CN220363033U - 一种铜靶材制坯用空气抽离装置 - Google Patents
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Abstract
一种铜靶材制坯用空气抽离装置,包括真空泵和抽气软管,在抽气软管上安装有静电除尘过滤器;所述静电除尘过滤器包括同轴设置的内环体、外环体和绝缘密封环,在内环体上设有带电的内集尘环板,在外环体上设有带电的外集尘环板,在内集尘环板与外集尘环板之间形成了迷宫形的空气流通通道和电场。抽气时受迷宫形电场的作用,气流多次折向运动,一是降低了气流的流速,并使部分铜粉因惯性碰壁而被内外集尘环板捕获;二是增大了电场的作用面积,使铜粉更容易被内外集尘环板捕获,增强了除尘效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及靶材制备领域,尤其是涉及一种铜靶材制坯用空气抽离装置。
背景技术
铜及铜合金靶材在制坯时需要用到冷等静压成型工艺,在该成型工艺中,需要将铜粉放入包套内,并对包套内的空气进行抽离。空气的抽离程度对靶材坯体的冷等静压成型具有较大的影响,包套内存留的空气越多,则压力在坯体内传递的阻力就越大,导致坯体致密度降低。此外,泄压时包套内的空气还会剧烈膨胀,导致包套开裂。因此包套内的空气需要抽离得越多越好。
目前存在的问题是,由于铜粉的粒径大多为微米级,抽空气时,少部分铜粉也会被真空泵抽走,并对真空泵的运动部件造成磨损。如果在抽气口处加装过滤网,则过滤网很快就会被铜粉堵塞。
实用新型内容
为了克服背景技术中的不足,本实用新型公开了一种铜靶材制坯用空气抽离装置,采用如下技术方案:
一种铜靶材制坯用空气抽离装置,包括真空泵和抽气软管,在抽气软管上安装有静电除尘过滤器;所述静电除尘过滤器包括同轴设置的内环体、外环体和绝缘密封环,在内环体上设有带电的内集尘环板,在外环体上设有带电的外集尘环板,在内集尘环板与外集尘环板之间设有迷宫形的空气流通通道。
进一步地改进技术方案,在内环体上设有出气管,在外环体上设有进气管,出气管和进气管分别连通在空气流通通道的两端。
进一步地改进技术方案,在内集尘环板上加载有正电荷,在外集尘环板上加载有负电荷。
进一步地改进技术方案,所述出气管的进气口设在管壁上。
进一步地改进技术方案,所述内集尘环板由锥面板和环状板组成,其中,锥面板位于环状板的下部。
由于采用上述技术方案,相比背景技术,本实用新型具有如下有益效果:
本空气抽离装置在抽气软管上安装有静电除尘过滤器,静电除尘过滤器具有内集尘环板和外集尘环板,在内集尘环板与外集尘环板之间形成了迷宫形的空气流通通道和电场。抽气时受迷宫形电场的作用,气流多次折向运动,一是降低了气流的流速,并使部分铜粉因惯性碰壁而被内外集尘环板捕获;二是增大了电场的作用面积,使铜粉更容易被内外集尘环板捕获,增强了除尘效果。
本空气抽离装置能够清除掉抽气中的铜粉,防止真空泵发生磨损。
附图说明
图1示出的是本空气抽离装置在抽气时的结构示意图。
图2示出的是静电除尘过滤器的结构示意图。
图3示出的是内环体的结构示意图。
图4示出的是外环体的结构示意图。
图中:
1、静电除尘过滤器;
11、内环体;111、内集尘环板;112、出气管;12、外环体;121、外集尘环板;122、进气管;13、绝缘密封环;
2、抽气软管;
3、包套。
具体实施方式
下面参照附图来描述本实用新型的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是,这些实施方式仅仅用于解释本实用新型的技术原理,并非旨在限制本实用新型的保护范围。需要说明的是,在本实用新型的描述中,术语“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系,这仅仅是为了便于描述,而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。还需要说明的是,在本实用新型的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,或是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言,可根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
一种铜靶材制坯用空气抽离装置,用于抽空包套内的空气。
如图1所示,本空气抽离装置包括真空泵(图中未示出)和抽气软管2,其中,抽气软管2连接在包套3的抽气嘴上,真空泵用于在包套3内产生负压。为了解决背景技术中的问题,在抽气软管2上安装有静电除尘过滤器1。
如图2所示,所述静电除尘过滤器1包括同轴设置的内环体11、外环体12和绝缘密封环13,其中,绝缘密封环13安装在内环体11与外环体12之间。绝缘密封环13由绝缘材料制成,其作用是封闭内环体11与外环体12之间间隙,形成完整的空气流通通道。
如图3-4所示,在内环体11上设有带电的内集尘环板111,在外环体12上设有带电的外集尘环板121,在内集尘环板111与外集尘环板121之间设有迷宫形的空气流通通道。
具体的,在内环体11上设有出气管112,在外环体12上设有进气管122,出气管112和进气管122分别连通在空气流通通道的两端。出气管112的下管口封闭,出气管112的进气口有四个,四个进气口设在管壁上。内集尘环板111由锥面板和环状板组成,其中,锥面板位于环状板的下部,锥面板通过圆柱体连接在出气管112的下端。
参照图1。工作时,在内集尘环板111和外集尘环板121上接通有高电压,由于高电压的存在,在内集尘环板111上聚集大量的正电荷,在外集尘环板121上聚集大量的负电荷,因此在内集尘环板111与外集尘环板121之间也形成了迷宫形的电场。值得注意的是,也可以在外集尘环板121上聚集正电荷,在内集尘环板111上聚集负电荷。
由于在内集尘环板111与外集尘环板121之间形成了迷宫形的空气流通通道和电场,抽气时受迷宫形电场的作用,气流多次折向运动,一是降低了气流的流速,并使部分铜粉因惯性碰壁而被内外集尘环板捕获;二是增大了电场的作用面积,使铜粉更容易被内外集尘环板捕获,增强了除尘效果。由于抽气中的铜粉被静电除尘过滤器捕获,因此能够防止真空泵发生磨损。
未详述部分为现有技术。尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的保护范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种铜靶材制坯用空气抽离装置,包括真空泵和抽气软管,其特征是:在抽气软管上安装有静电除尘过滤器;所述静电除尘过滤器包括同轴设置的内环体、外环体和绝缘密封环,在内环体上设有带电的内集尘环板,在外环体上设有带电的外集尘环板,在内集尘环板与外集尘环板之间设有迷宫形的空气流通通道。
2.如权利要求1所述的一种铜靶材制坯用空气抽离装置,其特征是:在内环体上设有出气管,在外环体上设有进气管,出气管和进气管分别连通在空气流通通道的两端。
3.如权利要求1所述的一种铜靶材制坯用空气抽离装置,其特征是:在内集尘环板上加载有正电荷,在外集尘环板上加载有负电荷。
4.如权利要求2所述的一种铜靶材制坯用空气抽离装置,其特征是:所述出气管的进气口设在管壁上。
5.如权利要求1所述的一种铜靶材制坯用空气抽离装置,其特征是:所述内集尘环板由锥面板和环状板组成,其中,锥面板位于环状板的下部。
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