CN220691963U - 用于质谱仪的高真空密封高压连接器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于质谱仪的高真空密封高压连接器,包括两端带有均带有触头的导线、套设在导线上的陶瓷绝缘管、套设在陶瓷绝缘管上的连接法兰和固连在陶瓷绝缘管一端部的封堵头;陶瓷绝缘管自高真空端向空气端依次为凸凹交替的第一波形段、第一圆筒段和凸凹交替的第二波形段,连接法兰密封焊接在第一圆筒段上。本实用新型将陶瓷绝缘管的真空端和空气端均加工成波形结构,使得陶瓷管的真空端具有多个凸起部和内凹部,其空气端也具有多个凸起部和内凹部,有效延长爬电距离,尽可能地避免爬电导通现象,增加耐压程度。
Description
技术领域
本实用新型涉及质谱仪,尤其是涉及一种用于质谱仪的高真空密封高压连接器。
背景技术
真空密封高压连接器是质谱仪的关键部件,其将外界电压传输到真空腔室内,以满足真空腔室内各部件对高压电源的需求。现有质谱仪的高压连接器是在在导线上套圆筒状的陶瓷绝缘管,然而,这种连接器在使用时,在高电压环境下绝缘管表面容易产生爬电现象,使连接器与真空腔室上的安装座电连接而引起设备故障,耐压性不高。
发明内容
有鉴于此,本实用新型提出了一种用于质谱仪的高真空密封高压连接器,不仅有效提高了耐电压性能,还降低了损坏率。
为实现上述目的,本实用新型采取下述技术方案:
本实用新型所述的用于质谱仪的高真空密封高压连接器,包括两端带有均带有触头的导线、套设在所述导线上的陶瓷绝缘管、套设在所述陶瓷绝缘管上的连接法兰和固连在陶瓷绝缘管一端部的封堵头;所述陶瓷绝缘管自高真空端向空气端依次为凸凹交替的第一波形段、第一圆筒段和凸凹交替的第二波形段,所述连接法兰密封焊接在所述第一圆筒段上。
有益效果是:本实用新型将陶瓷绝缘管的真空端和空气端均加工成波形结构,使得陶瓷管的真空端具有多个凸起部和内凹部,其空气端也具有多个凸起部和内凹部,有效延长爬电距离,尽可能地避免爬电导通现象,增加耐压程度。
优选的,所述第一波形段的凸起部的最大直径D 1 等于或小于所述第一圆筒段,一方面使所述连接法兰通过并套装在所述第一圆筒段上,另一方面还能在延长爬电距离的基础上满足其在狭小空间内的安装需求。
优选的,所述第二波形段的内凹部的最小直径D 2 等于或大于所述第一圆筒段的直径,第二波形段的每个凸起部的最大直径D 3 大于第一圆筒段的直径,可适当缩短第二波形段的长度,以满足连接器的安装需求。
在本实用新型的一个优选实施方式中,所述封堵头为筒状结构,所述第二波形段的端部延伸设置有第二圆筒段,所述第二圆筒段插装在封堵头的筒壁上,且所述导线穿过封堵头的底壁。在本实施方式中,将封堵头安装在大气侧,将导线和陶瓷绝缘管密封,降低抽真空难度。
在本实用新型的另一个优选实施方式中,所述封堵头为筒状结构,所述第一波形段的端部延伸设置有第三圆筒段,所述第三圆筒段插装在封堵头的筒壁内,且所述导线穿过封堵头的底壁。在本实施方式中,将陶瓷绝缘管和导线的真空端密封,进一步降低真空腔室的抽真空难度。
优选的,所述连接法兰为台阶结构,其一端部固定在所述第一圆筒段的空气端,其另一端部与第一圆筒段的真空端间隙设置,有效避免因法兰因挤压变形而对陶瓷绝缘管产生影响,进一步保护陶瓷绝缘管。
与现有技术相比,本实用新型将陶瓷绝缘管的真空端和空气端均加工成波形结构,使得陶瓷管的真空端具有多个凸起部和内凹部,其空气端也具有多个凸起部和内凹部,有效延长爬电距离,尽可能地避免爬电导通现象,增加耐压程度。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型的另一种示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的实施例作详细说明,本实施例在以本实用新型技术方案为前提下进行实施,给出了详细的实施方式和具体的操作过程,但本实用新型的保护范围不限于下述实施例。
需要说明的是,在本实用新型的描述中,术语“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。
在本实用新型的描述中,除非另有明确的规定和限定,可能出现的术语“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接连接,也可以是通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言,可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
如图1所示,本实用新型提出了一种用于质谱仪的高真空密封高压连接器,包括两端带有均带有触头1的导线2(导线2为导电柱,用于输送高电压)、套设在导线2上的陶瓷绝缘管3、套设在陶瓷绝缘管3上的连接法兰4和固连在陶瓷绝缘管3一端部的封堵头5;陶瓷绝缘管3自高真空端向空气端依次为凸凹交替的第一波形段3.1、第一圆筒段3.2和凸凹交替的第二波形段3.3,第一波形段3.1完全位于真空腔室内,第一波形段3.1和第二波形段3.3之间的第一圆筒段3.2便于安装连接法兰4。在本实用新型中,陶瓷绝缘管3的真空端和空气端均加工成凸起部和内凹部交替的波形结构,有效延长爬电距离,尽可能地避免爬电导通现象,增加耐压程度。
结合图1可知,第一波形段3.1的凸起部的最大直径D 1 等于第一圆筒段3.2的直径,不仅能使连接法兰4通过并套装在第一圆筒段3.2上,而且占用空间小,能满足其在真空腔室的安装需求;第二波形段3.3的内凹部的最小直径D 2 等于第一圆筒段3.2的直径,第二波形段3.3的每个凸起部的最大直径D 3 大于第一圆筒段3.2的直径,由于第二波形段3.3的D 3 相对较大,可适当缩短其加工长度。
在实际安装时,封堵头5为筒状结构,且其筒壁为台阶结构,导线2穿过封堵头5的底壁;第二波形段3.3的端部延伸设置有第二圆筒段3.4,第二圆筒段3.4插装在封堵头5内直至筒壁的台阶处,第二圆筒段3.4和封堵头5的筒壁通过钎焊密封连接,不仅实现了导线2的固定,还实现了导线2和陶瓷绝缘管3的绝缘密封,有利于抽真空。
在实际安装时,连接法兰4内壁为左大右小的台阶筒状结构,在安装时将连接法兰4自第一波形段3.1插装在第一圆筒段3.2上,其右端部与第一圆筒段3.2通过钎焊技术密封连接,其左端部与第一圆筒段3.2的左端部间隙设置,使得连接法兰4的真空侧内壁和陶瓷绝缘管3之间存在一定的间隙,降低连接法兰4真空侧变形而对陶瓷绝缘管3产生的影响,尽可能地避免陶瓷绝缘管3产生细小裂纹,进一步降低连接器的破损率。
为了便于导线2与陶瓷绝缘管3之间的安装,导线2的外径小于陶瓷绝缘管3的内径,从而使导线2与陶瓷绝缘管3 的内壁之间形成狭小间隙,降低了装配成本和装配难度,但在抽取高真空时,狭小缝隙内的空气分子无规则热运动难以及时全部从狭小缝隙内溢出,从而导致抽真空速度较慢,难以快速抽取到预定真空度。因而,在本实用新型的另一个优选实施方式中,封堵头5设置在真空侧。具体地:结合图2可知,封堵头5为筒状结构,第一波形段3.1的端部延伸设置有第三圆筒段3.5,第三圆筒段3.5插装在封堵头5的筒壁内,且导线2穿过封堵头的底壁。在实际安装时,封堵头5的筒壁内具有一个台阶面,第三圆筒段3.5插装至台阶面位置,且封堵头5和第三圆筒段3.5通过钎焊密封连接,不仅实现了导线2的固定,还实现了导线2和陶瓷绝缘管3之间狭小间隙真空端的绝缘密封,将导线2与陶瓷绝缘管3 的内壁之间的狭小间隙暴露在空气中,大大降低了真空腔室的抽真空难度。
最后还需要强调的是,以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施方式对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施方式所记载的技术方案进行不需付出创造性劳动的修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。因而,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种用于质谱仪的高真空密封高压连接器,包括两端带有均带有触头的导线、套设在所述导线上的陶瓷绝缘管、套设在所述陶瓷绝缘管上的连接法兰和固连在陶瓷绝缘管一端部的封堵头;其特征在于:所述陶瓷绝缘管自高真空端向空气端依次为凸凹交替的第一波形段、第一圆筒段和凸凹交替的第二波形段,所述连接法兰密封焊接在所述第一圆筒段上。
2.根据权利要求1所述的用于质谱仪的高真空密封高压连接器,其特征在于:所述第一波形段的凸起部的最大直径D 1 等于或小于所述第一圆筒段,使所述连接法兰通过并套装在所述第一圆筒段上。
3.根据权利要求1所述的用于质谱仪的高真空密封高压连接器,其特征在于:所述第二波形段的内凹部的最小直径D 2 等于或大于所述第一圆筒段的直径,第二波形段的每个凸起部的最大直径D 3 大于第一圆筒段的直径。
4.根据权利要求1所述的用于质谱仪的高真空密封高压连接器,其特征在于:所述封堵头为筒状结构,所述第二波形段的端部延伸设置有第二圆筒段,所述第二圆筒段插装在封堵头的筒壁上,且所述导线穿过封堵头的底壁。
5.根据权利要求1所述的用于质谱仪的高真空密封高压连接器,其特征在于:所述封堵头为筒状结构,所述第一波形段的端部延伸设置有第三圆筒段,所述第三圆筒段插装在封堵头的筒壁内,且所述导线穿过封堵头的底壁。
6.根据权利要求1所述的用于质谱仪的高真空密封高压连接器,其特征在于:所述连接法兰为台阶结构,其一端部固定在所述第一圆筒段的空气端,其另一端部与第一圆筒段的真空端间隙设置。
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