CN220426119U - 自清洁装置及外延尾气处理设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种自清洁装置及外延尾气处理设备。其中，清洁装置包括供液单元和喷淋单元；供液单元包括供液管；供液管用于向喷淋单元提供清洁液体；喷淋单元包括喷淋头；喷淋头设置于液位检测装置的上方，且与供液管相连通；喷淋头用于喷射清洁液体至液位检测装置。可见，本实用新型利用喷淋头喷射清洁液体至液位检测装置的周围，以冲刷液位检测装置周围的杂质，从而在液位检测装置的四周形成保护屏障，阻止杂质的存留和靠近，避免了杂质对液位检测装置的检测干扰，利于保障液位检测装置的稳定运行。以及，在外延尾气处理设备中，本实用新型利用外延尾气处理设备中的循环装置满足自清洁装置的供液需求，无需外接供液设备，节约成本且安装简便。

Description

自清洁装置及外延尾气处理设备

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种自清洁装置及外延尾气处理设备。

背景技术

外延工艺(epitaxy，EPI)是在单晶衬底上生长单晶膜的工艺技术，用于减弱衬底噪声对芯片的干扰，提高芯片性能。但在外延层生长过程中会形成大量的有害尾气，这些有害尾气必须经过处理后才能排入大气中。现有的尾气处理方式是对有害尾气进行多级喷淋水解，以及对水解后生成的不易溶于水的气体进行加热燃烧，以形成符合排放标准的气体。因此，尾气处理设备中一般会设置水箱，用于提供喷淋所需的水，以及对燃烧后的气体进行降温。为避免水箱缺水或溢水，水箱内设置有液位检测装置，以监测水箱内的存水量。目前常用的液位检测装置为浮子式液位传感器和浮子式液位开关等。浮子式液位传感器和浮子式液位开关均是利用浮力原理和磁性耦合进行液位检测，当水箱内的液位升降时，磁性浮子也随之升降，从而根据磁性浮子磁耦合产生电信号，再根据电信号获取液位信息。其中，浮子式液位传感器和浮子式液位开关对于水质要求比较高，则当水箱中杂质较多时极易引起检测干扰，影响检测结果的精准性。

然而，在外延尾气处理过中会不可避免地形成二氧化硅等各种沉积杂质。这些沉积杂质短时间内无法与水融合，则会漂浮或沉淀于水箱中，严重影响浮子磁吸合的动作，甚至导致液位检测装置的失效，从而无法监控水箱内的水位，使得水箱溢水或缺失，引起机台宕机，造成巨大的经济损失。对此，现有技术是通过设置隔离网的方式过滤水中的沉积杂质。但隔离网难以过滤小颗粒沉积杂质，故无法避免这些小颗粒沉淀杂质对液位检测装置的影响。以及，隔离网的网兜还容易堵塞水箱，容易影响液位检测装置的正常使用。

因此，亟需一种清洁装置，以解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种自清洁装置及外延尾气处理设备，以解决如何避免杂质对液位检测装置的检测干扰的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种自清洁装置，用于清洁载液箱内液位检测装置周围的杂质，所述自清洁装置包括：供液单元和喷淋单元；

所述供液单元包括供液管；所述供液管用于向所述喷淋单元提供清洁液体；

所述喷淋单元包括喷淋头；所述喷淋头设置于所述液位检测装置的上方，且与所述供液管相连通；所述喷淋头用于喷射所述清洁液体，以冲刷所述液位检测装置。

可选的，在所述的自清洁装置中，所述喷淋头的喷射角度范围为：30°～60°。

可选的，在所述的自清洁装置中，所述液位检测装置设置于所述载液箱的内侧壁，所述喷淋头靠近所述内侧壁设置，且所述喷淋头的喷射方向朝向所述内侧壁，以使所述清洁液体沿所述内侧壁流至所述液位检测装置。

可选的，在所述的自清洁装置中，所述喷淋头包括壳体和喷嘴，所述喷嘴设置于所述壳体的一端；其中，所述壳体具有一内腔，所述内腔分别与所述供液管和所述喷嘴相连通；所述喷嘴具有多个出液孔，且所述喷嘴和/或所述出液孔呈扁平状。

可选的，在所述的自清洁装置中，所述喷淋单元还包括伸缩管和旋转件；所述供液管、所述伸缩管、所述旋转件和所述喷淋头依次相接且相连通；其中，所述伸缩管被配置为沿预设方向伸缩，以调节所述喷淋头与所述液位检测装置的间距；所述旋转件被配置为沿三自由度转动，以调节所述喷淋头的喷射角度。

可选的，在所述的自清洁装置中，所述自清洁装置包括至少两个所述喷淋单元，且每个所述喷淋单元与所述供液管相连通。

可选的，在所述的自清洁装置中，所述供液单元还包括调节阀；所述调节阀与所述供液管相接，用于调节流入所述喷淋单元内的所述清洁液体的压强。

可选的，在所述的自清洁装置中，流入所述喷淋单元内的所述清洁液体的压强范围为：2.5pa～3.5pa。

可选的，在所述的自清洁装置中，所述供液单元还包括循环泵；所述循环泵位于所述载液箱内，以循环抽取所述载液箱内的液体；其中，所述供液管与所述循环泵的出液管或进液管相连通，以使所述循环泵抽取的至少部分所述液体流入所述供液管内。

基于同一构思，本实用新型还提供一种外延尾气处理设备，包括：载液箱、液位检测装置、循环装置以及所述的自清洁装置；其中，

所述液位检测装置和所述循环装置均设置于所述载液箱内，且所述供液管与所述循环装置的出液管或进液管相连通，以使所述循环装置抽取至少部分液体流入所述供液管内，并经所述喷淋头喷射至所述液位检测装置。

综上所述，本实用新型提供一种自清洁装置及外延尾气处理设备。其中，所述清洁装置用于清洁载液箱内液位检测装置周围的杂质，且包括供液单元和喷淋单元；所述供液单元包括供液管；所述供液管用于向所述喷淋单元提供清洁液体；所述喷淋单元包括喷淋头；所述喷淋头设置于所述液位检测装置的上方，且与所述供液管相连通；所述喷淋头用于喷射所述清洁液体，以冲刷所述液位检测装置。相较于现有技术，本实用新型利用所述喷淋头喷射清洁液体至所述液位检测装置的周围，以冲刷掉所述液位检测装置周围的杂质，从而在所述液位检测装置的四周形成一保护屏障，阻止杂质的存留和靠近，避免了杂质对所述液位检测装置的检测干扰，利于保障所述液位检测装置的稳定运行。

以及，所述外延尾气处理设备包括：载液箱、液位检测装置、循环装置以及所述的自清洁装置；其中，所述液位检测装置和所述循环装置均设置于所述载液箱内，所述供液管与所述循环装置的出液管或进液管相连通，以使所述循环装置抽取至少部分液体流入所述供液管内，并经所述喷淋头喷射至所述液位检测装置。可见，本实用新型利用所述外延尾气处理设备中的循环装置满足了所述自清洁装置的供液需求，无需外接供液设备，成本低，且安装简便。

附图说明

本领域的普通技术人员将会理解，提供的附图用于更好地理解本实用新型，而不对本实用新型的范围构成任何限定。

图1是本实用新型实施例中自清洁装置的结构示意图。

图2是本实用新型实施例中自清洁装置的结构示意图。

图3是本实用新型实施例中喷淋头的结构示意图。

图4是本实用新型实施例中一种喷嘴的结构示意图。

图5是本实用新型实施例中一种喷嘴的结构示意图。

图6是本实用新型实施例中一种自清洁装置供液方式的结构示意图。

图7是本实用新型实施例中一种自清洁装置供液方式的结构示意图。

图8是本实用新型实施例中设置两个喷淋单元的自清洁装置的结构示意图。

其中，附图标记为：

10-自清洁装置；101-供液单元；1011-供液管；1012-调节阀；1013-循环泵；102-喷淋单元；1021-喷淋头；1021a-壳体；1021b-喷嘴；1022-伸缩管；1023-旋转件；20-载液箱；30-液位检测装置；40-供液源；50-防溢管；60-排液管；70-循环装置；C-出液孔；α-喷射角度；d-喷淋头与液位检测装置的垂向间距。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。还应当理解的是，除非特别说明或者指出，否则说明书中的术语“第一”、“第二”、“第三”等描述仅仅用于区分说明书中的各个组件、元素、步骤等，而不是用于表示各个组件、元素、步骤之间的逻辑关系或者顺序关系等。

请参阅图1，本实施例提供一种自清洁装置10，用于清洁载液箱20内液位检测装置30周围的杂质，所述自清洁装置10包括：供液单元101和喷淋单元102；所述供液单元101包括供液管1011；所述供液管1011用于向所述喷淋单元102提供清洁液体；所述喷淋单元102包括喷淋头1021；所述喷淋头1021设置于所述液位检测装置30的上方，且与所述供液管1011相连通；所述喷淋头1021用于喷射所述清洁液体，以冲刷所述液位检测装置30。

可以理解的是，本实施例提供的所述自清洁装置10利用所述喷淋头1021喷射清洁液体至所述液位检测装置30的周围，以冲刷掉所述液位检测装置30周围的杂质，从而在所述液位检测装置30的四周形成一保护屏障，阻止杂质的存留和靠近，避免了杂质对所述液位检测装置30的检测干扰，利于保障所述液位检测装置30的稳定运行。

以下结合图1～图8具体说明本实施例提供的所述自清洁装置10。

请参阅图1和图2，所述自清洁装置10包括所述供液单元101和所述喷淋单元102。所述供液单元101与所述喷淋单元102相接，且所述供液单元101用于向所述喷淋单元102提供所述清洁液体；所述喷淋单元102用于喷射出所述清洁液体，以冲刷清扫所述液位检测装置30周围的杂质。

进一步的，所述供液单元101包括供液管1011和所述调节阀1012。其中，所述供液管1011用于容置并输送所述清洁液体。所述调节阀1012用于调节所述供液管1011内流入所述喷淋单元102的所述清洁液体的压强，以便所述清洁液体按预设速度喷射。基于此，所述供液管1011与所述喷淋单元102相连通，以向所述喷淋单元102提供所述清洁液体。所述调节阀1012与所述供液管1011相接，且靠近所述喷淋单元102设置，以调节流入所述喷淋单元102内的所述清洁液体的压强。优选的，流入所述喷淋单元102内的所述清洁液体的压强范围为：2.5pa～3.5pa。例如，所述压强为2.5pa、3.0pa或3.5pa。可以理解的是，所述清洁液体流入所述喷淋单元102的压强直接影响到所述清洁液体的喷射速度和喷射行程。因此，为满足不同的清洁需求，可以根据所述喷淋单元102相对所述液位检测单元30的位置具体限定所述调节阀1012的压强范围。进一步的，本实施例不限定所述调节阀1012的种类，可选的为电动调节阀、气动调节阀或液动调节阀等。以及，本实施例也不限定所述供液管1011的径向尺寸和轴向长度，可根据所需所述清洁液体的流量和供液源的位置确定。

请继续参阅图1和图2，所述喷淋单元102包括喷淋头1021、伸缩管1022和旋转件1023。其中，所述喷淋头1021用于按预设角度和预设方向喷射所述清洁液体。所述伸缩管1022用于调节所述喷淋头1021与所述液位检测装置30的垂向间距；即，所述喷淋头1021与所述液位检测装置30在Z轴方向上的间距。所述旋转件1023至少用于沿三自由度调节所述喷淋头1021的喷射角度α；即，所述旋转件1023能够带动所述喷淋头1021沿X轴方向、Y轴方向和Z轴方向转动，以调节所述清洁液体的喷射角度α。

请参阅图2和图3，所述喷淋头1021包括：壳体1021a和喷嘴1021b。所述壳体1021a为所述喷淋头1021的容置框架，且具有一内腔，以承载所述清洁液体。所述喷嘴1021b为所述清洁液体的出射端口，用于控制所述清洁液体的喷射流量，以及提高所述清洁液体的喷射速度。具体的，所述喷嘴1021b固定或可拆卸地设置于所述壳体1021a的一端，并封堵所述内腔，以使所述清洁液体均经所述喷嘴1021b喷出。优选的，所述喷嘴1021b与所述壳体1021a可拆卸连接，以便于在设备保养时将所述喷嘴1021b拆卸下来清洗疏通。所述壳体1021a远离所述喷嘴1021b的一端与所述旋转件1023相接且相连通，以使所述旋转件1023能够带动所述喷淋头1021转动，实现对所述喷淋头1021的喷射角度α的调节。

请参阅图3～图5，所述喷嘴1021b具有多个出液孔C，且所述出液孔C与所述壳体1021a的内腔相连通，以使所述清洁液体经所述出液孔C喷出。优选的，多个所述出液孔C呈阵列式均匀排布于所述喷嘴1021b的出液面。以及，所述出液孔C的形貌呈扁平状，或是所述喷嘴1021b和所述出液孔C的形貌均呈扁平状，亦或者所述喷嘴1021b的形貌呈扁平状，所述出液孔C沿所述喷嘴1021b的扁平形貌分布，而所述出液孔C可以为任意形状；例如为圆形或多边形等。需要说明的是，扁平状的形貌特征有利于提高所述清洁液体的喷射速度，增大所述清洁液体的喷射范围，有助于在所述液位传感器30的周围形成大面积的扇形保护屏障，提高冲刷驱离杂质的效果。进一步的，本实施例不限定所述出液孔C的数量和具体孔径尺寸，可根据清洁所需的所述清洁液体的流量和喷射速度确定。

请继续参阅图1和图2，本实施例定义所述喷淋头1021的喷射角度α指所述清洁液体的出射延伸线与Z轴方向的夹角。优选的，所述喷淋头1021的喷射角度α范围为：30°～60°。例如，所述喷射角度α为45°。需要说明的是，所述载液箱20为呈多面体或圆柱体等形状的箱体，用于承载液体。所述液位检测装置30设置于所述载液箱20的内侧壁，用于检测或控制所述液体的液位情况。基于此，所述喷淋头1021靠近所述内侧壁设置，且所述喷淋头1021的喷射方向朝向所述内侧壁，以使所述清洁液体沿所述内侧壁流至所述液位检测装置30的周围。可以理解的是，所述喷淋头1021的喷射方向朝向所述内侧壁能够使得喷射出的所述清洁液体顺着所述内侧壁流动，而非直接入射至液面，其目的在于避免所述清洁液体抨击液面，造成液面晃动程度大，影响所述液位检测装置30的正常作业。

进一步的，所述伸缩管1022被配置为沿Z轴方向伸缩的管件，可选的为橡胶伸缩管或金属伸缩管。所述旋转件1023被配置为沿三自由度转动，可选的为万向转动装置。其中，所述伸缩管1022的一端与所述供液管1011相接。所述伸缩管1022相对的另一端与所述旋转件1023的一端相接。以及，所述旋转件1023相对的另一端与所述喷淋头1021相接。进一步的，所述伸缩管1022和所述旋转件1023均具有贯通的腔体。因此，所述供液管1011、所述伸缩管1022、所述旋转件1023和所述喷淋头1021依次相连通，则所述清洁液体先经所述供液管1011流入所述伸缩管1022，再经所述伸缩管1022流入所述旋转件1023内，最后流入所述喷淋头1021，并经所述喷淋头1021喷射至所述液位检测装置30的周围，实现对所述液位检测装置30周围的杂质的冲刷。

需要说明的是，本实施例不限定所述供液管1011、所述伸缩管1022、所述旋转件1023和所述喷淋头1021之间的连接方式，可以为固定连接或可拆卸连接。例如，焊接、螺纹相接或卡扣相接等。以及，本实施例不限定所述伸缩管1022、所述旋转件1023和所述喷淋头1021的具体尺寸，可根据所述清洁液体的流量和喷射速度等因素确定。

进一步的，所述伸缩管1022可以带动所述喷淋头1021沿Z轴移动，以调节所述喷淋头1021相对所述液位检测装置30的间距d，进而调节所述喷淋头1021的射程。需要说明的是，本实施例所指液位检测装置30包括但不限于为侧装的浮子式液位传感器以及浮子式液位开关，则所述间距d是指沉浸于所述载液箱20内的液位开关或传感器其他部件，并非指所述喷淋头1021与浮子的间距。进一步的，本实施例不限定所述间距d的具体范围，可根据所述喷淋头1021与所述内侧壁的横向间距以及射程需求等因素确定。示例性的，图2所示的液位检测装置30为浮子式液位开关。其中，所述喷淋头1021与安装有所述液位检测装置30的所述内侧壁的横向间距为10cm；所述喷淋头1021与所述液位检测装置30的垂向间距范围为：15cm～25cm；以及，所述喷淋头1021的喷射角度α为45°，则能够在安装有所述液位检测装置30的所述内侧壁上形成17cm～23cm长度的水帘，以清扫所述液位检测装置30周围的杂质。此外，鉴于液位开关的阻挡作用，所述清洁液体会在所述液位开关的四周形成半圆形洁净区，以确保在液位变动时，杂质也不会靠近所述液位检测装置30，具有较佳的清洁保持效果。

进一步的，本实例不限定所述清洁液体的提供方式。示例性的，在一个实施例中，请参阅图6，所述自清洁装置10中的所述清洁液体来源于厂务中的供液源40。因此，所述供液管1011需要延伸至所述供液源40，以从所述供液源40内获取所述清洁液体。进一步的，为避免所述供液源40提供的液体使得所述载液箱20内的液体外溢，所述载液箱20还设置有防溢管50和排液管60。所述防溢管50可以自动将多余的所述液体排出所述载液箱20，但当所述液体流量较大时，可以经过所述排液管60主动排出液体，避免对设备造成损害。在另一个实施例中，请参阅图7，所述供液单元101还包括循环泵1013。所述循环泵1013位于所述载液箱20内，用于循环抽取所述载液箱20内的液体。所述供液管1011与所述循环泵1013的出液管或进液管相连通，以在所述循环泵1013的抽取作用下，将所述载液箱20内的所述液体作为所述清洁液体输送至所述供液管1011内。可以理解的是，设置所述循环泵1013相较于外设所述供液源40，成本更低，且安装简便。

进一步的，所述自清洁装置10还可以在所述供液管1011的一端设置过滤器，以过滤所述清洁液体中的杂质，从而避免所述清洁液体自带杂质影响清洁效果。需要说明的是，本实施例并不限定所述清洁液体的种类，可以是水，或是具有化学清洁效果的化学清洁液。

进一步的，本实施例提供的所述自清洁装置10可以如图1、图6和图7所示例地设置一个所述喷淋单元102，也可以设置两个及以上所述喷淋单元102。请参阅图8，当所述自清洁装置10设置两个及以上所述喷淋单元102时，所有所述喷淋单元102均与所述供液管1011相连通；即，所述供液管1011可以同时向所有所述喷淋单元102提供所述清洁液体。在一个实施例中，所述载液箱20内设置有一个或多个所述液位检测装置30，且所有所述液位检测装置30均设置于相同一内侧壁上。所有所述喷淋单元102可以按照相同的喷射角度α平行设置，以同时对各所述液位检测装置30进行清洁，提高清洁效果。在其他实施例中，所述载液箱20内设置有多个所述液位检测装置30，且各个所述液位检测装置30设置于所述载液箱20的不同的内侧壁上，则设置有所述液位检测装置30的各个所述内侧壁均对应设置至少一个所述喷淋单元102，以分别对各个所述液位检测装置30进行清洁。示例性的，如图8所示，所述载液箱20的两个内侧壁上分别设置有一个所述液位检测装置30。相应地，所述自清洁装置10包括两个所述喷淋单元102，且两个所述喷淋单元102均与所述供液管1011相连通。其中一个所述喷淋单元102朝向图示中右侧的所述内侧壁喷射，另一个所述喷淋单元102朝向图示中左侧的所述内侧壁喷射，以分别清洁两个所述液位检测装置30。

综上可知，本实施例提供的所述自清洁装置10利用所述喷淋头1021喷射出的所述清洁液体来冲刷所述液位检测装置30周围的杂质，以及在所述液位检测装置30的周围形成洁净的保护屏障，从而提高所述液位检测装置30周围的清洁度，有利于所述液位检测装置30的正常作业。基于此，本实施例提供的所述自清洁装置10可以适用于各个领域中的液位检测装置30的自清洁，本实施例对此不做具体限定。

基于同一构思，本实施例还提供一种外延尾气处理设备。请参阅图1，所述外延尾气处理设备包括：自清洁装置10、载液箱20、液位检测装置30以及循环装置70。其中，所述自清洁装置10、所述载液箱20和所述液位检测装置30可参照上述记载，本实施例在此不做赘述。所述循环装置70设置于所述载液箱20内，用于循环抽取所述载液箱20内的液体，以至少向喷淋塔(未图示)和燃烧罐(未图示)提供液体。进一步的，所述供液管1011与所述循环装置70的出液管或进液管相连通，以使所述循环装置70抽取的液体流入所述供液管1011内，并经所述喷淋头1021喷射至所述液位检测装置30，实现对所述液位检测装置30的清洁。可以理解的是，利用所述外延尾气处理设备中的所述循环装置70满足所述自清洁装置10的供液需求，无需外接供液设备，成本低，且安装简便。需要说明的是，本实施例提供的所述外延尾气处理设备还包括反应管等本领域技术人员所熟知的器件结构，故在此不做赘述。

综上所述，本实施例提供的所述自清洁装置10及外延尾气处理设备，利用所述喷淋头1021喷射清洁液体至所述液位检测装置30的周围，以冲刷掉所述液位检测装置30周围的杂质，从而在所述液位检测装置30的四周形成保护屏障，阻止杂质的存留和靠近，避免了杂质对所述液位检测装置30的检测干扰，有利于保障所述液位检测装置30的稳定运行。以及，在所述外延尾气处理设备中，所述供液管1011与所述循环装置70相接，不但满足了所述自清洁装置10的供液需求，而且无需外接供液设备，成本低，且安装简便。

此外还应该认识到，虽然本实用新型已以较佳实施例披露如上，然而上述实施例并非用以限定本实用新型。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本实用新型技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围。

Claims (10)

1.一种自清洁装置，用于清洁载液箱内液位检测装置周围的杂质，其特征在于，所述自清洁装置包括：供液单元和喷淋单元；

所述供液单元包括供液管；所述供液管用于向所述喷淋单元提供清洁液体；

所述喷淋单元包括喷淋头；所述喷淋头设置于所述液位检测装置的上方，且与所述供液管相连通；所述喷淋头用于喷射所述清洁液体，以冲刷所述液位检测装置。

2.根据权利要求1所述的自清洁装置，其特征在于，所述喷淋头的喷射角度范围为：30°～60°。

3.根据权利要求1所述的自清洁装置，其特征在于，所述液位检测装置设置于所述载液箱的内侧壁，所述喷淋头靠近所述内侧壁设置，且所述喷淋头的喷射方向朝向所述内侧壁，以使所述清洁液体沿所述内侧壁流至所述液位检测装置。

4.根据权利要求1所述的自清洁装置，其特征在于，所述喷淋头包括壳体和喷嘴，所述喷嘴设置于所述壳体的一端；其中，所述壳体具有一内腔，所述内腔分别与所述供液管和所述喷嘴相连通；所述喷嘴具有多个出液孔，且所述喷嘴和/或所述出液孔呈扁平状。

5.根据权利要求1所述的自清洁装置，其特征在于，所述喷淋单元还包括伸缩管和旋转件；所述供液管、所述伸缩管、所述旋转件和所述喷淋头依次相接且相连通；其中，所述伸缩管被配置为沿预设方向伸缩，以调节所述喷淋头与所述液位检测装置的间距；所述旋转件被配置为沿三自由度转动，以调节所述喷淋头的喷射角度。

6.根据权利要求1所述的自清洁装置，其特征在于，所述自清洁装置包括至少两个所述喷淋单元，且每个所述喷淋单元与所述供液管相连通。

7.根据权利要求1所述的自清洁装置，其特征在于，所述供液单元还包括调节阀；所述调节阀与所述供液管相接，用于调节流入所述喷淋单元内的所述清洁液体的压强。

8.根据权利要求7所述的自清洁装置，其特征在于，流入所述喷淋单元内的所述清洁液体的压强范围为：2.5pa～3.5pa。

9.根据权利要求1所述的自清洁装置，其特征在于，所述供液单元还包括循环泵；所述循环泵位于所述载液箱内，以循环抽取所述载液箱内的液体；其中，所述供液管与所述循环泵的出液管或进液管相连通，以使所述循环泵抽取的至少部分所述液体流入所述供液管内。

10.一种外延尾气处理设备，其特征在于，包括：载液箱、液位检测装置、循环装置以及如权利要求1～9中任意一项所述的自清洁装置；其中，

所述液位检测装置和所述循环装置均设置于所述载液箱内，且所述供液管与所述循环装置的出液管或进液管相连通，以使所述循环装置抽取至少部分液体流入所述供液管内，并经所述喷淋头喷射至所述液位检测装置。