CN220619190U - 一种直拉单晶炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于单晶炉领域，具体的说是一种直拉单晶炉，包括单晶炉本体、所述单晶炉本体的顶部侧壁上固接有板阀；所述板阀靠近单晶炉本体的一侧固接有石英管；所述板阀远离单晶炉本体的一侧设有送料组件；所述送料组件的顶部设有壳体；所述壳体的顶部固接有第一管体和第二管体；所述第一管体的顶部固接有外筒体；所述第二管体的顶端固接有内筒体；所述内筒体固接在外筒体的内部，依靠小块的物料铺在底部可以对大粒径物料进行缓冲，从而减少大粒径物料撞击硅液，从而降低硅液飞溅，从而进而减少硅料的损失以及对单晶炉内部元器件的损害的情况。

Description

一种直拉单晶炉

技术领域

本实用新型涉及单晶炉领域，具体是一种直拉单晶炉。

背景技术

单晶炉是一种将多晶硅融化，然后通过直拉法而生长无错位单晶的设备，其内部工作环境充满惰性气体。

目前现有技术中，单晶炉在工作的过程中，工作人员需要向主炉室内的坩埚中复投硅料，送料系统主要由送料机构、阀门和石英管组成，阀门安装在单晶炉的顶部，石英管和送料机构分别安装在阀门的两侧，石英管穿过单晶炉体，石英管端部在坩埚上沿处，依靠送料机构向石英管内部送入硅料，然后石英管从坩埚的边缘送入。

但是，物料内的大粒径硅料，其质量较大，在送入的过程中，大粒径硅料会撞击硅液，造成硅液飞溅，导致了硅料的损失以及对单晶炉内部元器件的损害；因此，针对上述问题提出一种直拉单晶炉。

实用新型内容

为了弥补现有技术的不足，解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：本实用新型所述的一种直拉单晶炉，包括单晶炉本体、所述单晶炉本体的顶部侧壁上固接有板阀；所述板阀靠近单晶炉本体的一侧固接有石英管；所述板阀远离单晶炉本体的一侧设有送料组件；所述送料组件的顶部设有壳体；所述壳体的顶部固接有第一管体和第二管体；所述第一管体的顶部固接有外筒体；所述第二管体的顶端固接有内筒体；所述内筒体固接在外筒体的内部；所述第二管体贯穿外筒体并与其固接；所述内筒体的中部固接有打击环；所述打击环的中部固接有筛板；所述内筒体与筛板对应位置处开设有通槽；所述壳体的侧面固接有电推杆；所述电推杆的输出端固接有堵板；所述堵板位于壳体的内部；所述堵板位于第二管体的底部。

优选的，所述送料组件包括送料管；所述送料管固接在板阀远离单晶炉本体的一侧；所述送料管远离板阀的一端转动连接有送料绞龙；所述送料管的远离单晶炉本体的一端固接有送料电机；所述送料电机的输出端与送料绞龙固接；所述壳体固接在送料管的顶部。

优选的，所述壳体的内壁的两侧呈对称固接有一对滑轨；所述滑轨上滑动连接有一对滑块；所述滑块与堵板的侧壁固接。

优选的，所述内筒体的内侧壁上固接有支架；所述支架的中部固接有清理电机；所述清理电机的输出端固接有转轴；所述转轴贯穿筛板的中部并有其转动连接；所述转轴的顶部固接有多个弧形推杆。

优选的，所述内筒体的中部内侧壁上固接有导料斗；所述导料斗呈圆台形结构设计；所述导料斗的中部固接有下料管；所述导料斗位于筛板的顶部；所述转轴位于导料斗底部。

优选的，所述转轴的端固接有多个弹性杆；所述弹性杆远离转轴的一端固接有磁球；所述支架的顶侧固接有多个磁块；所述磁球位于打击环的底部。

本实用新型的有益之处在于：

1.本实用新型通过设置堵板、筛板、打击环、内筒体、外筒体、第一管体、第二管体、壳体和电推杆，在使用时，依靠筛分将物料内的大粒径的物料进行筛分出来，之后通过控制电推杆，电推杆带动堵板进行移动将第二管体堵上，然后大粒径的物料从第一管体落入送料管内部，之后再将大粒径的物料送入坩埚内，之后依靠不断的切换堵板的位置，以此可以将物料以一层小块物料一层大粒径物料的方式堆叠的放入到坩埚内，依靠小块的物料铺在底部可以对大粒径物料进行缓冲，从而减少大粒径物料撞击硅液，从而降低硅液飞溅，从而进而减少硅料的损失以及对单晶炉内部元器件的损害的情况；

2.本实用新型通过设置清理电机、转轴和弧形推杆，在使用时，启动清理电机，清理电机带动转轴和弧形推杆进行旋转，弧形推杆的旋转会将筛板上方的大粒径物料推入到外筒体内，从而减少物料在筛板上堆积，进而降低大粒径物料堆积对筛分效果的影响。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型中送料管结构示意图；

图3为本实用新型中外筒体结构示意图；

图4为本实用新型中筛板的结构示意图。

图中：11、单晶炉本体；12、板阀；13、石英管；14、壳体；141、第一管体；15、第二管体；16、外筒体；17、内筒体；18、打击环；19、筛板；191、电推杆；192、堵板；21、送料管；22、送料绞龙；31、滑轨；32、滑块；41、支架；42、转轴；43、弧形推杆；44、清理电机；51、导料斗；52、下料管；61、弹性杆；62、磁球；63、磁块；7、罩体。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

下面给出具体实施例。

请参阅图1-4所示，一种直拉单晶炉，包括单晶炉本体11、所述单晶炉本体11的顶部侧壁上固接有板阀12；所述板阀12靠近单晶炉本体11的一侧固接有石英管13；所述板阀12远离单晶炉本体11的一侧设有送料组件；所述送料组件的顶部设有壳体14；所述壳体14的顶部固接有第一管体141和第二管体15；所述第一管体141的顶部固接有外筒体16；所述第二管体15的顶端固接有内筒体17；所述内筒体17固接在外筒体16的内部；所述第二管体15贯穿外筒体16并与其固接；所述内筒体17的中部固接有打击环18；所述打击环18的中部固接有筛板19；所述内筒体17与筛板19对应位置处开设有通槽；所述壳体14的侧面固接有电推杆191；所述电推杆191的输出端固接有堵板192；所述堵板192位于壳体14的内部；所述堵板192位于第二管体15的底部；所述送料组件包括送料管21；所述送料管21固接在板阀12远离单晶炉本体11的一侧；所述送料管21远离板阀12的一端转动连接有送料绞龙22；所述送料管21的远离单晶炉本体11的一端固接有送料电机；所述送料电机的输出端与送料绞龙22固接；所述壳体14固接在送料管21的顶部；在对单晶炉上料时，工作人员向内筒体17内送入硅料，内筒体17的内部的硅料落在筛板19，依靠筛板19硅料进行筛分，大粒径的硅料会从筛板19侧面的通槽掉入外筒体16内，进入第一管体141的内部，小块硅料会沿着内筒体17进入第二管体15，之后打开板阀12，然后启动送料电机，小块硅料会第二管体15落入到送料管21内的内部，之后在送料绞龙22的作用下，以此将小块硅料通过送料管21和石英管13送入到坩埚内，之后控制电推杆191，电推杆191带动堵板192进行移动将第二管体15堵上，然后大粒径的硅料从第一管体141落入送料管21内部，之后再将大粒径的硅料送入坩埚内，之后依靠不断的切换堵板192的位置，以此可以将硅料以一层小块硅料一层大粒径硅料的方式堆叠的放入到坩埚内，依靠小块的硅料铺在底部可以对大粒径硅料进行缓冲，从而减少大粒径硅料撞击硅液，从而降低硅液飞溅，从而进而减少硅料的损失以及对单晶炉内部元器件的损害的情况。

进一步的，如图3所示，所述壳体14的内壁的两侧呈对称固接有一对滑轨31；所述滑轨31上滑动连接有一对滑块32；所述滑块32与堵板192的侧壁固接；在使用时，堵板192的移动会带动滑块32在滑轨31上进行滑动，依靠滑块32和滑轨31的配合，以此可以提高堵板192移动的稳定性，减少堵板192发生滑动的情况，并且分摊电推杆191承受重量。

进一步的，如图2-4所示，所述内筒体17的内侧壁上固接有支架41；所述支架41的中部固接有清理电机44；所述清理电机44的输出端固接有转轴42；所述转轴42贯穿筛板19的中部并有其转动连接；所述转轴42的顶部固接有多个弧形推杆43；在使用时，启动清理电机44，清理电机44带动转轴42和弧形推杆43进行旋转，弧形推杆43的旋转会将筛板19上方的大粒径硅料推入到外筒体16内，从而减少硅料在筛板19上堆积，进而降低大粒径硅料堆积对筛分效果的影响。

进一步的，如图2-3所示，所述内筒体17的中部内侧壁上固接有导料斗51；所述导料斗51呈圆台形结构设计；所述导料斗51的中部固接有下料管52；所述导料斗51位于筛板19的顶部；所述转轴42位于导料斗51底部；在使用时，内筒体17内的硅料在导料斗51的作用下，向筛板19的中部进行聚集，之后从导料斗51的底部向下排出，然后落下的硅料粉碎到转轴42的四周，依靠该设置将硅料分布在筛板19的中部，然后再被弧形推杆43推到外筒体16的内部，依靠该设置可以便于对硅料进行充分筛分。

进一步的，如图3-4所示，所述转轴42的端固接有多个弹性杆61；所述弹性杆61远离转轴42的一端固接有磁球62；所述支架41的顶侧固接有多个磁块63；所述磁球62位于打击环18的底部；在使用时，转轴42的旋转会带动多个弹性杆61进行转动，在弹性杆61带动磁球62旋转，旋转过程中，磁球62与磁块63靠近，磁块63对磁球62进行吸引，使得弹性杆61向下弯曲，然后伴随弹性杆61继续旋转，磁球62会对打击板进行击打，以此使得筛板19进行震动，以此可以起到对筛板19疏通的作用，减少筛板19被堵塞的情况。

进一步的，如图3-4所示，所述支架41的中部固接罩体7；所述清理电机44位于罩体7的内部，在使用时，依靠设置罩体7笼罩在清理电机44上，以此可以减少硅料粘附清理电机44上，并且减少清理电机44上的异物对硅料造成污染。

工作原理，在对单晶炉上料时，工作人员向内筒体17内送入硅料，内筒体17的内部的硅料落在筛板19，依靠筛板19硅料进行筛分，大粒径的硅料会从筛板19侧面的通槽掉入外筒体16内，进入第一管体141的内部，小块硅料会沿着内筒体17进入第二管体15，之后打开板阀12，然后启动送料电机，小块硅料会第二管体15落入到送料管21内的内部，之后在送料绞龙22的作用下，以此将小块硅料通过送料管21和石英管13送入到坩埚内，之后控制电推杆191，电推杆191带动堵板192进行移动将第二管体15堵上，然后大粒径的硅料从第一管体141落入送料管21内部，之后再将大粒径的硅料送入坩埚内，之后依靠不断的切换堵板192的位置，以此可以将硅料以一层小块硅料一层大粒径硅料的方式堆叠的放入到坩埚内，依靠小块的硅料铺在底部可以对大粒径硅料进行缓冲，从而减少大粒径硅料撞击硅液，从而降低硅液飞溅，从而进而减少硅料的损失以及对单晶炉内部元器件的损害的情况，在使用时，堵板192的移动会带动滑块32在滑轨31上进行滑动，依靠滑块32和滑轨31的配合，以此可以提高堵板192移动的稳定性，减少堵板192发生滑动的情况，并且分摊电推杆191承受重量，在使用时，启动清理电机44，清理电机44带动转轴42和弧形推杆43进行旋转，弧形推杆43的旋转会将筛板19上方的大粒径硅料推入到外筒体16内，从而减少硅料在筛板19上堆积，进而降低大粒径硅料堆积对筛分效果的影响，内筒体17内的硅料在导料斗51的作用下，向筛板19的中部进行聚集，之后从导料斗51的底部向下排出，然后落下的硅料粉碎到转轴42的四周，依靠该设置将硅料分布在筛板19的中部，然后再被弧形推杆43推到外筒体16的内部，依靠该设置可以便于对硅料进行充分筛分，在使用时，转轴42的旋转会带动多个弹性杆61进行转动，在弹性杆61带动磁球62旋转，旋转过程中，磁球62与磁块63靠近，磁块63对磁球62进行吸引，使得弹性杆61向下弯曲，然后伴随弹性杆61继续旋转，磁球62会对打击板进行击打，以此使得筛板19进行震动，以此可以起到对筛板19疏通的作用，减少筛板19被堵塞的情况，依靠设置罩体7笼罩在清理电机44上，以此可以减少硅料粘附清理电机44上，并且减少清理电机44上的异物对硅料造成污染。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。

Claims (6)

1.一种直拉单晶炉，包括单晶炉本体(11)、所述单晶炉本体(11)的顶部侧壁上固接有板阀(12)；所述板阀(12)靠近单晶炉本体(11)的一侧固接有石英管(13)；其特征在于：所述板阀(12)远离单晶炉本体(11)的一侧设有送料组件；所述送料组件的顶部设有壳体(14)；所述壳体(14)的顶部固接有第一管体(141)和第二管体(15)；所述第一管体(141)的顶部固接有外筒体(16)；所述第二管体(15)的顶端固接有内筒体(17)；所述内筒体(17)固接在外筒体(16)的内部；所述第二管体(15)贯穿外筒体(16)并与其固接；所述内筒体(17)的中部固接有打击环(18)；所述打击环(18)的中部固接有筛板(19)；所述内筒体(17)与筛板(19)对应位置处开设有通槽；所述壳体(14)的侧面固接有电推杆(191)；所述电推杆(191)的输出端固接有堵板(192)；所述堵板(192)位于壳体(14)的内部；所述堵板(192)位于第二管体(15)的底部。

2.根据权利要求1所述的一种直拉单晶炉，其特征在于：所述送料组件包括送料管(21)；所述送料管(21)固接在板阀(12)远离单晶炉本体(11)的一侧；所述送料管(21)远离板阀(12)的一端转动连接有送料绞龙(22)；所述送料管(21)的远离单晶炉本体(11)的一端固接有送料电机；所述送料电机的输出端与送料绞龙(22)固接；所述壳体(14)固接在送料管(21)的顶部。

3.根据权利要求2所述的一种直拉单晶炉，其特征在于：所述壳体(14)的内壁的两侧呈对称固接有一对滑轨(31)；所述滑轨(31)上滑动连接有一对滑块(32)；所述滑块(32)与堵板(192)的侧壁固接。

4.根据权利要求1所述的一种直拉单晶炉，其特征在于：所述内筒体(17)的内侧壁上固接有支架(41)；所述支架(41)的中部固接有清理电机(44)；所述清理电机(44)的输出端固接有转轴(42)；所述转轴(42)贯穿筛板(19)的中部并有其转动连接；所述转轴(42)的顶部固接有多个弧形推杆(43)。

5.根据权利要求4所述的一种直拉单晶炉，其特征在于：所述内筒体(17)的中部内侧壁上固接有导料斗(51)；所述导料斗(51)呈圆台形结构设计；所述导料斗(51)的中部固接有下料管(52)；所述导料斗(51)位于筛板(19)的顶部；所述转轴(42)位于导料斗(51)底部。

6.根据权利要求5所述的一种直拉单晶炉，其特征在于：所述转轴(42)的端固接有多个弹性杆(61)；所述弹性杆(61)远离转轴(42)的一端固接有磁球(62)；所述支架(41)的顶侧固接有多个磁块(63)；所述磁球(62)位于打击环(18)的底部。