CN220473450U - 一种硅片清洗槽用的超声检定定位装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种硅片清洗槽用的超声检定定位装置，包括定位板，所述定位板上设有定位孔，超声检测器的探头插设于所述定位孔中；经度架，对称设于所述定位板上，每个所述经度架的两端分别连接所述定位板和硅片清洗槽；沿所述定位板的长度方向，所述经度架可调节所述定位板与所述硅片清洗槽之间的距离；纬度架，对称设于所述定位板上，每个所述纬度架的两端分别连接所述定位板和硅片清洗槽；沿所述定位板的宽度方向，所述经度架可调节所述定位板与所述硅片清洗槽之间的距离；所述经度架和所述纬度架上均设有刻度。本实用新型适用于多种尺寸的硅片清洗槽，可对超声检测器的探头进行定位，保证检测过程中探头的垂直度，保证每次检定点位的一致性。

Description

一种硅片清洗槽用的超声检定定位装置

技术领域

本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，尤其是涉及一种硅片清洗槽用的超声检定定位装置。

背景技术

在硅片生产过程中，抛光和清洗是非常重要的两个步骤，清洗就是在硅片清洗槽中加入化学药剂和水，以除去抛光过后硅片表面沾连的颗粒状物质及有机污物等。一般，为了提高清洗效率和清洗质量，还会在硅片清洗槽中放入超声振板，在超声振动的协助下快速从硅片表面剥离污物。

超声振板中包括多个发生器，若其中的发生器发生故障，则会导致清洗效率和清洗质量降低，故需要定期对硅片清洗槽中的超声振板做性能检定，常用的检定方法是在开启超声振板的条件下，人工手持音压检测计检测硅片清洗槽内各点位的音压较往期检定数据有无衰减，但是此种方法会存在每次测试的位置都不固定的问题，没有办法保证此次检定数据和往期检定数据是否来自相同点位，会导致检定结果出现偏差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片清洗槽用的超声检定定位装置，以解决上述背景中的问题。

本实用新型采用的技术方案是：一种硅片清洗槽用的超声检定定位装置，包括：

定位板，所述定位板上设有若干个定位孔，超声检测器的探头插设于所述定位孔中；

经度架，对称设于所述定位板上，每个所述经度架的两端分别连接所述定位板和硅片清洗槽；沿所述定位板的长度方向，所述经度架可调节所述定位板与所述硅片清洗槽之间的距离；

纬度架，对称设于所述定位板上，每个所述纬度架的两端分别连接所述定位板和硅片清洗槽；沿所述定位板的宽度方向，所述经度架可调节所述定位板与所述硅片清洗槽之间的距离；

所述经度架和所述纬度架上均设有刻度。

进一步的，所述经度架包括第一刻度板和第一限位板，所述第一刻度板的两端分别连接所述第一限位板和所述定位板；所述纬度架包括第二刻度板和第二限位板，所述第二刻度板的两端分别连接所述第二限位板和所述定位板；所述第一刻度板和所述第二刻度板均为伸缩板，所述第一限位板和所述第二限位板均与所述定位板垂直。

进一步的，所述经度架包括第一刻度板和第一限位板，二者呈L形连接，所述第一刻度板上设有第一条形通孔，所述第一条形通孔中设有第一螺栓，所述第一螺栓与所述定位板固连；所述纬度架包括第二刻度板和第二限位板，二者呈L形连接，所述第二刻度板上设有第二条形通孔，所述第二条形通孔中设有第二螺栓，所述第二螺栓与所述定位板固连。

进一步的，所述定位板的顶部或底部设有辅助板，所述辅助板上设有与所述定位孔对应的辅助孔，所述定位板与所述辅助板通过竖杆连接。

进一步的，所述定位板的顶部设有辅助板，所述辅助板上设有与所述定位孔对应的辅助孔，所述定位板和所述辅助板通过调距器连接。

进一步的，所述调距器包括螺杆，其顶端与所述辅助板转动连接，其底端贯穿所述定位板并与所述定位板螺纹连接。

进一步的，所述调距器包括互相啮合的齿轮和齿条，所述齿轮设于所述定位板底部的固定座中，所述齿条的顶部连接所述辅助板，底部贯穿所述定位板和所述固定座，所述齿轮的转轴贯穿所述固定座后连接有旋转把手。

进一步的，所述齿条上设有刻度。

本实用新型具有的有益效果是：所述定位装置适用于多种尺寸的硅片清洗槽，可在对超声振板进行性能检定的过程中，对超声检测器的探头进行定位，以使工人能够按照硅片清洗槽截面尺寸和高度尺寸选定若干个均匀的检定点位，并保证检测过程中探头的垂直度，提高检定点位的代表性和准确性、检测数据的准确性；所述定位装置可以周转使用，在各结构上刻度、标记的辅助下，工人可快速安装本装置并确定前一次的检定点位，保证每次检定点位的一致性，以确认前后次各检定点位的数据对比结果的有效性。

附图说明

图1是本实用新型实施例的使用状态图；

图2是本实用新型实施例中经度架、纬度架和定位板的连接示意图；

图3是本实用新型实施例中调距器的结构图。

图中：

10、定位板；11、定位孔；

20、经度架；21、第一刻度板；22、第一限位板；23、第一条形通孔；

30、纬度架；31、第二刻度板；32、第二限位板；33、第二条形通孔；

40、第一螺栓；

50、第二螺栓；

60、硅片清洗槽；

70、辅助板；71、辅助孔；

80、竖杆；

90、调距器；91、螺杆；92、齿轮；93、齿条；94、固定座；95、旋转把手。

具体实施方式

下面通过附图对本实用新型实施例的技术方案进行详细说明。

在本实用新型实施例的描述中，需要理解的是，术语“顶部”、“底部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参考附图1-2，一种硅片清洗槽用的超声检定定位装置，包括：定位板10、经度架20和纬度架30，定位板10上设有若干个定位孔11，超声检测器的探头插设于定位孔11中；经度架20对称设于定位板10上，每个经度架20的两端分别连接定位板10和硅片清洗槽60；沿定位板10的长度方向，经度架20可调节定位板10与硅片清洗槽60之间的距离；纬度架30对称设于定位板10上，每个纬度架30的两端分别连接定位板10和硅片清洗槽60；沿定位板10的宽度方向，经度架20可调节定位板10与硅片清洗槽60之间的距离；经度架20和纬度架30上均设有刻度。一般来说，超声检测器比如音压检测计的探头包括检测部位和握持部位，本实施例中定位孔11的尺寸大于检测部位的截面尺寸，但小于握持部位的截面尺寸，使探头能卡在定位板10上，待读数稳定后再记录。

检定前，连接经度架20和定位板10、硅片清洗槽60，利用经度架20调节定位板10沿自身长度方向相对于硅片清洗槽60居中；连接纬度架30和定位板10、硅片清洗槽60，利用纬度架30调节定位板10沿自身宽度方向相对于硅片清洗槽60居中。此时，根据硅片清洗槽60的截面尺寸，确定9个均匀的测试点位，在定位板10上找到这9个测试点位所对应的定位孔11，依次将超声检测器的探头插入其中进行检定即可。为适应生产线上横截面尺寸大小不一的硅片清洗槽60，而采用的上述技术方案可以简化工人的调试时间，而且，还可以在不同的硅片清洗槽60定位安装好本装置后，记录好单侧经度架20和纬度架30上的刻度位置，下次按照该刻度位置调整距离即可快速安装好定位板10，不需要每次都反复调试经度架20和纬度架30才能使定位板10居中。

上述定位孔11的数量不做具体限制，满足实际的周转使用需求即可，即满足实际的生产线上使用的各尺寸硅片清洗槽60的均匀选点定位需求即可。本实施例中，定位孔11的数量设置有6行、9列，且使用时可以用记号笔或其他材料为定位孔11编号，并记录好在检定不同硅片清洗槽60时所使用的定位孔11对应的编号，使工人快速定位不同硅片清洗槽60上次检定的点位，以便检定数据的纵向比对。

在上述技术方案中，沿定位板10长度方向的两端，各设置一个经度架20即可满足定位需求，但本实施例中各设置了两个经度架20，同侧的两个经度架20在调节距离的过程中，总保持相同的长度和角度，以确保在调节过程中定位板10的边线始终与槽体的侧壁平行，提高每次检定前，定位板10安装位置的准确性。同理，本实施例中沿定位板10宽度方向的两端，各设置两个纬度架30，同侧的两个纬度架30在调节距离的过程中，总保持相同的长度和角度。

参考附图2，经度架20包括第一刻度板21和第一限位板22，二者呈L形连接，第一刻度板21上设有第一条形通孔23，第一条形通孔23中设有第一螺栓40，第一螺栓40与定位板10固连；纬度架30包括第二刻度板31和第二限位板32，二者呈L形连接，第二刻度板31上设有第二条形通孔33，第二条形通孔33中设有第二螺栓50，第二螺栓50与定位板10固连。使用时，先连接好各部件，然后将第一限位板22和第二限位板32与硅片清洗槽60的外壁紧贴，沿长度方向或宽度方向移动定位板10，使其相对于硅片清洗槽60居中即可，根据硅片清洗槽60的截面尺寸，均匀选取检定点位及对应的定位孔11，记录此时第一刻度板21和第二刻度板31的位置(通过刻度数据)及定位孔11编号，以备下次检定参考。

上述第一螺栓40和第二螺栓50的数量不做具体限制，但为了降低调节、安装难度，本实施例在每个第一刻度板21上至少设置两个第一螺栓40，且同侧的第一刻度板21上，这两个第一螺栓40的中心连线互相平行；在每个第二刻度板31上至少设置两个第二螺栓50，且同侧的第二刻度板31上，这两个第二螺栓50的中心连线互相平行；这样，就能保证定位板10的边线与硅片清洗槽60的壁保持平行。

当然，上述的第一刻度板21和第二刻度板31也可以直接选用伸缩板，其端部均与定位板10固定连接即可。

由于超声检测器探头的垂直度也会影响检定点位和检定结果的准确性，为保持探头的垂直度，利用两点一线的远离，本实施例中定位板10的顶部或底部还设有辅助板70，辅助板70上设有与定位孔11对应的辅助孔71，定位板10与辅助板70通过竖杆80连接。制作时，辅助板70和定位板10可以叠放在一起进行打孔，以保证定位孔11和辅助孔71中心重合，竖杆80至少设置三个，且各竖杆80的长度一致，以保证辅助板70和定位板10是平行的。

为适应生产线上高度尺寸大小不一的硅片清洗槽60，参考附图3，将上述辅助板70设置在定位板10的顶部，并利用调距器90连接定位板10和辅助板70，由于安装时定位板10与硅片清洗槽60的顶端持平，而辅助板70在硅片清洗槽60的上方，通过调距器90调整辅助板70与定位板10之间的距离，即可调节探头插入硅片清洗槽60中的深度，便于工人沿硅片清洗槽60的高度方向选取均匀的检定点位，并记录好相关高度数据，便于下次检定时快速定位。制作时，调距器90至少设置三个，且安装好后各调距器90的高度一致，以保证辅助板70和定位板10是平行的。

具体而言，调距器90可以是螺杆91，螺杆91的顶端与辅助板70转动连接，底端贯穿定位板10并与定位板10螺纹连接，比如直接在定位板10上设置螺纹孔，也可以在螺杆91位于定位板10上方的部分套设一个螺母，螺母的底面与定位板10顶面抵接，还可以是在螺杆91位于定位板10下方的部分套设一个螺母，螺母的顶面与定位板10底面固定连接。

但是这种方式有一个不足之处是，由于螺杆91的构造不便于雕刻刻度线，只能借助刻度尺测量定位板10和辅助板70的间距，操作比较繁琐。

为解决上述问题，调距器90可以设置为互相啮合的齿轮92和齿条93，齿条93上设有刻度，齿轮92设于定位板10底部的固定座94中，齿条93的顶部连接辅助板70，底部贯穿定位板10和固定座94，齿轮92的转轴贯穿固定座94后连接有旋转把手95。这样，在调距过程中，直接观察与定位板10顶面齐平的刻度是多少，即可快速将各调距器90调为相同的高度。

本实用新型提供的所述定位装置，适用于多种尺寸的硅片清洗槽60，可在对超声振板进行性能检定的过程中，对超声检测器的探头进行定位，以使工人能够按照硅片清洗槽60截面尺寸和高度尺寸选定若干个均匀的检定点位，并保证检测过程中探头的垂直度，提高检定点位的代表性和准确性、检测数据的准确性；所述定位装置可以周转使用，在各结构上刻度、标记的辅助下，工人可快速安装本装置并确定前一次的检定点位，保证每次检定点位的一致性，以确认前后次各检定点位的数据对比结果的有效性。

以上是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种硅片清洗槽用的超声检定定位装置，其特征在于，包括：

定位板，所述定位板上设有若干个定位孔，超声检测器的探头插设于所述定位孔中；

经度架，对称设于所述定位板上，每个所述经度架的两端分别连接所述定位板和硅片清洗槽；沿所述定位板的长度方向，所述经度架可调节所述定位板与所述硅片清洗槽之间的距离；

纬度架，对称设于所述定位板上，每个所述纬度架的两端分别连接所述定位板和硅片清洗槽；沿所述定位板的宽度方向，所述经度架可调节所述定位板与所述硅片清洗槽之间的距离；

所述经度架和所述纬度架上均设有刻度。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗槽用的超声检定定位装置，其特征在于，所述经度架包括第一刻度板和第一限位板，所述第一刻度板的两端分别连接所述第一限位板和所述定位板；所述纬度架包括第二刻度板和第二限位板，所述第二刻度板的两端分别连接所述第二限位板和所述定位板；所述第一刻度板和所述第二刻度板均为伸缩板，所述第一限位板和所述第二限位板均与所述定位板垂直。

3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗槽用的超声检定定位装置，其特征在于，所述经度架包括第一刻度板和第一限位板，二者呈L形连接，所述第一刻度板上设有第一条形通孔，所述第一条形通孔中设有第一螺栓，所述第一螺栓与所述定位板固连；所述纬度架包括第二刻度板和第二限位板，二者呈L形连接，所述第二刻度板上设有第二条形通孔，所述第二条形通孔中设有第二螺栓，所述第二螺栓与所述定位板固连。

4.根据权利要求1-3任一项所述的一种硅片清洗槽用的超声检定定位装置，其特征在于，所述定位板的顶部或底部设有辅助板，所述辅助板上设有与所述定位孔对应的辅助孔，所述定位板与所述辅助板通过竖杆连接。

5.根据权利要求1-3任一项所述的一种硅片清洗槽用的超声检定定位装置，其特征在于，所述定位板的顶部设有辅助板，所述辅助板上设有与所述定位孔对应的辅助孔，所述定位板和所述辅助板通过调距器连接。

6.根据权利要求5所述的一种硅片清洗槽用的超声检定定位装置，其特征在于，所述调距器包括螺杆，其顶端与所述辅助板转动连接，其底端贯穿所述定位板并与所述定位板螺纹连接。

7.根据权利要求5所述的一种硅片清洗槽用的超声检定定位装置，其特征在于，所述调距器包括互相啮合的齿轮和齿条，所述齿轮设于所述定位板底部的固定座中，所述齿条的顶部连接所述辅助板，底部贯穿所述定位板和所述固定座，所述齿轮的转轴贯穿所述固定座后连接有旋转把手。

8.根据权利要求7所述的一种硅片清洗槽用的超声检定定位装置，其特征在于，所述齿条上设有刻度。