CN220416786U - 一种利用干涉仪的激光加工检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种利用干涉仪的激光加工检测装置，包括：桌子，所述桌子上设置有高度调节组件，所述高度调节组件包括滑杆、矩形套管、齿板、安装板、连接杆、齿轮和四个伸缩杆，所述滑杆固定安装在桌子的顶部，所述矩形套管滑动套设在滑杆上，所述齿板固定安装在矩形套管的一侧外壁上，所述安装板固定安装在桌子的顶部，所述连接杆转动安装在安装板上，所述齿轮固定安装在连接杆上，所述齿轮与齿板相啮合，四个所述伸缩杆均固定安装在桌子的顶部。本实用新型通过设置高度调节组件，拧动连接杆带动齿轮转动，通过与齿板啮合带动矩形套管在滑杆上移动，将干涉仪调节到合适的高度，具有可以调节干涉仪的检测高度的优点。

Description

一种利用干涉仪的激光加工检测装置

技术领域

本实用新型涉及激光加工技术领域，具体涉及一种利用干涉仪的激光加工检测装置。

背景技术

激光加工经常使用激光干涉仪，激光干涉仪以光波为载体,利用激光作为长度基准,是高精度、高灵敏度的测量仪器。激光干涉仪不仅广泛用于高端装备如数控机床、激光切割机、光刻机等，在计量检定领域也能大展身手。将同一光源的两个光束完全分开，使各自经过不同的光程，然后再经过合并，可显出干涉条纹。在光谱学中，应用精确的迈克尔逊干涉仪或法布里-珀罗干涉仪，可以准确而详细地测定谱线的波长及其精细结构，激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。

经检测，在现有技术中，中国专利号为：CN202020623790.X，公开日期为：2020-10-27，公开了一种用于光学镜片检测的干涉仪，包括激光干涉仪，激光干涉仪的底面设置有支撑座，支撑座的外侧套设有围护架，围护架的底面设置有垫板，垫板的底面设置有阻尼垫，垫板的表面设置有固定螺杆，支撑座的表面开设有导向槽，导向槽的内部插接有销钉，销钉贯穿围护架，支撑座的底面设置有滚珠，垫板的表面设置有固定座，固定座的内部设置有马达；有益效果为：提出的光学镜片检测的干涉仪底部加设支撑座借助销钉与围护架连接，且马达轴体端部的对接块插入对接座内部，马达轴体转动实现对激光干涉仪朝向调节，避免拆卸激光干涉仪与桌面连接结构后才能调节朝向的弊端。

上述结构还存在以下缺陷：

一、干涉仪需要在打孔后通过螺丝安装在桌面上，增加了干涉仪安装和拆卸的复杂程度。

二、可以调节干涉仪的角度，但是不便于调节干涉仪的高度，从而会影响干涉仪的检测。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种利用干涉仪的激光加工检测装置，具有便于安装和拆卸干涉仪，可以调节干涉仪的检测高度的优点，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种利用干涉仪的激光加工检测装置，包括桌子，所述桌子上设置有高度调节组件，所述高度调节组件包括滑杆、矩形套管、齿板、安装板、连接杆、齿轮和四个伸缩杆，所述滑杆固定安装在桌子的顶部，所述矩形套管滑动套设在滑杆上，所述齿板固定安装在矩形套管的一侧外壁上，所述安装板固定安装在桌子的顶部，所述连接杆转动安装在安装板上，所述齿轮固定安装在连接杆上，所述齿轮与齿板相啮合，四个所述伸缩杆均固定安装在桌子的顶部，所述桌子上方设置有角度调节组件和置物组件。

进一步地，所述角度调节组件包括连接板一、滑轨、两个T形滑块和伺服电机，所述连接板一固定安装在四个伸缩杆的顶端，所述滑轨固定安装在连接板一的顶部，两个所述T形滑块均滑动安装在滑轨内，所述伺服电机固定安装在连接板一的顶部。

进一步地，所述角度调节组件还包括连接板二、固定框、防滑垫一和螺杆一，所述连接板二固定安装在两个T形滑块的顶部，所述连接板二的底部与伺服电机的输出轴固定连接，所述固定框固定安装在连接板二的顶部，所述防滑垫一固定安装在连接板二的顶部，所述螺杆一螺纹安装在固定框上。

进一步地，所述角度调节组件还包括固定板、防滑垫二和干涉仪，所述固定板转动安装在螺杆一的底端，所述防滑垫二固定安装在固定板的底部，所述干涉仪设置在固定框上。

进一步地，所述置物组件包括固定块、凹槽、螺杆二和两个移动块，所述固定块固定安装在桌子的顶部，所述凹槽开设在固定块的顶部，所述螺杆二转动安装在凹槽内，两个所述移动块均螺纹安装在螺杆二上。

进一步地，所述置物组件还包括放置块、两个侧板、两个螺杆三和两个夹持块，所述放置块固定安装在两个移动块的顶部，两个所述侧板均固定安装在放置块的顶部，两个所述螺杆三分别螺纹安装在对应的侧板上，两个所述夹持块分别转动安装在对应螺杆三上。

进一步地，所述凹槽内固定安装有限位杆，所述限位杆与两个移动块滑动连接。

综上所述，由于采用了上述技术，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过设置高度调节组件，拧动连接杆带动齿轮转动，通过与齿板啮合带动矩形套管在滑杆上移动，将干涉仪调节到合适的高度，具有可以调节干涉仪的检测高度的优点。

本实用新型通过设置角度调节组件，将干涉仪放置在固定框内，然后拧动螺杆一使得固定板将干涉仪固定在连接板二上，启动伺服电机带动连接板一转动，将干涉仪调整到合适的角度，具有便于安装、拆卸和调节干涉仪角度的优点。

本实用新型通过设置置物组件，将待测物件放置在两个夹持块之间，通过拧动两个螺杆三带动两个夹持块将待测物件固定在放置块上，转动螺杆二带动放置块移动，可以调节待测物件的位置。

附图说明

图1为本实用新型一种利用干涉仪的激光加工检测装置的整体结构示意图；

图2为本实用新型中角度调节组件的装配结构示意图；

图3为本实用新型中连接板二、固定框、防滑垫一、螺杆一、固定板、防滑垫二和干涉仪的装配结构示意图；

图4为本实用新型中高度调节组件的装配结构示意图；

图5为本实用新型中固定块、凹槽、螺杆二和移动块的装配结构示意图；

图6为本实用新型中滑轨和T形滑块的装配结构示意图。

图中：1、桌子；2、滑杆；3、矩形套管；4、齿板；5、安装板；6、连接杆；7、齿轮；8、伸缩杆；9、连接板一；10、滑轨；11、T形滑块；12、伺服电机；13、连接板二；14、固定框；15、防滑垫一；16、螺杆一；17、固定板；18、防滑垫二；19、干涉仪；20、固定块；21、凹槽；22、螺杆二；23、移动块；24、放置块；25、侧板；26、螺杆三；27、夹持块。

具体实施方式

为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-6所示的，一种利用干涉仪的激光加工检测装置，包括桌子1，所述桌子1上设置有高度调节组件，所述高度调节组件包括滑杆2、矩形套管3、齿板4、安装板5、连接杆6、齿轮7和四个伸缩杆8，所述滑杆2固定安装在桌子1的顶部，所述矩形套管3滑动套设在滑杆2上，所述齿板4固定安装在矩形套管3的一侧外壁上，所述安装板5固定安装在桌子1的顶部，所述连接杆6转动安装在安装板5上，所述齿轮7固定安装在连接杆6上，所述齿轮7与齿板4相啮合，四个所述伸缩杆8均固定安装在桌子1的顶部，所述桌子1上方设置有角度调节组件和置物组件。

在一些实施例中，所述角度调节组件包括连接板一9、滑轨10、两个T形滑块11和伺服电机12，所述连接板一9固定安装在四个伸缩杆8的顶端，所述滑轨10固定安装在连接板一9的顶部，两个所述T形滑块11均滑动安装在滑轨10内，所述伺服电机12固定安装在连接板一9的顶部，更具体的为，伸缩杆8在连接板一9能够上下的基础下，为连接板一9提供额外的支撑力。

在一些实施例中，所述角度调节组件还包括连接板二13、固定框14、防滑垫一15和螺杆一16，所述连接板二13固定安装在两个T形滑块11的顶部，所述连接板二13的底部与伺服电机12的输出轴固定连接，所述固定框14固定安装在连接板二13的顶部，所述防滑垫一15固定安装在连接板二13的顶部，所述螺杆一16螺纹安装在固定框14上，更具体的为，防滑垫一15能够增加连接板二13与干涉仪19之间的摩擦力，能够固定的更加牢固。

在一些实施例中，所述角度调节组件还包括固定板17、防滑垫二18和干涉仪19，所述固定板17转动安装在螺杆一16的底端，所述防滑垫二18固定安装在固定板17的底部，所述干涉仪19设置在固定框14上，更具体的为，防滑垫二18可以增加固定板17与干涉仪19之间的摩擦力，能够固定的更加牢固。

在一些实施例中，所述置物组件包括固定块20、凹槽21、螺杆二22和两个移动块23，所述固定块20固定安装在桌子1的顶部，所述凹槽21开设在固定块20的顶部，所述螺杆二22转动安装在凹槽21内，两个所述移动块23均螺纹安装在螺杆二22上，更具体的为，能够通过转动螺杆二22带动两个移动块23移动。

在一些实施例中，所述置物组件还包括放置块24、两个侧板25、两个螺杆三26和两个夹持块27，所述放置块24固定安装在两个移动块23的顶部，两个所述侧板25均固定安装在放置块24的顶部，两个所述螺杆三26分别螺纹安装在对应的侧板25上，两个所述夹持块27分别转动安装在对应螺杆三26上，更具体的为，通过拧动螺杆三26带动两个夹持块27相互靠近，对待测物进行固定。

在一些实施例中，所述凹槽21内固定安装有限位杆，所述限位杆与两个移动块23滑动连接，更具体的为，通过限位杆限制两个移动块23的移动范围。

工作原理：

步骤一：将干涉仪19放置在固定框14内，然后拧动螺杆一16使得固定板17将干涉仪19固定在连接板二13上，通过防滑垫一15和防滑垫二18来增加连接板二13和固定板17与干涉仪19之间的摩擦力。

步骤二：拧动连接杆6带动齿轮7转动，通过与齿板4啮合带动矩形套管3在滑杆2上移动，伸缩杆8也随之伸展，将干涉仪19调节到合适的高度。

步骤三：将待测物件放置在两个夹持块27之间，通过拧动两个螺杆三26带动两个夹持块27将待测物件固定在放置块24上，转动螺杆二22带动两个移动块23转动，可以调节待测物件的位置。

步骤四：启动伺服电机12带动连接板一9转动，同时T形滑块11在滑轨10内滑动，将干涉仪19调整到合适的角度。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

Claims (7)

1.一种利用干涉仪的激光加工检测装置，包括桌子，其特征在于：所述桌子上设置有高度调节组件，所述高度调节组件包括滑杆、矩形套管、齿板、安装板、连接杆、齿轮和四个伸缩杆，所述滑杆固定安装在桌子的顶部，所述矩形套管滑动套设在滑杆上，所述齿板固定安装在矩形套管的一侧外壁上，所述安装板固定安装在桌子的顶部，所述连接杆转动安装在安装板上，所述齿轮固定安装在连接杆上，所述齿轮与齿板相啮合，四个所述伸缩杆均固定安装在桌子的顶部，所述桌子上方设置有角度调节组件和置物组件。

2.根据权利要求1所述的利用干涉仪的激光加工检测装置，其特征在于：所述角度调节组件包括连接板一、滑轨、两个T形滑块和伺服电机，所述连接板一固定安装在四个伸缩杆的顶端，所述滑轨固定安装在连接板一的顶部，两个所述T形滑块均滑动安装在滑轨内，所述伺服电机固定安装在连接板一的顶部。

3.根据权利要求2所述的利用干涉仪的激光加工检测装置，其特征在于：所述角度调节组件还包括连接板二、固定框、防滑垫一和螺杆一，所述连接板二固定安装在两个T形滑块的顶部，所述连接板二的底部与伺服电机的输出轴固定连接，所述固定框固定安装在连接板二的顶部，所述防滑垫一固定安装在连接板二的顶部，所述螺杆一螺纹安装在固定框上。

4.根据权利要求3所述的利用干涉仪的激光加工检测装置，其特征在于：所述角度调节组件还包括固定板、防滑垫二和干涉仪，所述固定板转动安装在螺杆一的底端，所述防滑垫二固定安装在固定板的底部，所述干涉仪设置在固定框上。

5.根据权利要求1所述的利用干涉仪的激光加工检测装置，其特征在于：所述置物组件包括固定块、凹槽、螺杆二和两个移动块，所述固定块固定安装在桌子的顶部，所述凹槽开设在固定块的顶部，所述螺杆二转动安装在凹槽内，两个所述移动块均螺纹安装在螺杆二上。

6.根据权利要求5所述的利用干涉仪的激光加工检测装置，其特征在于：所述置物组件还包括放置块、两个侧板、两个螺杆三和两个夹持块，所述放置块固定安装在两个移动块的顶部，两个所述侧板均固定安装在放置块的顶部，两个所述螺杆三分别螺纹安装在对应的侧板上，两个所述夹持块分别转动安装在对应螺杆三上。

7.根据权利要求5所述的利用干涉仪的激光加工检测装置，其特征在于：所述凹槽内固定安装有限位杆，所述限位杆与两个移动块滑动连接。