种辅助装调结构及光学反射腔体，通过辅助反射镜组在光学反射腔体内具有的准直工位，不仅能形成在真空环境下对腔镜准直的基准，提高腔镜的准直效率和准直精度，还能通过辅助反射镜组从准直工位切换至通光工位，从而保证腔镜准直完后光学反射腔体能正常使用。

第一方面，本申请提供了一种辅助装调结构，用于辅助准直光学反射腔体的腔镜，所述辅助装调结构包括辅助反射镜组，所述辅助反射镜组在所述光学反射腔体内具有准直工位和通光工位，其中：

所述辅助反射镜组在所述准直工位时，用于接收并反射分别来自所述光学反射腔体外的准直光束和所述腔镜的工作光束；

所述辅助反射镜组在所述通光工位时，远离所述腔镜的入射光路和出射光路。

根据本申请的辅助装调结构，当光学反射腔体处于未工作时即非真空环境下，辅助反射镜组处在准直工位，通过辅助反射镜组将准直光束反射至腔镜上，腔镜接收准直光束并反射回辅助反射镜组，从而使准直光束重新射出光学反射腔体外，通过调整辅助反射镜组直至准直光束射入光学反射腔体的入射光路和从光学反射腔体射出的出射光路相重合；再使光学反射腔体处于工作时即辅助反射镜组和腔镜均处于真空环境下，固定辅助反射镜组即以辅助反射镜组为基准，调整腔镜的姿态直至准直光束射入光学反射腔体的入射光路和工作光束从光学反射腔体射出的出射光路相重合，从而能快速且准确地对腔镜进行准直；腔镜准直完毕后，使辅助反射镜组切换至通光工位，并关闭准直光束，从而使工作光束通过腔镜能在光学反射腔体内正常工作。

根据本申请的一个实施例，所述辅助反射镜组包括：

辅助反射镜，用于接收并反射所述准直光束和所述工作光束；

辅助镜座，所述辅助反射镜可活动地安装在所述辅助镜座上，用于调节所述辅助反射镜至所述准直工位或所述通光工位。

根据本申请的一个实施例，所述辅助镜座包括：

固定部；

活动部，所述活动部沿竖直方向可移动地安装于所述固定部，所述辅助反射镜角度可调地安装于所述活动部。

根据本申请的一个实施例，所述活动部和所述固定部中的一个设置有导向槽，所述导向槽的长度沿竖直方向延伸，所述活动部和所述固定部的另一个安装有与所述导向槽相配合的导向块。

根据本申请的一个实施例，所述辅助反射镜为平面反射镜。

根据本申请的一个实施例，所述光学反射腔体包括两个相对设置的腔镜，所述辅助反射镜设置有两个，两个所述辅助反射镜与所述腔镜一一对应。

根据本申请的一个实施例，两个所述辅助反射镜在水平面上的投影呈垂直夹角设置。

根据本申请的一个实施例，还包括：

支座；

移动组件，所述辅助反射镜组安装在所述移动组件上，所述移动组件可活动地安装于所述支座上，用于调节所述辅助反射镜组沿水平方向和竖直方向的位置。

根据本申请的一个实施例，还包括：

腔壳，所述腔壳内部真空度可调，用于容置所述辅助反射镜组；

透视窗组件，安装于所述腔壳，用于供所述准直光束射入和射出所述腔壳；

出光部，安装于所述腔壳，用于引导所述准直光束在所述辅助反射镜和所述腔镜之间来回反射。

第二方面，本申请提供了一种光学反射腔体，包括：

腔体，所述腔体内真空度可调，用于接收和输出工作光束：

腔镜，两个所述腔镜分别设置在所述腔体沿所述工作光束传播方向的两侧；以及

如上所述的辅助装调结构，所述辅助装调结构安装于所述腔体内。

根据本申请的光学反射腔体，通过辅助装调结构的辅助反射镜组在光学反射腔体内具有的准直工位，不仅能形成在真空环境下对腔镜准直的基准，提高腔镜的准直效率和准直精度，还能通过辅助反射镜组从准直工位切换至通光工位，从而保证腔镜准直完后光学反射腔体能正常使用。

本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为本申请实施例提供的辅助装调结构的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的辅助装调结构隐去腔壳的结构示意图；

图3为本申请实施例提供的光学反射腔体内的光路示意图；

图4为本申请实施例提供的第一种在线准直装置的结构示意图；

图5为本申请实施例提供的主取样镜结构的结构示意图；

图6为本申请实施例提供的激光准直结构的结构示意图；

图7为本申请实施例提供的主反射镜准直结构的结构示意图；

图8为本申请实施例提供的第一种在线准直装置的光路示意图；

图9为本申请实施例提供的第二种在线准直装置的结构示意图；

图10为本申请实施例提供的第二种在线准直装置的光路示意图；

图11为本申请实施例提供的在线准直方法的流程图；

图12为本申请实施例提供的第一种基准光轴的结构示意图；

图13为本申请实施例提供的第一种准直系统的结构示意图；

图14为本申请实施例提供的第二种基准光轴的结构示意图；

图15为本申请实施例提供的第二种准直系统的结构示意图；

图16为本申请实施例提供的准直方法的流程示意图。

附图标记：

100、辅助装调结构；110、辅助反射镜组；111、辅助反射镜；112、辅助镜座；1121、固定部；1122、活动部；1123、安装部；120、支座；130、移动组件；131、第一滑动部；132、第二滑动部；140、腔壳；150、透视窗组件；160、出光部；

200、激光准直结构；210、发光组件；211、光源；212、连接板；220、反射组件；221、激光反射镜；222、安装座；230、固定座；

300、主反射镜准直结构；310、主反射镜；320、主镜座；

400、主取样镜结构；410、主取样镜；420、主光阑；430、主照相组件；440、底座；450、安装板；460、调节板；

500、辅助取样镜结构；510、辅助取样镜；520、辅助光阑；530、辅助照相组件；

700、基准装置；701、第一定位孔；702、第二定位孔；703、第三定位孔；720、经纬仪；730、水准仪；

900、腔镜；910、腔体。

具体实施方式

下面详细描述本申请的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能理解为对本申请的限制。

下面参考图1-图3描述本申请实施例提供的辅助装调结构100，其用于辅助准直光学反射腔体的腔镜900，该辅助装调结构100包括辅助反射镜组110。

辅助反射镜组110在光学反射腔体内具有准直工位和通光工位，其中：

辅助反射镜组110在准直工位时，用于接收并反射分别来自光学反射腔体外的准直光束和腔镜900的工作光束；

辅助反射镜组110在通光工位时，远离腔镜900的入射光路和出射光路。

本实施例中，为了方便准直腔镜900，辅助反射镜组110的入射光路和出射光路在同一水平面上相垂直。

需要说明的是，辅助反射镜组110实现在光学反射腔体内准直工位和通光工位切换的具体结构可根据实际情况进行设计，本实施例不做具体限制。

可以理解的是，当光学反射腔体处于未工作时即非真空环境下，辅助反射镜组110处在准直工位，通过辅助反射镜组110将从光学反射腔体外射入的准直光束反射至腔镜900上，腔镜900接收准直光束并反射回辅助反射镜组110，从而使准直光束重新射出光学反射腔体外，通过调整辅助反射镜组110直至准直光束射入光学反射腔体的入射光路和从光学反射腔体射出的出射光路相重合；再使光学反射腔体处于工作时即辅助反射镜组110和腔镜900均处于真空环境下，固定辅助反射镜组110即以辅助反射镜组110为基准，调整腔镜900的角度直至准直光束射入光学反射腔体的入射光路和从腔镜900射出的工作光束经辅助反射镜组110后从光学反射腔体射出的出射光路相重合，从而实现快速且准确地对腔镜900进行准直；腔镜900准直完毕后，使辅助反射镜组110切换至通光工位，并关闭准直光束，从而使工作光束通过腔镜900能在光学反射腔体内正常工作。

根据本申请实施例提供的辅助装调结构100，通过辅助反射镜组110在光学反射腔体内具有的准直工位，不仅能形成在真空环境下对腔镜900准直的基准，提高了对腔镜900准直效率和准直精度，还能通过辅助反射镜组110从准直工位切换至通光工位，从而保证腔镜900准直完后也不会影响整个光学反射腔体的正常使用。

如图2所示，辅助反射镜组110包括辅助反射镜111和辅助镜座112，辅助反射镜111用于接收并反射准直光束和工作光束；辅助反射镜111可活动地安装于辅助镜座112，用于调节辅助反射镜111至准直工位或通光工位。

可以理解的是，先沿准直光束的光路传播方向上，放置辅助镜座112，通过辅助反射镜111可活动地安装于辅助镜座112上，从而调整辅助反射镜111在准直工位和通光工位的切换，以分别满足腔镜900准直和正常工作的要求。

在一些实施例中，辅助镜座112包括固定部1121和活动部1122，活动部1122沿竖直方向可移动地安装于固定部1121，辅助反射镜111角度可调地安装于活动部1122。

可以理解的是，通过沿竖直方向移动活动部1122，从而实现辅助反射镜111在准直工位和通光工位的切换，即活动部1122向下移动一定距离，辅助反射镜111处在通光工位；活动部1122向上移动一定距离，辅助反射镜111处在准直工位，并通过调整辅助反射镜111在活动部1122上的角度以确保能接收到准直光束并反射至腔镜900上。

本实施例中，活动部1122和固定部1121其中的一个设置有导向槽，导向槽的长度沿竖直方向延伸，活动部1122和固定部1121的另一个安装有与导向槽相配合的导向块，通过导向块在导向槽中的滑动实现活动部1122在固定部1121上沿竖直方向地移动。

本实施例中，辅助镜座112还包括安装部1123，辅助反射镜111角度可调地安装于安装部1123，安装部1123安装于活动部1122，通过安装部1123实现辅助反射镜111角度可调地安装于活动部1122。需要说明的是，本实施例中，通过在安装部1123开设通孔，利用紧固件穿过通孔与辅助反射镜111的周壁抵接以实现辅助反射镜111的角度可调，当然，在其他实施例中，也可采用其它具体结构实现辅助反射镜111角度可调地安装于安装部1123，本实施例不做具体限制。

在一些实施例中，辅助反射镜111为平面反射镜，用于实现辅助准直光束的偏转反射的同时，尽可能避免准直光束反射时的变形，提高准直精度。需要说明的是，辅助反射镜111的材料和厚度等参数可根据实际需求进行设计，本实施例不做具体限制。

在一些实施例中，如图3所示，光学反射腔体包括两个相对设置的腔镜900，辅助反射镜111设置有两个，两个辅助反射镜111与腔镜900一一对应。

可以理解的是，由于工作光束需要在两个腔镜900之间往复反射，故而通过设置两个辅助反射镜111，从而实现对两个腔镜900分别进行调整。

本实施例中，为了方便说明，两个腔镜900分别为第一腔镜和第二腔镜，两个辅助反射镜111分别为第一辅助反射镜和第二辅助反射镜，第一辅助反射镜和第二辅助反射镜沿竖直方向间隔设置在安装部1123。

可以理解的是，本实施例中准直腔镜900的方法具体包括如下步骤：

首先、通过移动活动部1122使第一辅助反射镜至准直工位，再调整第一辅助反射镜的角度直至准直光束经过第一辅助反射镜后反射至第一腔镜，随后通过移动活动部1122使第二辅助反射镜至准直工位，再调整第二辅助反射镜的角度直至准直光束经过第二辅助反射镜后反射至第二腔镜，从而完成第一辅助反射镜和第二辅助反射镜的调整；

其次、将辅助反射镜组110整体和腔镜900一起放置在真空环境下；

最后、工作光束从第二腔镜反射至第二辅助反射镜后从光学反射腔体输出，通过调整第二腔镜的姿态使第二辅助反射镜反射出的工作光束和接收到的准直光束相重合；再移动活动部1122使第一辅助反射镜处于准直工位，工作光束经第一腔镜反射至第一辅助反射镜后从光学反射腔体输出，通过调整第一腔镜的姿态使第一辅助反射镜反射出的工作光束和接收到的准直光束相重合。

需要说明的是，无论是先调整第一辅助反射镜还是第二辅助反射镜，还是先调整第一腔镜还是第二腔镜，或者先调整第一辅助反射镜调整第一腔镜后，再调整第二辅助反射镜调整第二腔镜均可，本实施例不做具体限制。

在一些实施例中，如图2和图3所示，由于两个腔镜900相对设置，为了实现两个辅助反射镜111能分别反射准直光束至对应的腔镜900上，两个辅助反射镜111在水平面上的投影呈垂直夹角设置。

在一些实施例中，如图1和图2所示，辅助装调结构100还包括支座120和移动组件130，支座120用于支撑辅助反射镜组110，辅助反射镜组110安装在移动组件130上，移动组件130可活动地安装于支座120上，移动组件130用于调节辅助反射镜组110沿水平方向和竖直方向的位置，以调节辅助反射镜组110至不同工作状态。

可以理解的是，通过移动支座120使整个辅助装调结构100处于准直光束和工作光束的交叉处，再通过移动组件130对辅助反射镜111进行粗调，并利用活动部1122和紧固件对辅助反射镜111进行精调，从而提高调整辅助装调结构100的效率和精度。

本实施例中，移动组件130包括第一滑动部131和第二滑动部132，第一滑动部131沿水平方向可滑动地设置在支座120上，第二滑动部132沿竖直方向可滑动地设置在第一滑动部131上，以实现对辅助反射镜组110沿水平方向和竖直方向位置的调整。

在一些实施例中，辅助装调结构100还包括腔壳140、透视窗组件150和出光部160，腔壳140内部真空度可调，用于容置辅助反射镜组110；透视窗组件150安装于腔壳140，用于供准直光束射入和射出腔壳140；出光部160安装于腔壳140，用于引导准直光束和工作光束在辅助反射镜111和腔镜900之间来回反射。

可以理解的是，本实施例中，腔壳140主要用于提供和维持辅助反射镜组110工作时需要的真空环境，并起到固定的作用；透视窗组件150除了便于准直光束从外射入真空环境下的辅助反射镜111，也便于将工作光束射出，还便于操作者从窗口观察腔壳140内部的情况，以进行及时调整；出光部160除了用于将反射的准直光束引导至腔镜900上，还用于将工作光束引导至辅助反射镜111上。

本实施例中，如图1和图2所示，由于腔镜900和辅助反射镜111均设有两个，出光部160也设置有两个，分别与腔镜900、辅助反射镜111一一对应。

本申请实施例还提供了一种光学反射腔体，如图3所示，光学反射腔体包括腔体910、腔镜900和上述的辅助装调结构100，腔体910内真空度可调，腔体910用于接收和输出工作光束：两个腔镜900分别设置在腔体910沿工作光束传播方向的两侧；辅助装调结构100安装于腔体910内。

根据本申请实施例提供的光学反射腔体，通过辅助装调结构100的辅助反射镜组110在腔体910内具有的准直工位，不仅能形成在真空环境下对腔镜900准直的基准，提高了对腔镜900准直效率和准直精度，还能通过辅助反射镜组110从准直工位切换至通光工位，从而保证腔镜900准直完后也不会影响整个光学反射腔体的正常使用。

结合图4至图9所示，本申请实施例还提供一种在线准直装置，用于准直光学反射腔体的腔镜900，该在线准直装置包括主取样镜结构400和上述的辅助装调结构100。

主取样镜结构400间隔设置在光学反射腔体外，用于接收并半透半反准直光束。

可以理解的是，主取样镜结构400设置在射入光学反射腔体内的准直光束的光路上，从而实现在主取样镜结构400上形成可见的入射光斑和反射光斑，以便调节腔镜900。

辅助装调结构100设置在光学反射腔体内，用于接收透射后的准直光束并反射至腔镜900上，以及接收从腔镜900反射回的工作光束并反射至主取样镜结构400上，进而辅助准直腔镜900。

可以理解的是，当光学反射腔体处于未工作时即非真空环境下，准直光束透过主取样镜结构400后进入光学反射腔体内的辅助装调结构100，通过辅助装调结构100将准直光束反射至腔镜900上，腔镜900接收准直光束并反射回辅助装调结构100，从而使准直光束重新射出光学反射腔体外，通过调整辅助反射镜组110和主取样镜结构400直至准直光束射入光学反射腔体的入射光路和从光学反射腔体射出的出射光路相重合；再使光学反射腔体处于工作时即辅助装调结构100和腔镜900均处于真空环境下，固定辅助装调结构100和主取样镜结构400即以辅助装调结构100为基准，调整腔镜900的角度直至在主取样镜结构400上观察到准直光束射入光学反射腔体的入射光斑和工作光束从光学反射腔体射出的反射光斑相重合，以快速且准确地对腔镜900进行准直。

根据本申请实施例提供的在线准直装置，通过以辅助装调结构100为基准，并通过主取样镜结构400上的入射光斑和反射光斑来调整腔镜900，从而能实现在真空环境下对腔镜900快速且精确地准直。

如图5所示，主取样镜结构400包括主取样镜410和主光阑420，主取样镜410空间位置可调；主光阑420与主取样镜410间隔设置，且主光阑420的通光孔大小可调。

可以理解的是，先将主取样镜410连同主光阑420一起放置在准直光束的光路上，并使准直光束穿过主光阑420的通光孔，再调整主取样镜410的空间位置和主光阑420的通光孔大小，以确定准直光束在经过主取样镜410前后的光路是重合的。

本实施例中，主取样镜410为薄膜反光镜，用于实现对准直光束的半透半反。

本实施例中，主光阑420的通光孔大小范围在1-5mm之间，以调整光斑的成像大小。可以理解的是，实现主光阑420的通光孔大小可调的具体结构属于本领域的公知常识，故在此不做具体阐述。

在一些实施例中，主取样镜结构400还包括主照相组件430，设置在主取样镜410的下方，用于对主取样镜410上形成的入射光斑和反射光斑进行拍照，以对准直光束的中心位置进行记录进而保证准直精度。

本实施例中，主照相组件430包括镜头和CCD相机，镜头用于放大主取样镜410上的入射光斑和反射光斑；CCD相机是一种使用电荷耦合元件(Charge Coupled Device)作为图像传感器的相机，用于对镜头中的入射光斑和反射光斑进行拍照以形成图像。

可以理解的是，在准直腔镜900时，通过主照相组件430对主取样镜410上的准直光束形成的入射光斑和反射光斑进行拍照，进而便于操作者能及时调整腔镜900。

在一些实施例中，主取样镜结构400还包括底座440、安装板450、调节板460和调节件，调节板460高度可调地设置在底座440上，主取样镜410和主光阑420分别安装在两个安装板450上，多个调节件分布在安装板450的顶面和周侧，且调节件穿过调节板460与安装板450可拆卸连接。

可以理解的是，通过拧紧或拧松调节件以对主取样镜410和主光阑420的空间位置进行微调。本实施例中，调节件为顶丝。

本实施例中，主取样镜410在高度方面可上下浮动5mm，调节精度为10μm；角度方面可上下摆动2°，调节精度为10″；主取样镜410上光斑的检测精度误差不超过30μm。

如图4、图6和图7所示，在线准直装置还包括激光准直结构200和主反射镜准直结构300。

激光准直结构200用于发射准直光束；准直光束和工作光束处于同一高度。

主反射镜准直结构300用于接收并反射准直光束至主取样镜结构400上。

本实施例中，主反射镜准直结构300的入射光路和出射光路相垂直，以减少整个在线准直装置的占地空间。

可以理解的是，激光准直结构200发射准直光束至主反射镜准直结构300上，主反射镜准直结构300反射准直光束至主取样镜410上，准直光束经过主取样镜410后透射至辅助反射镜111上，辅助反射镜111将准直光束反射至腔镜900上。

结合图6所示，激光准直结构200包括发光组件210和反射组件220，发光组件210用于产生激光束；反射组件220沿竖直方向与发光组件210间隔设置，用于将激光束进行准直以形成准直光束后射出。

本实施例中，激光束的光路与准直光束相垂直，激光束与竖直方向相平行，即沿竖直方向的激光束经过反射组件220后沿水平方向反射至主反射镜准直结构300上。

本实施例中，发光组件210包括光源211和连接板212，光源211安装在连接板212上，连接板212通过连接件空间位置可调地安装在激光准直结构200的固定座230上，以确保准直光束能与工作光束处于同一高度。

本实施例中，反射组件220包括激光反射镜221和安装座222，激光反射镜221角度可调地设置在安装座222上，安装座222通过螺杆与固定座230连接，且安装座222位于光源211上方，激光束通过安装座222上的避让孔发射至激光反射镜221上，激光反射镜221接收激光束后形成准直光束反射至主反射镜准直结构300上。

本实施例中，激光反射镜221为平面反射镜。

本实施例中，连接件包括顶丝和螺纹副，通过顶丝调整连接板212在水平面上的位置以使光源211发出激光束平动，通过螺纹副调整连接板212以使光源211发出的激光束偏摆。需要说明的是，光源211在水平方向可平动5mm，调节精度为5μm；反射组件220的激光反射镜221的角度可上下摆动5°，调节精度为5″。

结合图7所示，主反射镜准直结构300包括主反射镜310和主镜座320，主反射镜310用于接收并反射准直光束；主反射镜310可活动地安装在主镜座320上，用于调节主反射镜310的空间位置。

可以理解的是，先沿准直光束的光路传播方向放置主镜座320，通过主反射镜310可活动地安装于主镜座320上，从而调整主反射镜310直至准直光束能反射至主取样镜410上。

需要说明的是，主镜座320的结构可参考上述的辅助镜座112的结构，本申请在此不做具体阐述，只要能调节主反射镜310的空间位置和角度即可。

本实施例中，主反射镜310为平面反射镜，用于实现准直光束的定向改变的同时，尽可能避免准直光束反射时的变形，提高准直精度。需要说明的是，主反射镜310的材料和厚度可根据实际需求进行设计，本实施例不做具体限制。

在一些实施例中，如图4所示，在线准直装置还包括辅助取样镜结构500，辅助取样镜结构500设置在激光准直结构200和主反射镜准直结构300之间，用于接收准直光束并透射至主反射镜准直结构300上，以及反射准直光束至激光准直结构200。

可以理解的是，通过在激光准直结构200和主反射镜准直结构300之间设置辅助取样镜结构500，能进一步地保证准直精度。

在一些实施例中，辅助取样镜结构500包括辅助取样镜510和辅助光阑520，辅助取样镜510空间位置可调；辅助光阑520与辅助取样镜510间隔设置，且辅助光阑520的通光孔大小可调。

可以理解的是，先将辅助取样镜510连同辅助光阑520一起放置在准直光束的光路上，并使从激光反射镜221反射的准直光束穿过辅助光阑520的通光孔，再调整辅助取样镜510的空间位置和辅助光阑520的通光孔大小，以确定准直光束在经过辅助取样镜510前后的光路是重合的。

本实施例中，辅助取样镜510为薄膜反光镜，用于实现对准直光束的半透半反。

本实施例中，辅助光阑520的通光孔大小范围在1-5mm之间，以调整光斑的成像大小。可以理解的是，实现辅助光阑520的通光孔大小可调的具体结构属于本领域的公知常识，故在此不做具体阐述。

在一些实施例中，辅助取样镜结构500还包括辅助照相组件530，设置在辅助取样镜510的下方，用于对辅助取样镜510上形成的入射光斑和反射光斑进行拍照。

本实施例中，辅助照相组件530包括镜头和CCD相机，镜头用于放大辅助取样镜510上的入射光斑和反射光斑，CCD相机用于对镜头中的入射光斑和反射光斑进行拍照以形成图像。

可以理解的是，通过辅助照相组件530对辅助取样镜510上的准直光束形成的入射光斑和反射光斑进行拍照，进而便于操作者能及时调整主反射镜310。

需要说明的是，辅助取样镜结构500可参考上述的主取样镜结构400，本申请在此不做具体阐述，只要能实现辅助取样镜510和辅助光阑520的空间位置可调即可。

如图8所示，整个在线准直装置的光路如下所示：

激光准直结构200的光源211发射激光束至激光反射镜221，激光反射镜221反射激光束形成准直光束穿过辅助光阑520后射在辅助取样镜510上，主反射镜310接收从辅助取样镜510透射的准直光束后反射至主取样镜410上，准直光束经主取样镜410透射后穿过主光阑420射在辅助反射镜111上，辅助反射镜111接收准直光束并反射至腔镜900上。

在一些实施例中，结合图9所示，考虑到存在对多个光学反射腔体的腔镜900进行准直的需求，辅助装调结构100和主取样镜结构400均设置有多个，辅助装调结构100、主取样镜结构400分别和光学反射腔体一一对应，用于同时对多个光学反射腔体的腔镜900进行在线准直。

本实施例中，结合图7所示，为了能实现对多个光学反射腔体的腔镜900进行准直的同时，减少占地空间和所需的零部件，主反射镜准直结构300的主反射镜310设置有多个，与光学反射腔体一一对应。即通过使用不同的主反射镜310，从而将准直光束反射至位于不同的光学反射腔体的辅助反射镜111上。

本实施例中，主反射镜310的数量为两个，两个主反射镜310沿竖直方向间隔设置，且两个主反射镜310在水平面上的投影呈垂直夹角设置，光学反射即可同时对两个光学反射腔体的腔镜900进行准直，

如图9和图10所示，在线准直装置对同时对两个光学反射腔体的腔镜900进行准直的过程如下：

先根据工作光束和腔镜900的位置放置并调整激光准直结构200、辅助取样镜结构500和主反射镜准直结构300，使主反射镜准直结构300的两个主反射镜310分别能反射准直光束至两个光学反射腔体的两个腔镜900的中间；再放置两个辅助装调结构100至对应的光学反射腔体内，使每个辅助反射镜111均能将准直光束反射至对应的腔镜900上，并使辅助反射镜111处于真空环境，最后将两个主取样镜410分别放置在对应的辅助装调结构100和主反射镜准直结构300之间；

随后依次通过切换辅助装调结构100的辅助反射镜111至准直工位处，通过对应的主取样镜410上的入射光斑和反射光斑对腔镜900进行准直；

切换主反射镜准直结构300的主反射镜310，以使准直光束反射至未调整的另一光学反射腔体的腔镜900上，再次切换对应的辅助装调结构100的辅助反射镜111至准直工位处，通过对应的主取样镜410上的入射光斑和反射光斑对腔镜900进行准直，从而完成对两个光学反射腔体的腔镜900同时在线准直。

本申请实施例还提供了一种在线准直系统，包括上述的在线准直装置和控制器，控制器用于控制在线准直装置的工作。

可以理解的是，通过控制器可以控制主照相组件430和辅助照相组件530的工作，以及记录各个辅助反射镜111和主反射镜310的坐标，进而对腔镜900进行高效率和高精度的准直。

通过本申请实施例提供的在线准直系统，以在线准直装置的辅助装调结构100为基准，并通过在线准直装置的主取样镜结构400上的入射光斑和反射光斑来调整腔镜900，从而能实现在真空环境下对腔镜900快速且精确地准直。

本申请实施例还提供了一种在线准直方法，基于上述的在线准直系统，对光学反射腔体的腔镜900进行在线准直，包括步骤S611、S612、S613和S614。

S611、根据准直光束，调整辅助装调结构100，直至准直光束经辅助装调结构100后反射至腔镜900上。

可以理解的是，分别调整两个辅助反射镜111，使两个辅助反射镜111能分别处于准直工位时能接收到准直光束并反射至对应的腔镜900上，直至反射的准直光束与工作光束的光路相重合，进而保证在准直腔镜900的过程中不会因辅助装调结构100的原因影响腔镜900的调整精度。

S612、使辅助装调结构100处于真空环境下。

本实施例中，通过安装腔壳140至支座120上并使辅助反射镜组110位于腔壳140内，随后抽出腔壳140内的空气以使辅助反射镜111处于真空环境，进而实现腔镜900和辅助反射镜111以及两者之间的光路均处于同一真空环境。

S613、调整主取样镜结构400，直至准直光束能经过主取样镜结构400后透射至辅助装调结构100上。

本实施例中，通过使准直光束穿过主光阑420，并调整主取样镜410使入射光路和出射光路均与准直光束相重合，进而保证在准直腔镜900的过程中不会因主取样镜结构400的原因影响腔镜900的调整精度。

S614、根据工作光束，调整腔镜900，直至主取样镜结构400上的入射光斑和反射光斑一致。

可以理解的是，通过以辅助反射镜111为基准，并利用观察主取样镜410的入射光斑和反射光斑，从而能在腔镜900处于真空时快速且准确地对腔镜900进行准直，提高了对腔镜900准直效率和准直精度。

通过本申请实施例提供在线准直方法，利用辅助装调结构100和主取样镜结构400，不仅能形成在真空环境下对腔镜900准直的基准，还提高了对腔镜900准直效率和准直精度，能实现对工作光束的实时监测，确保腔镜900始终调整至最佳。

步骤S612中，使辅助装调结构100处于真空环境下，具体包括以下步骤：

S6121、将腔壳140安装至辅助反射镜组110外，并使腔壳140内处于密封环境；

S6122、抽除腔壳140内的空气，直至腔壳140内的真空度至预设真空度。

需要说明的是，预设真空度可根据光学反射腔体的真空度进行设计，只要能保证和腔镜900所在的真空环境一致即可，本实施例不做具体限制。

可以理解的是，通过将辅助反射镜组110整体放置在腔壳140内，从而避免了对辅助反射镜111的角度进行再次调整，减少了准直辅助反射镜111的繁琐性。

在一些实施例中，步骤S6121的腔壳140安装至辅助反射镜组110，可以是先将辅助反射镜组110从移动组件130上拆下，再将腔壳140安装至辅助反射镜组110后再一起重新安装至移动组件130上，也可以是直接将腔壳140安装至移动组件130上并密封套在辅助反射镜组110外，本实施例不做具体限制。

在一些实施例中，步骤S6121的将腔壳140安装至辅助反射镜组110外，之后还包括；

调节移动组件130，直至准直光束经辅助反射镜111后反射至腔镜900上。

可以理解的是，安装腔壳140会对辅助反射镜组110的入射光路和出射光路有些影响，故通过根据需要调节移动组件130的第一滑动部131和第二滑动部132，使辅助反射镜组110的入射光路和出射光路重新分别与准直光束和工作光束相重合，以提高准直腔镜900时的精准度。

在一些实施例中，步骤S6122的抽除腔壳140内的空气，之后还包括步骤S6123。

步骤S6123、在辅助装调结构100上安装追踪仪靶球座，通过激光追踪仪记录辅助反射镜111的空间坐标。

可以理解的是，一方面，由于存在两个辅助反射镜111，通过记录辅助反射镜111的空间坐标，从而方便切换两个辅助反射镜111至准直工位；另一方面，也便于定期检查对辅助反射镜111，避免因使用时间过长导致零部件松动等使辅助反射镜111位置偏差，影响腔镜900在线准直的精确性。

在一些实施例中，调整主取样镜结构400包括：

调节主取样镜结构400的主光阑420和主取样镜410，使准直光束穿过主光阑420后通过主取样镜410后透射至辅助装调结构100上。

可以理解的是，先将主取样镜结构400放置在准直光束的光路上，且位于主辅助装调结构100和主反射镜准直结构300之间，并按需移动底座440、调节板460和安装板450使准直光束穿过主光阑420，再调整主取样镜410和主光阑420的通光孔大小，以使准直光束在经过主取样镜410前后的光路是重合的。

在一些实施例中，步骤S611的调整辅助装调结构100，之前还包括步骤S603。

步骤S603、调整主反射镜准直结构300，直至准直光束经主反射镜准直结构300后反射至主取样镜结构400上。

可以理解的是，先将主反射镜准直结构300放置在准直光束的光路上，且位于辅助取样镜结构500远离激光准直结构200的一侧，通过调整主反射镜310的空间位置和角度，使主反射镜310的入射光路和出射光路能分别和工作光束对应平行和垂直，进而保证在准直腔镜900的过程中不会因主反射镜310的原因影响腔镜900的调整精度。

在一些实施例中，步骤S603的调整主反射镜准直结构300，之前还包括步骤S602。

步骤S602、调整辅助取样镜结构500，直至准直光束经辅助取样镜结构500后透射至主反射镜准直结构300上。

可以理解的是，先将辅助取样镜结构500放置在准直光束的光路上，并与激光准直结构200间隔设置，通过调整辅助取样镜结构500，使准直光束经辅助取样镜结构500后透射至主反射镜准直结构300上，从而能进一步地确保准直腔镜900的准确性。

在一些实施例中，步骤S602的调整辅助取样镜结构500，具体包括以下步骤：

调节辅助取样镜结构500的辅助光阑520和辅助取样镜510，使准直光束穿过辅助光阑520并通过辅助取样镜510透射至主反射镜准直结构300的主反射镜310上。

可以理解的是，通过先使从激光反射镜221反射的准直光束穿过辅助光阑520的通光孔，再调整辅助取样镜510的空间位置和辅助光阑520的通光孔大小，以确定准直光束在经过辅助取样镜510前后的光路是重合的，从而保证激光准直结构200至主反射镜准直结构300之间的光路是精准的，减少准直腔镜900的误差。

在一些实施例中，步骤S611的调整辅助装调结构100，之前还包括步骤S600和步骤S601。

步骤S600、通过激光准直结构200发射准直光束。

可以理解的是，通过激光准直结构200的光源211发射激光束，并经过激光反射镜221形成准直光束后反射至辅助取样镜510上。

步骤S601、调整激光准直结构200，直至准直光束和工作光束相平行且位于同一高度。

可以理解的是，通过连接件调整连接板212从而调整光源211的空间位置，以及调整激光反射镜221在安装座222上的角度，以确保激光反射镜221反射出的准直光束与工作光束相平行且位于同一高度，从而确保对腔镜900进行在线准直的精确性。

结合图4和图8所示，整个在线准直方法的步骤如下：

S600、通过激光准直结构200发射准直光束；

S601、调整激光准直结构200，直至准直光束和工作光束相平行且位于同一高度；

S602、调整辅助取样镜结构500，直至准直光束经辅助取样镜结构500后透射至主反射镜准直结构300上；

S603、调整主反射镜准直结构300，直至准直光束经主反射镜准直结构300后反射至主取样镜结构400上；

S611、根据准直光束，调整辅助装调结构100，直至准直光束经辅助装调结构100后反射至腔镜900上；

S612、使辅助装调结构100处于真空环境下；

S613、调整主取样镜结构400，直至准直光束能经过主取样镜结构400后透射至辅助装调结构100上；

S614、根据工作光束，调整腔镜900，直至主取样镜结构400上的入射光斑和反射光斑一致。

结合图9和图10所示，整个在线准直方法的步骤如下：

S600、通过激光准直结构200发射准直光束；

S601、调整激光准直结构200，直至准直光束和工作光束相平行且位于同一高度；

S602、调整辅助取样镜结构500，直至准直光束经辅助取样镜结构500后透射至主反射镜准直结构300上；

S603、调整主反射镜准直结构300，直至准直光束经主反射镜准直结构300后反射至主取样镜结构400上(即两个主反射镜310能分别将准直光束反射至对应的光学反射腔体的两个腔镜900之间)；

S611、根据准直光束，调整辅助装调结构100，直至准直光束经辅助装调结构100后反射至腔镜900上(即依次调整两个辅助装调结构100，以使两个辅助装调结构100各自的两个辅助反射镜111能将准直光束反射至对应的腔镜900上)；

S612、使辅助装调结构100处于真空环境下；

S613、调整主取样镜结构400，直至准直光束能经过主取样镜结构400后透射至辅助装调结构100上(即依次调整两个主取样镜结构400，以使两个主取样镜410的入射光路和出射光路均与准直光束重合)；

S614、根据工作光束，调整腔镜900，直至主取样镜结构400上的入射光斑和反射光斑一致(即依次切换两个辅助装调结构100结构的各自两个辅助反射镜111至准直工位，以准直对应的腔镜900)。

如图12至图15所示，本申请实施例还提供了一种准直系统，包括基准装置700和上述的在线准直系统。

基准装置700用于搭建基准光轴，以便搭建在线准直系统。

即可以理解的是，通过基准装置700预先搭建好基准光轴，从而便于放置和调整激光准直结构200、辅助取样镜结构500、主反射镜准直结构300、主取样镜结构400和辅助装调结构100，以提高调整效率，省时省力。

在线准直系统设置在基准光轴上，用于对光学反射腔体的腔镜900进行在线准直，在线准直系统包括主取样镜结构400和辅助装调结构100，主取样镜结构400间隔设置在光学反射腔体外，用于接收并半透半反准直光束；辅助装调结构100设置在光学反射腔体内，即在腔镜900和主取样镜结构400之间，用于接收透射后的准直光束并反射至腔镜900上，以及接收工作光束并反射至主取样镜结构400的主取样镜410上，进而辅助准直腔镜900。

可以理解的是，将辅助装调结构100和主取样镜结构400放置在基准光轴上，当光学反射腔体处于未工作时即非真空环境下，准直光束透过主取样镜结构400后进入光学反射腔体内的辅助装调结构100，通过辅助装调结构100将准直光束反射至腔镜900上，腔镜900接收准直光束并反射回辅助装调结构100，从而使准直光束重新射出光学反射腔体外，通过调整辅助反射镜组110和主取样镜结构400直至准直光束射入光学反射腔体的入射光路和从光学反射腔体的出射光路相重合；再使光学反射腔体处于工作时即辅助装调结构100和腔镜900均处于真空环境下，固定辅助装调结构100和主取样镜结构400即以辅助装调结构100为基准，调整腔镜900的角度直至在主取样镜结构400上观察到准直光束射入光学反射腔体的入射光路和工作光束从光学反射腔体射出的出射光路相重合(即从主取样镜结构400上观察到准直光束射入光学反射腔体的入射光斑和工作光束从光学反射腔体射出的反射光斑相重合)，以快速且准确地对腔镜900进行准直。

根据本申请实施例提供的准直系统，利用基准装置700搭建基准光轴，通过以辅助装调结构100为基准，并通过主取样镜结构400上的入射光斑和反射光斑来调整腔镜900，从而能实现在真空环境下对腔镜900、快速且精确地准直。

在一些实施例中，基准装置700包括激光追踪仪和经纬仪720，激光追踪仪用于根据工作光束确定基准光轴；经纬仪720用于配合激光追踪仪确定设置在基准光轴上的标记部，标记部用于指示调整在线准直系统的入射光路和出射光路。

可以理解的是，通过激光追踪仪能获得工作光束的高度和光路，以使确定基准光轴的高度以及所需基准光路；通过经纬仪720以确保标记部位于基准光轴上，以便后续布置和调整激光准直结构200、辅助取样镜结构500、主反射镜准直结构300、主取样镜结构400和辅助装调结构100。

需要说明的是，激光追踪仪和经纬仪720的类型和规格可根据实际情况进行挑选，本实施例不做具体限制。

在一些实施例中，基准装置700还包括水准仪730，用于配合经纬仪720确定标记部，以进一步地提高整个基准光轴的精确性，确保准直的效率和精确度。

本实施例中，为了能进一步地提高搭建效率，经纬仪720和水准仪730的数量设置有多个。

结合图12和图13所示，只需要校准一个光学反射腔体的腔镜900时，基准光轴包括第一基准光路、第二基准光路和第三基准光路，第一基准光路与工作光束相重合，第二基准光路和第一基准光路相平行，第三基准光路分别和第一基准光路和第二基准光路垂直相交。

可以理解的是，两个腔镜900的中心位于第一基准光路上，第三基准光路位于两个腔镜900的中间。激光准直结构200、辅助取样镜结构500和主反射镜准直结构300均处在第二基准光路上，主反射镜准直结构300、主取样镜结构400、辅助装调结构100处在第三基准光路上，辅助装调结构100还处在第一基准光路上(即主反射镜准直结构300处于第二基准光路和第三基准光路的相交处，辅助装调结构100处在第一基准光路和第三基准光路的相交处)。

本实施例中，标记部包括第一标记部、第二标记部和第三标记部，第一标记部位于第一基准光路，第二标记部位于第二基准光路，第三标记部位于第三基准光路，其中第一标记部包括间隔设置的靶标1、靶标2和靶标3，第二标记部包括间隔设置的靶标4、靶标5和靶标6，第三标记部包括间隔设置的靶标7和靶标8。

可以理解的是，通过使第一基准光路、第二基准光路和第三基准光路经过对应的靶标1到靶标8上的靶点，以确保整个基准光路都处在同一高度，确保准直精度。

在本实施例中，第二标记部还包括第一定位孔701，用于对布置辅助取样镜结构500起到定位作用；第三标记部还包括第二定位孔702，用于对布置主取样镜结构400起到定位作用。

结合图14和图15所示，当需要校准两个光学反射腔体的腔镜900时，基准光轴还包括第四基准光路，第四基准光路与第一基准光路相平行，且第四基准光路与第一基准光路分别位于第二基准光路的两侧，另一个辅助装调结构100设置在第三基准光路和第四基准光路的相交处。

本实施例中，标记部还包括位于第四标记部，第四标记部包括间隔设置的靶标9、靶标10和靶标11，以确保第四基准光路和工作光束处在同一高度，确保准直精度。

本实施例中，第四标记部还包括第三定位孔703，第三定位孔703用于对布置另一个主取样镜结构400起到定位作用。

如图16所示，本申请实施例还提供了一种准直方法，基于上述的准直系统，包括步骤S801、S802和S803。

S801、根据基准装置700搭建基准光轴。

S802、根据基准光轴，搭建在线准直系统。

S803、根据在线准直系统，对光学反射腔体的腔镜900进行在线准直。

需要说明的是，步骤S803中对腔镜900进行在线准直的具体步骤可参考上述的在线准直方法，在此不做具体阐述。

本申请实施例提供的准直方法，通过上述的基准装置700和在线准直系统，通过以辅助装调结构100为基准，并通过主取样镜结构400上的入射光斑和反射光斑来调整腔镜900，从而能实现在真空环境下对腔镜900快速且精确地准直。

在一些实施例中，步骤S801的搭建基准光轴包括：

步骤S8011、根据工作光束确定第一基准光路，第一基准光路和工作光束相重合。

步骤S8012、根据第一基准光路确定第二基准光路和第三基准光路，第三基准光路分别和第一基准光路和第二基准光路垂直相交。

在一些实施例中，搭建基准光轴还包括：

确定标记部，标记部分别与第一基准光路、第二基准光路和第三基准光路相对应，标记部用于指示调整在线准直系统的入射光路和出射光路。

需要说明的是，结合图12所示，在只需要校准一个光学反射腔体的腔镜900时，整个搭建基准光轴的流程如下：

(一)、通过工作光束，利用激光追踪仪确定并设置处在工作光束上的靶标2和靶标3，从而确定出经过靶标2和靶标3的光路为第一基准光路，并再次利用激光追踪仪确定并设置靶标1。

(二)、利用激光追踪仪确定并设置靶标4和靶标5，从而确定出经过靶标4和靶标5的光路为第二基准光路；随后设置一个经纬仪720放置在第二基准光路上并使其叉丝与靶标4和靶标5重合；并设置放置一个水准仪730在第二基准光路旁并使其高度调整至和靶标2的高度一致。

(三)、利用激光追踪仪确定并设置靶标7和靶标8，从而确定出经过靶标7和靶标8的光路为第三基准光路，随后设置一个经纬仪720放置在第三基准光路上并使其叉丝与靶标7和靶标8重合，并设置放置一个水准仪730在第三基准光路旁并使其高度调整至和靶标2的高度一致。

(四)、根据经纬仪720和水准仪730确定并设置在第二基准光路上的第一定位孔701和靶标6，以及第三基准光路上的第二定位孔702。

同理，结合图14所示，在需要校准两个光学反射腔体的腔镜900时，整个搭建基准光轴的流程如下：

(一)、通过其中一个工作光束，利用激光追踪仪确定并设置处在该工作光束上的靶标2和靶标3，从而确定出经过靶标2和靶标3的光路为第一基准光路，并再次利用激光追踪仪确定并设置靶标1。

(二)、通过另一个工作光束，利用激光追踪仪确定并设置处在该工作光束上的靶标10和靶标11，从而确定出经过靶标10和靶标11的光路为第四基准光路，并再次利用激光追踪仪确定并设置靶标9。

(三)、利用激光追踪仪确定并设置靶标4和靶标5，从而确定出经过靶标4和靶标5的光路为第二基准光路；随后设置一个经纬仪720放置在第二基准光路上并使其叉丝与靶标4和靶标5重合；并设置放置一个水准仪730在第二基准光路旁并使其高度调整至和靶标2的高度一致。

(四)、利用激光追踪仪确定并设置靶标7和靶标8，从而确定出经过靶标7和靶标8的光路为第三基准光路，随后设置一个经纬仪720放置在第三基准光路上并使其叉丝与靶标7和靶标8重合，并设置放置一个水准仪730在第三基准光路旁并使其高度调整至和靶标2的高度一致。

(五)、根据经纬仪720和水准仪730确定并设置在第二基准光路上的第一定位孔701和靶标6，以及第三基准光路上的第二定位孔702和第三定位孔703。

在一些实施例中，结合图13所示，步骤S802的根据基准光路，搭建在线准直系统，包括：

将辅助装调结构100放置在第一基准光路和第三基准光路的相交处；

将在线准直系统的主取样镜结构400放置在第三基准光路上，且主取样镜结构400位于第一基准光路和第二基准光路之间。

可以理解的是，主取样镜结构400放置在第二定位孔702上。

在一些实施例中，搭建在线准直系统还包括：

将激光准直结构200、辅助取样镜结构500依次放置在第二基准光路上；

将主反射镜准直结构300放置在第二基准光路和第三基准光路的相交处。

在一些实施例中，若需要同时准直两个光学反射腔体的腔镜900，结合图15所示，搭建在线准直系统，还包括：

将另一个辅助装调结构100放置在第四基准光路和第三基准光路的相交处；

将另一个主取样镜结构400放置在第三基准光路的第三定位孔703上。

在一些实施例中，步骤S802的搭建在线准直系统，之后还包括以下步骤：

根据标记部，调整在线准直系统的入射光路和出射光路。

本实施例中，根据标记部，调整在线准直系统的入射光路和出射光路，具体包括以下步骤：

调整激光准直结构200直至激光反射镜221反射的准直光束穿过第一定位孔701和靶标6的靶点；

调整辅助取样镜结构500直至第二基准光路穿过辅助光阑520；

调整主反射镜准直结构300直至两个主反射镜310反射的准直光束均能与第三准直光路相重合，且分别穿过第二定位孔702和第三定位孔703；

分别调整两个辅助装调结构100，直至其中一个辅助装调结构100的辅助反射镜111反射的准直光束分别穿过靶标1和靶标2对应的靶点(本实施例中，靶标1和靶标2的位置与该辅助装调结构100对应的两个腔镜900的位置分别一致)，另一个辅助装调结构100的辅助反射镜111反射的准直光束分别穿过靶标9和靶标10对应的的靶点(本实施例中，靶标9和靶标10的位置与该辅助装调结构100对应的两个腔镜900的位置分别一致)；

分别调整两个主取样镜结构400，直至第三准直光路分别穿过两个主光阑420。

本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施，且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请的描述中，“第一特征”、“第二特征”可以包括一个或者更多个该特征。

在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本申请的描述中，第一特征在第二特征“之上”或“之下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。

在本申请的描述中，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本申请的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本申请的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本申请的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种辅助装调结构，用于辅助准直光学反射腔体的腔镜，其特征在于，包括辅助反射镜组，所述辅助反射镜组在所述光学反射腔体内具有准直工位和通光工位，其中：

所述辅助反射镜组在所述准直工位时，用于接收并反射分别来自所述光学反射腔体外的准直光束和所述腔镜的工作光束；

所述辅助反射镜组在所述通光工位时，远离所述腔镜的入射光路和出射光路。

2.根据权利要求1所述的辅助装调结构，其特征在于，所述辅助反射镜组包括：

辅助反射镜，用于接收并反射所述准直光束和所述工作光束；

辅助镜座，所述辅助反射镜可活动地安装在所述辅助镜座上，用于调节所述辅助反射镜至所述准直工位或所述通光工位。

3.根据权利要求2所述的辅助装调结构，其特征在于，所述辅助镜座包括：

固定部；

活动部，所述活动部沿竖直方向可移动地安装于所述固定部，所述辅助反射镜角度可调地安装于所述活动部。

4.根据权利要求3所述的辅助装调结构，其特征在于，所述活动部和所述固定部中的一个设置有导向槽，所述导向槽的长度沿竖直方向延伸，所述活动部和所述固定部的另一个安装有与所述导向槽相配合的导向块。

5.根据权利要求2所述的辅助装调结构，其特征在于，所述辅助反射镜为平面反射镜。

6.根据权利要求2至5任一项所述的辅助装调结构，其特征在于，所述光学反射腔体包括两个相对设置的腔镜，所述辅助反射镜设置有两个，两个所述辅助反射镜与所述腔镜一一对应。

7.根据权利要求6所述的辅助装调结构，其特征在于，两个所述辅助反射镜在水平面上的投影呈垂直夹角设置。

8.根据权利要求1至5任一项所述的辅助装调结构，其特征在于，还包括：

支座；

移动组件，所述辅助反射镜组安装在所述移动组件上，所述移动组件可活动地安装于所述支座上，用于调节所述辅助反射镜组沿水平方向和竖直方向的位置。

9.根据权利要求1至5任一项所述的辅助装调结构，其特征在于，还包括：

腔壳，所述腔壳内部真空度可调，用于容置所述辅助反射镜组；

透视窗组件，安装于所述腔壳，用于供所述准直光束射入和射出所述腔壳；

出光部，安装于所述腔壳，用于引导所述准直光束在所述辅助反射镜和所述腔镜之间来回反射。

10.一种光学反射腔体，其特征在于，包括：

腔体，所述腔体内真空度可调，用于接收和输出工作光束：

腔镜，两个所述腔镜分别设置在所述腔体沿所述工作光束传播方向的两侧；以及

如权利要求1至8任一项所述的辅助装调结构，所述辅助装调结构安装于所述腔体内。