CN220602601U - 一种半导体设备节流阀的压力及流量检测装置 - Google Patents
一种半导体设备节流阀的压力及流量检测装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN220602601U CN220602601U CN202322370495.4U CN202322370495U CN220602601U CN 220602601 U CN220602601 U CN 220602601U CN 202322370495 U CN202322370495 U CN 202322370495U CN 220602601 U CN220602601 U CN 220602601U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fixed
- detector
- throttle valve
- pressure
- connecting plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 24
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000036541 health Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种半导体设备节流阀的压力及流量检测装置，涉及半导体检测设备技术领域；而本实用新型包括节流阀外壳和拆卸机构，拆卸机构包括固定箱，固定箱固定安装在节流阀外壳的外侧；通过采用上述技术方案，固定箱和外侧设有连通的凹槽，检测器插设在凹槽中对半导体材料进行检测，通过手动旋转连接盘，连接盘带动联动板转动，联动板上的联动轴带动连接板转动，从而连接板上的固定柱在固定箱中滑动，限位弹簧对连接板进行限位，使固定柱对检测器夹持固定，反向转动连接盘从而迫使固定柱不再对检测器进行固定，从而便于取出检测器，进而方便对检测器拆卸更换或安装，从而提高了检测人员的检测便捷性和实用性。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体检测设备技术领域，具体为一种半导体设备节流阀的压力及流量检测装置。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。然后现有的半导体节流阀检测装置在使用时仍不太理想，其结构复杂不方便安装和拆卸更换，从而给工作人员带来了不小了检测繁琐性，不够便捷和实用，针对上述问题，发明人提出一种半导体设备节流阀的压力及流量检测装置用于解决上述问题。
实用新型内容
为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种半导体设备节流阀的压力及流量检测装置，包括节流阀外壳和拆卸机构，所述拆卸机构包括固定箱，所述固定箱固定安装在节流阀外壳的外侧，所述固定箱的外侧滑动插设有检测器，所述固定箱的外侧底部固定安装有连接块，所述连接块的顶部转动套设有连接盘，所述连接盘的顶部转动套设有联动板，所述联动板的另一端转动安装有联动轴，所述联动轴的顶端固定套设有连接板，所述连接板靠近固定箱的一侧固定安装有固定柱，所述固定柱贯穿固定箱和检测器接触，所述固定箱的外侧固定安装有限位弹簧，所述限位弹簧的另一端和连接板固定连接。
优选地，所述节流阀外壳的外侧底部固定插设有对称分布的流通管，所述流通管的外侧固定安装有均匀分布的减震弹簧，所述减震弹簧的外侧固定安装有对称分布的减震盖，所述减震盖的外侧固定安装有对称分布的固定板，所述固定板的外侧螺纹插设有调节螺栓。
优选地，所述流通管的外侧固定套设有防护环。
优选地，所述节流阀外壳的顶端螺纹插设有螺杆。
优选地，所述螺杆的底端固定安装有阀块，所述阀块的外表面和节流阀外壳的内壁贴合。
优选地，所述螺杆的顶端固定安装有转盘。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：
1、通过采用上述技术方案，固定箱和外侧设有连通的凹槽，检测器插设在凹槽中对半导体材料进行检测，通过手动旋转连接盘，连接盘带动联动板转动，联动板上的联动轴带动连接板转动，从而连接板上的固定柱在固定箱中滑动，限位弹簧对连接板进行限位，使固定柱对检测器夹持固定，反向转动连接盘从而迫使固定柱不再对检测器进行固定，从而便于取出检测器，进而方便对检测器拆卸更换或安装，从而提高了检测人员的检测便捷性和实用性；
2、通过采用上述技术方案，通过手动拧动调节螺栓来控制固定板带动减震盖对减震弹簧的夹紧，从而控制减震弹簧对流通管的夹紧，进而实现对流通管进行减震，有效的抑制了震动从而有效的减少了噪音对工作人员身体的影响。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型结构示意图。
图2为本实用新型减震盖结构拆分示意图。
图3为本实用新型拆卸机构结构拆分示意图。
图4为本实用新型联动轴和限位弹簧结构示意图。
图中：1、节流阀外壳；2、拆卸机构；11、螺杆；12、阀块；13、流通管；14、减震弹簧；15、减震盖；16、固定板；17、调节螺栓；18、防护环；19、转盘；20、固定箱；21、检测器；22、连接块；23、连接盘；25、联动板；26、联动轴；27、连接板；28、固定柱；29、限位弹簧。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例：如图1-4所示，本实用新型提供了一种技术方案：一种半导体设备节流阀的压力及流量检测装置，包括节流阀外壳1和拆卸机构2，所述拆卸机构2包括固定箱20，所述固定箱20固定安装在节流阀外壳1的外侧，所述固定箱20的外侧滑动插设有检测器21，所述固定箱20的外侧底部固定安装有连接块22，所述连接块22的顶部转动套设有连接盘23，所述连接盘23的顶部转动套设有联动板25，所述联动板25的另一端转动安装有联动轴26，所述联动轴26的顶端固定套设有连接板27，所述连接板27靠近固定箱20的一侧固定安装有固定柱28，所述固定柱28贯穿固定箱20和检测器21接触，所述固定箱20的外侧固定安装有限位弹簧29，所述限位弹簧29的另一端和连接板27固定连接。
通过采用上述技术方案，固定箱20和外侧设有连通的凹槽，检测器21插设在凹槽中对半导体材料进行检测，通过手动旋转连接盘23，连接盘23带动联动板25转动，联动板25上的联动轴26带动连接板27转动，从而连接板27上的固定柱28在固定箱20中滑动，限位弹簧29对连接板27进行限位，使固定柱28对检测器21夹持固定，反向转动连接盘23从而迫使固定柱28不再对检测器21进行固定，从而便于取出检测器21，进而方便对检测器21拆卸更换或安装，从而提高了检测人员的检测便捷性和实用性。
所述节流阀外壳1的外侧底部固定插设有对称分布的流通管13，所述流通管13的外侧固定安装有均匀分布的减震弹簧14，所述减震弹簧14的外侧固定安装有对称分布的减震盖15，所述减震盖15的外侧固定安装有对称分布的固定板16，所述固定板16的外侧螺纹插设有调节螺栓17。
通过采用上述技术方案，通过手动拧动调节螺栓17来控制固定板16带动减震盖15对减震弹簧14的夹紧，从而控制减震弹簧14对流通管13的夹紧，进而实现对流通管13进行减震，有效的抑制了震动从而有效的减少了噪音对工作人员身体的影响。
所述流通管13的外侧固定套设有防护环18。
通过采用上述技术方案，通过设置防护环18方便对流通管13的流动口进行防护，防止半导体材料泄漏。
所述节流阀外壳1的顶端螺纹插设有螺杆11。
通过采用上述技术方案，通过设置螺杆11方便调节阀块12在节流阀外壳1中的高低。
所述螺杆11的底端固定安装有阀块12，所述阀块12的外表面和节流阀外壳1的内壁贴合。
通过采用上述技术方案，通过设置阀块12方便控制节流阀外壳1阀口大小，从而控制流通管13中的流通量。
所述螺杆11的顶端固定安装有转盘19。
通过采用上述技术方案，通过设置转盘19方便转动螺杆11来调节阀块12。
工作原理：首先将21插入20中与01接触后进行检测，然后通过手动旋转连接盘23，连接盘23带动联动板25转动，联动板25上的联动轴26带动连接板27转动，从而连接板27上的固定柱28在固定箱20中滑动，限位弹簧29对连接板27进行限位，使固定柱28对检测器21夹持固定，同时，通过手动拧动调节螺栓17来控制固定板16带动减震盖15对减震弹簧14的夹紧，从而控制减震弹簧14对流通管13的夹紧，进而实现对流通管13进行减震，有效的抑制了震动从而有效的减少了噪音对工作人员身体的影响，检测结束后，反向转动连接盘23从而迫使固定柱28不再对检测器21进行固定，从而便于取出检测器21，进而方便对检测器21拆卸更换或安装，从而提高了检测人员的检测便捷性和实用性。
显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (6)
1.一种半导体设备节流阀的压力及流量检测装置，包括节流阀外壳(1)和拆卸机构(2)，其特征在于：所述拆卸机构(2)包括固定箱(20)，所述固定箱(20)固定安装在节流阀外壳(1)的外侧，所述固定箱(20)的外侧滑动插设有检测器(21)，所述固定箱(20)的外侧底部固定安装有连接块(22)，所述连接块(22)的顶部转动套设有连接盘(23)，所述连接盘(23)的顶部转动套设有联动板(25)，所述联动板(25)的另一端转动安装有联动轴(26)，所述联动轴(26)的顶端固定套设有连接板(27)，所述连接板(27)靠近固定箱(20)的一侧固定安装有固定柱(28)，所述固定柱(28)贯穿固定箱(20)和检测器(21)接触，所述固定箱(20)的外侧固定安装有限位弹簧(29)，所述限位弹簧(29)的另一端和连接板(27)固定连接。
2.如权利要求1所述的一种半导体设备节流阀的压力及流量检测装置，其特征在于，所述节流阀外壳(1)的外侧底部固定插设有对称分布的流通管(13)，所述流通管(13)的外侧固定安装有均匀分布的减震弹簧(14)，所述减震弹簧(14)的外侧固定安装有对称分布的减震盖(15)，所述减震盖(15)的外侧固定安装有对称分布的固定板(16)，所述固定板(16)的外侧螺纹插设有调节螺栓(17)。
3.如权利要求2所述的一种半导体设备节流阀的压力及流量检测装置，其特征在于，所述流通管(13)的外侧固定套设有防护环(18)。
4.如权利要求2所述的一种半导体设备节流阀的压力及流量检测装置，其特征在于，所述节流阀外壳(1)的顶端螺纹插设有螺杆(11)。
5.如权利要求4所述的一种半导体设备节流阀的压力及流量检测装置，其特征在于，所述螺杆(11)的底端固定安装有阀块(12)，所述阀块(12)的外表面和节流阀外壳(1)的内壁贴合。
6.如权利要求5所述的一种半导体设备节流阀的压力及流量检测装置，其特征在于，所述螺杆(11)的顶端固定安装有转盘(19)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322370495.4U CN220602601U (zh) | 2023-09-01 | 2023-09-01 | 一种半导体设备节流阀的压力及流量检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202322370495.4U CN220602601U (zh) | 2023-09-01 | 2023-09-01 | 一种半导体设备节流阀的压力及流量检测装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220602601U true CN220602601U (zh) | 2024-03-15 |
Family
ID=90165934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202322370495.4U Active CN220602601U (zh) | 2023-09-01 | 2023-09-01 | 一种半导体设备节流阀的压力及流量检测装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220602601U (zh) |
-
2023
- 2023-09-01 CN CN202322370495.4U patent/CN220602601U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN220602601U (zh) | 一种半导体设备节流阀的压力及流量检测装置 | |
| CN205193710U (zh) | 计算机硬盘减震装置 | |
| CN208254243U (zh) | 环冷机打滑检测装置 | |
| CN112460498B (zh) | 一种基于物联网的实时液体监测装置 | |
| CN212992366U (zh) | 一种工业物联网适配器 | |
| CN210537084U (zh) | 一种抗干扰的电子仪器机箱 | |
| CN107070055A (zh) | 一种电机防尘减震结构 | |
| CN208595358U (zh) | 一种保温降噪防护管道 | |
| CN207134683U (zh) | 一种双开门户外多防护电气柜 | |
| CN206898886U (zh) | 一种带电风扇的机床 | |
| CN221006646U (zh) | 一种机车机油压力变送器组件 | |
| CN202329800U (zh) | 一种振动传感装置 | |
| CN206338340U (zh) | 一种制冷压缩机联轴器护罩 | |
| CN213338608U (zh) | 一种人工智能金融数据采集设备 | |
| CN212929308U (zh) | 一种用于传感器的固定装置 | |
| CN219322772U (zh) | 一种单相交流电压变送器的电阻值显示屏 | |
| CN219640786U (zh) | 一种带有防护结构的动车换热器 | |
| CN214068519U (zh) | 一种电力变压器接线柱保护装置 | |
| CN211580437U (zh) | 涉密财务库报警装置 | |
| CN217633233U (zh) | 一种纸机液压系统比例阀检测装置 | |
| CN214369356U (zh) | 一种电厂热控管道测量装置 | |
| CN215609018U (zh) | 一种消防用泡沫撬控制柜 | |
| CN210744480U (zh) | 一种柜体密封机构 | |
| CN212519666U (zh) | 一种发电厂用变送器保护装置 | |
| CN219555547U (zh) | 一种储频干扰设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |