CN220509985U - 一种稳定支撑的石英承载器 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种稳定支撑的石英承载器，所属石英技术领域，包括：支撑板、支撑杆、支撑块、限位槽、第一限位部、第一固定螺母、滑槽、第二限位部和第二固定螺母；为了解决存在的只适应一种尺寸的晶圆片，且装置放置在桌面时，不便于调节装置的平衡，稳定性有待提高的问题，本装置采用转动第一固定螺母，使第一固定螺母沿着第一限位部移动，紧紧贴合在支撑板的两侧，从而固定第一限位部的位置，防止第一限位部移动，第二限位部可在滑槽内移动，从而根据实际使用情况，调节两个第二限位部之间的距离，并转动第二固定螺母，从而固定第二限位部的位置，防止第二限位部移动。

Description

一种稳定支撑的石英承载器

技术领域

本实用新型属于石英技术领域，具体涉及一种稳定支撑的石英承载器。

背景技术

石英承载器是用于承载晶圆片的装置，现有的技术中，石英承载器根据所需承载的晶圆片的尺寸定制，因此，只适应一种尺寸的晶圆片，且装置放置在桌面时，不便于调节装置的平衡，稳定性有待提高。

实用新型内容

为了解决上述现有技术中存在的只适应一种尺寸的晶圆片，且装置放置在桌面时，不便于调节装置的平衡，稳定性有待提高的问题，本实用新型提供一种稳定支撑的石英承载器，采用将第一限位部穿过两个支撑板，且将第一限位部嵌入限位槽内，对第一限位部进行限位，并转动第一固定螺母，使第一固定螺母沿着第一限位部移动，紧紧贴合在支撑板的两侧，从而固定第一限位部的位置，防止第一限位部移动，第二限位部可在滑槽内移动，从而根据实际使用情况，调节两个第二限位部之间的距离，并转动第二固定螺母，使第二固定螺母与支撑板的两侧紧紧贴合，从而固定第二限位部的位置，防止第二限位部移动，从而提升了装置的稳定性，并防止装置在桌面上倾斜，转动支撑块，使支撑块沿着支撑杆移动，从而调节装置的平衡，进一步提升了装置的稳定性。其具体技术方案为：

一种稳定支撑的石英承载器，包括：支撑板、支撑杆、支撑块、限位槽、第一限位部、第一固定螺母、滑槽、第二限位部和第二固定螺母；两个支撑板之间有距离；支撑杆的外壁设有第一外螺纹，四个支撑杆的一端分别穿过两个支撑板的两侧；支撑块内贯穿设有螺纹孔，螺纹孔内设有第一内螺纹，四个支撑块的螺纹孔分别套设在四个支撑杆的外侧，且支撑块与桌面相贴合；限位槽呈V型，四个限位槽分别贯穿设置在两个支撑板的两侧；第一限位部的外壁设有第二外螺纹，两个第一限位部的一端分别穿过两个支撑板，且两个至少部分第一限位部分别嵌入四个限位槽内；第一固定螺母内设有第二内螺纹，四个第一固定螺母分别套设在两个第一限位部的两端，且第一固定螺母分别与支撑板的两侧相贴合；两个滑槽分别贯穿设置在两个支撑板上；第二限位部的外壁设有第二外螺纹，两个第二限位部的一端分别穿过两个支撑板，且两个至少部分第二限位部分别嵌入两个滑槽内；第二固定螺母内设有第二内螺纹，四个第二固定螺母分别套设在两个第二限位部的两端，且第二固定螺母分别与支撑板的两侧相贴合；其中，第一内螺纹与第一外螺纹相适配，且第二内螺纹与第二外螺纹相适配。

另外，本实用新型提供的上述技术方案中的一种稳定支撑的石英承载器还可以具有如下附加技术特征：

在上述技术方案中，稳定支撑的石英承载器还包括：第一卡槽和第二卡槽；多个第一卡槽分别贯穿设置在两个第一限位部上；多个第二卡槽分别贯穿设置在两个第二限位部上。

在上述技术方案中，稳定支撑的石英承载器还包括：第三固定螺母和第四固定螺母；第三固定螺母内设有第一内螺纹，四个第三固定螺母分别套设在四个支撑杆的外侧，且第三固定螺母分别与两个支撑板的顶面相贴合；第四固定螺母内设有第一内螺纹，四个第四固定螺母分别套设在四个支撑杆的外侧，且第四固定螺母分别与两个支撑板的底面相贴合。

在上述技术方案中，稳定支撑的石英承载器还包括：加固板；两个加固板的两端分别与两个支撑板的两侧相连接。

在上述技术方案中，稳定支撑的石英承载器还包括：条形槽和连接块；四个条形槽分别贯穿设置在两个支撑板的两侧；四个连接块分别与两个加固板的两端相连接，且四个连接块分别嵌入四个条形槽内。

在上述技术方案中，稳定支撑的石英承载器为石英体。

本实用新型的一种稳定支撑的石英承载器，与现有技术相比，有益效果为：

1.在安装时石英承载器时，将第一限位部穿过两个支撑板，且将第一限位部嵌入限位槽内，对第一限位部进行限位，并转动第一固定螺母，使第一固定螺母沿着第一限位部移动，紧紧贴合在支撑板的两侧，从而固定第一限位部的位置，防止第一限位部移动，第二限位部可在滑槽内移动，从而根据实际使用情况，调节两个第二限位部之间的距离，并转动第二固定螺母，使第二固定螺母与支撑板的两侧紧紧贴合，从而固定第二限位部的位置，防止第二限位部移动，从而提升了装置的稳定性，并防止装置在桌面上倾斜，转动支撑块，使支撑块沿着支撑杆移动，从而调节装置的平衡，进一步提升了装置的稳定性。

2.将晶圆片分别同时嵌入第一卡槽和第二卡槽内，从而实现四点确定承载晶圆片的位置的作用。

3.在安装时，将支撑杆穿过支撑板的两侧，转动第三固定螺母和第四固定螺母，使第三固定螺母和第四固定螺母，分别与支撑板的两侧相贴合，从而固定支撑板的位置，防止支撑板移动，提升装置的稳定性，且便于工作人员安装。

4.将连接块从条形槽内插入，从而确定加固板的位置，进而提升了装置的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型的一种稳定支撑的石英承载器的俯视图；

图2为本实用新型的一种稳定支撑的石英承载器的侧视图；

图3为本实用新型的一种稳定支撑的石英承载器的正视图；

图4为本实用新型的支撑板的正视图；

其中，图1至图4中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：

10支撑板，12支撑杆，14支撑块，16限位槽，18第一限位部，20第一固定螺母，22滑槽，24第二限位部，26第二固定螺母，28第一卡槽，30第二卡槽，32第三固定螺母，34第四固定螺母，36加固板，38条形槽，40连接块

具体实施方式

下面结合具体实施案例和附图1-4对本实用新型作进一步说明，但本实用新型并不局限于这些实施例。

一种稳定支撑的石英承载器，如图1-4所示，包括：支撑板10、支撑杆12、支撑块14、限位槽16、第一限位部18、第一固定螺母20、滑槽22、第二限位部24和第二固定螺母26；两个支撑板10之间有距离；支撑杆12的外壁设有第一外螺纹，四个支撑杆12的一端分别穿过两个支撑板10的两侧；支撑块14内贯穿设有螺纹孔，螺纹孔内设有第一内螺纹，四个支撑块14的螺纹孔分别套设在四个支撑杆12的外侧，且支撑块14与桌面相贴合；限位槽16呈V型，四个限位槽16分别贯穿设置在两个支撑板10的两侧；第一限位部18的外壁设有第二外螺纹，两个第一限位部18的一端分别穿过两个支撑板10，且两个至少部分第一限位部18分别嵌入四个限位槽16内；第一固定螺母20内设有第二内螺纹，四个第一固定螺母20分别套设在两个第一限位部18的两端，且第一固定螺母20分别与支撑板10的两侧相贴合；两个滑槽22分别贯穿设置在两个支撑板10上；第二限位部24的外壁设有第二外螺纹，两个第二限位部24的一端分别穿过两个支撑板10，且两个至少部分第二限位部24分别嵌入两个滑槽22内；第二固定螺母26内设有第二内螺纹，四个第二固定螺母26分别套设在两个第二限位部24的两端，且第二固定螺母26分别与支撑板10的两侧相贴合；其中，第一内螺纹与第一外螺纹相适配，且第二内螺纹与第二外螺纹相适配。

通过将两个支撑板10之间有距离，并将支撑杆12的外壁设有第一外螺纹，四个支撑杆12的一端分别穿过两个支撑板10的两侧，实现了支撑杆12对支撑板10支撑的作用；再次，通过将支撑块14内贯穿设有螺纹孔，螺纹孔内设有第一内螺纹，四个支撑块14的螺纹孔分别套设在四个支撑杆12的外侧，且支撑块14与桌面相贴合，实现了转动支撑块14，使支撑块14沿着支撑杆12移动，从而调节装置的平衡的作用；再次，通过将限位槽16呈V型，四个限位槽16分别贯穿设置在两个支撑板10的两侧，并将第一限位部18的外壁设有第二外螺纹，两个第一限位部18的一端分别穿过两个支撑板10，且两个至少部分第一限位部18分别嵌入四个限位槽16内，实现了限位槽16对第一限位部18限位的作用；再次，通过将第一固定螺母20内设有第二内螺纹，四个第一固定螺母20分别套设在两个第一限位部18的两端，且第一固定螺母20分别与支撑板10的两侧相贴合，实现了转动第一固定螺母20，使第一固定螺母20紧紧贴合在支撑板10的侧壁，从而固定第一限位部18的位置的作用；再次，通过将两个滑槽22分别贯穿设置在两个支撑板10上，并将第二限位部24的外壁设有第二外螺纹，两个第二限位部24的一端分别穿过两个支撑板10，且两个至少部分第二限位部24分别嵌入两个滑槽22内，实现了第二限位部24可在滑槽22内移动的作用；再次，通过将第二固定螺母26内设有第二内螺纹，四个第二固定螺母26分别套设在两个第二限位部24的两端，且第二固定螺母26分别与支撑板10的两侧相贴合，实现了转动第二固定螺母26，使第二固定螺母26固定第二限位部24的位置的作用；采用上述结构，通过将在安装时石英承载器时，将第一限位部18穿过两个支撑板10，且将第一限位部18嵌入限位槽16内，对第一限位部18进行限位，并转动第一固定螺母20，使第一固定螺母20沿着第一限位部18移动，紧紧贴合在支撑板10的两侧，从而固定第一限位部18的位置，防止第一限位部18移动，第二限位部24可在滑槽22内移动，从而根据实际使用情况，调节两个第二限位部24之间的距离，并转动第二固定螺母26，使第二固定螺母26与支撑板10的两侧紧紧贴合，从而固定第二限位部24的位置，防止第二限位部24移动，从而提升了装置的稳定性，并防止装置在桌面上倾斜，转动支撑块14，使支撑块14沿着支撑杆12移动，从而调节装置的平衡，进一步提升了装置的稳定性。

在本实用新型的实施例中，如图1-4所示，稳定支撑的石英承载器还包括：第一卡槽28和第二卡槽30；多个第一卡槽28分别贯穿设置在两个第一限位部18上；多个第二卡槽30分别贯穿设置在两个第二限位部24上。

通过将多个第一卡槽28分别贯穿设置在两个第一限位部18上，并将多个第二卡槽30分别贯穿设置在两个第二限位部24上，实现了将晶圆片分别同时嵌入第一卡槽28和第二卡槽30内，从而实现四点确定承载晶圆片的位置的作用。

在本实用新型的实施例中，如图1-4所示，稳定支撑的石英承载器还包括：第三固定螺母32和第四固定螺母34；第三固定螺母32内设有第一内螺纹，四个第三固定螺母32分别套设在四个支撑杆12的外侧，且第三固定螺母32分别与两个支撑板10的顶面相贴合；第四固定螺母34内设有第一内螺纹，四个第四固定螺母34分别套设在四个支撑杆12的外侧，且第四固定螺母34分别与两个支撑板10的底面相贴合。

通过将第三固定螺母32内设有第一内螺纹，四个第三固定螺母32分别套设在四个支撑杆12的外侧，且第三固定螺母32分别与两个支撑板10的顶面相贴合，实现了转动第三固定螺母32，使第三固定螺母32固定支撑板10一侧的位置的作用；再次，通过将第四固定螺母34内设有第一内螺纹，四个第四固定螺母34分别套设在四个支撑杆12的外侧，且第四固定螺母34分别与两个支撑板10的底面相贴合，实现了在安装时，将支撑杆12穿过支撑板10的两侧，转动第三固定螺母32和第四固定螺母34，使第三固定螺母32和第四固定螺母34，分别与支撑板10的两侧相贴合，从而固定支撑板10的位置，防止支撑板10移动，提升装置的稳定性，且便于工作人员安装。

在本实用新型的实施例中，如图1-4所示，稳定支撑的石英承载器还包括：加固板36；两个加固板36的两端分别与两个支撑板10的两侧相连接。

通过将两个加固板36的两端分别与两个支撑板10的两侧相连接，实现了加固板36增加了装置的接触面积，从而增加了稳定性。

在本实用新型的实施例中，如图1-4所示，稳定支撑的石英承载器还包括：条形槽38和连接块40；四个条形槽38分别贯穿设置在两个支撑板10的两侧；四个连接块40分别与两个加固板36的两端相连接，且四个连接块40分别嵌入四个条形槽38内。

通过将四个条形槽38分别贯穿设置在两个支撑板10的两侧，并将四个连接块40分别与两个加固板36的两端相连接，且四个连接块40分别嵌入四个条形槽38内，实现了将连接块40从条形槽38内插入，从而确定加固板36的位置，便于工作人员进行安装，进而提升了装置的稳定性。

在本实用新型的实施例中，如图1-4所示，稳定支撑的石英承载器为石英体。

通过将稳定支撑的石英承载器为石英体以使石英承载装置为绝缘体，从而使圆晶片处于绝缘环境，以防止产生电流，导致圆晶片损坏，从而达到提高圆晶片质量的目的。

在本实用新型的描述中，术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本实用新型中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种稳定支撑的石英承载器，其特征在于，所述稳定支撑的石英承载器包括：

支撑板，两个所述支撑板之间有距离；

支撑杆，所述支撑杆的外壁设有第一外螺纹，四个所述支撑杆的一端分别穿过两个所述支撑板的两侧；

支撑块，所述支撑块内贯穿设有螺纹孔，所述螺纹孔内设有第一内螺纹，四个所述支撑块的螺纹孔分别套设在四个所述支撑杆的外侧，且所述支撑块与桌面相贴合；

限位槽，所述限位槽呈V型，四个所述限位槽分别贯穿设置在两个所述支撑板的两侧；

第一限位部，所述第一限位部的外壁设有第二外螺纹，两个所述第一限位部的一端分别穿过两个所述支撑板，且两个至少部分所述第一限位部分别嵌入四个所述限位槽内；

第一固定螺母，所述第一固定螺母内设有第二内螺纹，四个所述第一固定螺母分别套设在两个所述第一限位部的两端，且所述第一固定螺母分别与所述支撑板的两侧相贴合；

滑槽，两个所述滑槽分别贯穿设置在两个所述支撑板上；

第二限位部，所述第二限位部的外壁设有第二外螺纹，两个所述第二限位部的一端分别穿过两个所述支撑板，且两个至少部分所述第二限位部分别嵌入两个所述滑槽内；

第二固定螺母，所述第二固定螺母内设有第二内螺纹，四个所述第二固定螺母分别套设在两个所述第二限位部的两端，且所述第二固定螺母分别与所述支撑板的两侧相贴合；

其中，所述第一内螺纹与所述第一外螺纹相适配，且所述第二内螺纹与所述第二外螺纹相适配。

2.根据权利要求1所述的一种稳定支撑的石英承载器，其特征在于，所述稳定支撑的石英承载器还包括：

第一卡槽，多个所述第一卡槽分别贯穿设置在两个所述第一限位部上；

第二卡槽，多个所述第二卡槽分别贯穿设置在两个所述第二限位部上。

3.根据权利要求2所述的一种稳定支撑的石英承载器，其特征在于，所述稳定支撑的石英承载器还包括：

第三固定螺母，所述第三固定螺母内设有第一内螺纹，四个所述第三固定螺母分别套设在四个所述支撑杆的外侧，且所述第三固定螺母分别与两个所述支撑板的顶面相贴合；

第四固定螺母，所述第四固定螺母内设有第一内螺纹，四个所述第四固定螺母分别套设在四个所述支撑杆的外侧，且所述第四固定螺母分别与两个所述支撑板的底面相贴合。

4.根据权利要求3所述的一种稳定支撑的石英承载器，其特征在于，所述稳定支撑的石英承载器还包括：

加固板，两个所述加固板的两端分别与两个所述支撑板的两侧相连接。

5.根据权利要求4所述的一种稳定支撑的石英承载器，其特征在于，所述稳定支撑的石英承载器还包括：

条形槽，四个所述条形槽分别贯穿设置在两个所述支撑板的两侧；

连接块，四个所述连接块分别与两个所述加固板的两端相连接，且四个所述连接块分别嵌入四个所述条形槽内。

6.根据权利要求5所述的一种稳定支撑的石英承载器，其特征在于：

所述稳定支撑的石英承载器为石英体。