CN220678434U - 一种晶圆涂胶用匀胶机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆涂胶用匀胶机，包括主体座和电机所述电机的输出端固定连接有转动轴，所述主体座上表面的一侧固定连接有匀胶罐；所述转动轴外表面的一侧固定连接有刮胶条，所述转动轴上表面的一侧固定连接有匀胶台。该晶圆涂胶用匀胶机，通过电机、转动轴和刮胶条的设置，当开始匀胶的时候，启动电机，可以带动转动轴进行转动，从而可以使匀胶台也可以转动，达到方便匀胶，在匀胶过程中，胶水会随着匀胶台的转动，飞贱到匀胶罐的内壁，长时间不清理时，会导致胶水凝固，通过转动轴在转动的同时，可以时刮胶条对内壁的胶水进行刮除，最后可以使胶水落在排出管中，在使用中可以对胶水进行清理，一定程度上降低了清理的强度。

Description

一种晶圆涂胶用匀胶机

技术领域

本实用新型涉及匀胶机技术领域，特别涉及一种晶圆涂胶用匀胶机。

背景技术

半导体晶圆是的直径为四到十英寸的圆盘，在制造过程中可承载非本征半导体，它们是正型半导体或负型半导体的临时形式，硅晶片是非常常见的半导体晶片，因为硅是最流行的半导体，这是由于其在地球上的大量供应，半导体晶圆在涂胶的过程中，往往需要用到匀胶机对半导体晶圆进行均匀的涂胶处理，以提高半导体晶圆生产的质量，但是现有的半导体晶圆涂胶用匀胶机存在着夹持效果较差的缺点，导致半导体晶圆在匀胶的过程中容易发生晃动或偏移的现象，影响了半导体晶圆匀胶的效果，不方便使用，降低了匀胶机的使用效率和使用效果。

经检索，中国专利公开(公告)号CN216988318U公开了一种半导体晶圆涂胶用匀胶机，通过夹持机构中固定箱、电动机、驱动轴、第一齿轮、第二齿轮、螺纹杆、螺纹块、限位块、活动夹块、滚动轴承、滚动块和工作台之间的配合作用，可以对半导体晶圆体进行夹持固定，避免半导体晶圆体在匀胶的过程中发生偏移的现象，但是在匀胶的过程中，胶会随着甩动到罐体内壁，在进行清理的时候机器不方便，同时现有的设置，胶罐和设备是固定连接，在对胶罐进行清理，无法进行拆卸，因此设计一种晶圆涂胶用匀胶机很有必要。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种晶圆涂胶用匀胶机，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种晶圆涂胶用匀胶机，包括主体座和电机所述电机的输出端固定连接有转动轴，所述主体座上表面的一侧固定连接有匀胶罐；所述转动轴外表面的一侧固定连接有刮胶条，所述转动轴上表面的一侧固定连接有匀胶台。

为了使得达到可以排出的目的，作为本实用新型一种晶圆涂胶用匀胶机，所述主体座外表面的一侧固定连接有支撑台，所述支撑台上表面的一侧固定连接有储胶罐，所述匀胶罐下表面的一侧固定连接有排出管，所述排出管的另一端与储胶罐呈插接。

为了使得达到可以拆卸的目的，作为本实用新型一种晶圆涂胶用匀胶机，所述匀胶罐下表面的一侧固定连接有连接板，所述连接板上表面的一侧设置有螺钉。

为了使得达到方便封闭的目的，作为本实用新型一种晶圆涂胶用匀胶机，所述匀胶罐外表面的一侧固定连接有支架，所述支架内壁的一侧转动连接有转轴，所述转轴外表面的一侧固定连接有封盖，所述封盖上表墨的一侧固定连接有把手。

为了使得达到可以散热的目的，作为本实用新型一种晶圆涂胶用匀胶机，所述主体座背面的一侧设置有排风机，所述排风机的数量为两个。

为了使得达到可以通电的目的，作为本实用新型一种晶圆涂胶用匀胶机，所述主体座外表面的一侧设置有电源插口。

为了使得达到可以操作的目的，作为本实用新型一种晶圆涂胶用匀胶机，所述主体座正面的一侧固定连接有显示器，所述主体座正面的另一侧固定连接有按钮。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1.本实用新型中，通过电机、转动轴和刮胶条的设置，当开始匀胶的时候，启动电机，可以带动转动轴进行转动，从而可以使匀胶台也可以转动，达到方便匀胶，在匀胶过程中，胶水会随着匀胶台的转动，飞贱到匀胶罐的内壁，长时间不清理时，会导致胶水凝固，通过转动轴在转动的同时，可以时刮胶条对内壁的胶水进行刮除，最后可以使胶水落在排出管中。

2.本实用新型中，通过支撑台、储胶罐和排出管的设置，支撑台的设置，可以对储胶罐进行储存，当匀胶罐中的胶水可以通过排出管进行排出，最后通过排出管的设置，可以将胶水排入到储胶罐中，达到收集，同时储胶罐中的胶水也可以进行再利用，避免资源浪费。

附图说明

图1为本实用新型的正视结构示意图；

图2为本实用新型的封盖结构示意图；

图3为本实用新型的主体座结构示意图；

图4为本实用新型的排风机结构示意图。

图中：1、主体座；2、电机；3、转动轴；4、匀胶罐；5、刮胶条；6、匀胶台；7、支撑台；8、储胶罐；9、排出管；10、连接板；11、螺钉；12、支架；13、转轴；14、封盖；15、排风机；16、电源插口；17、显示器；18、按钮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-4所示，一种晶圆涂胶用匀胶机，包括主体座1和电机2，电机2的输出端固定连接有转动轴3，主体座1上表面的一侧固定连接有匀胶罐4；

在本实施例中，转动轴3外表面的一侧固定连接有刮胶条5，转动轴3上表面的一侧固定连接有匀胶台6。

具体使用时，当开始匀胶的时候，启动电机2，可以带动转动轴3进行转动，从而可以使匀胶台6也可以转动，达到方便匀胶，在匀胶过程中，胶水会随着匀胶台6的转动，飞贱到匀胶罐4的内壁，长时间不清理时，会导致胶水凝固，通过转动轴3在转动的同时，可以时刮胶条5对内壁的胶水进行刮出，最后可以使胶水落在排出管9中。

在本实施例中，主体座1外表面的一侧固定连接有支撑台7，支撑台7上表面的一侧固定连接有储胶罐8，匀胶罐4下表面的一侧固定连接有排出管9，排出管9的另一端与储胶罐8呈插接。

具体使用时，通过支撑台7的设置，可以对储胶罐8进行储存，当匀胶罐4中的胶水可以通过排出管9进行排出，最后通过排出管9的设置，可以将胶水排入到储胶罐8中，达到收集，同时储胶罐8中的胶水也可以进行再利用，避免资源浪费。

在本实施例中，匀胶罐4下表面的一侧固定连接有连接板10，连接板10上表面的一侧设置有螺钉11。

具体使用时，当需要对匀胶罐4进行拆卸的时候，可以用工具将螺钉11进行拧动，从而可以使连接板10与主体座1进行分离，达到方便拆卸的目的，从而可以更为方便的对匀胶罐4进行清理。

在本实施例中，匀胶罐4外表面的一侧固定连接有支架12，支架12内壁的一侧转动连接有转轴13，转轴13外表面的一侧固定连接有封盖14，封盖14上表墨的一侧固定连接有把手。

具体使用时，用手握住把手，可以使封盖14利用转轴13的作用力，进而可以打开，然后将晶圆进行放置在加工台上，当需要加工的手，可以用手握住把手，可以使封盖14通过转轴13的作用力，将设置封闭，在加工的时候，胶水不会外泄。

在本实施例中，主体座1背面的一侧设置有排风机15，排风机15的数量为两个。

具体使用时，当装置使用时间过久的时候，可以通过排风机15的设置，来达到可以散热的目的。

在本实施例中，主体座1外表面的一侧设置有电源插口16。

具体使用时，当需要对主体座1进行通电的时候，可以将电线插入电源插口16中，可以对装置进行充电。

在本实施例中，主体座1正面的一侧固定连接有显示器17，主体座1正面的另一侧固定连接有按钮18。

具体使用时，在对装置进行使用的时候，通过按钮18可以输入指令，输入的指令可以在显示器17上进行显示。

工作原理：在使用中，当需要对主体座1进行通电的时候，可以将电线插入电源插口16中，可以对装置进行充电，通过按钮18可以输入指令，输入的指令可以在显示器17上进行显示，用手握住把手，可以使封盖14利用转轴13的作用力，进而可以打开，然后将晶圆进行放置在加工台上，当需要加工的手，可以用手握住把手，可以使封盖14通过转轴13的作用力，将设置封闭，在加工的时候，胶水不会外泄，当开始匀胶的时候，启动电机2，可以带动转动轴3进行转动，从而可以使匀胶台6也可以转动，达到方便匀胶，在匀胶过程中，胶水会随着匀胶台6的转动，飞贱到匀胶罐4的内壁，长时间不清理时，会导致胶水凝固，通过转动轴3在转动的同时，可以时刮胶条5对内壁的胶水进行刮出，最后可以使胶水落在排出管9中，支撑台7的设置，可以对储胶罐8进行储存，当匀胶罐4中的胶水可以通过排出管9进行排出，最后通过排出管9的设置，可以将胶水排入到储胶罐8中，达到收集，同时储胶罐8中的胶水也可以进行再利用，避免资源浪费，当装置使用时间过久的时候，可以通过排风机15的设置，来达到可以散热的目的。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.一种晶圆涂胶用匀胶机，包括主体座(1)和电机(2)，其特征在于：所述电机(2)的输出端固定连接有转动轴(3)，所述主体座(1)上表面的一侧固定连接有匀胶罐(4)；

所述转动轴(3)外表面的一侧固定连接有刮胶条(5)，所述转动轴(3)上表面的一侧固定连接有匀胶台(6)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆涂胶用匀胶机，其特征在于：所述主体座(1)外表面的一侧固定连接有支撑台(7)，所述支撑台(7)上表面的一侧固定连接有储胶罐(8)，所述匀胶罐(4)下表面的一侧固定连接有排除管(9)，所述排除管(9)的另一端与储胶罐(8)呈插接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆涂胶用匀胶机，其特征在于：所述匀胶罐(4)下表面的一侧固定连接有连接板(10)，所述连接板(10)上表面的一侧设置有螺钉(11)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆涂胶用匀胶机，其特征在于：所述匀胶罐(4)外表面的一侧固定连接有支架(12)，所述支架(12)内壁的一侧转动连接有转轴(13)，所述转轴(13)外表面的一侧固定连接有封盖(14)，所述封盖(14)上表墨的一侧固定连接有把手。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆涂胶用匀胶机，其特征在于：所述主体座(1)背面的一侧设置有排风机(15)，所述排风机(15)的数量为两个。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆涂胶用匀胶机，其特征在于：所述主体座(1)外表面的一侧设置有电源插口(16)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆涂胶用匀胶机，其特征在于：所述主体座(1)正面的一侧固定连接有显示器(17)，所述主体座(1)正面的另一侧固定连接有按钮(18)。