CN220397324U - 一种照明光路结构和检测系统 - Google Patents

Abstract

本申请涉及检测技术领域，具体涉及一种照明光路结构和检测系统，照明光路结构包括光源、第一光学组件、滤光组件和减光组件，光源提供初始光束，第一光学组件接收初始光束并产生非预设特性的第一光束；滤光组件用于对第一光束的波段进行选择性调节以出射预设波段的第二光束，减光组件用于对第二光束的光强进行调整以出射预设光强的照明光束；这样初始光束依次通过梳理、波段调节和光强调节，实现对初始光束的调制整合，满足多种不同需求的照明条件，使晶圆表面的缺陷清晰易见，方便后续对晶圆表面缺陷的判定，有助于提高检测系统的检测准确度和检测效率。

Description

一种照明光路结构和检测系统

技术领域

本申请涉及检测技术领域，具体涉及一种照明光路结构和检测系统。

背景技术

半导体晶圆的表面缺陷主要是通过光学成像技术进行检测，晶圆缺陷检测的光路系统包括照明模块和成像模块，照明模块包括照明光源和照明镜组，照明光源用于提供初始光，照明镜组调制整合初始光以产生照明光，照明光投射到晶圆表面后被反射产生检测光；成像模块包括成像探测器，成像探测器用于接收检测光以成像；通过照明镜组对初始光的整合，能够提高成像准确度和成像精度。

半导体晶圆由于工序及工艺不同，其表面特性存在很大差异，裸硅及工艺少的晶圆表面反射特性明显，多层工艺及镀膜后的晶圆其散射特性更显著。基于上述晶圆表面特征的差异，行业内在对晶圆表面缺陷进行检测时，往往需要根据不同晶圆表面特性选择具有合适波段和颜色的照明条件，使晶圆表面缺陷特征清晰易见，以方便后续判断。

实用新型内容

本申请提供一种照明光路结构和检测系统，以实现不同的照明条件。

根据本申请的一方面，一种实施例中提供一种照明光路结构，包括：

光源，用于产生初始光束；

第一光学组件，设置于所述初始光束的光路上，所述第一光学组件用于对所述初始光束进行梳理以产生非预设特性的第一光束；

滤光组件，设置于所述第一光束的光路上，所述滤光组件用于对所述第一光束的波段进行选择并出射预设波段的第二光束；

减光组件，设置于所述第二光束的光路上，所述减光组件用于对所述第二光束的光强进行调整以出射预设光强的照明光束。

在一种可选的实施例中，所述第一光学组件包括分光元件；所述分光元件倾斜设于所述初始光束的光路上，用于透射所述初始光束的至少部分以分离预设特性的所述初始光束，所述分光元件还用于反射所述初始光束的至少部分以保留非预设特性的所述初始光束并形成所述第一光束。

在一种可选的实施例中，所述分光元件包括冷镜、分光镜、二向色镜中的至少一种，所述预设特性为具有红外辐射能量。

在一种可选的实施例中，所述第一光学组件还包括光线收集元件，所述光线收集元件设置于透过所述分光元件的所述初始光束的光路上，所述光线收集元件用于收集并消耗所述预设特性的所述初始光束。

在一种可选的实施例中，所述滤光组件包括绕其轴线转动的滤光轮；所述滤光轮上设置有多个在其周向上间隔布置的滤光片，至少两个所述滤光片的滤光波段不同；

所述滤光轮被配置成：各所述滤光片能够分别切入至所述第一光束的光路中，通过对所述第一光束的波段选择以出射预设波段的第二光束。

在一种可选的实施例中，所述减光组件包括绕其轴线转动的减光轮；所述减光轮上设置有多个在其周向上布置的多个衰减片，至少两个所述衰减片的光强衰减倍率不同；

所述减光轮被配置成：各所述衰减片能够分别切入至所述第二光束的光路中以调节所述第二光束的光强。

在一种可选的实施例中，所述减光组件包括绕其轴线转动的减光轮；所述减光轮上设置有多个在其周向上布置的多个衰减片，至少两个所述衰减片的光强衰减倍率不同；

所述减光轮被配置成：各所述衰减片能够分别切入至所述第二光束的光路中以调节所述第二光束的光强。

在一种可选的实施例中，所述照明光路结构还包括匀光元件和准直元件；

所述匀光元件设于所述照明光束的光路上，所述匀光元件用于接收所述照明光束并对所述照明光束的执行空间分布进行均匀化处理；

所述准直元件设置于所述匀光元件的出光侧，所述准直元件用于接收所述均匀化处理后的所述照明光束并将所述照明光束整理成平行光。

在一种可选的实施例中，所述照明光路结构还包括第二光学组件，所述第二光学组件位于所述照明光束的光路上，用于调节所述照明光束的角度和/或偏振方向。

在一种可选的实施例中，所述照明光路结构还包括安装座和支架，所述光源通过所述支架安装在所述安装座上；

所述支架被配置为在至少一个方向上调节所述光源相对所述安装座的位置。

根据本申请的一方面，一种实施例中提供一种检测系统，包括照明模块和成像模块，所述照明模块包括上述任一项所述的照明光路结构，所述成像模块包括成像镜组和探测器，所述照明模块产生的照明光束用于投射在被测物的表面后产生检测光束，所述成像镜组用于接收所述检测光束并形成所述被测物的像，所述探测器用于获取所述被测物的像并产生检测图像

依据上述实施例的照明光路结构和检测系统，照明光路结构包括光源、第一光学组件、滤光组件和减光组件，光源提供初始光束，第一光学组件接收初始光束并产生非预设特性的第一光束；滤光组件用于对第一光束的波段进行选择性调节以出射预设波段的第二光束，减光组件用于对第二光束的光强进行调整以出射预设光强的照明光束；这样初始光束依次通过梳理、波段调节和光强调节，实现对初始光束的调制整合，满足多种不同需求的照明条件，使晶圆表面的缺陷清晰易见，方便后续对晶圆表面缺陷的判定。

附图说明

图1为一种实施例的照明光路结构的光路原理图；

图2为一种实施例的照明光路结构的立体图；

图3为另一种实施例的照明光路结构的俯视图。

图中：

100、光源；101、底座；102、安装座；103、支架；110、活动架；

200、第一光学组件；201、分光元件；202、光线收集元件；

300、滤光组件；301、滤光轮；302、滤光片；303、滤光支架；304、第一部分；305、第二部分；306、第一驱动电机；

400、减光组件；401、减光轮；403、减光支架；404、第二驱动电机；

500、第一透镜组；501、第二透镜组；502、匀光棒；503、准直透镜；

600、第二光学组件；601、第一角度调节单元；602、第二角度调节单元；603、瞳面。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本申请作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。

另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式，各实施例所涉及的操作步骤也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图只是为了清楚描述某一个实施例，并不意味着是必须的组成和/或顺序。

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。

本申请公开一种照明光路结构，照明光路结构可以应用在光学成像检测设备中，比如可以应用在实现被测物，如半导体晶圆、芯片、掩膜版或玻璃屏幕的表面缺陷检测的设备中。若应用在对半导体晶圆表面缺陷检测的设备中，照明光路结构能够对照射在晶圆表面的光束的特性进行调制整合，从而产生能够使晶圆表面不同类型的缺陷在探测器中清晰成像的多种照明光，即实现不同的照明条件，以方便对晶圆表面不同类型缺陷特征的识别和判断。其中，光束的特性包括光束的波长和光强，还可以包括光束的均匀性、光束的角度、偏振等能够被调节的特性。

请参考图1，该照明光路结构包括光源100、第一光学组件200、滤光组件300和减光组件400；光源100用于产生初始光束；第一光学组件200设置于初始光束的光路上，第一光学组件200用于对初始光束进行梳理以产生非预设特性的第一光束；滤光组件300设置于第一光束的光路上，滤光组件300用于对第一光束的波段进行选择并出射预设波段的第二光束；减光组件400设置于第二光束的光路上，减光组件400用于对第二光束的光强进行调整以出射预设光强的照明光束。

光源100所产生的初始光束为未经过任何调节的光束。第一光束为非预设特性的光束，非预设特性的光束即为从初始光束中过滤掉预设特性的光束后剩下的光束，该预设特性可以是根据需求而确定的波长特性、角度特性或偏振特性；如为波长特性的话，可以是具有红外辐射能量的特性，第一光束即为从初始光束中过滤掉或分离出具有红外辐射能量特性的光束后留下的那部分不具有红外辐射能量特性的光束。第二光束为预设波段的光束，第一光束经过滤光组件300过滤后即形成预设波段的光束，该预设波段的具体波段范围由滤光组件300确定。而照明光束为预设光强的光束，该预设光强的具体光照强度范围由减光组件400确定，第二光束经过减光组件400调节光强后即形成预设光强的照明光束。

需要说明的是，图1和图3中带箭头的双点划线代表初始光束，带箭头的点划线代表第一光束，带箭头的虚线代表第二光束；图1中带箭头的实线代表照明光束，位于各光束两侧的实线表示对应光束的边界，双点划线表示瞳面603所在位置。

在一些实施例中，预设特性为波长特性，第一光学组件200包括分光元件201，分光元件201倾斜设于初始光束的光路上，用于透射初始光束的至少部分以分离预设特性的初始光束，分光元件201还用于反射初始光束的至少部分以保留非预设特性的初始光束并形成第一光束。

具体地，请继续参考图1至图3，分光元件201于其受光侧具有受光面，受光面与初始光束在分光元件201上的入射方向不垂直，以满足分光元件201倾斜地设置于初始光束的光路上，这样初始光束的部分能够透过分光元件201以形成预设特性的初始光束，其他部分能够被分光元件201反射以形成非预设特性的初始光束，即第一光束，从而实现分光元件201的分光作用。

进一步地，在预设特性为具有红外辐射能量的实施例中，分光元件201包括冷镜、分光镜、二向色镜中的至少一种。比如，分光元件201被配置为冷镜，初始光束照射在冷镜上，冷镜能够透射具有红外辐射能量的初始光束，反射不具有红外辐射能量的初始光束以形成第一光束；比如，分光元件201被配置为分光镜，分光镜与冷镜的作用相同，分光镜也能够透射具有红外辐射能量的初始光束，并反射不具有红外辐射能量的初始光束以形成第一光束。

当然在其他一些实施例中，第一光学组件200包括滤光元件如滤光片，滤光元件的受光面可以与初始光束的入射方向垂直，滤光元件能够过滤初始光束中的红光，以供不具有红外辐射能量的初始光束透过滤光元件而形成第一光束。

或者在其他一些实施例中，根据不同照明条件的需求，预设特性还可以是具有绿光波段或其他设定波段，分光元件201包括分光镜，分光镜透射具有绿光或其他设定波段的初始光束，反射其他不具有绿光或非设定波段范围的初始光束；或者根据不同照明条件的需求，预设特性还可以是偏振特性，分光元件201包括偏振片，偏振片能够供初始光束中具有预设偏振角度的初始光束通过以形成第一光束。

在一些第一光学组件200包括分光元件201的实施例中，第一光学组件200还包括光线收集元件202，光线收集元件202设置于透过分光元件201的初始光束的光路上，光线收集元件202用于收集并消耗预设特性的初始光束。

具体地，请参考图1至图3，光线收集元件202、分光元件201和光源100位于同一条直线上，且光线收集元件202设置于分光元件201的背向光源100的一侧，光线收集元件202能够接收分光元件201透射的预设特性的初始光束。光线收集元件202可以是光阱，光阱能够收集并消耗预设特性的初始光束即具有红外辐射能量的初始光束，以避免具有红外辐射能量的初始光束影响非预设特性的初始光束，也即第一光束在照明光路结构中的传输，避免具有红外辐射能量的初始光束影响光学成像的图像质量。

当然在第一光学组件200包括滤光元件的实施例中，无需对预设特性的初始光束进行处理，即可以不设置光线收集元件202。

在一些实施例中，滤光组件300设置于第一光束的光路上，分光元件201的受光面与初始光束在分光元件201上的入射方向之间的夹角为45°，这样分光元件201上初始光束的入射方向与第一光束的出射方向垂直，光源100和滤光组件300均位于分光元件201的受光面所在的一侧，这样能够避免光源100与滤光组件300位置干涉的同时，还有助于实现照明光路结构的紧凑化设计。

请参考图1至图3，滤光组件300包括绕其轴线转动的滤光轮301，滤光轮301上设置有多个在其周向上间隔布置的滤光片302，至少两个滤光片302的滤光波段不同；滤光轮301被配置成：各滤光片302能够分别切入至第一光束的光路中，通过对第一光束的波段选择以出射预设波段的第二光束。

具体地，请继续参考图1至图3，滤光轮301上设置有四个在其周向上间隔布置的滤光片302，各滤光片302的滤光波段不同，通过转动滤光轮301，使各滤光片302分别切入至第一光束的光路，这样经过滤光组件300后，可以分别得到具有四种不同预设波段的第二光束。当然在其他实施例中，滤光轮301上滤光片302的数量可以仅设置一个，以满足单一预设波段的照明条件需求，或者在滤光轮301的周向上均匀间隔布置的滤光片302的数量可以设置四个以上，以在一个检测过程中满足多种不同照明条件的需求。

请继续参考图1至图3，滤光组件300包括滤光支架303和第一驱动电机306，第一驱动电机306的输出轴穿过滤光支架303后与滤光轮301的中心轴传动连接，以方便第一驱动电机306驱动滤光轮301转动。滤光支架303包括第一部分304和第二部分305，第一部分304具有在其长度方向上布置的固定端和安装端，第一部分304的固定端固定在安装台面上，第二部分305具有在其长度方向上布置的第一端和第二端，第二部分305的第一端与第一部分304的安装端连接，第二部分305的第二端用于固定安装第一驱动电机306，第一部分304的长度方向、第二部分305的长度方向和滤光轮301的轴向两两互相垂直，以避免第一部分304在第一部分304的延伸方向上遮挡滤光轮301而影响初始光束的传输。

其他一些实施例中，滤光组件300还可以包括滤光轴，滤光轴一端固定在安装台面上，滤光轴的轴线与安装台面垂直，滤光轴的外周面上安装有多个均匀且间隔布置的叶片，各叶片上均安装有滤光片302，各滤光片302的滤光波段不同，第一驱动电机306与滤光轴传动连接，能够带动滤光轴转动，从而使各叶片上安装的滤光片302依次切入至第一光束的光路，这样也能够得到具有多个不同预设波段的第二光束。与在滤光组件300中设置滤光轴、叶片和滤光片302的结构相比，设置滤光轮301的结构简单，方便加工，并且能够避免两个滤光片302同时切入同一光路中。

一些实施例中，减光组件400包括绕其轴线转动的减光轮401，减光轮401上设置有在其周向上布置的多个衰减片，至少两个衰减片的光强衰减倍率不同；减光轮401被配置成：各衰减片能够分别切入至第二光束的光路中以调节第二光束的光强。

具体地，请参考图1至图3，减光组件400位于滤光组件300的出光侧，减光组件400包括减光支架403和第二驱动电机404，第二驱动电机404的输出轴穿过减光支架403后与减光轮401的中心轴传动连接，以方便第二驱动电机404驱动减光轮401转动。减光支架403具有固定端和安装端，减光支架403通过其固定端固定在安装台面上，第二驱动电机404安装在减光支架403的安装端。

衰减片可以是中性密度滤光片，多个具有不同衰减倍率的中性密度滤光片绕减光轮401的中心轴均匀间隔设置，通过转动减光轮401，可使多个中性密度滤光片分别切入至第二光束的光路中，以得到具有多种不同预设光强的照明光束。中性密度滤光片可将第二光束的光强衰减，第二光束通过中性密度滤光片后，不同波长均按照同一个比例衰减，使中性密度滤光片在宽波段内保持近似相等的能量透过率，实现光强衰减的一致性。

当然在其他实施例中，减光轮401上的衰减片的数量可以仅设置一个，以满足单一预设光强的照明光束需求。

一些实施例中，减光组件400可以与设置有滤光轴、叶片和滤光片302的滤光组件300的结构类似，减光组件400还可以包括减光轴、多个叶片和分别安装在对应叶片上的衰减片，第二驱动电机404带动减光轴转动，从而使各叶片上安装的衰减片依次切入第二光束的光路，以得到具有多个不同预设光强的照明光束。

本申请的照明光路结构中，光源100可以是激光光源，也可以是LED光源，当光源100为激光光源时，由于激光光源产生的初始光束能量较为集中，激光光源产生的初始光束可以直接被第一光学组件200接收并进行后续的波段梳理和调节。

当光源100为LED光源时，光源100产生的初始光束为发散光，不方便对初始光束的调制整合。一些实施例中，为了方便对初始光束的调节，照明光路结构还包括第一透镜组500和第二透镜组501；第一透镜组500设于初始光束的光路上，第一透镜组500用于将初始光束整理成平行光；第二透镜组501设于第二光束的光路上，用于对第二光束进行汇聚并将汇聚后的光束传输至减光组件400。

具体地，第一透镜组500为第一耦合镜组，第二透镜组501为第二耦合镜组。请参考图1至图3，第一耦合镜组位于光源100与第一光学组件200之间，以接收光源100产生的初始光束，并将初始光束整理成平行光，而第一光学组件200接收的也是平行光；第二耦合镜组位于滤光轮301与减光轮401之间，以接收第二光束，并汇聚第二光束，而减光组件400接收的第二光束即为汇聚后的第二光束。这样先将光束整理成平行光，再对光束进行梳理、过滤形成第二光束，然后再汇聚第二光束，最后调节第二光束的光强的结构，一方面能够减少初始光束调制整合过程中的能量损失，提升初始光束调制整合的效果；另一方面由于减光轮401接收的是汇聚后的光束，这样有助于减小减光轮401的尺寸，有助于实现整个照明光路结构的紧凑化设计。

一些实施例中，检测过程中对照明光束的要求较高，如要求照明光束具有较高的平行度和均匀性，对于这种需求，一般需要在照明光路结构中设置相应的调节结构。请参考图1至图3，照明光路结构还包括匀光元件和准直元件。匀光元件设于照明光束的光路上，匀光元件用于接收照明光束并对照明光束的执行空间分布进行均匀化处理；准直元件设置于匀光元件的出光侧，准直元件用于接收均匀化处理后的照明光束并将照明光束整理成平行光。

具体地，请继续参考图1至图3，匀光元件为匀光棒502，匀光棒502固定在安装台面上，匀光棒502位于减光组件400的出光侧，匀光棒502在照明光束的传输光路上延伸，且匀光棒502的轴线与照明光束的光轴重合；第二耦合镜组将第二光束耦合形成的光斑光束通过在匀光棒502中进行多次反射以进行均匀化。

准直元件为准直透镜503，准直透镜503通过支架固定在安装台面上，准直透镜503位于照明光束的传输光路上，且位于匀光棒502的出光侧，准直透镜503用于将匀光棒502出口的光束准直成平行光，以满足照明光束的平行度和均匀性要求。

当然，如果检测过程中对照明光束的要求不高，如不要求照明光束具有较高平行度和均匀性的条件下，光源100可以设置成激光光源，激光光源产生的初始光束依次经过第一光学组件200、滤光组件300和减光组件400后形成的照明光束可以直接照射在被测物上。

进一步地，在一些被测物缺陷检测的过程中，如对晶圆表面缺陷检测的过程中，还需要要求照明光束的角度和偏振方向，为了满足这一需求，一些实施例中，请参考图1，照明光路结构还包括第二光学组件600，第二光学组件600位于照明光束的光路上，用于调节照明光束的角度和/或偏振方向。

具体地，第二光学组件600位设置在准直透镜503的出光侧，第二光学组件600包括角度调节元件和偏振调节元件(图中未示出)；角度调节元件中可以设置有多个形状不同的通光孔，在对被测物表面缺陷检测的过程中，可以通过调节切入到照明光束中不同形状的通光孔从而改变照明光束的角度；偏振调节元件中可以设置多个偏振片，在对被测物表面缺陷检测的过程中，可以通过调节切入到照明光束中不同的偏振片，从而改变照明光束的偏振方向，满足照明光束的多种照明条件需求。

其中角度调节元件有两个，分别为第一角度调节单元601和第二角度调节单元602，第一角度调节单元601应用在明场检测过程中对照明光束角度的调节，第二角度调节单元602应用在暗场检测过程中对照明光束角度的调节。第一角度调节单元601和第二角度调节单元602均靠近瞳面603设置，这样才能够实现对照照明光束角度的准确调节；需要说明的是，上述瞳面603为物镜瞳面通过成像镜组中的中继镜组引入到照明光路结构中的瞳面。

在一些实施例中，如果仅对照明光束的角度或偏振有要求的话，第二光学组件600可以件包括角度调节元件或偏振调节元件。

一些实施例中，请参考图2和图3，照明光路结构还包括底座101，底座101可以是安装板或安装块，照明光路中的结构，如光源100、第一透镜组500、第一光学组件200、滤光组件300、第二透镜组501、减光组件400、匀光棒502、准直透镜503和第二光学组件600均可以安装在底座101的朝向滤光组件300的侧面，该侧面即为安装台面，这样有助于实现整个照明光路结构的模块化设计，方便整个照明光路结构的装配和维护。当然在安装台面上的空间有限的情况下，可以仅照明光路结构中的局部安装在安装台面上。

一些实施例中，光源100位于底座101边缘的外侧；照明光路结构还包括安装座102和支架103，光源100通过支架103安装在安装座102上；支架103被配置为在至少一个方向上调节光源100相对安装座102的位置。

具体地，请参考图2和图3，第一透镜组500具有固定在底座101上的外框架，安装座102安装在第一透镜组500的外框架上，支架103包括悬置在底座101外的四方框架结构，支架103安装在安装座102上，光源100安装在四方框架结构上，光源100依次通过支架103、安装座102、第一透镜组500的外框架实现与底座101的连接。

支架103还包括与四方框架结构固定连接的活动架110，活动架110能够相对安装座102在第一方向上移动，第一方向可以是与光源100的初始光束出射方向垂直的任一方向，可以通过滑块和轨道实现活动架110相对安装座102在第一方向上的往复移动，以实现光源100位置的调节。

当然活动架110还可以相对安装座102分别在第一方向和第二方向上移动，第一方向与第二方向垂直，且第二方向与初始光束出射方向垂直，活动架110与安装座102之间可通过球铰结构实现在两个方向上的相对移动，从而实现光源100位置的调节。

本申请还公开一种检测系统，该检测系统利用光学成像原理实现被测物，如半导体晶圆、芯片、掩膜版或玻璃屏幕等表面缺陷的检测。检测系统包括照明模块和成像模块，照明模块包括上述任一实施例中的照明光路结构，成像模块包括成像镜组和探测器，照明模块产生的照明光束用于投射在被测物的表面后产生检测光束，成像镜组用于接收检测光束并形成被测物的像，探测器用于获取被测物的像并产生检测图像。

照明模块产生的照明光束即为通过上述任一实施例中的照明光路结构对初始光束进行梳理、整合调制后形成的照明光束，该照明光束投射在被测物的表面，被被测物反射形成检测光束，检测者或者检测系统能够通过成像组件接收检测光束所形成的被测物的检测图像识别出被测物表面的缺陷。在实际检测过程中，可根据被测物表面的缺陷类型，在检测过程中通过改变照明光束的特性，如波长、光强、偏振和角度的特性，以形成多个不同的检测图像，通过多个不同的检测图像对不同缺陷类型的不同敏感程度，以方便检测者或检测系统对多种类型缺陷的识别，有助于提高整个检测系统的检测效率和检测准确度。

以上应用了具体个例对本实用新型进行阐述，只是用于帮助理解本实用新型，并不用以限制本实用新型。对于本实用新型所属技术领域的技术人员，依据本实用新型的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。

Claims (11)

1.一种照明光路结构，其特征在于，包括:

光源，用于产生初始光束；

第一光学组件，设置于所述初始光束的光路上，所述第一光学组件用于对所述初始光束进行梳理以产生非预设特性的第一光束；

滤光组件，设置于所述第一光束的光路上，所述滤光组件用于对所述第一光束的波段进行选择并出射预设波段的第二光束；

减光组件，设置于所述第二光束的光路上，所述减光组件用于对所述第二光束的光强进行调整以出射预设光强的照明光束。

2.如权利要求1所述的照明光路结构，其特征在于，所述第一光学组件包括分光元件；所述分光元件倾斜设于所述初始光束的光路上，用于透射所述初始光束的至少部分以分离预设特性的所述初始光束，所述分光元件还用于反射所述初始光束的至少部分以保留非预设特性的所述初始光束并形成所述第一光束。

3.如权利要求2所述的照明光路结构，其特征在于，所述分光元件包括冷镜、分光镜、二向色镜中的至少一种，所述预设特性为具有红外辐射能量。

4.如权利要求2所述的照明光路结构，其特征在于，所述第一光学组件还包括光线收集元件，所述光线收集元件设置于透过所述分光元件的所述初始光束的光路上，所述光线收集元件用于收集并消耗所述预设特性的所述初始光束。

5.如权利要求1至4中任一项所述的照明光路结构，其特征在于，所述滤光组件包括绕其轴线转动的滤光轮；所述滤光轮上设置有多个在其周向上间隔布置的滤光片，至少两个所述滤光片的滤光波段不同；

所述滤光轮被配置成：各所述滤光片能够分别切入至所述第一光束的光路中，通过对所述第一光束的波段选择以出射预设波段的第二光束。

6.如权利要求1至4中任一项所述的照明光路结构，其特征在于，所述减光组件包括绕其轴线转动的减光轮；所述减光轮上设置有多个在其周向上布置的多个衰减片，至少两个所述衰减片的光强衰减倍率不同；

所述减光轮被配置成：各所述衰减片能够分别切入至所述第二光束的光路中以调节所述第二光束的光强。

7.如权利要求1至4中任一项所述的照明光路结构，其特征在于，还包括第一透镜组和第二透镜组；

所述第一透镜组设于所述初始光束的光路上，所述第一透镜组用于将所述初始光束整理成平行光；所述第二透镜组设于所述第二光束的光路上，用于对所述第二光束进行汇聚并将汇聚后的光束传输至所述减光组件。

8.如权利要求1至4中任一项所述的照明光路结构，其特征在于，所述照明光路结构还包括匀光元件和准直元件；

所述匀光元件设于所述照明光束的光路上，所述匀光元件用于接收所述照明光束并对所述照明光束的执行空间分布进行均匀化处理；

所述准直元件设置于所述匀光元件的出光侧，所述准直元件用于接收所述均匀化处理后的所述照明光束并将所述照明光束整理成平行光。

9.如权利要求1至4中任一项所述的照明光路结构，其特征在于，所述照明光路结构还包括第二光学组件，所述第二光学组件位于所述照明光束的光路上，用于调节所述照明光束的角度和/或偏振方向。

10.如权利要求1至4中任一项所述的照明光路结构，其特征在于，所述照明光路结构还包括安装座和支架，所述光源通过所述支架安装在所述安装座上；

所述支架被配置为在至少一个方向上调节所述光源相对所述安装座的位置。

11.一种检测系统，其特征在于，包括照明模块和成像模块，所述照明模块包括权利要求1至10中任一项所述的照明光路结构，所述成像模块包括成像镜组和探测器，所述照明模块产生的照明光束用于投射在被测物的表面后产生检测光束，所述成像镜组用于接收所述检测光束并形成所述被测物的像，所述探测器用于获取所述被测物的像并产生检测图像。