CN220449857U - 废液脱气装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种废液脱气装置，包含：脱气模块，脱气模块设有第一进液口、第一出液口和第一出气口，脱气模块初步脱除废液内的废气；曝气模块，曝气模块设有第一进气口、废液出口和第二出气口，第一进气口用于输入外部的压缩空气，曝气模块与第一出液口相连通，曝气模块二次脱除废气；废气处理模块，废气处理模块与第一出气口和第二出气口相互连通，处理第一出气口和第二出气口输出的废气。本实用新型实现对半导体功能水设备中的废水处理，既满足对腐蚀性废液处理时较少维护的需求，又减少了对氮气、压缩空气的使用量，降低了处理废水时的能耗。

Description

废液脱气装置

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，特别涉及一种废液脱气装置。

背景技术

现有技术中，半导体领域去除废水中残留的有害废气的主要办法有以下几种：

1、采用脱气泵的方法

将预脱气的流通介质导入脱气泵的入料腔，通过驱动机构驱动脱气泵内的叶轮连续旋转，料腔内的流通介质在叶轮的作用下进行离心脱气。

该种脱气方法存在以下缺点，由于脱气泵的叶轮依靠电机轴带动旋转，流通介质与电机的物理隔离需要使用密封垫片的方式来实现；当流通介质内含有腐蚀性废气时，需要频繁更换垫片、叶轮、叶轮轴；若更换不及时，还会造成腐蚀性气液混合物泄漏的风险，产生安全隐患。

2、采用曝气的方法

通过曝气装置将氮气或压缩空气通入到盛有预脱气的流通介质的罐体中，氮气或压缩空气以微泡形状进入罐体内部，其会对罐内的废液产生扰动，从而造成预处理的流通介质产生脱气现象。该种脱气方法脱气不彻底，脱气效果欠佳，同时也增加了氮气或压缩空气的使用量。

发明内容

根据本实用新型实施例，提供了一种废液脱气装置，包含：

脱气模块，脱气模块设有第一进液口、第一出液口和第一出气口，脱气模块初步脱除废液内的废气；

曝气模块，曝气模块设有第一进气口、废液出口和第二出气口，第一进气口用于输入外部的压缩空气，曝气模块与第一出液口相连通，曝气模块二次脱除废气；

废气处理模块，废气处理模块与第一出气口和第二出气口相互连通，处理第一出气口和第二出气口输出的废气。

进一步，脱气模块包含：

进液管道，进液管道一端为第一进液口；

出液管道，出液管道一端为第一出液口；

出气管道，出气管道一端为第一出气口；

若干旋流脱气件，旋流脱气件顶部与出气管道相连通，旋流脱气件底部与出液管道相连通，旋流脱气件的侧壁与进液管道相连通，若干旋流脱气件均匀分布在进液管道、出液管道和出气管道之间，旋流脱气件旋转脱除废液中的废气。

进一步，旋流脱气件包含：

罐体，罐体的侧壁与进液管道相切，罐体顶部与出气管道相连；

脱气腔，脱气腔设置在罐体内；

出液腔，出液腔设置在罐体底部，出液腔一端与脱气腔底部相连，另一端与出液管道相连。

进一步，脱气腔底部为漏斗状。

进一步，曝气模块包含：曝气池；第二出气口设置在曝气池顶部，第一进气口设置在曝气池表面，第一出液口与曝气池顶部相连通，废液出口设置在曝气池底部，并与第一出液口斜对角设置。

进一步，曝气模块还包含：若干挡板，挡板设置在曝气池内，若干挡板相互平行，挡板延长废液流通路径。

进一步，废气处理模块包含：料筒和填料；填料放置在料筒内，料筒与第一出气口和第二出气口相连通，填料处理废气。

根据本实用新型实施例的废液脱气装置，实现对半导体功能水设备中的废水处理，既满足对腐蚀性废液处理时较少维护的需求，又减少了对氮气、压缩空气的使用量，降低了处理废水时的能耗。

要理解的是，前面的一般描述和下面的详细描述两者都是示例性的，并且意图在于提供要求保护的技术的进一步说明。

附图说明

图1为根据本实用新型实施例废液脱气装置的示意图；

图2为根据本实用新型实施例废液脱气装置的旋流脱气件的剖视图；

图3为根据本实用新型实施例废液脱气装置的旋流脱气件的俯视图。

具体实施方式

以下将结合附图，详细描述本实用新型的优选实施例，对本实用新型做进一步阐述。

首先，将结合图1~3描述根据本实用新型实施例的废液脱气装置，用于脱除废液中残留的有害废气，其应用场景很广。

如图1~3所示，本实用新型实施例的废液脱气装置，包含：脱气模块，曝气模块和废气处理模块。

具体地，如图1所示，脱气模块设有第一进液口11、第一出液口21和第一出气口31，脱气模块初步脱除废液内的废气；曝气模块设有第一进气口、废液出口和第二出气口，第一进气口用于输入外部的压缩空气，曝气模块与第一出液口21相连通，曝气模块二次脱除废气；废气处理模块与第一出气口31和第二出气口相互连通，处理第一出气口31和第二出气口输出的废气。在本实施例中，通过脱气模块对废液进行初步脱气，曝气模块对废液进行二次脱气，保证脱气的全面性，废气处理模块对脱除的废气转化为符合国家标准的可排放废气，整体结构简单精巧，脱气效率全面。

具体地，如图1所示，脱气模块包含：进液管道1，进液管道1一端为第一进液口11；出液管道2，出液管道2一端为第一出液口21；出气管道3，出气管道3一端为第一出气口31；若干旋流脱气件4，旋流脱气件4顶部与出气管道3相连通，旋流脱气件4底部与出液管道2相连通，旋流脱气件4的侧壁与进液管道1相连通，若干旋流脱气件4均匀分布在进液管道1、出液管道2和出气管道3之间，保证输送均匀形，同时也更为美观，旋流脱气件4旋转脱除废液中的废气。在本实施例中，进液管道1输送废液至若干旋流脱气件4，若干旋流脱气件4分别对接收的废液独立进行旋转脱气，方便对旋流脱气件4进行更换和维护，出液管道2汇集初步脱气后的废液并输送至曝气模块，出气管道3汇集初步脱气后的废气进入废气处理模块。

进一步，如图2~3所示，旋流脱气件4包含：罐体41，罐体41的侧壁与进液管道1相切，罐体41顶部与出气管道3相连；脱气腔42，脱气腔42设置在罐体41内；出液腔43，出液腔43设置在罐体41底部，出液腔43一端与脱气腔42底部相连，另一端与出液管道2相连，在本实施例中，由于罐体41的侧壁与进液管道1相切，且流通截面缩小使得废液流速加快，导致废液由进液管道1进入罐体41后，形成类似“龙卷风”的形状；废液会沿着罐体41的内壁做圆周运动，由于废气和废液的密度差异很大，其收到的离心力大小也不相同，废液会在重力的作用下沿着脱气腔42内壁做螺旋向下运动，此时，溶解在废液中的废气会沿“龙卷风”中心向上流动，达到脱气的效果，进而发生脱气现象形成气柱，废气向罐体41顶部的出口逃逸并产连续不断的负压，使得进液管道1内的废液不断进入罐体41内，循环往复，旋流脱气件4能利用废液本身的压力产生高速旋流，结构简单精妙，节约能源，使用方便，又能满足腐蚀性、强氧化性气体对脱气装置材料的苛刻要求。

进一步，如图2~3所示，在本实施例中，脱气腔42底部为漏斗状，使得脱气腔42内的废液的流通面积由大变小，加速废液的流出。

具体地，如图1所示，在本实施例中，曝气模块包含：曝气池5；第二出气口51设置在曝气池5顶部，将经过曝气脱除的废气输送至废气处理模块进行处理，第一进气口设置在曝气池5表面，第一进气口输入压缩空气或氮气进入曝气池5，氮气或压缩空气以微泡形状进入曝气池5内部，其会对池内的废液产生扰动，从而造成废液产生脱气现象，二次脱气采用曝气方法进行脱气，减少了对氮气、压缩空气的使用量，降低了处理废水时的能耗，第一出液口21与曝气池5顶部相连通，废液出口52设置在曝气池5底部，并与第一出液口21斜对角设置，使得曝气池5内的废液流通路径最长，提升废液脱气的效果。

具体地，如图1所示，在本实施例中，曝气模块还包含：若干挡板53，挡板53设置在曝气池5内，若干挡板53相互平行，挡板53延长废液流通路径，挡板53可有效降低液体的流速，延长了液体流动的时间，当一些半衰期比较短的气体在流经曝气槽后，可有效降低其溶解浓度。

具体地，如图1所示，在本实施例中，废气处理模块包含：料筒6和填料61；填料61放置在料筒6内，可根据待处理的气体种类进行针对性的选择填料61的品类，料筒6与第一出气口31和第二出气口51相连通，填料61处理废气。

使用时，废液由第一进液口11进入进液管道1，并被均匀分配至若干旋流脱气件4中，废液进入旋流脱气件4后，废液会沿着罐体41的内壁做圆周运动，由于废气和废液的密度差异很大，其收到的离心力大小也不相同，废液会在重力的作用下沿着脱气腔42内壁做螺旋向下运动，此时，溶解在废液中的废气会向罐体41中心移动，进而发生脱气现象形成气柱，废气向罐体41顶部的出口逃逸并产连续不断的负压，使得进液管道1内的废液不断进入罐体41内，脱气完成后，气体由出气管道3进入料筒6内，废液由出液管道2进入曝气池5内，此时废液中还有少部分的溶解残留气体，曝气池5内设置有多块挡板53，这些挡板53可有效降低液体的流速，延长了液体流动的时间，增加压缩空气或氮气与废液的接触时间，脱气效果好，二次脱气完成后，废液中的有害气体浓度低于环保要求的排放下限值，废液由废液出口52输出，废气由第二出气口51进入料筒6，料筒6内的填料61对废气进行处理，使得排出的气体符合国家排放标准。

以上，参照图1~3描述了根据本实用新型实施例的废液脱气装置，实现对半导体功能水设备中的废水处理，既满足对腐蚀性废液处理时较少维护的需求，又减少了对氮气、压缩空气的使用量，降低了处理废水时的能耗。

需要说明的是，在本说明书中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包含……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管本实用新型的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本实用新型的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本实用新型的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本实用新型的保护范围应由所附的权利要求来限定。

Claims (7)

1.一种废液脱气装置，其特征在于，包含：

脱气模块，所述脱气模块设有第一进液口、第一出液口和第一出气口，所述脱气模块初步脱除所述废液内的废气；

曝气模块，所述曝气模块设有第一进气口、废液出口和第二出气口，所述第一进气口用于输入外部的压缩空气，所述曝气模块与所述第一出液口相连通，所述曝气模块二次脱除所述废气；

废气处理模块，所述废气处理模块与所述第一出气口和所述第二出气口相互连通，处理所述第一出气口和所述第二出气口输出的废气。

2.如权利要求1所述废液脱气装置，其特征在于，所述脱气模块包含：

进液管道，所述进液管道一端为所述第一进液口；

出液管道，所述出液管道一端为所述第一出液口；

出气管道，所述出气管道一端为所述第一出气口；

若干旋流脱气件，所述旋流脱气件顶部与所述出气管道相连通，所述旋流脱气件底部与所述出液管道相连通，所述旋流脱气件的侧壁与所述进液管道相连通，所述若干旋流脱气件均匀分布在所述进液管道、所述出液管道和所述出气管道之间，所述旋流脱气件旋转脱除所述废液中的废气。

3.如权利要求2所述废液脱气装置，其特征在于，所述旋流脱气件包含：

罐体，所述罐体的侧壁与所述进液管道相切，所述罐体顶部与所述出气管道相连；

脱气腔，所述脱气腔设置在所述罐体内；

出液腔，所述出液腔设置在所述罐体底部，所述出液腔一端与所述脱气腔底部相连，另一端与所述出液管道相连。

4.如权利要求3所述废液脱气装置，其特征在于，所述脱气腔底部为漏斗状。

5.如权利要求1所述废液脱气装置，其特征在于，所述曝气模块包含：曝气池；所述第二出气口设置在所述曝气池顶部，所述第一进气口设置在所述曝气池表面，所述第一出液口与所述曝气池顶部相连通，所述废液出口设置在所述曝气池底部，并与所述第一出液口斜对角设置。

6.如权利要求5所述废液脱气装置，其特征在于，所述曝气模块还包含：若干挡板，所述挡板设置在所述曝气池内，所述若干挡板相互平行，所述挡板延长所述废液流通路径。

7.如权利要求1所述废液脱气装置，其特征在于，所述废气处理模块包含：料筒和填料；所述填料放置在所述料筒内，所述料筒与所述第一出气口和所述第二出气口相连通，所述填料处理所述废气。