CN220649542U - 集成光学芯片及光学陀螺仪 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种集成光学芯片及光学陀螺仪。该集成光学芯片用于光学陀螺仪，集成光学芯片包括衬底、第一耦合器、监测器、第二耦合器以及起偏器，第一耦合器设置于衬底并用于与光源和探测器连接；监测器设置于衬底并与第一耦合器连接，监测器用于采集光源发出光的光学参数；第二耦合器设置于衬底并用于与光学陀螺仪的干涉环连接；起偏器设置于衬底并连接于第一耦合器与第二耦合器之间。本申请提供的集成光学芯片能够采集光源发出光的光学参数，以较好的监测光学陀螺仪的测量精度。

Description

集成光学芯片及光学陀螺仪

技术领域

本申请属于传感仪器技术领域，尤其涉及一种集成光学芯片及光学陀螺仪。

背景技术

光学陀螺仪是一种用于检测运动物体方位的光学传感仪器，光学陀螺仪在武器制导、航天航空、自动化控制等领域得到广泛运用。随着技术的发展，光学陀螺仪的研究不断的在朝着芯片化的方向发展，以提高光学陀螺仪结构紧凑度，降低光学陀螺仪的体积与重量。

在现有的光学陀螺仪中，光学陀螺仪中光源的工作稳定性十分重要，为光纤陀螺提供一个稳定的、可靠的光信号，以便进行旋转的测量和检测。只有通过光源提供的稳定光信号，才能准确地测量出陀螺仪所受到的旋转影响，实现精确的角速度测量。当光源的工作稳定性受到影响时，将极易影响光学陀螺仪的测量精度。

实用新型内容

本申请实施例提供了一种集成光学芯片及光学陀螺仪，旨在采集光源发出光的光学参数，以较好的监测光学陀螺仪的测量精度。

第一方面，本申请实施例提供一种集成光学芯片，集成光学芯片用于光学陀螺仪，集成光学芯片包括衬底、第一耦合器、监测器、第二耦合器以及起偏器，第一耦合器设置于衬底并用于与光源和探测器连接；监测器设置于衬底并与第一耦合器连接，监测器用于采集光源发出光的光学参数；第二耦合器设置于衬底并用于与光学陀螺仪的干涉环连接；起偏器设置于衬底并连接于第一耦合器与第二耦合器之间。

根据本申请第一方面的实施方式，光学参数包括光功率和/或波长。

根据本申请第一方面的前述任一实施方式，光学参数包括光功率，监测器包括光功率计；和/或，光学参数包括波长，监测器包括光谱仪。

根据本申请第一方面的前述任一实施方式，第一耦合器包括第一波导、第二波导、第三波导以及第四波导，第一波导用于与光源连接，第二波导用于与探测器连接，第三波导与起偏器连接，第四波导与监测器连接。

根据本申请第一方面的前述任一实施方式，集成光学芯片还包括光源，光源与第一波导连接；和/或，集成光学芯片还包括探测器，探测器与第二波导连接。

根据本申请第一方面的前述任一实施方式，第一耦合器与第二耦合器分设于起偏器在第一方向上的两侧，监测器位于起偏器在第二方向上的一侧，其中，第一方向与第二方向相交。

根据本申请第一方面的前述任一实施方式，集成光学芯片还包括设置于衬底的相位调制器，相位调制器用于调制第二耦合器中光的相位。

根据本申请第一方面的前述任一实施方式，第二耦合器包括第五波导、第六波导以及第七波导，第五波导与起偏器连接，第六波导与第七波导用于与干涉环连接，相位调制器包括调制电极，调制电极设置于第六波导的两侧，和/或，调制电极设置于第七波导的两侧。

根据本申请第一方面的前述任一实施方式，第一耦合器包括多模干涉耦合器、定向耦合器中的至少一种；和/或，第二耦合器包括多模干涉耦合器、定向耦合器中的至少一种。

第二方面，本申请实施例提供一种光学陀螺仪，光学陀螺仪包括干涉环和前述第一方面任一实施方式中的集成光学芯片，第二耦合器与干涉环连接。

本申请实施例提供的一种用于光学陀螺仪的集成光学芯片包括衬底、第一耦合器、监测器、第二耦合器以及起偏器。第一耦合器、第二耦合器以及起偏器设置于衬底，起偏器连接于第一耦合器与第二耦合器之间。第一耦合器用于与光源连接，使得第一耦合器可用于将光源发出的光传递至起偏器，使得起偏器可将光源发出的光起偏以转化成偏振光。第二耦合器用于与干涉环连接，使得第二耦合器可将在起偏器内完成起偏的光传递至干涉环。第一耦合器还用于与探测器连接，使得第二耦合器可将从干涉环发回的光通过第一耦合器传递至探测器，从而能够实现光学陀螺仪的测量工作。通过设置用于采集光的光学参数的监测器与第一耦合器相连接，使得监测器可采集从光源发出的光的光学参数，以能够较为直接的判断从光源发出的光的可靠性，便于操作人员能够较为及时的判断光源的工作稳定性，从而能够较好的判断光学陀螺仪的测量结果的准确性，即能够较好的监测光学陀螺仪的测量精度。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一些实施例的集成光学芯片的结构示意图；

图2为本申请一些实施例的光学陀螺仪的结构示意图；

图3为本申请另一些实施例的光学陀螺仪的结构示意图。

附图标记说明：

1-光学陀螺仪；

10-集成光学芯片；

100-衬底；

200-第一耦合器；210-第一波导；220-第二波导；230-第三波导；240-第四波导；250-第一干涉区；

300-监测器；

400-第二耦合器；410-第五波导；420-第六波导；430-第七波导；440-第二干涉区；

500-起偏器；

600-光源；

700-探测器；

800-相位调制器；810-调制电极；

20-干涉环；

X-第一方向；

Y-第二方向。

具体实施方式

下面将详细描述本申请的各个方面的特征和示例性实施例，为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本申请进行进一步详细描述。应理解，此处所描述的具体实施例仅意在解释本申请，而不是限定本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本申请的示例来提供对本申请更好的理解，在附图和下面的描述中，至少部分的公知结构和技术没有被示出，以便避免对本申请造成不必要的模糊；并且，为了清晰，可能夸大了部分结构的尺寸。此外，下文中所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。

需要说明的是，在本文中，除非另有说明，“多个”的含义是两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

下述描述中出现的方位词均为图中示出的方向，并不是对本申请的实施例的具体结构进行限定。在本申请的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可视具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

光学陀螺仪是一种用于检测运动物体方位的光学传感仪器，光学陀螺仪在武器制导、航天航空、自动化控制等领域得到广泛运用。随着技术的发展，光学陀螺仪的研究不断的在朝着芯片化的方向发展，以提高光学陀螺仪结构紧凑度，降低光学陀螺仪的体积与重量。

在现有的光学陀螺仪中，光学陀螺仪中光源的工作稳定性十分重要，当光源的工作稳定性受到影响时，将极易影响光学陀螺仪的测量精度。例如，工作温度的变化易影响光学陀螺仪中光源的工作稳定性，从而使得光源发出的光的光学参数产生偏差，易降低光学陀螺仪的测量精度。在相关技术中，光学陀螺仪中常设置有用于控制温度的温控模块，以维持较为稳定的工作温度。但是，若温控模块无法较好的控制温度，将极易影响光学陀螺仪的测量精度，且不易发现工作温度对光学陀螺仪的影响。

为了解决上述技术问题，提供了本申请。为了更好地理解本申请，下面结合附图对本申请实施例的集成光学芯片及光学陀螺仪进行详细描述。

图1为本申请一些实施例的集成光学芯片10的结构示意图，图2为本申请一些实施例的光学陀螺仪1的结构示意图，图中X方向为第一方向，图中Y方向为第二方向，其中，第一方向X与第二方向Y相交，可选的，第一方向X可与第二方向Y垂直。

如图1和图2所示，本申请实施例提供一种集成光学芯片10，集成光学芯片10用于光学陀螺仪1，集成光学芯片10包括衬底100、第一耦合器200、监测器300、第二耦合器400以及起偏器500，第一耦合器200设置于衬底100并用于与光源600和探测器700连接；监测器300设置于衬底100并与第一耦合器200连接，监测器300用于采集光源600发出光的光学参数；第二耦合器400设置于衬底100并用于与光学陀螺仪1的干涉环20连接；起偏器500设置于衬底100并连接于第一耦合器200与第二耦合器400之间。

本申请实施例提供的一种用于光学陀螺仪1的集成光学芯片10包括衬底100、第一耦合器200、监测器300、第二耦合器400以及起偏器500。第一耦合器200、第二耦合器400以及起偏器500设置于衬底100，起偏器500连接于第一耦合器200与第二耦合器400之间。第一耦合器200用于与光源600连接，使得第一耦合器200可用于将光源600发出的光传递至起偏器500，使得起偏器500可将光源600发出的光起偏以转化成偏振光。第二耦合器400用于与干涉环20连接，使得第二耦合器400可将在起偏器500内完成起偏的光传递至干涉环20。第一耦合器200还用于与探测器700连接，使得第二耦合器400可将从干涉环20发回的光通过第一耦合器200传递至探测器700，从而能够实现光学陀螺仪1的测量工作。

通过设置用于采集光的光学参数的监测器300与第一耦合器200相连接，使得监测器300可采集从光源600发出的光的光学参数，以能够较为直接的判断从光源600发出的光的可靠性，便于操作人员能够较为及时的判断光源600的工作稳定性，从而能够较好的判断光学陀螺仪1的测量结果的准确性，即能够较好的监测光学陀螺仪1的测量精度。

在本申请的实施例中，能够影响光学陀螺仪1中光源600的工作稳定性的因素可有多种。例如，光学陀螺仪1中光源600的工作稳定性易受工作环境的影响，工作环境的变化易改变光源600发出的光的光学参数，从而易降低光学陀螺仪1的测量精度。又例如，当光学陀螺仪1中的光源600自身发生故障时，也会降低光源600的工作稳定性，使得光源600发出的光的光学参数产生变化，从而易降低光学陀螺仪1的测量精度。通过设置监测器300来采集从光源600发出的光的光学参数，能够便于操作人员监测光学陀螺仪1的测量的准确度，且能够便于操作人员判断影响光学陀螺仪1中光源600的工作稳定性的具体因素，从而便于操作人员对光学陀螺仪1进行及时的维护。

在一些可选的实施例中，光学陀螺仪1中光源600的工作稳定性易受工作温度的影响，即工作温度的变化易影响光学陀螺仪1中光源600的工作稳定性。例如，工作温度的变化易改变光源600发出的光的光功率，使得光学陀螺仪1中测量信号的噪声特性易受到影响，从而易导致光学陀螺仪1的零偏漂移，降低光学陀螺仪1的测量精度。又例如，工作温度的变化易改变光源600发出的光的波长，从而易影响光学陀螺仪1的频率稳定性，降低光学陀螺仪1的测量精度。

可选的，光学参数可包括光功率和/或波长，即监测器300可用于采集从光源600发出的光的光功率和/或波长。当监测器300所采集的光的光功率和/或波长偏离预设范围时，可认为光源600的工作稳定性受到了工作温度的影响或受到了光源600自身故障的影响，使得操作人员可通过检查光源600或检查光学陀螺仪1中用于控制工作温度的温控模块来判断影响光源600工作稳定性的具体因素。

例如，当监测器300所采集的光的光功率和/或波长偏离预设范围时，可通过重新设定温控模块的温度以使光源600的工作温度为一个预设值，或可通过更换温控模块以使光源600的工作温度为一个预设值，然后再让监测器300重新采集光源600发出的光的光功率和/或波长，若此时光的光功率和/或波长未偏离预设范围，则可初步判断是温控模块的故障影响了光源600的工作稳定性，可更换或维修温控模块来提高光源600的工作稳定性，从而提高光学陀螺仪1的测量精度；而若此时光的光功率和/或波长仍然偏离预设范围，则可初步判断是光源600的自身故障影响了光源600的工作稳定性，可更换或维修光源600来提高光源600的工作稳定性，从而提高光学陀螺仪1的测量精度。

在一些可选的实施例中，当光学参数包括光功率时，监测器300可包括任意一种用于采集光的光功率的器件，可选的，监测器300可包括用于采集光的光功率的光功率计；和/或，当光学参数包括波长时，监测器300可包括任意一种用于采集光的波长的器件，可选的，监测器300可包括用于采集光的波长的光谱仪。

可选的，当监测器300所采集的自光源600发出的光的光功率偏离预设光功率范围值时，可判断此时光学陀螺仪1的测量精度较低，和/或，当监测器300所采集的自光源600发出的光的波长偏离预设波长范围值时，可判断此时光学陀螺仪1的测量精度较低。

本申请对具体的预设光功率范围值和预设波长范围值不做限定，预设光功率范围值和预设波长范围值可根据光学陀螺仪1的实际结构和实际工况来进行设置。

在本申请的实施例中，衬底100的材料设置方式有多种，可选的，衬底100的材料可包括硅基材料。例如，衬底100可包括氮化硅(SiN)平台、绝缘体上硅(SOI)平台和硅上氮化硅(SiN-SOI)平台、铌酸锂(LN)平台、二氧化硅(SiO₂)平台中的至少一种。

本申请对起偏器500的种类不做具体限定，可选的，起偏器500可利用波导结构弯曲起偏或使用偏振分束器(PBS，polarization beam splitter)起偏。

可选的，起偏器500可包括非对称定向耦合器(ADC-PBS)结构、对称定向耦合器(SDC,Symmetrical Directional Coupler,SDC)、多模干涉器PBS、马赫增德PBS、光子晶体起偏器(Photonics Crystal，PhC)和光栅波导起偏器(Waveguide Gratings)中的至少一种。

本申请对第一耦合器200的种类不做具体限定，可选的，第一耦合器200可为多模干涉耦合器(Multimode Interference coupler,MMI coupler)、定向耦合器等。

本申请对第二耦合器400的种类不做具体限定，可选的，第二耦合器400可为多模干涉耦合器、定向耦合器等。

为了便于描述，后述实施例以第一耦合器200和第二耦合器400为多模干涉耦合器为例进行说明。

如图1和图2所示，在一些可选的实施例中，第一耦合器200包括第一波导210、第二波导220、第三波导230以及第四波导240，第一波导210用于与光源600连接，第二波导220用于与探测器700连接，第三波导230与起偏器500连接，第四波导240与监测器300连接。

可选的，第一耦合器200还包括位于第一波导210、第二波导220、第三波导230以及第四波导240间的第一干涉区250，从光源600发出的光通过第一波导210进入第一耦合器200后，能够通过第一干涉区250的作用发生耦合与分离。

可选的，第一波导210和第二波导220可位于第一干涉区250在第一方向X上的同一侧，而第三波导230和第四波导240可位于第一干涉区250在第一方向X上背离第一波导210和第二波导220的同一侧，使得通过第一波导210进入的光能够较好的传递至第三波导230和第四波导240，使得光源600发出的光能够较好的通过第三波导230传递至起偏器500处，便于光源600发出的光在起偏器500处被起偏，也使得光源600发出的光能够较好的通过第四波导240传递至监测器300处，便于监测器300采集光源600发出的光的光学参数。

在这些可选的实施例中，由于多模干涉耦合器、定向耦合器等耦合器常具有偶数数量的用于输入或输出光的波导，因此，通过设置监测器300与第四波导240连接，使得原本易通过第四波导240漏出的光能够由监测器300进行采集，使得光源600发出的光在通过第一耦合器200时不易产生光的泄漏，从而使得光源600发出的光不易在衬底100上发生反射，降低了反射光对光学陀螺仪1测量精度的影响。并且，监测器300在接收第四波导240传递来的光源600发出的光后，监测器300能够采集光的光学参数，使得监测器300能够有效的利用原本易通过第四波导240漏出的光，从而大大的提高了光源600发出的光的利用率。

在一些可选的实施例中，集成光学芯片10还可包括光源600，光源600可与第一波导210连接，即光源600可集成于集成光学芯片10，以进一步提高光学陀螺仪1的结构紧凑度；和/或，集成光学芯片10还可包括探测器700，探测器700与第二波导220连接，即探测器700可集成于集成光学芯片10，以进一步提高光学陀螺仪1的结构紧凑度。

本申请对光源600的种类不做具体限定，可选的，光源600可包括超辐射发光二极管(Super Luminescent Diode，SLD)，其谱宽度比较大，输出功率较高，可以显著降低由干涉环20中的瑞利效应和光学Kerr效应引起的噪声。

在一些可选的实施例中，集成光学芯片10还包括设置于衬底100的相位调制器800，相位调制器800用于调制第二耦合器400中光的相位。

本申请对相位调制器800的种类不做具体限定，可选的，相位调制器800可包括铌酸锂薄膜相位调制器800和压电薄膜相位调制器800中的至少一种。

如图1和图2所示，在一些可选的实施例中，第二耦合器400包括第五波导410、第六波导420以及第七波导430，第五波导410与起偏器500连接，第六波导420与第七波导430用于与干涉环20连接，相位调制器800包括调制电极810，调制电极810设置于第六波导420的两侧，和/或，调制电极810设置于第七波导430的两侧。

可选的，第二耦合器400还包括位于第五波导410、第六波导420以及第七波导430间的第二干涉区440，光通过第五波导410、第六波导420或第七波导430进入第二耦合器400后，能够通过第二干涉区440的作用发生耦合与分离。

可选的，第六波导420和第七波导430可位于第二干涉区440在第一方向X上的同一侧，而第五波导410可位于第二干涉区440在第一方向X上背离第六波导420和第七波导430的一侧，使得从第五波导410进入的光能够较好的通过第六波导420和第七波导430传递至干涉环20内，也使得从第六波导420和第七波导430进入的光能够较好的通过第五波导410传递至探测器700处。

在这些可选的实施例中，设置于第六波导420两侧的调制电极810能够用于调制第六波导420中光的相位，和/或，设置于第七波导430两侧的调制电极810能够用于调制第七波导430中光的相位。当光学陀螺仪1发生旋转时，通过第六波导420和第七波导430进入至干涉环20的两束光能够在干涉环20中产生萨格纳克(Sagnac)相位差，且从第六波导420进入至干涉环20中的光能够从第七波导430射出干涉环20，而从第七波导430进入至干涉环20中的光能够从第六波导420射出干涉环20，在该两束光射出干涉环20并发生干涉后，能够被探测器700检测并转化为电信号。

可选的，探测器700可用于与信号处理电路相连，使得探测器700检测所得的电信号能够经过信号处理电路以得到陀螺仪的转动电信号，从而实现光学陀螺仪1的测量工作。

本申请对第一耦合器200与第二耦合器400的具体布置位置不做限定，在一些可选的实施例中，如图1和图2所示，第一耦合器200与第二耦合器400分设于起偏器500在第一方向X上的两侧，监测器300位于起偏器500在第二方向Y上的一侧，以便于集成光学芯片10上各部件的位置布置，有利于提升集成光学芯片10的结构紧凑度。同时，能够便于光源600发出的光通过第一耦合器200向第二耦合器400传递，从而便于光源600发出的光向干涉环20的传递，也能够便于从干涉环20射出的光通过第二耦合器400向第一耦合器200传递，从而便于从干涉环20射出的光向探测器700的传递。

图3为本申请另一些实施例的光学陀螺仪1的结构示意图。

在另一些可选的实施例中，如图3所示，第一耦合器200与第二耦合器400还可位于起偏器500在第一方向X上的同一侧，即光学陀螺仪1中的干涉环20和光源600可位于起偏器500在第一方向X上的同一侧

根据本申请的一些实施例，本申请还提供了一种光学陀螺仪1，如图2和图3所示，光学陀螺仪1包括干涉环20和前述任一实施例所述的集成光学芯片10，第二耦合器400与干涉环20连接。

本申请对干涉环20的具体种类设置方式有多种，干涉环20可为任意一种能够进行光信号传输、旋转测量以及抑制非旋转信号的器件，例如，干涉环20可为光纤环或集成于衬底的多层波导干涉环结构。

可选的，干涉环20可与第二耦合器400的第六波导420和第七波导430连接。

可选的，光学陀螺仪1还可包括信号处理电路，信号处理电可与探测器700连接，使得探测器700检测所得的电信号能够经过信号处理电路以得到陀螺仪的转动电信号，从而实现光学陀螺仪1的测量工作。

由于本申请实施例提供的光学陀螺仪1包括上述任一实施例所述的集成光学芯片10，因此本申请实施例提供的光学陀螺仪1具有上述任一实施例所述的集成光学芯片10具有的有益效果，在此不再赘述。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为了描述的方便和简洁，上述描述的系统、模块和单元的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。应理解，本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种集成光学芯片，用于光学陀螺仪，其特征在于，包括：

衬底；

第一耦合器，设置于所述衬底并用于与光源和探测器连接；

监测器，设置于所述衬底并与所述第一耦合器连接，所述监测器用于采集所述光源发出光的光学参数；

第二耦合器，设置于所述衬底并用于与所述光学陀螺仪的干涉环连接；

起偏器，设置于所述衬底并连接于所述第一耦合器与所述第二耦合器之间。

2.根据权利要求1所述的集成光学芯片，其特征在于，所述光学参数包括光功率和/或波长。

3.根据权利要求2所述的集成光学芯片，其特征在于，所述光学参数包括光功率，所述监测器包括光功率计；

和/或，所述光学参数包括波长，所述监测器包括光谱仪。

4.根据权利要求1所述的集成光学芯片，其特征在于，所述第一耦合器包括第一波导、第二波导、第三波导以及第四波导，所述第一波导用于与所述光源连接，所述第二波导用于与所述探测器连接，所述第三波导与所述起偏器连接，所述第四波导与所述监测器连接。

5.根据权利要求4所述的集成光学芯片，其特征在于，所述集成光学芯片还包括光源，所述光源与所述第一波导连接；

和/或，所述集成光学芯片还包括探测器，所述探测器与所述第二波导连接。

6.根据权利要求1所述的集成光学芯片，其特征在于，所述第一耦合器与所述第二耦合器分设于所述起偏器在第一方向上的两侧，所述监测器位于所述起偏器在第二方向上的一侧，其中，所述第一方向与所述第二方向相交。

7.根据权利要求1至6任一项所述的集成光学芯片，其特征在于，所述集成光学芯片还包括设置于所述衬底的相位调制器，所述相位调制器用于调制所述第二耦合器中光的相位。

8.根据权利要求7所述的集成光学芯片，其特征在于，所述第二耦合器包括第五波导、第六波导以及第七波导，所述第五波导与所述起偏器连接，所述第六波导与所述第七波导用于与所述干涉环连接，所述相位调制器包括调制电极，所述调制电极设置于所述第六波导的两侧，和/或，所述调制电极设置于所述第七波导的两侧。

9.根据权利要求1至6任一项所述的集成光学芯片，其特征在于，所述第一耦合器包括多模干涉耦合器、定向耦合器中的至少一种；

和/或，所述第二耦合器包括多模干涉耦合器、定向耦合器中的至少一种。

10.一种光学陀螺仪，其特征在于，包括：

干涉环；

如权利要求1-9任一项所述的集成光学芯片，所述第二耦合器与所述干涉环连接。