CN220324423U - 一种去胶机与晶圆处理系统 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种去胶机与晶圆处理系统，涉及去胶技术领域。该去胶机包括第一腔体、第二腔体、电磁阀门、真空系统以及驱动模块，电磁阀门与第一腔体、第二腔体连通，真空系统与电磁阀门连接，电磁阀门还与驱动模块电连接；其中，驱动模块包括控制器，控制器与电磁阀门电连接，且驱动模块连接独立电源；控制器用于在其中一个腔体处于维护状态时，控制电磁阀门的工作，以使另一腔体正常工作。本申请提供的去胶机与晶圆处理系统具有提升了产能的优点。

Description

一种去胶机与晶圆处理系统

技术领域

本申请涉及去胶技术领域，具体而言，涉及一种去胶机与晶圆处理系统。

背景技术

ASPEN II MASTTON双腔干法去胶机设备包括两个腔体，当需要对其中一个腔体进行保养维护时，通常需将整机断电，然后对需要保养维护的腔体进行操作。

然而，当出现两个腔体中其中一个腔体损坏，另一个腔体可以正常使用的情况时，将整机断电会导致产能降低，同时维护等待时间较长。

综上，现有技术中存在当进行去胶机的单腔维护保养时，产能大幅降低的问题。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种去胶机与晶圆处理系统，以解决现有技术中存在的当进行去胶机的单腔维护保养时，产能大幅降低的问题。

为了实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案如下：

一方面，本申请实施例提供了一种去胶机，所述去胶机包括第一腔体、第二腔体、电磁阀门、真空系统以及驱动模块，所述电磁阀门与所述第一腔体、所述第二腔体连通，所述真空系统与所述电磁阀门连接，所述电磁阀门还与所述驱动模块电连接；其中，

所述驱动模块包括控制器，所述控制器与所述电磁阀门电连接，且所述驱动模块连接独立电源；

所述控制器用于在其中一个腔体处于维护状态时，控制所述电磁阀门的工作，以使另一腔体正常工作。

可选地，所述驱动模块还包括整流单元与继电器，所述独立电源为交流电源，所述整流单元的输入端连接所述独立电源，所述整流单元的输出端与所述继电器电连接，所述继电器与所述控制器电连接。

可选地，所述继电器包括线圈与第一开关，所述整流单元包括正输出端与负输出端，所述线圈分别与所述正输出端、所述负输出端电连接，所述控制器通过所述第一开关与所述正输出端电连接，所述控制器连接于所述负输出端；其中，

当所述线圈中流过电流时，所述第一开关闭合。

可选地，所述去胶机还包括急停开关，所述急停开关与所述线圈串联。

可选地，所述交流电源为24V电源。

可选地，所述去胶机还包括第二开关，所述第二开关与所述整流单元电连接，且所述第二开关用于连接所述独立电源。

可选地，所述第二开关为空气开关。

可选地，所述电磁阀门包括节气阀与ISO阀，所述节气阀与所述ISO阀连通，且所述驱动模块分别与所述节气阀、所述ISO阀电连接。

可选地，所述电磁阀门还与主电源电连接。

另一方面，本申请实施例还提供了一种晶圆处理系统，所述晶圆处理系统包括上述的去胶机。

相对于现有技术，本申请具有以下有益效果：

本申请提供了一种去胶机与晶圆处理系统，该去胶机包括第一腔体、第二腔体、电磁阀门、真空系统以及驱动模块，电磁阀门与第一腔体、第二腔体连通，真空系统与电磁阀门连接，电磁阀门还与驱动模块电连接；其中，驱动模块包括控制器，控制器与电磁阀门电连接，且驱动模块连接独立电源；控制器用于在其中一个腔体处于维护状态时，控制电磁阀门的工作，以使另一腔体正常工作。由于本申请提供的去胶机中，可以连接独立电源进行供电，因此当其中一个腔体进行维护保养时，可以通过独立电源的驱动，使得控制器可以正常工作，并控制另一个腔体进行工作，实现了一个腔体进行维护保养，另一个腔体进行工作的效果，因此可以达到提升产能的目的。

为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它相关的附图。

图1为本申请实施例提供的去胶机的结构示意图。

图2为本申请实施例提供的驱动模块的模块示意图。

图3为本申请实施例提供的去胶机的电路示意图。

图中：

110-第一腔体；120-第二腔体；130-电磁阀门；131-节气阀；132-ISO阀；140-真空系统；150-驱动模块；151-整流单元；152-继电器；1521-线圈；1522-第一开关；153-控制器；160-急停开关；170-第二开关。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

下面结合附图，对本申请的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

正如背景技术中所述，目前的去胶机中，一般包括两个腔体，正常工作时，两个腔体可以同时工作。但在实际应用中，需要进行维护保养，例如，当其中一个腔体出现故障时，则需要进行维护；同时，当去胶机工作时长达到较长时，则需要对整个去胶机进行保养。

现有技术中，无论进行维护或是保养，均需要将整个去胶机下电，使得整个去胶机暂停工作，导致产能的下降。然而，无论在进行维护或是保养，实际均为单腔作业，即当其中一个腔体故障，另一个腔体正常时，则需要整机下电，正常腔体也无法工作；并且，在进行保养时，也是先对其中一个腔体进行保养，然后在对另一个腔体进行保养，整机等待时间较长，浪费产能。

有鉴于此，本申请提供了一种去胶机，通过设置独立电源的方式，提升维护保养时去胶机的产能。

下面对本申请提供的去胶机进行示例性说明：

作为一种可选的实现方式，请参阅图1，该去胶机包括第一腔体110、第二腔体120、电磁阀门130、真空系统140以及驱动模块150，电磁阀门130与第一腔体110、第二腔体120连通，真空系统140与电磁阀门130连接，电磁阀门130还与驱动模块150电连接；其中，驱动模块150包括控制器153，控制器153与电磁阀门130电连接，且驱动模块150连接独立电源；控制器153用于在其中一个腔体处于维护状态时，控制电磁阀门130的工作，以使另一腔体正常工作。

通过设置独立电源的方式，使得当其中一个腔体在进行维护或保养时，另一个腔体仍然能够继续工作，因此不会导致整机停止工作，可以提升去胶机的整体性能，同时减少整机的等待时间。

例如，当第一腔体110出现故障时，则此时在控制第一腔体110停止工作后，可以利用独立电源为控制器153供电，进而利用该控制器153可以控制电磁阀门130可以继续工作，进而使得第二腔体120可以继续工作，实现了对第一腔体110进行检修的同时，可以使第二腔体120进行工作，进而可以提升整个去胶机的产能。同理地，当第二腔体120出现故障时，也可以控制第二腔体120停止工作，同时控制第一腔体110继续工作，避免了去胶机产能的浪费。此外，在对去胶机进行维护时，也可以实现一个腔体的维护，另一个腔体的工作，减少整机等待时间，提升了真个去胶机的产能。

在一种实现方式中，独立电源可以与采用24V的交流电源，同时，电磁阀门130还与主电源电连接，主电源也可以为24V电源。在实际应用中，可以采用主电源为电磁阀门130供电，当需要对任一腔体进行维护或检修时，控制对应的腔体不工作，但主电源仍可以为电磁阀门130提供电源，利用外部控制器153可以控制电磁阀门130继续工作；或者，独立电源也可以连接电磁阀门130，进而为电磁阀门130供电，同时，独立电源还可以为控制器153进行供电，在此不做限定。

需要说明的是，本申请中，并不对电磁阀门130与腔体之间的对应关系进行限定，例如，电磁阀门130的数量可以仅为一个，该电磁阀门130可以同时连通第一腔体110与第二腔体120，并且，在第一腔体110或第二腔体120需要维护或保养时，控制电磁阀门130工作，即可实现另一腔体的使用。或者，电磁阀门130的数量可以为两个，且每个电磁阀门130可以连接一个腔体，进而在第一腔体110或第二腔体120需要维护或保养时，控制另一腔体对应的电磁阀门130工作，即可实现另一腔体的使用。需要说明的是，本申请所述的控制电磁阀门130工作，指控制电磁阀门130开与关，当然地，控制器153还可以控制电磁阀门130开合角度等。

在一种实现方式中，电磁阀门130包括节气阀131与ISO阀132，节气阀131与ISO阀132连通，且驱动模块150分别与节气阀131、ISO阀132电连接。在实际应用中，控制器153可以控制其中节气阀131的开与关，且ISO阀132跟随节气阀131动作；或者，控制器153也可以同时控制节气阀131与ISO阀132的开与关，在此不做限定。

作为一种实现方式，请参阅图2，驱动模块150还包括整流单元151与继电器152，独立电源为交流电源，整流单元的输入端连接独立电源，整流单元的输出端与继电器152电连接，继电器152与控制器153电连接。

其中，当独立电源采用24V交流电源时，整流单元151可以将交流电转换为直流电，可选地，整理单元可以采用整流桥。在整理单元进行整流输出后，继电器152导通，进而可以为继电器152进行供电，当然地，也可以为电磁阀门130进行供电。

作为一种实现方式，请参阅图3，继电器152包括线圈1521与第一开关1522，整流单元包括正输出端与负输出端，线圈1521分别与正输出端、负输出端电连接，控制器153通过第一开关1522与正输出端电连接，控制器153连接于负输出端；其中，当线圈1521中流过电流时，第一开关1522闭合。

即本申请中，线圈1521构成一个回路，当整理单元输出整流后的电流时，线圈1521所处回路导通，使得第一开关1522闭合，此时，第一开关1522所处的回路中电流流过，进而为控制器153与电磁阀门130供电。

可选地，去胶机还包括急停开关160，急停开关160与线圈1521串联。通过设置急停开关160，可以在出现人为误操作时，可以断开急停开关160，使得线圈1521断电，第一开关1522断开，进而切断了外部电源的供电。

此外，去胶机还包括第二开关170，第二开关170与整流单元151电连接，且第二开关170用于连接独立电源，可选地，第二开关170为空气开关。即当需要启用独立电源时，可以将空气开关闭合，利用独立电源为控制器153与电磁阀门130供电。

综合而言，本申请提供的去胶机具有以下效果：

因此，通过本申请提供的去胶机，可以在其中一个腔体进行维护或保养时，另一个腔体可以继续运行，因此不会影响产能，且减少了整机等待时间。

基于上述实现方式，本申请还的提供了一种晶圆处理系统，该晶圆处理系统包括上述的去胶机，当然地，该晶圆处理系统还包括其它设备，例如，还可以包括涂胶机等设备。

综上所述，本申请提供了一种去胶机与晶圆处理系统，该去胶机包括第一腔体110、第二腔体120、电磁阀门130、真空系统140以及驱动模块150，电磁阀门130与第一腔体110、第二腔体120连通，真空系统140与电磁阀门130连接，电磁阀门130还与驱动模块150电连接；其中，驱动模块150包括控制器153，控制器153与电磁阀门130电连接，且驱动模块150连接独立电源；控制器153用于在其中一个腔体处于维护状态时，控制电磁阀门130的工作，以使另一腔体正常工作。由于本申请提供的去胶机中，可以连接独立电源进行供电，因此当其中一个腔体进行维护保养时，可以通过独立电源的驱动，使得控制器153可以正常工作，并控制另一个腔体进行工作，实现了一个腔体进行维护保养，另一个腔体进行工作的效果，因此可以达到提升产能的目的。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

对于本领域技术人员而言，显然本申请不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本申请的精神或基本特征的情况下，能够以其它的具体形式实现本申请。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本申请的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本申请内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (10)

1.一种去胶机，其特征在于，所述去胶机包括第一腔体(110)、第二腔体(120)、电磁阀门(130)、真空系统(140)以及驱动模块(150)，所述电磁阀门(130)与所述第一腔体(110)、所述第二腔体(120)连通，所述真空系统(140)与所述电磁阀门(130)连接，所述电磁阀门(130)还与所述驱动模块(150)电连接；其中，

所述驱动模块(150)包括控制器(153)，所述控制器(153)与所述电磁阀门(130)电连接，且所述驱动模块(150)连接独立电源；

所述控制器(153)用于在其中一个腔体处于维护状态时，控制所述电磁阀门(130)的工作，以使另一腔体正常工作。

2.如权利要求1所述的去胶机，其特征在于，所述驱动模块(150)还包括整流单元(151)与继电器(152)，所述独立电源为交流电源，所述整流单元的输入端连接所述独立电源，所述整流单元的输出端与所述继电器(152)电连接，所述继电器(152)与所述控制器(153)电连接。

3.如权利要求2所述的去胶机，其特征在于，所述继电器(152)包括线圈(1521)与第一开关(1522)，所述整流单元包括正输出端与负输出端，所述线圈(1521)分别与所述正输出端、所述负输出端电连接，所述控制器(153)通过所述第一开关(1522)与所述正输出端电连接，所述控制器(153)连接于所述负输出端；其中，

当所述线圈(1521)中流过电流时，所述第一开关(1522)闭合。

4.如权利要求3所述的去胶机，其特征在于，所述去胶机还包括急停开关(160)，所述急停开关(160)与所述线圈(1521)串联。

5.如权利要求2所述的去胶机，其特征在于，所述交流电源为24V电源。

6.如权利要求2所述的去胶机，其特征在于，所述去胶机还包括第二开关(170)，所述第二开关(170)与所述整流单元(151)电连接，且所述第二开关(170)用于连接所述独立电源。

7.如权利要求6所述的去胶机，其特征在于，所述第二开关(170)为空气开关。

8.如权利要求1所述的去胶机，其特征在于，所述电磁阀门(130)包括节气阀(131)与ISO阀(132)，所述节气阀(131)与所述ISO阀(132)连通，且所述驱动模块(150)分别与所述节气阀(131)、所述ISO阀(132)电连接。

9.如权利要求1所述的去胶机，其特征在于，所述电磁阀门(130)还与主电源电连接。

10.一种晶圆处理系统，其特征在于，所述晶圆处理系统包括如权利要求1至9任一项所述的去胶机。