CN220364628U - 一种用于人工晶体炉的抽气口隔套 - Google Patents

Abstract

一种用于人工晶体炉的抽气口隔套，涉及人工晶体制备技术领域，本实用新型通过在管道主体（1）的内缘面设置保温套管（5），且保温套管的外缘面与管道主体的内缘面之间留有间隙（3），此时管道主体的冷气传导不到保温套管上，本实用新型通过保温套管隔离由炉底传导至与炉底接触部位管道主体的冷气，有效的避免了挥发物冷凝沉积在此部位的现象等，本实用新型具有结构简便，使用效果好等特点，适合大范围的推广和应用。

Description

一种用于人工晶体炉的抽气口隔套

技术领域

本实用新型涉及人工晶体炉技术领域，尤其涉及一种用于人工晶体炉的抽气口隔套。

背景技术

已知的，人工晶体炉在工作过程中大多需要往炉室内通入保护性气体，通过流动的保护性气体将炉室内的挥发物带出炉室，为了使保护性气体在炉室内流通，很多晶体炉都会在炉室的炉底上设置至少一个抽气口隔套，抽气口隔套的下端连通炉底外部的抽气管道。

以制备单/多晶硅的晶体炉为例，抽气口隔套设置在晶体炉的炉底上，抽气口隔套的上端向上延伸位于炉室的下部，抽气口隔套的下端连接炉底的下面，在使用时，由于炉底的中部通有冷却水，此时与炉底上冷却水道接触的抽气口隔套的部位受到炉底内冷却水的冷却（炉底内的冷气直接传导至与其连接的抽气口隔套上），此部分的温度会低于抽气口隔套其它部位的温度（主要是低于抽气口隔套上部的温度），此时从炉室内抽出的气体会夹杂一些挥发物和杂质，当挥发物经过抽气口隔套时，由于与炉底接触部分抽气口隔套的温度相对较低，挥发物就会由于冷凝的作用凝结在抽气口隔套的管壁上，久而久之，挥发物在此处越积越多，挥发物沉积后在此处就会形成一个硬壳，严重时还会堵死抽气口隔套，导致抽气口隔套无法工作等。

因此，如何提供一种避免挥发物在抽气口隔套中冷凝沉积的抽气口隔套就显得尤为重要。

发明内容

为了克服背景技术中的不足，本实用新型公开了一种用于人工晶体炉的抽气口隔套，本实用新型通过在抽气管的内壁设置保温套管，通过保温套管隔离由炉底传导至与炉底接触部位管道主体的冷气，有效的避免了挥发物冷凝沉积在此部位的现象等。

为了实现所述的发明目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于人工晶体炉的抽气口隔套，包括管道主体和保温套管，所述管道主体的外缘面连接炉底上的抽气口，在管道主体的内缘面设有保温套管，所述保温套管的外缘面与管道主体的内缘面之间留有间隙。

所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，所述保温套管与管道主体连接时的第一结构为在保温套管上端头的外缘面设有向外延伸的限位凸台B，在管道主体内缘面的中上部设有限位凸台A，保温套管插接在管道主体内后限位凸台B的下面与限位凸台A的上面抵接。

所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，所述保温套管与管道主体连接时的第二结构为在保温套管外缘面的中上部设有向外延伸的限位凸台B，在管道主体内缘面的中上部设有限位凸台A，保温套管插接在管道主体内后限位凸台B的下面与限位凸台A的上面抵接。

所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，所述保温套管与管道主体连接时的第三结构为在保温套管上端头的外缘面设有向外延伸的限位凸台B，保温套管插接在管道主体内后限位凸台B的下面与管道主体的上端面抵接。

所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，所述保温套管的内缘面设有保温内管，所述保温内管的外缘面与保温套管的内缘面之间留有间隙。

所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，所述保温套管与保温内管的连接形式为在保温内管上端头的外缘面设有向外延伸的限位凸台B，在保温套管内缘面的中上部设有限位凸台A，保温内管插接在保温套管内后限位凸台B的下面与限位凸台A的上面抵接。

所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，所述管道主体的外缘面设有定位台阶，所述定位台阶的下面抵接炉底的上面。

所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，所述保温套管上端头的孔口设有下端直径小上端直径大的锥形孔。

所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，所述保温内管上端头的孔口设有下端直径小上端直径大的锥形孔。

采用上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过在管道主体的内缘面设置保温套管，且保温套管的外缘面与管道主体的内缘面之间留有间隙，此时管道主体的冷气传导不到保温套管上，本实用新型通过保温套管隔离由炉底传导至与炉底接触部位管道主体的冷气，有效的避免了挥发物冷凝沉积在此部位的现象等，本实用新型具有结构简便，使用效果好等特点，适合大范围的推广和应用。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型实施例中保温套管的结构示意图；

图3是本实用新型实施例中设置保温内管的结构示意图；

图4是本实用新型第二实施例的结构示意图；

图5是本实用新型的应用示意图；

在图中：1、管道主体；2、限位凸台A；3、间隙；4、定位台阶；5、保温套管；6、限位凸台B；7、保温内管；8、炉底；9、锥形孔。

实施方式

参考下面的实施例，可以更详细解释本实用新型，但是本实用新型并不限于这些实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“侧向”、“长度”、“宽度”、“高度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“侧”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型的主要创新点是通过在管道主体1的内缘面设置保温套管5，通过保温套管5隔离由炉底传导至与炉底接触部位管道主体的冷气，有效的避免了挥发物冷凝沉积在此部位的现象等。实施时，炉底8的结构为现有结构，其中部设有冷却水通道，通过冷却水对炉底进行降温，而容易发生冷凝沉积的部位就是发生在与炉底上冷却水通道部位的管道主体1的内壁，由于冷气的传导作用，冷却水的冷气会传导至管道主体1上，本实用新型通过在管道主体1的内侧间隔设置保温套管5，保温套管5不直接与管道主体1接触，这样就避免了冷气传导至保温套管5上，此时炉室内夹杂着挥发物的保护性气体从保温套管5内通过，就不会发生冷凝沉积的现象等。

结合附图1～5，本实用新型所述的一种用于人工晶体炉的抽气口隔套，包括管道主体1和保温套管5，所述管道主体1的外缘面连接炉底8上的抽气口，在管道主体1的内缘面设有保温套管5，所述保温套管5的外缘面与管道主体1的内缘面之间留有间隙3。

本实用新型在实施时，如图1、2所示，所述保温套管5与管道主体1连接时的第一结构为在保温套管5上端头的外缘面设有向外延伸的限位凸台B6，在管道主体1内缘面的中上部设有限位凸台A2，保温套管5插接在管道主体1内后限位凸台B6的下面与限位凸台A2的上面抵接。即实现了将保温套管5挂接在管道主体1上，实施时，保温套管5的材质为耐高温材料，比如石墨或硅或碳化硅或氧化铝或氧化锆或六方氮化硼或氮化硅或氮化铝或特氟龙或铁氟龙或氧化铬或氧化硅或氧化钙或氧化镁或氧化钛或氧化钠或碳化钨或金属陶瓷或氧化物陶瓷中的任意一种；进一步，限位凸台A2和限位凸台B6在具体应用时，可以设置为环形结构，即限位凸台A2和限位凸台B6均为圆环形结构，或者设置为块状结构，若设置为块状结构时，其数量不能少于两个，且限位凸台A2和限位凸台B6设置位置应一一对应。实施时，限位凸台A2和限位凸台B6的形状优选为环形结构。

进一步，作为保温套管5与管道主体1连接时第一结构的变形，所述保温套管5与管道主体1连接时的第二结构为在保温套管5外缘面的中上部设有向外延伸的限位凸台B6，在管道主体1内缘面的中上部设有限位凸台A2，保温套管5插接在管道主体1内后限位凸台B6的下面与限位凸台A2的上面抵接。

进一步，如图2、4所示，所述保温套管5与管道主体1连接时的第三结构为在保温套管5上端头的外缘面设有向外延伸的限位凸台B6，保温套管5插接在管道主体1内后限位凸台B6的下面与管道主体1的上端面抵接。

进一步，如图3所示，为了起到更好的隔离冷气传导，在所述保温套管5的内缘面设有保温内管7，所述保温内管7的外缘面与保温套管5的内缘面之间留有间隙3。

进一步，如图3所示，所述保温套管5与保温内管7的连接形式为在保温内管7上端头的外缘面设有向外延伸的限位凸台B6，在保温套管5内缘面的中上部设有限位凸台A2，保温内管7插接在保温套管5内后限位凸台B6的下面与限位凸台A2的上面抵接。

进一步，如图1、5所示，所述管道主体1的外缘面设有定位台阶4，所述定位台阶4的下面抵接炉底8的上面，实施时，管道主体1插接到炉底8上的抽气口内后，定位台阶4的下面与炉底8的上面抵接，可以起到很好的定位作用，然后将管道主体1的外缘面与炉底8的上面焊接在一起。

进一步，如图1～5所示，所述保温套管5上端头的孔口设有下端直径小上端直径大的锥形孔9。

进一步，如图3所示，所述保温内管7上端头的孔口设有下端直径小上端直径大的锥形孔9。

本实用新型在具体使用时，炉底8内冷却水的冷气传导到管道主体1上后，由于管道主体1与保温套管5为间隔设置，其冷气传导不到保温套管5上，因此可以很好的避免挥发物因冷凝现象附着在保温套管5，有效的避免了挥发物在此处冷凝沉积。

以上内容中未细述部份为现有技术，故未做细述。

为了公开本实用新型的目的而在本文中选用的实施例，当前认为是适宜的，但是应了解的是，本实用新型旨在包括一切属于本构思和本实用新型范围内的实施例的所有变换和改进。

Claims (9)

1.一种用于人工晶体炉的抽气口隔套，包括管道主体（1）和保温套管（5），其特征是：所述管道主体（1）的外缘面连接炉底（8）上的抽气口，在管道主体（1）的内缘面设有保温套管（5），所述保温套管（5）的外缘面与管道主体（1）的内缘面之间留有间隙（3）。

2.根据权利要求1所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，其特征是：所述保温套管（5）与管道主体（1）连接时的第一结构为在保温套管（5）上端头的外缘面设有向外延伸的限位凸台B（6），在管道主体（1）内缘面的中上部设有限位凸台A（2），保温套管（5）插接在管道主体（1）内后限位凸台B（6）的下面与限位凸台A（2）的上面抵接。

3.根据权利要求1所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，其特征是：所述保温套管（5）与管道主体（1）连接时的第二结构为在保温套管（5）外缘面的中上部设有向外延伸的限位凸台B（6），在管道主体（1）内缘面的中上部设有限位凸台A（2），保温套管（5）插接在管道主体（1）内后限位凸台B（6）的下面与限位凸台A（2）的上面抵接。

4.根据权利要求1所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，其特征是：所述保温套管（5）与管道主体（1）连接时的第三结构为在保温套管（5）上端头的外缘面设有向外延伸的限位凸台B（6），保温套管（5）插接在管道主体（1）内后限位凸台B（6）的下面与管道主体（1）的上端面抵接。

5.根据权利要求1～4任一权利要求所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，其特征是：所述保温套管（5）的内缘面设有保温内管（7），所述保温内管（7）的外缘面与保温套管（5）的内缘面之间留有间隙（3）。

6.根据权利要求5所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，其特征是：所述保温套管（5）与保温内管（7）的连接形式为在保温内管（7）上端头的外缘面设有向外延伸的限位凸台B（6），在保温套管（5）内缘面的中上部设有限位凸台A（2），保温内管（7）插接在保温套管（5）内后限位凸台B（6）的下面与限位凸台A（2）的上面抵接。

7.根据权利要求1所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，其特征是：所述管道主体（1）的外缘面设有定位台阶（4），所述定位台阶（4）的下面抵接炉底（8）的上面。

8.根据权利要求1所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，其特征是：所述保温套管（5）上端头的孔口设有下端直径小上端直径大的锥形孔（9）。

9.根据权利要求5所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，其特征是：所述保温内管（7）上端头的孔口设有下端直径小上端直径大的锥形孔（9）。