CN220256999U - 一种半导体晶圆片清洗机安全系统 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种半导体晶圆片清洗机安全系统，该系统包括中心控制器、温度传感器、烟雾报警器、电箱接触器控制器、落锁控制机构以及二氧化碳储气罐，所述温度传感器、烟雾报警器、电箱接触器控制器、落锁控制机构、以及二氧化碳储气罐均与中心控制器电性连接。本申请与现有技术相比：该半导体晶圆片清洗机安全系统相较于现有技术具有多重安全保护、实时监测与控制、自动落锁机构、灭火功能以及声光报警器和储备电池等优点。通过多个温度传感器和烟雾报警器实时监测温度和烟雾信息，中心控制器能够及时采取控制措施，例如断开电源、锁死清洗机门，并通过二氧化碳储气罐的灭火喷射头隔绝氧气，有效阻断燃烧。
Description
技术领域
本申请涉及半导体加工技术领域，具体地涉及一种半导体晶圆片清洗机安全系统。
背景技术
传统硅片清洗工艺过程中，半导体硅片在槽内清洗过程中，由于高度的自动化，设备需要人员参与的越来越少，可能会出现安全问题，尤其在一些易燃的清洗剂在高频震荡中会产生大量的热，即使在不设定加热的过程中，温度随着时间延长也会增高，可能会出现不可预测的火灾情况。而且作为设备的电柜等特殊区域长时间使用可能出现电路短路等意外情况，易发生火灾。
实用新型内容
为了克服以上的技术缺陷，本申请提供一种半导体晶圆片清洗机安全系统。
根据本申请，一种半导体晶圆片清洗机安全系统，该系统包括中心控制器、温度传感器、烟雾报警器、电箱接触器控制器、落锁控制机构以及二氧化碳储气罐，所述温度传感器、烟雾报警器、电箱接触器控制器、落锁控制机构、以及二氧化碳储气罐均与中心控制器电性连接；
所述温度传感器设置有多个且安装在清洗机生产部位，多个所述温度传感器将清洗机生产部位的实时温度传送至中心控制器；
所述烟雾报警器安装在电箱内且烟雾报警器将烟雾信息传送至中心控制器；
所述电箱接触器控制器用于控制清洗机总电源开关；
所述落锁控制机构电性连接有自动落锁机构，所述自动落锁机构用于控制清洗机门的开关；
所述二氧化碳储气罐通过连接管连接有灭火高压喷射管且连接管上设有与中心控制器电性连接的电磁阀。
进一步地，所述中心控制器电性连接有声光报警器。
进一步地，所述中心控制器电性连接有储备电池。
进一步地，所述温度传感器设置有两组且每组设置有两个。
进一步地，所述二氧化碳储气罐的个数设置有两个且二氧化碳储气罐上设有压力表。
进一步地，所述灭火高压喷射管上并排若干灭火高压喷射头，所述灭火高压喷射头采用斜角度喷射口。
本申请的一种半导体晶圆片清洗机安全系统与现有技术相比，其优点在于：
该半导体晶圆片清洗机安全系统相较于现有技术具有多重安全保护、实时监测与控制、自动落锁机构、灭火功能以及声光报警器和储备电池等优点。通过多个温度传感器和烟雾报警器实时监测温度和烟雾信息，中心控制器能够及时采取控制措施，例如断开电源、锁死清洗机门，并通过二氧化碳储气罐的灭火喷射头隔绝氧气，有效阻断燃烧。此外，系统的灵活设计还包括多组温度传感器、多个二氧化碳储气罐和斜角度喷射口的灭火喷射头，进一步提升了安全性和操作可靠性。
附图说明
图1是本实用新型的系统结构示意图。
图2是本实用新型灭火高压喷射管的部分底部结构示意图。
图3是本实用新型灭火高压喷射头的侧视结构示意图。
图4是本实用新型二氧化碳储气罐的结构图。
附图标记：1、灭火高压喷射管，2、电磁阀，3、二氧化碳储气罐，4、温度传感器，5、烟雾报警器，6、中心控制器，7、声光报警器，8、自动落锁机构，9、落锁控制机构，10、电箱接触器控制器，11、储备电池，12、灭火高压喷射头。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
如附图1-附图4，根据本申请，一种半导体晶圆片清洗机安全系统，该系统包括中心控制器6、温度传感器4、烟雾报警器5、电箱接触器控制器10、落锁控制机构9以及二氧化碳储气罐3，温度传感器4、烟雾报警器5、电箱接触器控制器10、落锁控制机构9、以及二氧化碳储气罐3均与中心控制器6电性连接，温度传感器4设置有多个且安装在清洗机生产部位，多个温度传感器4将清洗机生产部位的实时温度传送至中心控制器6，烟雾报警器5安装在电箱内且烟雾报警器5将烟雾信息传送至中心控制器6，电箱接触器控制器10用于控制清洗机总电源开关，落锁控制机构9电性连接有自动落锁机构8，自动落锁机构8用于控制清洗机门的开关，二氧化碳储气罐3通过连接管连接有灭火高压喷射管1且连接管上设有与中心控制器6电性连接的电磁阀2。
在本实施例中，中心控制器6电性连接有声光报警器7，声光报警器7可提供声光报警功能。
在本实施例中，中心控制器6电性连接有储备电池11，整套系统装置安装储备电池11作为备用电源，在断电的情况下仍可在一定时间内对设备进行安全保护。
在本实施例中，温度传感器4设置有两组且每组设置有两个，整套系统采用双组温度传感器4检测到的温度异常作为启动依据，以防止传感器检测出现问题造成误报警。
在本实施例中，二氧化碳储气罐3的个数设置有两个且二氧化碳储气罐3上设有压力表，整套系统装置采用两个二氧化碳储气罐3和两个电磁阀2作为供气源，以防止因电磁阀2损坏或气压不足造成二氧化碳无法供气或供气不足无法灭火的情况出现，储气罐上安装压力表，可随时观察压力是否异常，便于定期检查维护保养，如发现压力异常，可拆卸二氧化碳储气罐进行更换或充气。
在本实施例中，灭火高压喷射管1上并排若干灭火高压喷射头，灭火高压喷射头12采用斜角度喷射口，如此设计可使二氧化碳快速形成整体平面并快速下沉，以确保整体无死角沉压式覆盖。
本申请在具体实施过程中，多个温度传感器4安装在清洗机生产部位，将实时温度传送至中心控制器6，其中两个温度传感器4传送的温度高于设定标准后，中心控制器6发出命令控制电箱接触器控制器10断开连接，使清洗机总电源断开，确保清洗机第一时间断电，且中心控制器6控制落锁控制机构9通电，接通自动落锁机构8线圈，锁自动落下锁死所有清洗机门，防止外界空气进入和内部有毒气体泄漏，助燃火焰或使工作人员中毒，且中心控制器6发出指令控制电磁阀2打开后两个二氧化碳储气罐3内的二氧化碳气体通过灭火高压喷射头12进入清洗机内部隔绝氧气，达到阻断燃烧的效果；
烟感报警器5安装在电箱内，发生火灾后烟感报警器将信号传送至中心控制器6，中心控制器会发出命令控制电箱接触器控制器10断开连接，使清洗机总电源断开，确保清洗机第一时间断电，且中心控制器6发出指令控制电磁阀2打开后两个二氧化碳储气罐3内的二氧化碳气体通过灭火高压喷射头1进入电箱内部隔绝氧气，达到阻断燃烧的效果。
以上实施例仅用以说明本申请实施例的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请实施例进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请权利要求所限定的精神和范围。
Claims (6)
1.一种半导体晶圆片清洗机安全系统，其特征在于，该系统包括中心控制器(6)、温度传感器(4)、烟雾报警器(5)、电箱接触器控制器(10)、落锁控制机构(9)以及二氧化碳储气罐(3)，所述温度传感器(4)、烟雾报警器(5)、电箱接触器控制器(10)、落锁控制机构(9)、以及二氧化碳储气罐(3)均与中心控制器(6)电性连接；
所述温度传感器(4)设置有多个且安装在清洗机生产部位，多个所述温度传感器(4)将清洗机生产部位的实时温度传送至中心控制器(6)；
所述烟雾报警器(5)安装在电箱内且烟雾报警器(5)将烟雾信息传送至中心控制器(6)；
所述电箱接触器控制器(10)用于控制清洗机总电源开关；
所述落锁控制机构(9)电性连接有自动落锁机构(8)，所述自动落锁机构(8)用于控制清洗机门的开关；
所述二氧化碳储气罐(3)通过连接管连接有灭火高压喷射管(1)且连接管上设有与中心控制器(6)电性连接的电磁阀(2)。
2.根据权利要求1所述一种半导体晶圆片清洗机安全系统，其特征在于，所述中心控制器(6)电性连接有声光报警器(7)。
3.根据权利要求1所述一种半导体晶圆片清洗机安全系统，其特征在于，所述中心控制器(6)电性连接有储备电池(11)。
4.根据权利要求1所述一种半导体晶圆片清洗机安全系统，其特征在于，所述温度传感器(4)设置有两组且每组设置有两个。
5.根据权利要求1所述一种半导体晶圆片清洗机安全系统，其特征在于，所述二氧化碳储气罐(3)的个数设置有两个且二氧化碳储气罐(3)上设有压力表。
6.根据权利要求1所述一种半导体晶圆片清洗机安全系统，其特征在于，所述灭火高压喷射管(1)上并排若干灭火高压喷射头，所述灭火高压喷射头(12)采用斜角度喷射口。
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