CN220670462U - 视觉检测装置、视觉检测系统 - Google Patents

Abstract

本公开涉及视觉检测装置、视觉检测系统。该视觉检测装置包括：调节座组件，具有调节行程；滑动调节组件，与调节座组件连接，滑动调节组件具有交叉于调节行程的滑动行程；俯仰调节组件，与滑动调节组件连接，俯仰调节组件具有俯仰摆动行程；相机组件，连接于俯仰调节组件，相机组件的光轴交叉于调节行程；以及光源组件，用于向相机组件的视场内照射光。该视觉检测装置能兼容不同型号的产品，或对产品的不同尺寸进行视觉检测。

Description

视觉检测装置、视觉检测系统

技术领域

本公开涉及检测装置技术领域，特别是涉及视觉检测装置、视觉检测系统。

背景技术

近几年随着半导体技术的发展，对产品芯片的检测特征及检测精度有更高要求。例如在自动光学检测分选行业，对产品芯片的高度等特征检测过程中，需对每个产品芯片进行高度特征检测。

一些传统的高度特征检测方式为：将产品芯片置于料梭中，通过高度、位置传感器等压至产品芯片表面进行高度位移量检测，以探测产品芯片的高度特性。检测过程中为保证机台设备的运行效率，通过工位流转或者产品流转的方式进行产品搬运及位置变化。在运动过程中，因所使用的流转方式的定位精度及流转稳定性等的影响，会导致所取放的产品芯片的位置同一性无法满足检测所使用的要求，继而产品芯片在放至料梭后的相对位置无法得到确认。

在检测过程中会因产品芯片的位置偏差存在产品芯片表面划伤或边缘压伤等风险。通常为了降低风险，会在设备生产过程中对产品芯片的限位要求较高，这往往导致整模块的调试难度增加，调试工作量较大；同时为保证各个位置或测压传感器的相对安装位置的一致性，初始化调试时的工作量较大；另外，各个传感器间的相对位置需针对不同产品尺寸进行调节，导致整个测试模块在兼容不同尺寸产品、流转治具时的兼容性不好。

实用新型内容

基于此，有必要针对芯片测试的稳定性、安全性、调试便捷性及对不同型号产品的兼容性等至少一个问题，提供一种视觉检测装置、视觉检测系统。

本公开实施方式提供一种视觉检测装置，该视觉检测装置包括：调节座组件，具有调节行程；滑动调节组件，与调节座组件连接，滑动调节组件具有交叉于调节行程的滑动行程；俯仰调节组件，与滑动调节组件连接，俯仰调节组件具有俯仰摆动行程；相机组件，连接于俯仰调节组件，相机组件的光轴交叉于调节行程；以及光源组件，用于向相机组件的视场内照射光。

通过设置光源组件和相机组件，可实现对待测产品的良好照相；通过设置俯仰调节组件和滑动调节组件，可实现便捷地调节相机组件；配合调节座组件，能调节相机组件，又可保证相机组件稳定地保持所调节的姿态。本公开实施方式提供的视觉检测装置能兼容不同型号的产品，或对产品的不同尺寸进行视觉检测。本公开实施方式提供的视觉检测装置能减少与产品的直接接触，降低产品划伤、压伤的风险。

在一些实施方式中，视觉检测装置还包括抱箍组件，抱箍组件包括相机固定件和镜头抱箍，镜头抱箍与相机固定件连接且沿相机组件的光轴的方向可调；相机组件包括镜头和相机，相机位于镜头的像侧；相机固定件固接于相机组件的相机，镜头抱箍可调节地套设于相机组件的镜头。

通过设置抱箍组件，可以对相机组件进行良好地固定，并可保证镜头与相机的相对位置稳定。

在一些实施方式中，抱箍组件还包括第一连接板和第一连接螺栓，镜头抱箍通过第一连接板连接于相机固定件，第一连接板和相机固定件中至少一个包括第一腰槽，第一腰槽的腰长方向沿相机组件的光轴的方向，第一连接螺栓贯穿第一腰槽并用于锁紧第一连接板和相机固定件。

如此设置，可以实现对镜头抱箍的调整与固定，此外该结构设置有助于使视觉检测装置结构紧凑。

在一些实施方式中，视觉检测装置还包括第二连接板，相机组件包括镜头和相机，相机位于镜头的像侧，俯仰调节组件通过第二连接板连接于相机，俯仰调节组件的位置偏离于相机而靠近镜头。

如此设置，可调节俯仰调节组件相对相机组件的位置，可调整视觉检测装置的重心位置。

在一些实施方式中，调节座组件包括第一调节座和第二调节座，第二调节座与滑动调节组件连接，第一调节座位于相机背向镜头的一侧。

如此设置，相机组件有较宽松的调节空间，使用者可以较方便地调节相机组件、俯仰调节组件及滑动调节组件等。

在一些实施方式中，调节座组件包括第一调节座和第二调节座，第二调节座与滑动调节组件连接，第一调节座位于相机朝向镜头的一侧。

如此设置，有助于视觉检测装置实现稳定地固定，有助于保持视觉检测装置在连续检测时的可靠性。

在一些实施方式中，视觉检测装置还包括镜头抱箍，镜头抱箍可调节地套设于相机组件的镜头，并相对相机组件的相机沿相机组件的光轴的方向可调，相机位于镜头的像侧；第一调节座与镜头抱箍沿相机组件的光轴位于同一位置。

如此设置，有助于提升视觉检测装置的结构稳定性，保持镜头的稳定。

在一些实施方式中，调节座组件包括第一调节座和第二调节座，第一调节座和第二调节座的至少一个包括第二腰槽以实现调节行程；调节座组件包括限位块和限位螺钉，限位块与第一调节座固定连接，限位螺钉转动连接于限位块和第二调节座中的一个，并螺纹连接于限位块和第二调节座中的另一个，限位螺钉的轴向为调节行程的方向。

如此设置，可实现调节座组件的便捷调节，并有助于保持在调节后的状态。

在一些实施方式中，光源组件沿相机组件的光轴位于相机组件的物侧。

如此设置，光源组件可良好地照射对待测产品，有助于增强拍摄出的图片的对比度。

示例性地，调节行程的方向与滑动行程的方向限定基础面，俯仰摆动行程的方向平行于基础面，相机组件的光轴平行于基础面。

如此设置，有助于相机组件对待测产品的测量。

在一些实施方式中，光源组件包括第三腰槽和出光面，第三腰槽的腰长方向垂直于相机组件的光轴，第三腰槽位于出光面背向相机组件的一侧。

如此设置，可以便捷地调节光源组件的出光面相对待测产品及相机组件的姿态，保证打光效果。

在另一方面，本公开实施方式提供一种视觉检测系统，该视觉检测系统包括：检测平台，具有产品检测位；及前述的视觉检测装置，相机组件的视场涵盖产品检测位。

本公开实施方式提供的视觉检测系统能兼容不同型号的产品，或对产品的不同尺寸进行视觉检测。此外，本公开实施方式提供的视觉检测系统能减少与产品的直接接触，降低产品划伤、压伤的风险。

附图说明

图1为本公开实施方式提供的视觉检测装置的轴测图；

图2为本公开实施方式提供的视觉检测装置的示意性主视图；

图3为本公开实施方式提供的视觉检测装置的结构示意图；

图4为本公开实施方式提供的视觉检测装置的结构示意图；

图5为本公开实施方式提供的视觉检测装置的轴测图；

图6为本公开实施方式提供的视觉检测装置的示意性主视图。

附图标记说明：1、相机组件；11、相机；12、镜头；2、光源组件；21、第三腰槽；22、出光面；3、俯仰调节组件；31、第一调节块；32、第二调节块；4、滑动调节组件；41、第三调节块；42、第四调节块；5、调节座组件；51、第一调节座；511、支撑板；512、第二腰槽；52、第二调节座；53、限位块；54、限位螺钉；6、抱箍组件；61、相机固定件；62、第一连接板；621、第一腰槽；63、镜头抱箍；7、第二连接板；

100、视觉检测装置。

具体实施方式

为使本公开实施方式的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本公开实施方式的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本公开实施方式。但是本公开实施方式能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本公开实施方式内涵的情况下做类似改进，因此本公开实施方式不受下面公开实施方式的具体实施例的限制。

在本公开实施方式的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“垂直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开实施方式和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开实施方式的限制。

在本公开实施方式中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本公开实施方式的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本公开实施方式中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是柔性连接，也可以是沿至少一个方向的刚性连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，或者使直接相连同时存在中间媒介，还可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。术语“安装”、“设置”、“固定”等可以广义理解为连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开实施方式中的具体含义。

参阅图1，图1示出了本公开实施例中的视觉检测装置。在一些实施方式中，本公开实施例提供的视觉检测装置100可包括相机组件1和光源组件2。光源组件2用于向相机组件1的视场内照射光。相机组件1可用于拍摄照片。相机组件1可具有光轴。

视觉检测装置100可包括俯仰调节组件3、滑动调节组件4及调节座组件5。俯仰调节组件3、滑动调节组件4及调节座组件5可自相机组件1依次连接。相机组件1在空间内的姿态可被调整。在空间内设置XYZ直角坐标系，其中X轴方向、Y轴方向及Z轴方向相互垂直。图1中相机组件1的光轴可大致平行于X轴方向，相机组件1可被调整为光轴与X轴方向成一定夹角。

俯仰调节组件3与相机组件1连接，俯仰调节组件3用于带动相机组件1俯仰摆动，例如俯仰摆动的方向可平行于XZ面，XZ面即X轴方向及Z轴方向所限定的平面。换言之，俯仰调节组件3可用于带动相机组件1转动，在一些情况下，转动中心位于相机组件1外部。相机组件1被调整，可体现于其光轴在平行于XZ面的面内被调整为相对X轴方向平行或具有较小的夹角。

滑动调节组件4与俯仰调节组件3连接。滑动调节组件4具有沿相机组件1的光轴方向的滑动行程。示例性地，滑动调节组件4的滑动行程的方向可平行于XZ面，例如平行于X轴方向。

调节座组件5与滑动调节组件4连接。调节座组件5具有交叉于滑动行程的调节行程，调节行程的方向可平行于XZ面，例如平行于Z轴方向。换言之，调节行程的方向和滑动行程的方向可限定基础面，该基础面可平行于XZ面。前述俯仰摆动的方向平行于该基础面，相机组件1的光轴也可平行于该基础面。相机组件1俯仰摆动后，光轴的姿态有所变化，而滑动行程总是可包括在实际光轴方向的分量。

本公开实施方式提供的视觉检测装置100，通过设置俯仰调节组件3、滑动调节组件4及调节座组件5，实现了对相机组件1的便捷调节并可保持相机组件1稳定，以对不同型号的产品或对产品的不同尺寸进行非接触地视觉检测。

本公开实施方式提供的视觉检测装置可以通过包含高精度微动调节组件，实现检测位置的高精度定位，可在进行检测时实现快速准确定位；提升了方案的空间利用率，使结构更紧凑，更便于安装调试，进而提升产品检测的调试便捷性。

本公开实施方式提供的视觉检测装置可利用视觉拍照的方式对产品进行高度特征检测，可避开接触式检测方法对于测试特征点、测试外形等方面的限制，同时可避免因产品放置不到位导致的产品表面划伤或边缘压伤等方面的异常问题，可极大的提升产品的良率。

示例性地，相机组件1包括镜头12和相机11。镜头12可包括沿光轴设置的光学透镜，继而可在X轴方向具有一定长度。相机11位于镜头12的像侧，相机11可以包括感光芯片以成像。

本公开实施方式提供的视觉检测装置可以通过相机视野大小、相机检测景深及面阵光源大小等方面的适配，实现对不同检测高度位置及产品大小的兼容，极大提升了产品检测时的兼容性。

本公开实施方式提供的视觉检测装置可利用工业相机的像素精度作为所检特征的衡量标准，相对于接触式的检测方式可得到更高的产品特征检测精度，同时后续可通过提升所用相机的像素精度，进一步提升产品的检测精度，可得到更高的产品性能提升能力。

结合图2所示，在一些实施例中，视觉检测装置100还包括抱箍组件6。抱箍组件6包括相机固定件61和镜头抱箍63，镜头抱箍63与所述相机固定件61连接且沿相机组件1的光轴的方向可调。相机固定件61固接于相机11，镜头抱箍63可调节地套设于镜头12。镜头抱箍63可固定镜头12，并可根据需要调整镜头抱箍63固定在镜头12的位置。

参考图4，抱箍组件6还包括第一连接板62和第一连接螺栓(未示出)，镜头抱箍63通过第一连接板62连接于相机固定件61。第一连接板62和相机固定件61中至少一个包括第一腰槽621，例如第一连接板62开设有第一腰槽621。第一腰槽621的腰长方向沿相机组件1的光轴的方向，第一连接螺栓贯穿第一腰槽621并用于锁紧第一连接板62和相机固定件61。第一腰槽621相对第一连接螺栓的位置可调，继而调节镜头抱箍63沿光轴方向相对镜头12的位置。

回看图1和图2，视觉检测装置100还包括第二连接板7。俯仰调节组件3通过第二连接板7连接于相机11。第二连接板7一部分位于相机11，一部分可伸出相机11，例如沿X轴方向向镜头12所在一侧伸出相机11。俯仰调节组件3和相机11沿光轴方向错位，俯仰调节组件3的位置可偏离于相机11而靠近镜头12。通过设计第二连接板7，可调整相机组件1在俯仰调节组件3的带动下所能实现的姿态。

示例性地，俯仰调节组件3包括第一调节块31和第二调节块32。第一调节块31和第二调节块32可形成曲面滑轨面连接，第二调节块32可相对于第一调节块31实现在XZ面内的俯仰摆动。第二调节块32可通过第二连接板7连接于相机组件1。第一调节块31可连接于滑动调节组件4。

示例性地，该曲面滑轨面可具有例如圆柱面，继而可视为第二调节块32在XZ面内转动，转动轴线可大致平行于Y轴方向。第一调节块31和第二调节块32之间可实现高精度的运动，可借助手动调节或微动电机模组调节。俯仰调节组件3还包括锁紧组件，可实现第一调节块31和第二调节块32之间锁紧固定。示例性地，转动轴线位于第二调节块32背向相机组件1的一侧。该视觉检测装置100灵活精密、易于调节。

示例性地，滑动调节组件4包括第三调节块41和第四调节块42。第三调节块41和第四调节块42滑动连接，二者可在XZ面内例如沿X轴方向滑动连接。第三调节块41可连接于调节座组件5；第四调节块42可连接于俯仰调节组件3，例如可连接于第一调节块31。第三调节块41和第四调节块42之间可实现高精度的运动，可借助手动调节或微动电机模组调节。滑动调节组件4还包括锁紧组件，可实现第三调节块41和第四调节块42之间锁紧固定。

参考图1、图2和图4，在一些实施方式中，调节座组件5包括第一调节座51和第二调节座52。第二调节座52与滑动调节组件4连接，第一调节座51适于固定于待安装位置。

示例性地，第一调节座51和第二调节座52的至少一个包括第二腰槽512以实现调节行程。如图4所示，第一调节座51可包括第二腰槽512，调节座组件5还可包括第二连接螺栓。第二腰槽512的腰长方向可沿Z轴方向，第二连接螺栓贯穿第二腰槽512并用于锁紧第二调节座52。第二腰槽512相对第二连接螺栓的位置可调，继而调节第二调节座52沿Z轴方向相对第一调节座51的位置。

参考图1至图3，调节座组件5包括限位块53和限位螺钉54。限位块53与第一调节座51固定连接，限位螺钉54转动连接于限位块53和第二调节座52中的一个，并螺纹连接于限位块53和第二调节座52中的另一个。通过转动限位螺钉54，可实现第二调节座52沿Z轴方向相对限位块53移动，即第二调节座52沿Z轴方向相对第一调节座51实现调节行程。

如图3所示，限位螺钉54转动连接于限位块53，且限位螺钉54的螺帽受限位块53的限制而在Z轴方向被定位。限位螺钉54与第二调节座52螺纹连接，限位螺钉54的轴向为调节行程的方向。示例性地，如图1所示，限位块53具有暴露出限位螺钉54顶部的通孔，以便利用螺丝刀操作限位螺钉54。

在示例性实施方式中，光源组件2沿相机组件1的光轴位于相机组件1的物侧。该视觉检测装置100在使用时可将待测产品放在光源组件2与相机组件1之间，可调节相机组件1相对产品的姿态。光源组件2作为待测产品的背景，有助于显示待测产品的外轮廓。

在另一些实施方式中，光源组件也可安装于相机组件，例如环形光源套设于相机组件。该视觉检测装置在使用时，待测产品可位于相机组件的视场内，光源组件发出的光可照射到产品，相机组件可接收产品反射的光。示例性地，视觉检测装置可包括与相机组件相对设置的背景板。

示例性地，光源组件2包括第三腰槽21和出光面22。第三腰槽21的腰长方向垂直于相机组件的光轴，例如大致沿Y轴方向。第三腰槽21可位于出光面22背向相机组件1的一侧。示例性地，可根据待测产品种类的不同而配置出光面22相对YZ面的姿态，例如可以平行于YZ面。

示例性地，第一调节座51位于相机11背向镜头12的一侧。通过调节座组件5、滑动调节组件4及俯仰调节组件3，相机组件1可相对第一调节座51在XZ面内移动及固定，具体可实现X轴方向的位置调整与锁紧固定、Z轴方向的位置调整与锁紧固定以及例如相对X轴方向的角度调整与固定。示例性地，第二调节块32的转动轴线位于第二调节块32背向相机组件1的一侧。

参考图5和图6，在一些实施方式中，视觉检测装置100可包括相机组件1、光源组件2、俯仰调节组件3、滑动调节组件4及调节座组件5。俯仰调节组件3、滑动调节组件4及调节座组件5可自相机组件1依次连接。相机组件1和光源组件2可沿X轴方向相对设置。调节座组件5包括第一调节座51和第二调节座52，第二调节座52与滑动调节组件4连接，第一调节座51适于固定于待安装位置。

示例性地，第一调节座51位于相机11朝向镜头12的一侧。第一调节座51沿X轴方向位于俯仰调节组件3或第二连接板7背离相机11的一侧。第一调节座51可包括支撑板511。支撑板511用于固定于待安装位置，支撑板511沿Z轴方向可接近相机组件1。视觉检测装置100的重心可靠近第一调节座51。

示例性地，第二调节块32的转动轴线位于第二调节块32朝向相机组件1的一侧。该视觉检测装置100稳定可靠、结构紧凑。

在一些实施方式中，抱箍组件6的镜头抱箍63。镜头抱箍63可调节地套设于相机组件1的镜头12，并相对相机组件1的相机11沿光轴的方向可调。第一调节座51与镜头抱箍63沿X轴方可调节至同一位置。视觉检测装置100结构稳定。镜头12稳定，继而相机组件1的成像效果好。

本公开实施方式还提供一种视觉检测系统，该视觉检测系统可包括检测平台(未示出)和前述的视觉检测装置100。示例性地，调节座组件5可连接于该检测平台，例如第一调节座51固定于检测平台。检测平台可具有产品检测位。视觉检测装置100中相机组件1的视场涵盖产品检测位。

本公开实施方式提供的视觉检测系统可以对待测产品进行非接触式检测，并具有柔性生产能力。

示例性地，检测平台可包括输送轨道，该输送轨道经过产品检测位。输送轨道可以输送待测产品，并可使待测产品停留在产品检测位。

以上公开的各实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上公开的实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型的专利保护范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型要求的专利保护范围。因此，本实用新型的专利保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.视觉检测装置，其特征在于，包括：

调节座组件(5)，具有调节行程；

滑动调节组件(4)，与所述调节座组件(5)连接，所述滑动调节组件(4)具有交叉于所述调节行程的滑动行程；

俯仰调节组件(3)，与所述滑动调节组件(4)连接，所述俯仰调节组件(3)具有俯仰摆动行程；

相机组件(1)，连接于所述俯仰调节组件(3)，所述相机组件(1)的光轴交叉于所述调节行程；以及

光源组件(2)，用于向所述相机组件(1)的视场内照射光。

2.根据权利要求1所述的视觉检测装置，其中，还包括抱箍组件(6)，所述抱箍组件(6)包括相机固定件(61)和镜头抱箍(63)，所述镜头抱箍(63)与所述相机固定件(61)连接且沿所述相机组件的光轴的方向可调；

所述相机组件(1)包括镜头(12)和相机(11)，所述相机(11)位于所述镜头(12)的像侧；

所述相机固定件(61)固接于所述相机(11)，所述镜头抱箍(63)可调节地套设于所述镜头(12)。

3.根据权利要求2所述的视觉检测装置，其中，所述抱箍组件(6)还包括第一连接板(62)和第一连接螺栓，所述镜头抱箍(63)通过所述第一连接板(62)连接于所述相机固定件(61)，所述第一连接板(62)和所述相机固定件(61)中至少一个包括第一腰槽(621)，所述第一腰槽(621)的腰长方向沿所述相机组件的光轴的方向，所述第一连接螺栓贯穿所述第一腰槽(621)并用于锁紧所述第一连接板(62)和所述相机固定件(61)。

4.根据权利要求1所述的视觉检测装置，其中，还包括第二连接板(7)，所述相机组件(1)包括镜头(12)和相机(11)，所述相机(11)位于所述镜头(12)的像侧，所述俯仰调节组件(3)通过所述第二连接板(7)连接于所述相机(11)，所述俯仰调节组件(3)的位置偏离于所述相机(11)而靠近所述镜头(12)。

5.根据权利要求4所述的视觉检测装置，其中，所述调节座组件(5)包括第一调节座(51)和第二调节座(52)，所述第二调节座(52)与所述滑动调节组件(4)连接，所述第一调节座(51)位于所述相机(11)背向所述镜头(12)的一侧。

6.根据权利要求4所述的视觉检测装置，其中，所述调节座组件(5)包括第一调节座(51)和第二调节座(52)，所述第二调节座(52)与所述滑动调节组件(4)连接，所述第一调节座(51)位于相机(11)朝向所述镜头(12)的一侧。

7.根据权利要求1所述的视觉检测装置，其中，所述调节座组件(5)包括第一调节座(51)和第二调节座(52)，所述第一调节座(51)和所述第二调节座(52)的至少一个包括第二腰槽(512)以实现所述调节行程；

所述调节座组件(5)包括限位块(53)和限位螺钉(54)，所述限位块(53)与所述第一调节座(51)固定连接，所述限位螺钉(54)转动连接于所述限位块(53)和所述第二调节座(52)中的一个，并螺纹连接于所述限位块(53)和所述第二调节座(52)中的另一个，所述限位螺钉(54)的轴向为所述调节行程的方向。

8.根据权利要求1所述的视觉检测装置，其中，所述光源组件(2)沿所述相机组件(1)的光轴位于所述相机组件(1)的物侧；

所述调节行程的方向与所述滑动行程的方向限定基础面，所述俯仰摆动行程的方向平行于所述基础面，所述相机组件(1)的光轴平行于所述基础面。

9.根据权利要求8所述的视觉检测装置，其中，所述光源组件(2)包括第三腰槽(21)和出光面(22)，所述第三腰槽(21)的腰长方向垂直于所述相机组件的光轴，所述第三腰槽(21)位于所述出光面(22)背向所述相机组件(1)的一侧。

10.视觉检测系统，其特征在于，包括：

检测平台，具有产品检测位；及

如权利要求1至9中任一项所述的视觉检测装置(100)，所述相机组件(1)的视场涵盖所述产品检测位。