CN220249678U - 双重保护供气管路及晶圆加工设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型揭示了双重保护供气管路及晶圆加工设备，其中双重保护供气管路，包括气源、与气源的出气口连接的主气道，主气道上设置有检测传感器，主气道通过第一保护气管连接第一储气容器，第一保护气管上设置有控制其通断的自动阀门；主气道还通过第二保护气管连接第二储气容器，第二保护气管与主气道的第一连接点位于所述第一保护气管与主气道的第二连接点的下游。本实用新型在气源突然断气或异常时，第二储气容器中缓存的压缩气体能够自动释放，可以在第一储气容器的压缩气体供应前提供了足够的缓存保护，并且，两个储气容器同时供气能够有效地增加持续供气时间，从而有足够的时间落实对设备的保护措施，实现了双重冗余保护。
Description
技术领域
本实用新型涉及用气设备供气技术领域，尤其是双重保护供气管路及晶圆加工设备。
背景技术
气浮主轴是减薄机中常用的元器件，气浮主轴工作时需要通过气源向其输送压缩气源。
而气源在工作时可能存在断气或供气不稳定等异常情况，因此需要供气结构需要带有一定的保护措施，如授权公告号为CN114934951A的中国发明专利就揭示了一种带有保护措施的供气结构，其是通过设置蓄能器，在气源供气异常时，通过蓄能器存储的压缩气体进行供应。
但是这种结构中，在检测到供气异常时，蓄能器的供应需要一定的响应时间，这就很容易造成在这段时间内设备出现异常。同时现有技术的结构较为复杂。
实用新型内容
本实用新型的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种双重保护供气管路及晶圆加工设备。
本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：
双重保护供气管路，包括气源、与所述气源的出气口连接的主气道，所述主气道上设置有测量供气是否异常的检测传感器，所述主气道通过第一保护气管连接第一储气容器，所述第一储气容器中存储有压缩气体，所述第一保护气管上设置有控制其通断的自动阀门；所述主气道还通过第二保护气管连接第二储气容器，所述第二保护气管与主气道的第一连接点位于所述第一保护气管与主气道的第二连接点的下游。
优选的，所述双重保护供气管路中，所述检测传感器位于所述第二连接点的上游。
优选的，所述双重保护供气管路中，所述检测传感器位于所述第一连接点的下游。
优选的，所述双重保护供气管路中，所述主气道上设置有位于所述第二连接点和气源之间且使气体可向下游输送的第二单向阀。
优选的，所述双重保护供气管路中，所述主气道上设置有位于所述第一连接点和第二连接点之间且使气体可向下游输送的第一单向阀。
优选的，所述双重保护供气管路中，所述主气道上设置有位于所述第二连接点下游的空气过滤器。
优选的，所述双重保护供气管路中，所述第一储气容器的容量大于所述第二储气容器的容量。
优选的，所述双重保护供气管路中，所述第一储气容器和/或第二储气容器的底部设置有一组带锁万向轮。
晶圆加工设备，包括如上任一所述的双重保护供气管路。
本实用新型技术方案的优点主要体现在：
本实用新型通过设置于主气道连接的第一储气容器和第二储气容器，在气源正常供气时，第二储气容器可以缓存压缩气体，而在气源突然断气或异常时，第二储气容器中缓存的压缩气体能够自动释放，这样也可以在第一储气容器的压缩气体供应前提供足够的缓存保护，并且，两个储气容器同时供气能够有效地增加持续供气时间，从而有足够的时间落实对设备的保护措施，实现了双重冗余保护。
本实用新型的检测传感器的位置设计，能够尽早的发现断气或异常情况，从而及时控制自动阀体打开进行供气，同时可以根据检测信号确定自动阀体是否有效地打开，从而提高稳定性。
本实用新型设置第一单向阀和第二单向阀，能够有效减少第一储气容器和第二储气容器供气时的气体回流，有利于延长供气时间。
本实用新型在第二连接点的前方设置空气过滤器，仅需要一个过滤器即可对气源、第一储气容器和第二储气容器输出的压缩气体进行过滤，能够以更简单的功能保证供气的洁净性。
整个供气管路的结构相交现有技术，在提高安全性的同时，极大地简化了结构，更易于实现。
附图说明
图1是本实用新型的双重保护供气管路的示意图；
图2是本实用新型的双重保护供气管路带第一单向阀和第二单向阀的示意图；
图3是本实用新型的双重保护供气管路带空气过滤器的示意图。
具体实施方式
本实用新型的目的、优点和特点，将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释。这些实施例仅是应用本实用新型技术方案的典型范例，凡采取等同替换或者等效变换而形成的技术方案，均落在本实用新型要求保护的范围之内。
在方案的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
实施例1
下面结合附图对本实用新型揭示的双重保护供气管路进行阐述，如附图1所示，其包括气源100、与所述气源100的出气口连接的主气道200，所述主气道200上设置有测量供气是否异常的检测传感器300，所述主气道200通过第一保护气管400连接第一储气容器500，所述第一储气容器500中存储有压缩气体，所述第一保护气管400上设置有控制其通断的自动阀门600；所述主气道200还通过第二保护气管700连接第二储气容器800，所述第二保护气管700与主气道200的第一连接点900位于所述第一保护气管400与主气道200的第二连接点001的下游。
使用时，所述检测传感器300、自动阀门600均连接控制装置，例如PLC，工作时，所述控制装置实时接收检测传感器300的信号，当确定存在断气时，所述控制装置控制所述自动阀门600打开，从而所述第一储气容器500和第二储气容器800中的压缩气体均能够被供应给与所述主气道200连接的用气设备002，所述用气设备002可以是各种可行的气动设备，较优的，所述用气设备002为气动主轴。
所述气源100可以是已知的空气压缩机，所述主气道200可以是已知的软管或金属管或塑料管等可行材料，所述检测传感器300可以是已知的气压检测传感器或是流量传感器等可行器件，并且，如附图1所示，所述检测传感器300位于所述第二连接点001的上游，这样能够尽早地发现上游出现断气或异常的情况。进一步，所述检测传感器300位于所述第一连接点900的下游，这样在确定断气或异常时，可以根据所述检测传感器300的信号确定所述第一储气容器500的压缩气体是否正常进行供应。
所述主气道200与第一保护气管和第二保护气管可以分别通过三通来实现连接，所述自动阀门可以是已知的电磁阀、电动阀等可行部件，所述第一储气容器500和第二储气容器800可以是已知的储气罐，并且由于第二储气容器主要起到在第一储气容器500的压缩气体供应前进行供气的作用，因此，所述第二储气容器800的容量可以较小，而所述第一储气容器500储的容量需要大于第二储气容器800的容量且需要足够大，第一储气容器500的容量的具体大小可以实际需要来确定，例如，当所述供气管路为气浮主轴供气时，所述第一储气容器500的容量需满足所述气浮主轴制动过程所需的气量。并且，如附图1所示，为了方便所述第一储气容器500和第二储气容器800的移动，所述第一储气容器和/或第二储气容器的底部设置有一组带锁万向轮003。并且所述第一储气容器还可以连接第二气源，当所述第一储气容器中的压缩气体使用完毕后，可以通过第二气源为其供气，当然所述第一储气容器也可以通过所述主气道连接的气源100来进行压缩气体的补充。
如附图2所示，为了避免第一储气容器500供应的压缩气体回流到主气道200的上游造成浪费，在所述主气道200上设置有位于所述第二连接点001和气源100之间且使气体可向下游输送的第二单向阀004。同时，为了避免第二储气容器800的供气回流到主管道的上游，所述主气道200上设置有位于所述第一连接点900和第二连接点001之间且使气体可向下游输送的第一单向阀005。
如附图3所示，为了使输送给用气设备002的压缩空气尽可能保持接近，在所述主气道200上设置有位于所述第二连接点001下游的空气过滤器006，所述空气过滤器可以是柱形的空气过滤器，其具体结构为已知技术，此处不作赘述。
实施例2
本实施例揭示了一种晶圆加工设备，包括如上所述的双重保护供气管路，所述晶圆加工设备较优的可以是减薄机。
本实用新型尚有多种实施方式，凡采用等同变换或者等效变换而形成的所有技术方案，均落在本实用新型的保护范围之内。
Claims (9)
1.双重保护供气管路，包括气源、与所述气源的出气口连接的主气道，所述主气道上设置有测量供气是否异常的检测传感器，其特征在于：所述主气道通过第一保护气管连接第一储气容器，所述第一储气容器中存储有压缩气体，所述第一保护气管上设置有控制其通断的自动阀门；所述主气道还通过第二保护气管连接第二储气容器，所述第二保护气管与主气道的第一连接点位于所述第一保护气管与主气道的第二连接点的下游。
2.根据权利要求1所述的双重保护供气管路，其特征在于：所述检测传感器位于所述第二连接点的上游。
3.根据权利要求2所述的双重保护供气管路，其特征在于：所述检测传感器位于所述第一连接点的下游。
4.根据权利要求1所述的双重保护供气管路，其特征在于：所述主气道上设置有位于所述第二连接点和气源之间且使气体可向下游输送的第二单向阀。
5.根据权利要求1所述的双重保护供气管路，其特征在于：所述主气道上设置有位于所述第一连接点和第二连接点之间且使气体可向下游输送的第一单向阀。
6.根据权利要求1所述的双重保护供气管路，其特征在于：所述主气道上设置有位于所述第二连接点下游的空气过滤器。
7.根据权利要求1所述的双重保护供气管路，其特征在于：所述第一储气容器的容量大于所述第二储气容器的容量。
8.根据权利要求1所述的双重保护供气管路，其特征在于：所述第一储气容器和/或第二储气容器的底部设置有一组带锁万向轮。
9.晶圆加工设备，其特征在于：包括如权利要求1-8任一所述的双重保护供气管路。
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